JPH0985011A - 脱気モジュールの液漏れ検出装置 - Google Patents
脱気モジュールの液漏れ検出装置Info
- Publication number
- JPH0985011A JPH0985011A JP7269490A JP26949095A JPH0985011A JP H0985011 A JPH0985011 A JP H0985011A JP 7269490 A JP7269490 A JP 7269490A JP 26949095 A JP26949095 A JP 26949095A JP H0985011 A JPH0985011 A JP H0985011A
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- Japan
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- gas
- line
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 脱気モジュールの異常を判定する水漏れ検出
装置を提供する。 【解決手段】 液体供給部１と処理液給配部２との間の
液体供給ライン３に脱気モジュール４を挿入し、この脱
気モジュール４と真空ポンプ５との間の真空吸引ライン
６に気液分離器７を設け、この気液分離器７に液位セン
サ８を設けるとともに排液ライン９を接続し、この排液
ライン９に分離液の貯留，排出を制御する電磁弁１０を
設けた構成。
装置を提供する。 【解決手段】 液体供給部１と処理液給配部２との間の
液体供給ライン３に脱気モジュール４を挿入し、この脱
気モジュール４と真空ポンプ５との間の真空吸引ライン
６に気液分離器７を設け、この気液分離器７に液位セン
サ８を設けるとともに排液ライン９を接続し、この排液
ライン９に分離液の貯留，排出を制御する電磁弁１０を
設けた構成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、脱気装置の技術
分野に属するもので、詳しくは脱気モジュールに関する
ものである。
分野に属するもので、詳しくは脱気モジュールに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、液体中に溶存する溶存気
体を除去する脱気装置として、図４に示すように、液体
供給ライン２１に脱気モジュール２２を挿入し、この脱
気モジュール２２に真空吸引ライン２３を介して真空ポ
ンプ２４を接続した構成のものがある。
体を除去する脱気装置として、図４に示すように、液体
供給ライン２１に脱気モジュール２２を挿入し、この脱
気モジュール２２に真空吸引ライン２３を介して真空ポ
ンプ２４を接続した構成のものがある。
【０００３】前記脱気モジュール２２は、図５に示すよ
うに、ケーシング本体２５内に樹脂製の中空糸２６を多
数挿入し、前記液体供給ライン２１から流入する被脱気
液が前記中空糸２６内を通過する過程で、中空糸２６の
外側を真空ポンプ２４で真空吸引して液体中の溶存気体
を吸引除去するものである。しかしながら、長期間の使
用により図６に示すように前記中空糸２６を形成する気
体分離膜２７が劣化し、液体中の溶存気体分子２８を真
空吸引するときに水分子２９も同時に吸引するようにな
る。このように中空糸２６が劣化し、液体漏れが発生す
る状態では液体中の溶存気体を除去する真空吸引レベル
が低下し、処理液中の溶存気体濃度が高くなり不具合が
発生する。
うに、ケーシング本体２５内に樹脂製の中空糸２６を多
数挿入し、前記液体供給ライン２１から流入する被脱気
液が前記中空糸２６内を通過する過程で、中空糸２６の
外側を真空ポンプ２４で真空吸引して液体中の溶存気体
を吸引除去するものである。しかしながら、長期間の使
用により図６に示すように前記中空糸２６を形成する気
体分離膜２７が劣化し、液体中の溶存気体分子２８を真
空吸引するときに水分子２９も同時に吸引するようにな
る。このように中空糸２６が劣化し、液体漏れが発生す
る状態では液体中の溶存気体を除去する真空吸引レベル
が低下し、処理液中の溶存気体濃度が高くなり不具合が
