KR20050013687A - 포토레지스트 공급시스템 - Google Patents

포토레지스트 공급시스템

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KR20050013687A
KR20050013687A KR1020030052179A KR20030052179A KR20050013687A KR 20050013687 A KR20050013687 A KR 20050013687A KR 1020030052179 A KR1020030052179 A KR 1020030052179A KR 20030052179 A KR20030052179 A KR 20030052179A KR 20050013687 A KR20050013687 A KR 20050013687A
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KR
South Korea
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photoresist
supply
supply pipe
bottle
buffer chamber
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KR1020030052179A
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Inventor
조순연
최덕규
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삼성전자주식회사
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    • H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring

Abstract

본 발명은 포토레지스트를 수용하는 바틀을 교체함에 있어 포토레지스트의 낭비를 줄이도록 하며 작업시간을 단축시키도록 하는 포토레지스트 공급시스템에 관한 것으로서, 이를 위한 구성은, 바틀에서 웨이퍼에 대향하는 노즐로 이어지는 복수 공급관을 통하여 포토레지스트의 공급을 제어하는 포토레지스트 공급시스템에 있어서, 상기 바틀에 근접한 공급관상에 연결되어 포토레지스트의 유무를 감지하는 PR 감지센서; 상기 PR 감지센서에 연이은 상기 공급관상에 연결되어 유입이 이루어지는 포토레지스트에서 함유된 기포를 분리하여 선택적으로 배기토록 배기관을 연결 구비한 버퍼챔버; 및 상기 PR 감지센서의 신호를 수신하여 상기 바틀의 교체 시점을 확인하고, 상기 배기관을 통한 선택적인 배기를 포함하여 포토레지스트를 유동시키기 위한 각부 구성의 구동을 제어하는 콘트롤러로 이루어진다.

Description

포토레지스트 공급시스템{System of supplying photoresist}
본 발명은 포토레지스트를 수용하는 바틀을 교체함에 있어 포토레지스트의 낭비를 줄이도록 하는 포토레지스트 공급시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자 제조공정 중 포토리소그래피 공정은, 웨이퍼 상에 포토레지스트(photoresist: PR)를 코팅하고, 이에 대하여 노광 및 현상공정을 거쳐 웨이퍼 상에 소망하는 패턴 마스크로서 남도록 하는 것이다. 이러한 포토리소그래피 공정에 있어서, 웨이퍼 상에 포토레지스트의 공급은 바틀, 펌프, 필터 및 노즐을 포함한 각 구성이 연결된 포토레지스트 공급시스템에 의해서 이루어진다.
종래의 포토레지스트 공급시스템 중에는, 미국 특허 제 6,071,094호에 포토레지스트 분배 펌프의 포토레지스트 유입라인을 이원화시킴으로써 포토레지스트 공급압력을 조절하기 위한 내용을 게재한 것이 있고, 미국 특허 제 5,814,151 호에 질소가스를 이용하여 포토레지스트를 공급하는 내용을 게재하고 있다.
