KR200153640Y1 - 포토레지스트 공급 장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 포토레지스트 공급 장치에 관한 것으로, 용기내 포토레지스트의 일정량이 소비되었을 때 컨트롤러에 설정된 포토레지스트의 충전 시간에 의해 자동적으로 포토레지스트 용기를 변환하여 지속적으로 포토레지스트를 공급할 수 있도록 하는 포토레지스트 공급 장치에 관한 것이다.
본 고안의 목적은 종래의 공급 장치에 포토레지스트를 공급하는 용기를 추가로 설치하여 용기의 교체에 따른 공정의 중단을 방지하고, 벤츄리 관을 이용해 포토레지스트를 용기로부터 중간 탱크로 이동시킴으로써 낭비되는 포토레지스트를 줄일 수 있도록 하는데 있다.
본 고안에 의하면 용기의 교체시 발생하는 폐액이나 용기에서 중간 탱크로 포토레지스트를 공급할 때 드레인 밸브를 통해 흘러가는 포토레지스트를 줄일 수 있어 원가를 절감할 수 있을 뿐만아니라 새로운 용기의 교체를 위한 공정의 중단이 없어 생산성 향상의 효과가 있다.
Description
제1도는 종래의 포토레지스트 공급 장치의 구성도.
제2도는 본 고안에 의한 포토레지스트 공급 장치의 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 포토레지스트 2 : 용기
3 : 중량 센서 4 : 중간 탱크
5 : 유량 레벨 센서 6 : 드레인 밸브
7 : 펌프 8 : 필터
9 : 스피너 10 : 제1용기
11 : 제2용기 12 : 밸브
13 : 3방 밸브 14 : 벤츄리 관
15,16 : 유량 레벨 센서
본 고안은 포토레지스트 공급 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 용기내의 포토레지스트가 일정량 소비되었을 때 컨트롤러의 타이머에 설정된 충전 시간에 의해 자동으로 용기를 변환하여 지속적으로 포토레지스트를 공급할 수 있도록 하는 포토레지스트 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에서 포토레지스트는 각종 에칭공정, 예를 들면 선택적인 확산 지역을 한정하기 위하여 사용되는 반도체 기판상의 절연층에 윈도우를 형성하거나, 또는 반도체 소자상에 미세한 패턴을 형성하기 위한 마스크로 사용되고 있다.
상기와 같은 포토레지스트를 반도체 기판상에 공급하기 위한 종래의 포토레지스트 공급 장치의 구성은 제1도에 도시한 바와 같이 포토레지스트(1)를 저장하고 있는 용기(2)와 용기(2)의 중량을 측정하는 중량 센서(3)와 포토레지스트(1)를 임시로 보관하는 중간 탱크(4)와 중간 탱크(4)내에 있는 포토레지스트(1)의 레벨을 측정하는 유량 레벨 센서(5)와 중간 탱크(4)의 포토레지스트(1)를 스피너(9)까지 운반하는 펌프(7) 및 포토레지스트(1)의 불순물을 여과하는 필터(8)로 이루어진다.
이와 같이 구성된 포토레지스트 공급 장치의 동작을 살펴보면, 먼저 스피너(9)의 진공척상에 웨이퍼가 지지된 상태에서 중간 탱크(4)로부터 포토레지스트(1)를 원하는 양만큼 운반하여 노즐을 거쳐 웨이퍼상에 디스펜딩한다.
이때, 유량 레벨 센서(5)는 중간 탱크(4)내에 존재하는 포토레지스트(1)의 레벨을 감지한 후 그 감지된 레벨과 유량 레벨 센서(5)에 기설정된 최저 레벨을 비교한다.
만일, 유량 레벨 센서(5)에 기설정된 최저 레벨 이하로 중간 탱크(4)내의 포토레지스트(1) 레벨이 내려가면 유량 레벨 센서(5)는 이를 감지하여 콘트롤러에 전달한다.
컨트롤러는 유량 레벨 센서(5)의 감지 신호를 인식한 후 용기(2) 하단에 설치된 중량 센서(3)를 통해 용기의 중량에 해당하는 신호를 수신하여 용기의 교체 여부를 판단한다.
이때, 컨트롤러에 기설정되어 있는 용기의 교체값보다 중량 센서(3)에 의해 전달된 용기의 측정값이 크면 컨트롤러는 용기(2)내에 N2를 주입한 후 중간 탱크(4)의 드레인 밸브(6)를 열어 용기(2)내의 포토레지스트(1)를 중간 탱크(4)로 이동시켜 공정을 진행한다.