発生する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記問題
点に鑑み、脱気モジュールの劣化を判定する液漏れ検出
装置を提供することを目的とするものである。
点に鑑み、脱気モジュールの劣化を判定する液漏れ検出
装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記課題を
解決するためになされたものであって、請求項１に記載
の発明は、液体供給部と処理液給配部との間の液体供給
ラインに脱気モジュールを挿入し、この脱気モジュール
と真空ポンプとの間の真空吸引ラインに気液分離器を設
け、この気液分離器に液位センサを設けるとともに排液
ラインを接続し、この排液ラインに分離液の貯留，排出
を制御する電磁弁を設けたことを特徴としており、また
請求項２に記載の発明は、液体供給部と処理液給配部と
の間の液体供給ラインに脱気モジュールを挿入し、この
脱気モジュールと真空ポンプを真空吸引ラインで接続
し、前記真空ポンプの排気ラインに気液分離器を設け、
この気液分離器に液位センサを設けるとともに排液ライ
ンを接続し、この排液ラインに分離液の貯留，排出を制
御する電磁弁を設けたことを特徴としている。
解決するためになされたものであって、請求項１に記載
の発明は、液体供給部と処理液給配部との間の液体供給
ラインに脱気モジュールを挿入し、この脱気モジュール
と真空ポンプとの間の真空吸引ラインに気液分離器を設
け、この気液分離器に液位センサを設けるとともに排液
ラインを接続し、この排液ラインに分離液の貯留，排出
を制御する電磁弁を設けたことを特徴としており、また
請求項２に記載の発明は、液体供給部と処理液給配部と
の間の液体供給ラインに脱気モジュールを挿入し、この
脱気モジュールと真空ポンプを真空吸引ラインで接続
し、前記真空ポンプの排気ラインに気液分離器を設け、
この気液分離器に液位センサを設けるとともに排液ライ
ンを接続し、この排液ラインに分離液の貯留，排出を制
御する電磁弁を設けたことを特徴としている。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を液
体供給ラインに脱気装置を挿入したものについて説明す
る。液体供給ラインに挿入した脱気装置は、液体中の溶
存気体を除去する脱気モジュールと、この溶存気体を真
空吸引する真空ポンプとを真空吸引ラインで接続した構
成のものである。この脱気装置において、前記脱気モジ
ュールと真空ポンプとを接続した真空吸引ラインに液漏
れ検出装置を挿入している。この液漏れ検出装置は、気
液分離器と、この気液分離器の下部に液位センサを設け
るとともに排液ラインを接続し、この排液ラインに分離
液の貯留，排出を制御する電磁弁を設けた構成となって
いる。そして、前記脱気装置を運転中は、前記液漏れ検
出装置を間欠的に作動させ、予め設定した時間内に所定
量の分離液が気液分離器内に貯留したときは、前記液位
センサが液位を検知し前記脱気モジュールが劣化してい
ると判断し、例えば警報等を発して脱気モジュールの異
常を通報する。また、前記設定時間内に所定量の分離液
を貯留しないときは、前記脱気モジュールは正常と判断
し、適宜電磁弁を開閉して分離液を排出する。したがっ
て、この液漏れ検出装置で脱気モジュールの劣化を判定
できるので、脱気装置の正常運転を確保するとともにメ
ンテナンスにも好適である。
体供給ラインに脱気装置を挿入したものについて説明す
る。液体供給ラインに挿入した脱気装置は、液体中の溶
存気体を除去する脱気モジュールと、この溶存気体を真
空吸引する真空ポンプとを真空吸引ラインで接続した構
成のものである。この脱気装置において、前記脱気モジ
ュールと真空ポンプとを接続した真空吸引ラインに液漏
れ検出装置を挿入している。この液漏れ検出装置は、気
液分離器と、この気液分離器の下部に液位センサを設け
るとともに排液ラインを接続し、この排液ラインに分離
液の貯留，排出を制御する電磁弁を設けた構成となって
いる。そして、前記脱気装置を運転中は、前記液漏れ検
出装置を間欠的に作動させ、予め設定した時間内に所定
量の分離液が気液分離器内に貯留したときは、前記液位
センサが液位を検知し前記脱気モジュールが劣化してい