이러한 포토레지스트 공급시스템의 종래 기술에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
종래의 포토레지스트 공급시스템(10)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 밀폐 분위기를 이루는 챔버(12)를 구비하고, 포토레지스트를 수용하는 바틀(14)은 상술한 챔버(12) 내부에 투입되어 놓인다. 또한, 챔버(12)는 일 측벽에 퍼지가스 공급라인(16)이 연결되어 있으며, 이 챔버(12)의 내부는 퍼지가스 공급라인(16)을 통한 퍼지가스의 공급에 의해 높은 수준의 압력 분위기를 이루게 된다. 이에 더하여 챔버(12)의 다른 측벽에는 매뉴얼밸브(M/V) 등의 밸브수단을 구비한 배기라인(18)이 연결되어 있으며, 이러한 배기라인(18)는 바틀(14)의 교체과정이나 정비 및 기타 수리 등의 경우에 의해 챔버(12)를 개방함에 앞서 먼저 내부의 공기를 선택적으로 배출시키도록 기능한다. 그리고, 챔버(12)의 또다른 측벽 즉, 도 1에 도시한 바와 같이, 챔버(12)의 상부로부터 관통하여 내부에 위치한 바틀(14)로 이어지는 제 1 공급관(20a)이 연결되며, 이렇게 연결된 제 1 공급관(20a)은 챔버(12) 내부에 형성된 압력 분위기의 영향으로 유동하는 포토레지스트의 유동 통로를 이룬다. 이에 따라 바틀(14) 내에 수용된 포토레지스트는 챔버(12) 내부의 높은 압력 수준에 의해 연통하는 제 1 공급관(20a)을 통해 밀리는 관계로 유동한다. 한편, 상술한 제 1 공급관(20a) 상에는, 도 1에 도시한 바와 같이, 일정 구간에 대하여 유동하는 포토레지스트의 존재 유무 즉, 기포의 존재 유무를 확인하는 PR 감지센서(22)가 설치된다. 이러한 PR 감지센서(22)는 제 1 공급관(20a) 내에 포토레지스트의 충전이 계속적으로 이어지지만 바틀(14) 내의 포토레지스트가 완전 소모된 경우에서와 같이, 포토레지스트의 잔존 여부를 확인할 수 있도록 하는 기능을 담당한다. 이어서 상술한 PR 감지센서(22)에 연이은 공급라인 상에는 트랩 탱크(24)가 연결된다. 이러한 트랩 탱크(24)는 시간의 경과에 따라 성질 변화한 포토레지스트의 찌꺼기 또는 포토레지스트에 함유된 기포를 선택적으로 배출시키기 위한 것으로서 일측에 상술한 포토레지스트 찌꺼기 및 기포를 유도하여 배출하기 위한 분기라인(23)이 연결되고, 이 분기라인(23) 상에는 인가되는 제어신호에 따라 분기라인(23)을 통한 찌꺼기 및 기포 등의 배출을 선택적으로 차단하는 에어밸브(25)가 구비된다. 이에 따라 분기라인(23) 상에 구비된 에어밸브(25)의 개방은 제 1 공급관(20a) 상의 포토레지스트를 분기라인(23)을 통해 강제 방출을 유도한다. 또한, 상술한 트랩 탱크(24)에서 연장 연결되는 제 2 공급관(20b)은 연이어 설치된 펌프(26)와 연결되고, 이 펌프(26)에 연이은 제 3 공급관(20c)은 웨이퍼(W)에 대향하여 포토레지스트를 공급토록 하는 노즐(30)까지 연장 연결된다. 그리고, 상술한 제 3 공급관(20c)의 구간 중에는 펌프(26)에 의해 압송이 이루어지는 포토레지스트 내에 미소 기포를 제거하기 위한 필터(도시 안됨)가 구비되고, 노즐(30)에 근접한 구간에서 포토레지스트에 기포가 함유된 것을 최종적으로 확인한 경우 그 확인 구간 내의 포토레지스트를 상술한 제 1 공급관(20a)으로 되돌리게 하는 리턴관(32)이 삼방향밸브(28)를 통하여 연결된 구성을 이룬다. 그리고, 상술한 노즐(30)은 모터(도시 안됨)에 의해 고속 회전하게 되는 스핀척(C)에 안착 고정되는 웨이퍼(W)에 대향하여 유동 공급되는 포토레지스트를 공급하여 웨이퍼(W) 표면에서 원심력에 따른 균일한 도포가 이루어지도록 한다.
