KR0126915B1 - 반도체 소자 사진현상기계의 현상액 자동공급장치 - Google Patents

Abstract

요약없음

Description

반도체 소자 사진현상기계의 현상액 자동공급장치

제1도는 종래의 구성도.

제2도는 본 발명의 구성도.

제3도는 본 발명의 자동공급장치 회로도.

제4도는 본 발명의 중앙용기 저수위 감지 경보장치 회로도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

B : 고수위 감지기C : 자동용액 공급밸브

A : 저수위 감지기D : 자동펌프구동밸브

1,2,3 : 기계내 용액공기E, G : 펄스진동발생기(NE555)

F : 트랜지스터 H : 릴레이

본 발명은 사진 현상기의 현상액 공급장치에 관한 것으로 종래는 수작업으로 현상액을 공급하게 되어 있어 수작업에 따른 인적, 시간적, 경제적 손실을 절감하기 위한 반도체 소자 사진현상기의 현상액 자동공급장치에 관한 것이다.

종래 기술구성은 제1도에 도시한 바와 같이 실리콘 밸리그룹(Silicon Valley Grap)이 제작한 것으로 용액주입구와 기계내의 용액 용기, 저수위 감지기, 기계내 자동스위치 및 자동경보장치 등으로 되어 있다.

종래 기술의 동작은 기계내의 용액저장 용기내에 들어있는 저수위 감지기가 저수위를 감지하면 감지 신호가 자동경보 장치의 관련 스위치를 자동으로 연결시켜 자동경보장치를 구동하게 되는데 이때 작업자는 신호경보음 듣고나서 기계내 용액용기내에 용액주입구를 통해 수동으로 용액을 주입한다. 또 한편 수위가 저수위이면 기계는 자동경보함과 동시에 모든 동작을 멈추며 용액을 주입하면 수위가 올라가 다시 동작한다.

그러므로 종래 기술상 자동경보장치가 동작하면 자동적으로 작업이 중단되므로 작업자가 경보음을 듣지 못한 경우 작업 공백으로 인한 손실이 크고 또한 수작업으로 직접 용액을 주입해야 하는 문제점이 있다.

따라서 본 발명의 목적은 종래의 수작업으로 인한 손실(인적, 시간적, 경제적)과 작업자가 직접 수작업으로 용액을 주입하는 문제점을 해결하고자 반도체 소자 사진현상기의 현상액 자동공급장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 기술 구성은 제2도에 도시된 바와 같이 중앙공급대형 용기에 저수위 감지기와 수위경보장치와 기계내 용액용기의 자동공급장치와 고수위 감지기 및 저수위감지기 그리고 자동펌프구동스위치 및 자동용액공급밸브로 되어 있다.

본 발명의 기술 동작을 도시된 도면 제3도 및 제4도를 통해 상세히 설명하면 다음과 같다.

제3도는 용액의 자동공급장치로 기계의 용기내에 저수위감지기(31)가 저수위를 감지(부력으로 접점조절)하면 그 신호가 자동공급장치의 용액자동공급 밸브를 오프함으로써 용액공급펌프 스위치를 연결시켜 기계내의 용기에 용액을 공급하기 시작한다.

용기에 용액이 다차서 고수위감지기(30)가 고수위를 감지하면 그 신호가 자동공급장치의 자동용액밸브를 클로즈함으로서 용액공급펌프 스위치를 오프시켜 기계내의 용기에 용액공급을 중단시킨다.

이와 같이 본 발명의 자동용액공급장치는 작업자의 조치가 전혀없이 자동적으로 용액공급과 차단을 조정하여 기계전체의 동작을 제어하고 정상적으로 동작할 때 중앙공급 용기에 용액이 부족해서 발생하는 오동작을 막기 위해 중앙공급 용기에 제4도의 램프밀 부저를 저수위 감지기에 연결하여 각 기계내의 용액용기로 용액을 공급하는 중앙용기가 저수위일때 자동경보장치가 작동하여 작업자가 즉시 대응조치를 취할 수 있도록 되어 있다.

제3도를 더욱 상세히하면 용기내에 저수위/고수위 감지기는 부력으로 접점을 조절하며 용기내의 저수위 감지기가 수위저하로 부력을 잃어 접점이 떨어지면 저수위감지기의 스위치가 온되면서 펌프파워 스위치와 용액자동공급밸브를 온시켜 용액이 용기내로 주입되고 용기내의 용액수위가 상승하여 부력에 의해 고수위감지기의 접점이 연결되면 고수위감지기의 스위치가 온되면서 펌프스위치와 용액자동공급밸브 스위치를 오프시켜 용액의 주입을 자동적으로 차단하여, 용기내의 일정수위를 조절해주는 자동공급제어장치 방법이다.

제4도는 본 발명의 중앙용기저수위감지 경보장치로써 본 장치가 정상적으로 동작하더라도 중앙공급용기에 용액이 없어서 발생될 수 있는 오동작을 방지하기 위해 중앙공급용기에 저수위 감지기를 부착하여 각 기계내의 용액용기에 용액을 공급하는 중앙용기가 저수위일때 자동경보장치가 동작한다.

본 발명은 기계내의 저수위감지기가 저수위를 감지하는 경우 기계의 멈춤이 없이 자동적으로 용액을 공급하므로 작업시간 손실이 없고, 작업자의 불편함을 해결하며 중앙대형 용기를 사용함으로써 여러대의 기계를 동시에 제어할 수 있어 용액 교체횟수를 줄임으로써 시간적, 경제적 손실을 절감시키는데 큰 효과가 있다.

Claims (1)

1. 기계 용기내에 저수위감지기(31)가 저수위를 감지(부력으로 접점조절)하고, 고수위감지기가 고수위를 감지하여 감지된 신호로 자동용액 밸브를 온/오프 조절하여 용액을 자동적으로 공급조절하는 용액자동공급장치(제3도)와, 펄스진동발생기(E, G)(NE555)와 중앙용기수위 감지기(I), 릴레이(H), 트랜지스터(F) 누름스위치, 램프 및 부저를 사용하여 중앙용기 저수위 감지 자동경보장치(제4도)로 구성된 반도체 소자 사진 현상기계의 현상액자동공급장치.

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