ると判断し、例えば警報等を発して脱気モジュールの異
常を通報する。また、前記設定時間内に所定量の分離液
を貯留しないときは、前記脱気モジュールは正常と判断
し、適宜電磁弁を開閉して分離液を排出する。したがっ
て、この液漏れ検出装置で脱気モジュールの劣化を判定
できるので、脱気装置の正常運転を確保するとともにメ
ンテナンスにも好適である。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は、この発明に係る液体供給ライン
３に脱気装置を挿入した第１実施例の構成を示す説明図
であり、図５は、脱気モジュールを破断して示す説明図
であり、また図６は脱気モジュールの脱気メカニズムを
示す説明図である。
細に説明する。図１は、この発明に係る液体供給ライン
３に脱気装置を挿入した第１実施例の構成を示す説明図
であり、図５は、脱気モジュールを破断して示す説明図
であり、また図６は脱気モジュールの脱気メカニズムを
示す説明図である。
【０００８】図１において、この発明に係る液漏れ検出
装置は、液体供給部１と処理液給配部２との間の液体供
給ライン３に脱気モジュール４を挿入し、この脱気モジ
ュール４と真空ポンプ５との間の真空吸引ライン６に気
液分離器７を設け、この気液分離器７の下部に液位セン
サ８を設けるとともに排液ライン９を接続し、この排液
ライン９の他端を前記真空吸引ライン６の下流側に接続
し、この排液ライン９に前記気液分離器７内の分離液を
貯留，排出するための電磁弁１０を設け、この電磁弁１
０と前記液位センサ８を信号線１１を介して接続し、こ
の信号線１１を制御器（図示省略）に接続している。符
号１２は、前記真空ポンプ５の排気ラインである。尚、
この第１実施例では真空ポンプ５に水封式真空ポンプを
適用している。
装置は、液体供給部１と処理液給配部２との間の液体供
給ライン３に脱気モジュール４を挿入し、この脱気モジ
ュール４と真空ポンプ５との間の真空吸引ライン６に気
液分離器７を設け、この気液分離器７の下部に液位セン
サ８を設けるとともに排液ライン９を接続し、この排液
ライン９の他端を前記真空吸引ライン６の下流側に接続
し、この排液ライン９に前記気液分離器７内の分離液を
貯留，排出するための電磁弁１０を設け、この電磁弁１
０と前記液位センサ８を信号線１１を介して接続し、こ
の信号線１１を制御器（図示省略）に接続している。符
号１２は、前記真空ポンプ５の排気ラインである。尚、
この第１実施例では真空ポンプ５に水封式真空ポンプを
適用している。
【０００９】前記脱気モジュール４は、図５に示すよう
に、ケーシング本体２５内に樹脂製の中空糸２６を多数
挿入し、液体供給部１から流入する被脱気液が前記各中
空糸２６内を通過する過程において、図６の脱気メカニ
ズムに示すように、中空糸２６の気体分離膜２７の外側
を真空ポンプ５で真空吸引することにより、中空糸２６
の内外に気体の分圧差をつくり、それを駆動力として中
空糸２６内を通る被脱気液から溶存気体分子２８を吸引
除去するものである。
に、ケーシング本体２５内に樹脂製の中空糸２６を多数
挿入し、液体供給部１から流入する被脱気液が前記各中
空糸２６内を通過する過程において、図６の脱気メカニ
ズムに示すように、中空糸２６の気体分離膜２７の外側
を真空ポンプ５で真空吸引することにより、中空糸２６
の内外に気体の分圧差をつくり、それを駆動力として中
空糸２６内を通る被脱気液から溶存気体分子２８を吸引
除去するものである。
【００１０】ところで、前記中空糸２６を形成する気体
分離膜２７が長期間の使用により劣化し、前記気体分離
膜２７にピンホールが発生し真空ポンプ５で真空吸引す
るときに気体分子と水分子（分離液）を吸引する。この
ように気体分離膜２７にピンホールができると、前記中
空糸２６の内外の気体分圧差がなくなり、被脱気液中に
溶存する溶存気体を真空吸引する能力が低下し、処理液
中の溶存気体濃度が高くなり不具合が発生する。
分離膜２７が長期間の使用により劣化し、前記気体分離
膜２７にピンホールが発生し真空ポンプ５で真空吸引す
るときに気体分子と水分子（分離液）を吸引する。この
ように気体分離膜２７にピンホールができると、前記中