상술한 구성에 있어서, 바틀(14) 내에 포토레지스트가 모두 소진될 경우 그 확인은 제 1 공급관(20a)을 통해 유동하는 포토레지스트가 상술한 PR 감지센서(22)에서 더 이상 검출되지 않는 시점에서 이루어지며, 이러한 확인으로부터 작업자는 각 공급라인(20a, 20b, 20c)으로 연결되는 각부 구성의 구동을 중지시키고, 챔버(12)와 연결된 배기라인(18)을 개방하여 그 내부를 대기압 상태로 형성한 후 바틀(20a)을 교체한다. 이러한 교체 과정에서 PR 감지센서(22)까지 이르는 제 1 공급관(20a) 상에는 퍼지가스가 충전되어 있는 관계로 작업자는 먼저, 트랩 탱크(24)와 연결된 분기라인(23)을 개방하여 그 사이에 있는 포토레지스트와 더불어 퍼지가스를 배출시킨다. 이때 포토레지스트의 유동라인으로부터 퍼지가스가 완전히 배출됨을 확인하는 시점은 에어밸브(25)를 통하여 퍼지가스에 이어 포토레지스트가 통과하는 것을 확인하는 것으로 이루어진다.
이에 따라 상술한 PR 감지센서(22)에서 에어밸브(25)로 이어지는 구간 내의 포토레지스트는 버려져 낭비되는 문제가 있다. 또한, 사용되는 포토레지스트는 점성이 높은 관계로 바틀(14)에서 에어밸브(25)로 유동하기까지 많은 시간이 소요되어 작업성과 설비의 가동률이 저하되는 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 상술한 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 포토레지스트를 수용하는 바틀의 교체 과정에서 고가인 포토레지스트의 낭비를 줄이도록 하고, 교체에서 설비를 구동시키기까지 작업시간을 단축토록 하여 작업성과 설비의 가동률을 향상시키도록 하는 포토레지스트 공급시스템을 제공함에 있다.
도 1은 종래의 포토레지스트 공급시스템을 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트 공급시스템을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시한 리턴관의 연결을 변형한 구성도이다.
도 4는 도 2에 도시한 구성의 변형 실시예를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시에에 따른 포토레티스트 공급시스템을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10: 공급시스템 12: 탱크
14: 바틀 16: 퍼지가스 공급라인
18: 배기라인 20a, 20b, 40a, 40b, 20c: 공급관
22, 44: PR 감지센서 23: 분기라인
24: 트랩 탱크 25: 에어밸브
26: 펌프 28, 54: 삼방향밸브
30: 노즐 32, 52: 리턴관
46a, 46b: 체크밸브 48: 버퍼챔버
50: 배기관
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 특징은, 바틀에서 웨이퍼에 대향하는 노즐로 이어지는 복수 공급관을 통하여 포토레지스트의 공급을 제어하는 포토레지스트 공급시스템에 있어서, 상기 바틀에 근접한 공급관상에 연결되어 포토레지스트의 유무를 감지하는 PR 감지센서; 상기 PR 감지센서에 연이은 상기 공급관상에 연결되어 유입이 이루어지는 포토레지스트에서 함유된 기포를 분리하여 선택적으로 배기토록 배기관을 연결 구비한 버퍼챔버; 및 상기 PR 감지센서의 신호를 수신하여 상기 바틀의 교체 시점을 확인하고, 상기 배기관을 통한 선택적인 배기를 포함하여 포토레지스트를 유동시키기 위한 각부 구성의 구동을 제어하는 콘트롤러로 이루어진다.
