KR930008140B1

KR930008140B1 - 포토레지스트 폐액 자동처리장치

Info

Publication number: KR930008140B1
Application number: KR1019900021686A
Authority: KR
Inventors: 윤명식; 박영호; 유재문; 한승교
Original assignee: 삼성전자 주식회사; 김광호
Priority date: 1990-12-24
Filing date: 1990-12-24
Publication date: 1993-08-26
Also published as: KR920013033A

Abstract

내용 없음.

Description

포토레지스트 폐액 자동처리장치

제 1 도는 종래의 포토레지스트 폐액유출방식.

제 2 도는 본 발명에 따른 포토레지스트 폐액처리장치 실시예의 블럭도.

제 3 도는 본 발명에 따른 포토레지스트 폐액처리장치 실시예의 입체도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 볼 밸브(Ball Valve) 2 :공기 작동밸브(Air Operated Valve)

3 : 공기 다이아프램펌프(Air Diaphragm Pump)

4 : 폐액축적량 센서 5 : 광센서

6 : 디스플레이판넬 7 : 메인 컨트롤러판넬

8 : 메인탱크 9 : 가요성자바라호스(flexible zavara hose)

10 : 폐액운반용 수레 11 : 포토레지스트 폐액조

12 : 코터(Coater) 13 : 아세톤용액

A : 아세톤공급 a : 공정라인

B : 포토레지스트 폐액유출 b : 지하

본 발명은 반도체 생산장치에 관한 것으로, 특히 포토레지스트(Photo Resist ; 이하 PR.이라 칭한다) 폐액처리에 있어서 P.L.C(Programmable Logic Controller ; 이하, P.L.C이라 칭한다)와 전기적인 시퀀스를 이용하여 자동화하는 PR.폐액자동처리장치에 관한 것이다.

반도체 제조공정중에서 포토공정은 청정도가 가장 요구되는데 공정에서 생긴 PR.폐액으로 인하여 생산환경이 오염되어 청정도를 떨어뜨리는 요인이 되고 있다.

제 1 도와 같은 종래의 PR.폐액 유출방식은 코터(12)내의 폐액조(bath : 11)에 모아진 폐액을 공정라인내에서, 가요성 자바라호스(flexible zabara hose : 9)를 이용하여 작동자가 펌프(3)를 이용하여 폐액운반용 수레(10)에 직접 옮겨 담아서 운반하기 때문에 폐액이 튀거나 폐액에서 발생되는 증기로 인하여 폐액처리기간동안은 생산라인이 정지되는 등의 문제점이 있다.

따라서 본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 청정도가 가장 요구되는 포토공정 내에서의 폐액처리작업을 없애므로서 환셩오염의 요인을 제거하고 처리작업을 자동화함으로써 수작업에 의한 인력손실을 줄일 수 있으며 작업자의 실수로 인한 안전사고 예방을 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 수행하기 위하여, 본 발명은 PR.폐액이 담긴 코터(Coater)탱크에 폐액이 가득차 있다는 신호를 센싱하는 하이레벨센서(high level sensor)와, 센싱에 의해 지하에 설치된 폐액저장탱크로 폐액을 유출하는 공기 다이아프램펌프(Air Diaphragm Pump)와, 유출된 폐액을 저장시키는 메인 탱크와, 펌프의 공회전을 방지하고 폐액이 완전유출되었음을 알리는 로레벨센서(low level sensor)가 있고, 폐액유출이 완료된후 배관 세척을 하기 위한 아세톤 공급용 공기 다이아프램 펌프가 있으며 전기적 센싱을 자동으로 전환시키기 위해 중앙처리장치(Central Processing Unit)역할을 하는 P.L.C가 메인탱크에 설치되어 있으며 본 장치를 자동 또는 수동으로 조절할 수 있는 메인컨트롤 판넬이 부착되어 있고, 현재의 진행상황을 체크할 수 있는 메인디스플레이판넬이 있으며, 공정라인 내부에서 현재상황을 체크하고 원거리조정을 할 수 있는 리모트 컨트롤 판넬이 실장되어 있으며 공기작동밸브와 솔레노이드밸브로 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 실시예인 제 2 도를 보면, 폐액이 들어있는 여러개의 코터(Coater : 12)설비내의 폐액축적량을 감지하는 폐액축적량 센서(4)를 높이(하이, 로레벨)에 따라 설치하여 PR.폐액이 가득차게 되면 하이레벨 센서가 센싱하여 PR.폐액탱크와 아세톤탱크가 포함되어 있고 디스플레이판넬(6), 메인 컨트롤판넬(7)이 부착되어 있고 폐액량과 아세톤양을 센싱하는 광센서(5)가 실장된 지하메인탱크(8)로 신호를 보낸다. 이 신호가 P.L.C를 통하여 볼밸브(1)와 공기작동밸브(2)를 조절하여 공기 다이아프램 펌프(3)를 작동하도록 신호를 다시 보내게 되며 펌프가 작동을 시작하면 공정라인(a)의 코터(12)에 있는 PR.폐액이 B경로를 통해서 지하(b)로 유출하고 이어서, 로레벨센서가 센싱되면 펌프는 25∼30초후 자동으로 멈추게 되는데 이 시간은 로레벨이 센싱되고 부터 PR.폐액이 지하에 도달하기까지의 지연시간이며 폐액유출후 펌프의 수명을 연장하기 위해서 펌프가 자동으로 멈추도록 하였다. 펌프가 멈추고나면 곧이어 아세톤용 펌프가 동작하여 배관이 점성이 높은 PR.액에 의하여 막히는 것을 방지하기 위해 아세톤용액(13)이 A경로를 통해 코터(12)내로 공급되어 배관을 세척하는 역할을 한다. 이때 배관에 묻어있는 PR. 폐액은 아세톤용액에 녹으므로 배관속에 누적되지 않기 때문에 일정기간마다 공급하면 되며 아세톤의 공급양은 P.L.C 프로그램내의 시간과 레귤레이터를 이용하여 조절하게 된다.