空糸２６の内外の気体分圧差がなくなり、被脱気液中に
溶存する溶存気体を真空吸引する能力が低下し、処理液
中の溶存気体濃度が高くなり不具合が発生する。
【００１１】そこで、この発明の脱気モジュール４の液
漏れ検出装置を制御器（図示省略）からの信号に基づき
間欠的に作動させる。すなわち、予め設定した時間内に
所定量の前記分離液が前記気液分離器７内に貯留したと
きは、前記液位センサ８が液位を検知し制御器に通報す
る。制御器は、液位センサ８からの信号により前記脱気
モジュール４が劣化していると判断し、警報器（図示省
略）を介して通報する。また、前記設定時間内に液位セ
ンサ８からの信号がないときは、制御器は前記脱気モジ
ュール４が正常であると判断し、前記電磁弁１０を適宜
開閉し、つぎの液漏れ検出装置の作動に備える。尚、気
液分離器７内の少量の前記分離液等は、前記電磁弁１０
開のとき前記排液ライン９を介して前記真空吸引ライン
６内に流入し、前記真空ポンプ５の排気ライン１２から
系外に排出される。以上のように、この発明の液漏れ検
出装置を設けることにより脱気モジュール４の劣化を判
定できるので、脱気装置の正常運転を確保するとともに
メンテナンスにも好適である。
漏れ検出装置を制御器（図示省略）からの信号に基づき
間欠的に作動させる。すなわち、予め設定した時間内に
所定量の前記分離液が前記気液分離器７内に貯留したと
きは、前記液位センサ８が液位を検知し制御器に通報す
る。制御器は、液位センサ８からの信号により前記脱気
モジュール４が劣化していると判断し、警報器（図示省
略）を介して通報する。また、前記設定時間内に液位セ
ンサ８からの信号がないときは、制御器は前記脱気モジ
ュール４が正常であると判断し、前記電磁弁１０を適宜
開閉し、つぎの液漏れ検出装置の作動に備える。尚、気
液分離器７内の少量の前記分離液等は、前記電磁弁１０
開のとき前記排液ライン９を介して前記真空吸引ライン
６内に流入し、前記真空ポンプ５の排気ライン１２から
系外に排出される。以上のように、この発明の液漏れ検
出装置を設けることにより脱気モジュール４の劣化を判
定できるので、脱気装置の正常運転を確保するとともに
メンテナンスにも好適である。
【００１２】つぎに、この発明の第２実施例を図２に基
づいて説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同
一符号を付し、重複する説明は省略する。この第２実施
例は、図２に示すように、真空吸引ライン６に挿入した
気液分離器７の下部に液位センサ８を設けるとともに排
液ライン９を接続し、この排液ライン９に第１電磁弁１
３，第２電磁弁１４および第３電磁弁１５を順次挿入
し、各電磁弁１３，１４，１５と前記液位センサ８をそ
れぞれ信号線１１を介して接続し、この信号線１１を制
御器（図示省略）に接続している。
づいて説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同
一符号を付し、重複する説明は省略する。この第２実施
例は、図２に示すように、真空吸引ライン６に挿入した
気液分離器７の下部に液位センサ８を設けるとともに排
液ライン９を接続し、この排液ライン９に第１電磁弁１
３，第２電磁弁１４および第３電磁弁１５を順次挿入
し、各電磁弁１３，１４，１５と前記液位センサ８をそ
れぞれ信号線１１を介して接続し、この信号線１１を制
御器（図示省略）に接続している。
【００１３】この第２実施例は、前記第１実施例と同様
に、液漏れ検出装置を制御器（図示省略）からの信号に
基づいて間欠的に作動させ、脱気モジュール４の異常時
の作用も同様であるが、正常時における気液分離器７内
の少量の分離液排出構造が相違している。すなわち、気
液分離器７の下部に接続した排液ライン９は、前記真空
吸引ライン６に接続せず直接系外に排出するようにした
ものである。したがって、前記気液分離器７の少量の分
離液等を排出するときは、第２，第３電磁弁１４，１５
を閉じ、第１電磁弁１３を開き前記分離器７内の分離液
を重力落下させる。つぎに、第１電磁弁１３を閉じ、第
２電磁弁１４を開き、大気圧を流入させるとともに第３
電磁弁１５を開いて分離液を系外に排出する。したがっ