또한, 상기 버퍼챔버는 밀폐 분위기의 용기 형상을 이루고, 상면 부위가 수용되는 포토레지스트의 표층에 대하여 소정의 경사각을 이루며, 상기 공급관은 하부에 연결되고, 상기 상면의 하측 부위에는 포토레지스트가 유동하는 다른 공급관이 연결되며, 상기 배기관은 상기 상면의 상측 부위에 접하여 연결되는 것으로 이루어질 수 있다. 이에 대한 다른 구성의 상기 버퍼챔버는, 밀폐 분위기의 용기 형상을 이루고, 상면 부위가 수용되는 포토레지스트의 표층에 대하여 소정의 경사각을 이루며, 상기 공급관은 상기 상면의 하측 부위에 연결되고, 상기 배기관은 상기 상면의 상측 부위에 접하여 연결되며, 하부 바닥에는 포토레지스트가 유동하는 다른 공급관이 연결되는 것으로 이루어질 수도 있다. 그리고, 상기 버퍼챔버의 상측 부위는 내부에 수용된 포토레지스트의 양을 외부에서 육안으로 확인할 수 있도록투명한 재질로 구성함이 바람직하다. 이러한 구성에 더하여 상기 바틀에서 상기 버퍼챔버 사이의 상기 공급관과 상기 버퍼챔버에 근접하는 상기 다른 공급관 상에는 포토레지스트가 역류하는 것을 방지토록 하는 체크밸브를 더 구비토록 함이 바람직하다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징적인 구성은, 바틀에서 웨이퍼에 대향하는 노즐로 이어지는 복수 공급관을 통하여 포토레지스트의 공급을 제어하는 포토레지스트 공급시스템에 있어서, 상기 바틀에 근접한 공급관상에 연결되어 포토레지스트의 유무를 감지하는 PR 감지센서; 상기 PR 감지센서에 연이은 상기 공급관상에 연결되고, 상기 공급관으로부터 포토레지스트의 유동은 분리토록 분기한 배출관과 연결되어 인가되는 제어신호에 따라 포토레지스트의 유동을 제어하는 삼방향밸브; 및 상기 PR 감지센서의 신호를 수신하여 상기 바틀의 교체 시점을 확인하고, 상기 삼방향밸브를 포함하여 포토레지스트를 유동시키기 위한 각부 구성의 구동을 제어하는 콘트롤러로 이루어진다.
이하, 본 발명에 따른 포토레지스트 공급시스템에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트 공급시스템을 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 3은 도 2에 도시한 리턴관의 연결을 변형한 구성도이며, 도 4는 도 2에 도시한 구성의 변형 실시예를 개략적으로 나타낸 구성도이며, 도 5는 본 발명의 다른 실시에에 따른 포토레티스트 공급시스템을 개략적으로 나타낸 구성도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트 공급시스템은, 도 2에 도시한 바와 같이, 챔버(12) 내부는 포토레지스트를 수용하는 바틀(14)이 투입 위치됨에 따라 밀폐 분위기를 이루고, 이어서 연결된 퍼지가스 공급라인(16)을 통한 퍼지가스의 공급으로 높은 수준의 압력 분위기를 이룬다. 이때 바틀(14) 내에 수용된 포토레지스트는 챔버(12) 내의 압력 분위기에 의해 연결된 제 1 공급관(42a)의 안내를 받아 그 내부를 통하여 유동한다. 또한, 챔버(12)의 상측 부위 즉, 바틀(14)에 근접한 제 1 공급관(42a) 상에는 그 내부로 통하여 포토레지스트의 통과 여부 또는 포토레지스 내에 함유되어 유동하는 기포의 유무 및 퍼지가스의 존재 여부 등을 판단하는 PR 감지센서(44)가 연결 설치된다. 그리고, 상술한 PR 감지센서(44)에 연이은 제 1 공급관(42a)은 소정 양의 포토레지스트를 수용토록 용기 형상을 갖는 버퍼챔버(48)와 연결되고, 이 버퍼챔버(48)는 제 1 공급관(42a)을 통해 유입되는 포토레지스트를 일시적으로 수용하였다가 상대측에 연결되는 다른 공급관 즉, 제 2 공급관(42b)으로 포토레지스트의 유동을 유도한다. 이때 버퍼챔버(48)는 내부에 포토레지스트의 유입으로부터 그 내부에 함유되어 있는 기포가 부상하는 성질을 이용하여 포토레지스트와 기포가 상호 자연적으로 분리가 이루어지도록 제 2 공급관(42b)의 연결 부위를 수용된 포토레지스트의 표층보다 하측에 있도록 연결하는 것으로 이루어질 수 있는 것이다.