반면, 용기의 교체값보다 측정값이 적으면 컨트롤러는 용기(2)를 교체하라는 신호를 작업자에게 전달한다.
작업자는 상기의 신호에 의해 용기를 교체한 후 새로운 용기에 N2를 주입하면서 중간 탱크(4)의 드레인 밸브(6)를 열어 기포를 제거한다.
기포가 완전히 제거되면 N2의 주입을 중단하고 드레인 밸브(6)를 닫아 계속적으로 공정을 진행한다.
중간 탱크(4)내로 이동된 포토레지스트(1)는 필터(8)에 의해 불순물이 여과된 후 웨이퍼상으로 이동한다.
그런데, 상기와 같은 포토레지스트 공급 장치를 사용하면 새로운 용기 교체시 항시 N2를 가압하는 상태에서 중간 탱크를 채우게 되어 중간 탱크에 남아 있던 기존의 포토레지스트가 드레인 밸브를 통해 흘러나갈 뿐만아니라 용기내 포토레지스트가 완전히 소비되지 않은 상태에서 새로운 용기로 교체하기 때문에 많은 양의 포토레지스트가 폐액으로 소비된다.
또한 작업자가 새로운 용기로 교체할 때마다 공정을 중단해야 하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안의 목적은 종래의 공급 장치에 포토레지스트를 공급하는 용기를 추가로 설치하여 용기의 교체에 따른 공정의 중단을 방지하고, 벤츄리관을 이용한 진공에 의해 포토레지스트를 용기로부터 중간 탱크로 이동시킴으로써 낭비되는 포토레지스트를 줄일 수 있도록 하는 데 있다.
상기 목적을 위한 본 고안은 다수개의 용기들 중 어느 하나의 용기로부터 중간 탱크 내로 포토레지스트를 유입시키기 위해 포토레지스트의 이동경로를 변환하는 경로절환수단과, 중간 탱크에 설치되어 중간 탱크 내로 유입된 포토레지스트 의 최저 레벨 및 최고 레벨을 측정하는 측정수단과, 중간 탱크에 연통되어 측정수단에서 감지된 신호에 따라 다수개의 용기들 중 어느 하나의 용기로부터 포토레지스트를 중간 탱크로 유입시기는 벤츄리관과, 벤츄리관과 경로절환수단을 제어하는 콘트롤로 구성된다.
바람직하게, 포토레지스트를 수용하는 용기들은 2개가 설치되며, 경로절환 수단은 3방 밸브이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 더욱 상세히 설명한다.
본 고안에 따른 포토레지스트 공급 장치의 구성은 제2도에 도시된 바와 같이 포토레지스트 공급 장치에는 포토레지스트(1)를 저장하는 다수의 용기들(10)(11)이 설치되고, 각각의 용기들(10)(11)에는 연결관을 매개로 중간 탱크(4)가 연통되어 용기들에 저장된 포토레지스트(1)를 임시로 보관한다.
바람직하게, 포토레지스트 공급 장치에는 2개의 용기(10)(11)가 설치된다.
또한, 2개의 용기들(10)(11)과 중간 탱크(4) 사이에 설치된 연결관에는 용기(10)(11)들 중 어느 하나의 용기와 중간 탱크(4)를 선택적으로 연결시키는 3방 밸브(13)가 설치되고, 중간 탱크(4)에는 경로절환 밸브(13)에 의해 선택된 용기로부터 유입된 포토레지스트(1)의 최저 레벨을 측정하는 유량레벨센서(15)와 최고레벨을 제한하는 유량레벨센서(16)가 설치된다.
또한, 중간 탱크(4)의 상부는 벤츄리관(14)과 연결되며, 중간 탱크(4)와 벤츄리관(14) 사이에는 중간 탱크(4)와 벤츄리관(14)을 연결시키는 통로를 제어하는 밸브(12)가 설치된다.
또한, 3방 밸브(13)와 유량레벨센서(15)(16)와 밸브(12)는 컨트롤러(미도시)와 전기적으로 연결된다.
이와 같은 구성의 본 고안의 작동 방법을 설명하면 다음과 같다.
웨이퍼상에 제1 용기(10)의 포토레지스트(1)를 디스펜딩할 경우 3방 밸브(13)는 컨트롤러에 의해 제1 용기(10)쪽으로 개방된다.