て、前記真空吸引ライン６に外気が流入することはな
い。
に、液漏れ検出装置を制御器（図示省略）からの信号に
基づいて間欠的に作動させ、脱気モジュール４の異常時
の作用も同様であるが、正常時における気液分離器７内
の少量の分離液排出構造が相違している。すなわち、気
液分離器７の下部に接続した排液ライン９は、前記真空
吸引ライン６に接続せず直接系外に排出するようにした
ものである。したがって、前記気液分離器７の少量の分
離液等を排出するときは、第２，第３電磁弁１４，１５
を閉じ、第１電磁弁１３を開き前記分離器７内の分離液
を重力落下させる。つぎに、第１電磁弁１３を閉じ、第
２電磁弁１４を開き、大気圧を流入させるとともに第３
電磁弁１５を開いて分離液を系外に排出する。したがっ
て、前記真空吸引ライン６に外気が流入することはな
い。
【００１４】つぎに、この発明の第３実施例を図３に基
づいて説明する。尚、前記第１，第２実施例と同一部材
には同一符号を付し、重複する説明は省略する。この第
３実施例は、図３に示すように、真空ポンプ５の排気ラ
イン１２に挿入した気液分離器７の下部に液位センサ８
を設けるとともに排液ライン９を接続し、この排液ライ
ン９に電磁弁１０を挿入し、この電磁弁１０と前記液位
センサ８を信号線１１を介して接続し、この信号線１１
を制御器（図示省略）に接続している。尚、この第３実
施例では真空ポンプ５にドライ式真空ポンプ，例えばド
ライスクリュ式またはベーン式真空ポンプを適用してい
る。
づいて説明する。尚、前記第１，第２実施例と同一部材
には同一符号を付し、重複する説明は省略する。この第
３実施例は、図３に示すように、真空ポンプ５の排気ラ
イン１２に挿入した気液分離器７の下部に液位センサ８
を設けるとともに排液ライン９を接続し、この排液ライ
ン９に電磁弁１０を挿入し、この電磁弁１０と前記液位
センサ８を信号線１１を介して接続し、この信号線１１
を制御器（図示省略）に接続している。尚、この第３実
施例では真空ポンプ５にドライ式真空ポンプ，例えばド
ライスクリュ式またはベーン式真空ポンプを適用してい
る。
【００１５】この第３実施例は、真空ポンプ５にドライ
式のものを適用したので、真空ポンプ５の排気ライン１
２に気液分離器７を挿入し、排液ライン９より直接分離
液を系外に排出するようにしたものである。尚、第３実
施例における水漏れ検出装置の作用は、前記第１，第２
実施例と同様であるので説明を省略する。
式のものを適用したので、真空ポンプ５の排気ライン１
２に気液分離器７を挿入し、排液ライン９より直接分離
液を系外に排出するようにしたものである。尚、第３実
施例における水漏れ検出装置の作用は、前記第１，第２
実施例と同様であるので説明を省略する。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、液体供給ラインに脱気モジュールを挿入し、この脱
気モジュールと真空ポンプとの間の真空吸引ラインに気
液分離器を設け、この気液分離器に液位センサを設ける
とともに排液ラインを接続し、この排液ラインに分離液
の貯留，排出を制御する電磁弁を設けたので、前記脱気
モジュールの稼動中において、前記気液分離器内に貯留
する分離液の数値により、脱気モジュールの異常（劣
化）を判定することができる。したがって、この水漏れ
検出装置を設けることにより脱気装置の正常運転を確保
し、所定の脱気液を供給することができる。また、脱気
モジュールのメンテナンス上でも必須の装置である。
ば、液体供給ラインに脱気モジュールを挿入し、この脱
気モジュールと真空ポンプとの間の真空吸引ラインに気
液分離器を設け、この気液分離器に液位センサを設ける
とともに排液ラインを接続し、この排液ラインに分離液
の貯留，排出を制御する電磁弁を設けたので、前記脱気
モジュールの稼動中において、前記気液分離器内に貯留
する分離液の数値により、脱気モジュールの異常（劣
化）を判定することができる。したがって、この水漏れ
検出装置を設けることにより脱気装置の正常運転を確保
し、所定の脱気液を供給することができる。また、脱気
モジュールのメンテナンス上でも必須の装置である。
【図１】この発明の第１実施例を示す脱気装置の概略説
明図である。
明図である。