이러한 버퍼챔버(48) 구성의 구체적인 실시예로는, 도 2에 도시한 바와 같이, 버퍼챔버(48)의 상면 부위를 소정의 경사각을 갖도록 형성하고, 버퍼챔버(48)에 대한 제 1 공급관(42a)의 연결 부위는 상면의 중심에 대향하는 하부 중심 부위에 있도록 하며, 제 2 공급관(42b)의 연결 부위는 상면의 중심으로부터 하측 부위에 연결한다. 또한, 버퍼챔버(48) 상면의 상측 부위에는 포토레지스트 내에서 부상하여 자연적으로 모이는 기포에 대하여 선택적으로 배출토록 하는 배기관(50)의 접하여 연통하도록 연결한 구성으로 이루어질 수 있다. 그리고, 배기관(50) 상에는 포토레지스트의 공급에 따른 버퍼챔버(48) 내의 압력상태를 유지시키도록 배기관(50)을 선택적으로 개방 또는 차단하는 밸브(M/V)를 구비하고 있다. 이러한 밸브(M/V)는 에어밸브로 구성될 수 있으며, 에어밸브로 구성되는 경우 에어밸브의 구동은 전원인가에 따라 에어밸브에 대하여 선택적으로 공기를 공급하도록 콘트롤러에 제어되는 솔레노이드밸브를 포함한 구성으로 이루어질 수 있는 것이다.
상술한 버퍼챔버(48)의 다른 실시 구성은, 도 4에 도시한 바와 같이, 버퍼챔버(48)의 상면 부위를 소정의 경사각을 갖도록 형성하고, 상면의 중심을 기준으로 상측 부위에는 위의 실시 구성과 마찬가지로 배기관(50)을 연결하며, 버퍼챔버(48)에 대한 제 1 공급관(42a)의 연결 부위는 상면의 중심을 기준으로 하여 하측에 있도록 하며, 제 2 공급관(42b)의 연결 부위는 버퍼챔버(48)의 하측 부위에 연결한 것으로 이루어질 수 있다. 그리고, 상술한 각 실시 구성에 있어서, 버퍼챔버(48)의 상측 부위 즉, 상면은 내부에 수용된 포토레지스트의 양을 외부에서 육안으로 확인할 수 있도록 투명한 재질로 구성함이 바람직하다.
이러한 구성에 더하여 상술한 제 1 공급관(42a) 상에는 버퍼챔버(48)에서 바틀(14)로 포토레지스트가 역류하는 것을 방지하기 위한 체크밸브(46a)를 구비하고있으며, 또 버퍼챔버(48)와 근접하는 제 2 공급관(42b) 상에도 체크밸브(46b)를 구비하고 있다. 이러한 체크밸브(46a, 46b)는 바틀(14)의 교체과정에서 또는 버퍼챔버(48) 상부에 모이는 기포들을 배기관(50)을 통해 배출토록 하는 과정 등에서 각 공급관(42a, 42b, …)을 통한 압력 변화로부터 포토레지스트가 역류하는 것을 방지하는 기능을 담당한다.
한편, 위의 각 구성 및 제 2 공급관(42b)을 포함한 그 이후의 구성 부위는, 모두 콘트롤러(도시 안됨)에 의해 제어되며, 제 2 공급관(42b)을 포함한 그 이후의 구성 부위는, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 종래 기술 설명에서 언급한 바와 같이 구동하는 것으로 설명될 수 있다.
