KR910005096A - 반도체소자 사진현상기계의 현상액 자동공급장치 - Google Patents

반도체소자 사진현상기계의 현상액 자동공급장치 Download PDF

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KR910005096A
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김정국
Original Assignee
문정환
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03D—APPARATUS FOR PROCESSING EXPOSED PHOTOGRAPHIC MATERIALS; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03D3/00—Liquid processing apparatus involving immersion; Washing apparatus involving immersion

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
  • Photographic Processing Devices Using Wet Methods (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

반도체소자 사진형상기계의 현상액 자동공급장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 구성도.
제3도는 본 발명의 자동공급장치 회로도.
제4도는 본 발명의 중앙용기 저수위 감지 경보장치 회로도.

Claims (1)

  1. 기계 용기내에 저수위감지기(31)가 저수위를 감지(부력으로 접점조절)하고, 고수위감지가가 고수위를 감지하여 감지된 신호로 자동용액밸브를 온/오프 조절하여 용액을 자동적으로 공급조절하는 용액자동공급장치(제3도)와, 펄스진동발생기(E,G)(NE555)와 중앙용기수위 감지기(I), 릴레이(H), 트랜지스터(F) 누름스위치, 램프 및 부저를 사용하여 중앙용기 저수위 감지 자동경보장치(제4도)로 구성된 반도체 소자 사진 현상기계의 현상액자동 공급장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890012475A 1989-08-31 1989-08-31 반도체 소자 사진현상기계의 현상액 자동공급장치 KR0126915B1 (ko)

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