【図２】この発明の第２実施例を示す脱気装置の概略説
明図である。
明図である。
【図３】この発明の第３実施例を示す脱気装置の概略説
明図である。
明図である。
【図４】従来の脱気装置の概略説明図である。
【図５】脱気モジュールを破断して示す説明図である。
【図６】脱気モジュールの脱気メカニズムを示す説明図
である。
である。
１ 液体供給部 ２ 処理液給配部 ３ 液体供給ライン ４ 脱気モジュール ５ 真空ポンプ ６ 真空吸引ライン ７ 気液分離器 ８ 液位センサ ９ 排液ライン １０ 電磁弁 １２ 排気ライン
Claims (2)
- 【請求項１】 液体供給部１と処理液給配部２との間の
液体供給ライン３に脱気モジュール４を挿入し、この脱
気モジュール４と真空ポンプ５との間の真空吸引ライン
６に気液分離器７を設け、この気液分離器７に液位セン
サ８を設けるとともに排液ライン９を接続し、この排液
ライン９に分離液の貯留，排出を制御する電磁弁１０を
設けたことを特徴とする脱気モジュールの液漏れ検出装
置。 - 【請求項２】 液体供給部１と処理液給配部２との間の
液体供給ライン３に脱気モジュール４を挿入し、この脱
気モジュール４と真空ポンプ５を真空吸引ライン６で接
続し、前記真空ポンプ５の排気ライン１２に気液分離器
７を設け、この気液分離器７に液位センサ８を設けると
ともに排液ライン９を接続し、この排液ライン９に分離
液の貯留，排出を制御する電磁弁１０を設けたことを特
徴とする脱気モジュールの液漏れ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7269490A JPH0985011A (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | 脱気モジュールの液漏れ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7269490A JPH0985011A (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | 脱気モジュールの液漏れ検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0985011A true JPH0985011A (ja) | 1997-03-31 |
Family
ID=17473172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7269490A Pending JPH0985011A (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | 脱気モジュールの液漏れ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0985011A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11333206A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-07 | Nitto Denko Corp | 脱気装置 |
| JP2007152182A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Nitto Denko Corp | 脱気装置および脱気システム |
| CN103389189A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-11-13 | 国家电网公司 | 基于变径活塞泵的油气分离装置的自检方法 |
| CN106195427A (zh) * | 2016-09-27 | 2016-12-07 | 刘全胜 | 液体管路阀门内漏监测装置及其使用方法和应用 |
| CN106370407A (zh) * | 2016-08-30 | 2017-02-01 | 芜湖三花制冷配件有限公司 | 一种气液分离器压力实验装置及耐压试验方法 |
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