이상의 구성으로부터 포토레지스트의 공급과정을 살펴보면, 바틀(14) 내에 포토레지스트가 모두 소진됨은 바틀(14)에 근접한 위치의 PR 감지센서(44)에 의해 확인되고, 이 PR 감지센서(44)의 신호를 수신한 콘트롤러는 포토레지스트를 공급하기 위한 각부 구성의 구동을 정지토록 제어한다. 이어 챔버(12)와 연결된 배기라인(18)을 개방시켜 그 내부를 대기압 상태로 형성하고, 이어 챔버(12)를 개방하여 바틀(20a)을 교체한다. 상술한 과정 중 제 1 공급관(42a) 상에 구비된 체크밸브(46a)와 제 2 공급관(42b) 상에 구비된 체크밸브(46b)는 포토레지스트의 역류를 방지하여 그에 따른 포토레지스트의 손실을 줄임과 동시에 이들에 의해 분리 구분되는 구간의 압력 상태를 계속적으로 유지된다. 또한, 바틀(14)의 교체 이후에 제 1 공급관(42a) 상에 충전된 퍼지가스는 챔버(12) 내의 압력 상승에 의해 유동하는 포토레지스에 밀려 버퍼챔버(48) 내부로 유동하고, 이때 제 1공급관(42a) 상에 있는 체크밸브(46a)는 자연적인 개방이 이루어진다. 이렇게 버퍼챔버(48) 내부로 퍼지가스가 유입되는 과정에서 작업자 또는 콘트롤러는 버퍼챔버(48) 내부에 포토레지스트가 충분한 양으로 충전되기까지 버퍼챔버(48)에 연결된 배기관(50)을 개방한다. 이러한 과정으로부터 배기관(50)을 통한 유체 흐름의 차단과 계속하여 버퍼챔버(48) 내부의 압력이 충분히 상승하면에 제 2 공급관(42b) 상의 체크밸브(46b)가 자연적인 개방이 이루어짐과 동시에 이를 통한 포토레지스트의 유동이 이루어진다.
한편, 본 발명의 다른 실시예의 구성은, 도 5에 도시한 바와 같이, 바틀(14)에 근접한 제 1 공급관(42a)상에 그 내부를 통하여 유동하는 포토레지스트의 유무를 감지하는 PR 감지센서(44)가 설치되고, 이 PR 감지센서(44)에 연이은 제 1 공급관상에는 제 1 공급관(42a)을 통해 유동하는 포토레지스트의 진행을 인가되는 제어신호에 따라 웨이퍼(W)에 대향하는 노즐(30)로 이어지는 제 2 공급관(42b) 또는 제 1 공급관(42a)을 통하여 유동하는 퍼지가스를 배출토록 분기 연결한 배기관(50)에 대하여 선택적으로 개방하는 삼방향밸브(54)가 설치되어 이루어진다. 또한, 상술한 제 1 공급관(42a) 상에는 삼방향밸브(54)에서 바틀(14)로 포토레지스트가 역류하는 것을 방지하기 위한 체크밸브(46a)를 구비하고 있으며, 또 삼방향밸브(54)와 근접하는 제 2 공급관(42b) 상에도 체크밸브(46b)를 구비하고 있다. 그리고, PR 감지센서(44)는 제 1 공급관(42a)을 통한 포토레지스트의 유동 여부의 검출 신호를 콘트롤러(도시 안됨)에 인가하고, 콘트롤러는 그 확인으로부터 삼방향밸브(54)를포함한 그 이후에 연이은 각부 구성의 구동을 제어하는 구성을 이룬다. 이러한 구성은 바틀(14)의 교체에서 각부 구성의 설비를 재가동시키는데 걸리는 작업시간을 상술한 일 실시예에 비교하여 보다 단축시킬 수 있게 된다.
따라서, 본 발명에 의하면, 바틀과 근접하는 공급관 상에 PR 감지센서가 설치됨으로써 포토레지스트의 유동 여부의 확인이 짧은 시간 내에 이루어지고, 버퍼챔버 또는 삼방향밸브를 통하여 포토레지스트에 대한 기체 상태의 유체를 빠르게 분리하게 됨으로써 포토레지스트의 낭비를 줄일 뿐 아니라 바틀 교체에 대한 작업시간이 단축되며, 이에 따라 작업성과 설비의 가동률이 향상되는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.