중간 탱크(4)의 포토레지스트(1)가 점차적으로 소비되어 기설정된 최저 레벨에 이르면 유량 레벨 센서(15)가 이를 감지하여 컨트롤러에 전달한다.
컨트롤러는 상기 유량 레벨 센서(15)의 감지 신호를 인식한 후 컨트롤러의 타이머에 기설정된 시간만큼 N2를 중간 탱크(4)에 연결된 벤츄리 관(14)을 통해 고속으로 흐르게 한다.
상기 N2의 흐름은 벤츄리 관(14)과 중간 탱크(4) 사이를 진공 상태로 만들게 되어 밸브(12)를 열면 베르누이 법칙에 의해 제1 용기(10)내의 포토레지스트(1)가 중간 탱크(4)로 이동하게 된다.
이때, 상기 컨트롤러의 타이머(미도시)에 기설정된 시간은 유량 레벨 센서(16)가 감지할 수 있는 양만큼의 포토레지스트(1)가 용기(10)로부터 중간 탱크(4)로 이동하는데 소요되는 충전 시간과 같다.
제1 용기(10)로부터 중간 탱크(4)로 이동된 포토레지스트(1)의 레벨이 유량 레벨 센서(16)에 감지되면 컨트롤러는 상기 감지 신호를 수신하여 N2의 공급을 중단함으로써 더 이상의 포토레지스트(1)가 중간 탱크(4)로 유입되지 않도록 한다.
만일, 타이머에 설정된 시간동안 유량 레벨 센서(16)의 감지 신호가 컨트롤러에 전달되지 않으면 컨트롤러는 자동적으로 3방 밸브(13)를 제2 용기(11)쪽으로 전환하여 제2 용기(11)의 포토레지스트(1)를 중간 탱크(4)로 이동시켜 공정을 진행한다.
이때, 작업자는 포토레지스트(1)가 완전히 소비된 상기 용기(10)를 새로운 용기로 교체하여 계속적인 작업이 가능하도록 준비한다.
상기와 같은 본 고안에 의하면 용기의 교체시 발생하는 폐액이나 새로운 용기의 교체시 중간 탱크의 드레인 밸브를 통해 흘러나가는 포토레지스트를 줄일 수 있어 원가를 절감할 수 있을 뿐만아니라 새로운 용기의 교체를 위한 공정의 중단이 없어 생산성 향상의 효과가 있다.
Claims (5)
- 반도체 기판상에 포토레지스트를 공급하는 포토레지스트 공급 장치에 있어서, 상기 포토레지스트를 저장하는 다수개의 용기들; 상기 다수개의 용기들 중 어느 하나의 용기로부터 중간 탱크로 상기 포토레지스트를 공급하기 위한 경로절환수단; 상기 중간 탱크에 설치되어 상기 중간 탱크로 유입되는 포토레지스트의 양을 측정하기 위한 측정수단; 상기 측정수단으로부터 전달된 감지신호에 의해 상기 어느 하나의 용기로부터 상기 중간 탱크로 상기 포토레지스트를 유입시키기 위해 상기 중간 탱크에 연통된 벤츄리관; 상기 벤츄리관과 경로절환수단을 제어하기 위한 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 용기들은 2개가 설치되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 경로절환수단은 3방 밸브인 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 용기들 내의 포토레지스트는 상기 컨트롤러에 기설정된 시간동안 중간 탱크로 공급되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 측정수단은 상기 중간 탱크 내의 포토레지스트의 최고레벨을 측정하는 제1 유량레벨센서와, 최저 레벨을 측정하는 제2 유량레벨센서로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960004503U KR200153640Y1 (ko) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 포토레지스트 공급 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960004503U KR200153640Y1 (ko) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 포토레지스트 공급 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970056058U KR970056058U (ko) | 1997-10-13 |
| KR200153640Y1 true KR200153640Y1 (ko) | 1999-08-02 |
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ID=19451721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR2019960004503U KR200153640Y1 (ko) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 포토레지스트 공급 장치 |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200153640Y1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100941072B1 (ko) * | 2007-12-27 | 2010-02-09 | 세메스 주식회사 | 약액 공급 장치 및 그 방법 |
-
1996
- 1996-03-12 KR KR2019960004503U patent/KR200153640Y1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100941072B1 (ko) * | 2007-12-27 | 2010-02-09 | 세메스 주식회사 | 약액 공급 장치 및 그 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970056058U (ko) | 1997-10-13 |
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