또한 이 장치에서 폐액이 가득차있음을 센싱하는 하이레벨센서에 문제가 생겨 작동이 되지 않은 경우에는 P.L.C 프로그램에 셋팅되어 있는 시간에 의해서 유출이 되므로 센서의 오동작시에도 자동컨트롤이 가능하다.

수동으로 작동할시에는, 각 기계호기에 해당되는 번호의 버튼스위치를 누르면 자동방출이 된다. 즉, 본 장치는 코터내의 폐액축적량의 위치를 센싱하는 하이, 로레벨센서에 의해 자동으로 유출되고 이들 센서가 오동작을 할 경우는 P.L.C 프로그램내에 시간을 셋팅하여 셋팅된 시간이 되면 자동유출이 가능하고 수동으로도 작동시킬 수 있는 양립성을 갖추고 있다.

제 3 도는 본 발명에 따른 포토레지스트 폐액처리장치 실시예의 입체도로 도면에서 윗 돌출부는 폐액과 아세톤 가스를 방출하는 방출구이다.

본 장치를 레벨선서가 PR.액의 점도 때문에 센싱이 되지 않을 경우를 대비해 실제 테스트한 결과 PR.액이 센서에 약 2mm정도 묻었을때에는 센싱효과에 이상이 없었지만 그 이상이 PR.액이 묻었을 경우에는 센서의 동작이 원활하지 못하였으나 상기에서 설명한 바처럼 아세톤용액을 이용하여 PR.액을 일정기간마다 희석시키므로 폐액점도에 의해 센싱효과가 떨어질 경우는 배제해도 좋다.

아세톤공급용펌프는 아세톤병에서 탱크로, 다시 탱크에서 코터로 공급하는 과정을 솔레노이드밸브를 이용하여 시퀀스를 병렬로 조작하여 펌프 1개로 2가지 목적을 이룰수 있도록 집약적으로 처리하였으며 지하에서 이루어지는 상황을 공정내에서 체크할 수 없는 불안전한 요소가 있으나 리모트 컨트롤 판넬을 공정내에 설치하여 라인내에서 상황을 체크하고, 원격조정할 수 있도록 사용효율을 높였으며 폐액량 센싱 레벨센서에 문제점이 생길때를 대비하여 P.L.C 프로그램내에 스캔타임(scan time)을 주어 센서에 관계없이 자동유출이 되도록 설계하여 안정성과 유출효과를 높였다.

아울러 본 발명은 PR.폐액처리용으로만 국한되지 않고 일정장소에 저장된 용액을 타장소에 옮기는 모든 경우에 응용될 수 있어 그 적용범위를 매우 넓게 이용할 수 있다.

Claims

유출할 포토레지스트 폐액이 차있는 코터(12)에 폐액축적량을 센싱하는 레벨센서(4), 포토레지스트 폐액탱크와 폐액배관세척용탱크가 포함된 메인탱크(8), 레벨센서(4)의 센싱에 의해 메인탱크(8)와 배관세척용액(13)을 구동시키는 펌프(3), 그리고 펌프의 작동을 조절하는 볼밸브(1)와 공기작동밸브(2)로 구성되어 공정라인내(a)의 포토레지스트폐액은 B경로를 통해 지하(b)의 메인탱크(8)로 유출되고, 배관세척용액(13)은 A경로를 통해 지하(b)에서 공정라인내(a)로 투입되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 폐액자동처리장치.
제 1 항에 있어서, 유출한 용액이 가득찼을 경우를 감지하는 하이레벨센서와 용액의 유출이 완료되었음을 알리는 로레벨센서가 부착된 포토레지스트 폐액자동처리장치.
제 1 항에 있어서, 용액축적량을 센싱하는 레벨센서가 오작동시, 메인탱크(8)내에 전기적 센싱을 자동적으로 전환시키는 P.L.C(Programmable Logic Controller)가 설치되어 P.L.C 프로그램내에 시간을 셋팅하여 일정시간후 폐액이 자동유출되도록 구성한 포토레지스트 폐액자동처리장치.
제 1 항에 있어서, 메인탱크(8)는 메인탱크동작을 컨트롤하는 메인컨트롤러판넬(7), 동작의 상태를 디스플레이하는 디스플레이판넬(6), 유출된 용액과 배관세척용액의 레벨을 센싱하기 위한 광센서(5)가 실장되어 있는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 폐액자동처리장치.
제 1 항에 있어서, 용액을 유출한후 배관을 세척하기 위해 배관세척용매를 자동공급할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 장치.
제 1 항에 있어서, 공정라인내(a)에 리모트 컨트롤 판넬을 설치하여 용액이 유출된 곳의 현황을 체크하고 조정할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 포토레지스트 폐액자동처리장치.
제 1 항에 있어서, 펌프들을 병렬로 배치하여 제작원가를 절감하고 물량을 적게하도록 구성한 포토레지스트 폐액자동처리장치.
제 5 항에 있어서, 배관세척용 용매로 아세톤을 공급함을 특징으로 하는 포토레지스트 폐액자동처리장치.