Claims (9)

  1. 바틀에서 웨이퍼에 대향하는 노즐로 이어지는 복수 공급관을 통하여 포토레지스트의 공급을 제어하는 포토레지스트 공급시스템에 있어서,
    상기 바틀에 근접한 공급관상에 연결되어 포토레지스트의 유무를 감지하는 PR 감지센서;
    상기 PR 감지센서에 연이은 상기 공급관상에 연결되어 유입이 이루어지는 포토레지스트에서 함유된 기포를 분리하여 선택적으로 배기토록 배기관을 연결 구비한 버퍼챔버; 및
    상기 PR 감지센서의 신호를 수신하여 상기 바틀의 교체 시점을 확인하고, 상기 배기관을 통한 선택적인 배기를 포함하여 포토레지스트를 유동시키기 위한 각부 구성의 구동을 제어하는 콘트롤러를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 포토레지스트 공급시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼챔버는 밀폐 분위기의 용기 형상을 이루고, 상면 부위가 수용되는 포토레지스트의 표층에 대하여 소정의 경사각을 이루며, 상기 공급관은 하부에 연결되고, 상기 상면의 하측 부위에는 포토레지스트가 유동하는 다른 공급관이 연결되며, 상기 배기관은 상기 상면의 상측 부위에 접하여 연결되는 것을 특징으로 하는 상기 포토레지스트 공급시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼챔버는, 밀폐 분위기의 용기 형상을 이루고, 상면 부위가 수용되는 포토레지스트의 표층에 대하여 소정의 경사각을 이루며, 상기 공급관은 상기 상면의 하측 부위에 연결되고, 상기 배기관은 상기 상면의 상측 부위에 접하여 연결되며, 하부 바닥에는 포토레지스트가 유동하는 다른 공급관이 연결되는 것을 특징으로 하는 상기 포토레지스트 공급시스템.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 버퍼챔버의 상측 부위는 내부에 수용된 포토레지스트의 양을 외부에서 육안으로 확인할 수 있도록 투명한 재질의 것으로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 포토레지스트 공급시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 바틀에서 상기 버퍼챔버 사이의 상기 공급관상에 포토레지스트가 역류하는 것을 방지토록 하는 체크밸브를 더 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기포토레지스트 공급시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼챔버에 근접하는 상기 다른 공급관상에 포토레지스트가 역류하는 것을 방지토록 하는 체크밸브를 더 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기 포토레지스트 공급시스템.
  7. 바틀에서 웨이퍼에 대향하는 노즐로 이어지는 복수 공급관을 통하여 포토레지스트의 공급을 제어하는 포토레지스트 공급시스템에 있어서,
    상기 바틀에 근접한 공급관상에 연결되어 포토레지스트의 유무를 감지하는 PR 감지센서;
    상기 PR 감지센서에 연이은 상기 공급관상에 연결되고, 상기 공급관으로부터 포토레지스트의 유동은 분리토록 분기한 배출관과 연결되어 인가되는 제어신호에 따라 포토레지스트의 유동을 제어하는 삼방향밸브; 및
    상기 PR 감지센서의 신호를 수신하여 상기 바틀의 교체 시점을 확인하고, 상기 삼방향밸브를 포함하여 포토레지스트를 유동시키기 위한 각부 구성의 구동을 제어하는 콘트롤러를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 포토레지스트 공급시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 바틀에서 상기 삼방향밸브 사이의 상기 공급관상에 포토레지스트가 역류하는 것을 방지토록 하는 체크밸브를 더 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기 포토레지스트 공급시스템.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 삼방향밸브에 연결되어 근접하는 상기 다른 공급관상에 포토레지스트가 역류하는 것을 방지토록 하는 체크밸브를 더 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기 포토레지스트 공급시스템.
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CN114345644A (zh) * 2020-10-13 2022-04-15 中国科学院微电子研究所 光刻胶输送系统

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