JPH11333206A - 脱気装置 - Google Patents
脱気装置Info
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- JPH11333206A JPH11333206A JP10162941A JP16294198A JPH11333206A JP H11333206 A JPH11333206 A JP H11333206A JP 10162941 A JP10162941 A JP 10162941A JP 16294198 A JP16294198 A JP 16294198A JP H11333206 A JPH11333206 A JP H11333206A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】気体透過性チュ−ブを用いて脱気処理を行う場
合、液漏れがあっても装置を停止するまでの間において
も、安定な脱気処理を行い得る脱気装置を提供する。 【解決手段】被脱気液体流入口１１と流出口１２を有す
る減圧チャンバ−１に気体透過性チュ−ブ２を収容し、
該チュ−ブ２の両端を前記流入口１１と流出口１２に連
結し、前記チャンバ−内底部１３に達する真空引き用管
３を前記チャンバ−１に取付けた。
合、液漏れがあっても装置を停止するまでの間において
も、安定な脱気処理を行い得る脱気装置を提供する。 【解決手段】被脱気液体流入口１１と流出口１２を有す
る減圧チャンバ−１に気体透過性チュ−ブ２を収容し、
該チュ−ブ２の両端を前記流入口１１と流出口１２に連
結し、前記チャンバ−内底部１３に達する真空引き用管
３を前記チャンバ−１に取付けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液体の脱気装置に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】液体中の溶存ガスは、管の腐食進行、気
泡の発生、熱交換率の低下等を生じるので、液体の使用
目的の如何によっては脱気が必要であり、その脱気装置
の一つとして、図３に示すように、被脱気液体流入口１
１’と流出口１２’を有する減圧チャンバ−１’内に気
体透過性チュ−ブ２’を収容し、該チュ−ブ２’の両端
を前記流入口１１’と流出口１２’に連結し、チャンバ
−１’内をチャンバ−上部の真空引き口３２’から真空
ポンプで減圧しつつ溶存ガス含有液体を気体透過性チュ
−ブ２’に流通させていく方式が公知である。
泡の発生、熱交換率の低下等を生じるので、液体の使用
目的の如何によっては脱気が必要であり、その脱気装置
の一つとして、図３に示すように、被脱気液体流入口１
１’と流出口１２’を有する減圧チャンバ−１’内に気
体透過性チュ−ブ２’を収容し、該チュ−ブ２’の両端
を前記流入口１１’と流出口１２’に連結し、チャンバ
−１’内をチャンバ−上部の真空引き口３２’から真空
ポンプで減圧しつつ溶存ガス含有液体を気体透過性チュ
−ブ２’に流通させていく方式が公知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記脱気装置のチャン
バ−内に液漏れが生じると、やがては漏れ液が真空引き
ポンプに吸い込まれ、これにより液漏れを検知して脱気
装置の運転を停止している。しかしながら、通常、液漏
れ流量が僅少であり漏れ速度が遅いので、チャンバ−内
の漏れ液の液面が真空引きポンプで吸い込まれ得るレベ
ルに達するまでにある程度の時間Ｔが経過し、その間、
図３のＬ’で示すように気体透過性チュ−ブ２’が漏れ
液に浸漬された状態とされる。図３において、Ｌ0’は
真空引きポンプによる漏れ液の吸い込みが可能となる液
面を仮想的に示している。而るに、図３の液面Ｌ’で示
すように気体透過性チュ−ブ２’の大部分が漏れ液に浸
漬された状態では、気体透過性チュ−ブの有効面積が減
少するので、脱気流量Ｉがそれだけ低減される。而し
て、上記脱気装置停止までの時間Ｔの間の脱気処理は脱
気不良となり、安定な脱気処理を保証し難い。
バ−内に液漏れが生じると、やがては漏れ液が真空引き
ポンプに吸い込まれ、これにより液漏れを検知して脱気
装置の運転を停止している。しかしながら、通常、液漏
れ流量が僅少であり漏れ速度が遅いので、チャンバ−内
の漏れ液の液面が真空引きポンプで吸い込まれ得るレベ
ルに達するまでにある程度の時間Ｔが経過し、その間、
図３のＬ’で示すように気体透過性チュ−ブ２’が漏れ
液に浸漬された状態とされる。図３において、Ｌ0’は
真空引きポンプによる漏れ液の吸い込みが可能となる液
面を仮想的に示している。而るに、図３の液面Ｌ’で示
すように気体透過性チュ−ブ２’の大部分が漏れ液に浸
漬された状態では、気体透過性チュ−ブの有効面積が減
少するので、脱気流量Ｉがそれだけ低減される。而し
て、上記脱気装置停止までの時間Ｔの間の脱気処理は脱
気不良となり、安定な脱気処理を保証し難い。
【０００４】本発明の目的は、気体透過性チュ−ブを用
いて脱気処理を行う場合、液漏れがあっても装置を停止
するまでの間においても、安定な脱気処理を行い得る脱
気装置を提供することにある。
いて脱気処理を行う場合、液漏れがあっても装置を停止
するまでの間においても、安定な脱気処理を行い得る脱
気装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る脱気装置
は、被脱気液体流入口と流出口を有する減圧チャンバ−
に気体透過性チュ−ブを収容し、該チュ−ブ両端を前記
流入口と流出口に連結し、前記チャンバ−内底部に達す
る真空引き用管を前記チャンバ−に取付けたことを特徴
とする構成であり、真空引き用管の先端面とチャンバ−
内底面とを互いに非並行とするように、その先端面を斜
面とすること、または、真空引き用管の先端部を曲げ加
工することが好ましい。
は、被脱気液体流入口と流出口を有する減圧チャンバ−
に気体透過性チュ−ブを収容し、該チュ−ブ両端を前記
流入口と流出口に連結し、前記チャンバ−内底部に達す
る真空引き用管を前記チャンバ−に取付けたことを特徴
とする構成であり、真空引き用管の先端面とチャンバ−
内底面とを互いに非並行とするように、その先端面を斜
面とすること、または、真空引き用管の先端部を曲げ加
工することが好ましい。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。図１は本発明に係る脱気
装置の一例を示している。図１において、１は真空チャ
ンバ−であり、被脱気液体流入口１１と流出口１２を備
えている。２は気体透過性チュ−ブであり、チャンバ−
１内に納め、両端を被脱気液体流入口１１と流出口１２
に連結してある。３は真空引き用管であり、チャンバ−
上側壁よりチャンバ−１内に導入して先端３１をチャン
バ−内底部１３に位置させてある。３２は真空引き口で
ある。
実施の形態について説明する。図１は本発明に係る脱気
装置の一例を示している。図１において、１は真空チャ
ンバ−であり、被脱気液体流入口１１と流出口１２を備
えている。２は気体透過性チュ−ブであり、チャンバ−
１内に納め、両端を被脱気液体流入口１１と流出口１２
に連結してある。３は真空引き用管であり、チャンバ−
上側壁よりチャンバ−１内に導入して先端３１をチャン
バ−内底部１３に位置させてある。３２は真空引き口で
ある。
【０００７】本発明に係る脱気装置を使用して液体を脱
気するには、真空引き口３２に真空引きポンプを連結
し、チャンバ−１内を所定の減圧度に保持しつつ気体透
過性チュ−ブ２に液体を流通させていく。
気するには、真空引き口３２に真空引きポンプを連結
し、チャンバ−１内を所定の減圧度に保持しつつ気体透
過性チュ−ブ２に液体を流通させていく。
【０００８】この脱気処理中に、チャンバ−１内に液漏
れが生じ、真空引き用管３の先端３１が漏れ液面で閉ざ
された状態になれば、真空引き用管３内への給気が実質
上停止され真空引き用管３内からの真空引きポンプによ
る排気のみが行われる結果、真空引き用管３内の減圧度
が急激に増して漏れ液の真空引きポンプへの吸い込みが
行われる。従って、気体透過性チュ−ブ３の先端３１を
気体透過性チュ−ブ２の最下面２０よりも下方の位置に
配しておけば、漏れ液面の気体透過性チュ−ブ２への接
触まえに漏れ液を真空引きポンプへ吸い込ませ得て気体
透過性チュ−ブ２が漏れ液に浸漬されるのを防止でき
る。また、上記漏れ液の真空引きポンプへの吸い込みを
瞬時に行なわせ得るから、実質上チャンバ−１内を上記
所定の減圧度を保持し得る。従って、液漏れにもかかわ
らず、良好な脱気を継続できる。
れが生じ、真空引き用管３の先端３１が漏れ液面で閉ざ
された状態になれば、真空引き用管３内への給気が実質
上停止され真空引き用管３内からの真空引きポンプによ
る排気のみが行われる結果、真空引き用管３内の減圧度
が急激に増して漏れ液の真空引きポンプへの吸い込みが
行われる。従って、気体透過性チュ−ブ３の先端３１を
気体透過性チュ−ブ２の最下面２０よりも下方の位置に
配しておけば、漏れ液面の気体透過性チュ−ブ２への接
触まえに漏れ液を真空引きポンプへ吸い込ませ得て気体
透過性チュ−ブ２が漏れ液に浸漬されるのを防止でき
る。また、上記漏れ液の真空引きポンプへの吸い込みを
瞬時に行なわせ得るから、実質上チャンバ−１内を上記
所定の減圧度を保持し得る。従って、液漏れにもかかわ
らず、良好な脱気を継続できる。
【０００９】上記漏れ液の真空引きポンプへの吸い込み
量がある程度の量となって液漏れが検知されれば、脱気
運転が停止されるが、この停止までの間、正常な脱気が
保証されるから、運転停止を充分な時間的余裕のもとで
行うことができる。
量がある程度の量となって液漏れが検知されれば、脱気
運転が停止されるが、この停止までの間、正常な脱気が
保証されるから、運転停止を充分な時間的余裕のもとで
行うことができる。
【００１０】上記において、真空引き用管３の先端面と
チャンバ−内底面１３０とが近接していると、漏れ液の
迅速な排出が難しくなるので、真空引き用管の先端面と
チャンバ−内底面との実質的な非接触を確保するために
図１に示すように真空引き用管３の先端面３１０を斜面
とすること、または図２に示すように真空引き用管３の
先端部を曲げ加工することが有効である。
チャンバ−内底面１３０とが近接していると、漏れ液の
迅速な排出が難しくなるので、真空引き用管の先端面と
チャンバ−内底面との実質的な非接触を確保するために
図１に示すように真空引き用管３の先端面３１０を斜面
とすること、または図２に示すように真空引き用管３の
先端部を曲げ加工することが有効である。
【００１１】上記気体透過性チュ−ブ２には、例えばポ
リテトラフルオロエチレンチュ−ブ、テトラフルオロエ
チレン−パ−フルオロアルキルビニルエ−テル共重合体
チュ−ブ、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体
チュ−ブ、ポリクロロトリフルオロエチレンチュ−ブ等
を使用できる。上記気体透過性チュ−ブ２とチャンバ−
１の被脱気液体流入口１１または流出口１２との連結に
は、例えば気体透過性チュ−ブ端にプラグを結着し、被
脱気液体流入口個所または流出口個所のチャンバ−部の
内壁面にソケット一体に突設し、プラグをこのソケット
にＯリングを介して連結する構造を使用でき、また、気
体透過性チュ−ブ端へのプラグの結着には、例えば熱溶
着性を有するフッ素樹脂系粉末を介して溶着する方法を
使用できる。この気体透過性チュ−ブ２には、単一チュ
−ブを使用することもできるが、単位容積当たりの膜面
積を広くするために多数本の中空糸体を集束して用いる
ことが好ましい。また、図１に示すように、多重コイル
状で使用することが好ましい。
リテトラフルオロエチレンチュ−ブ、テトラフルオロエ
チレン−パ−フルオロアルキルビニルエ−テル共重合体
チュ−ブ、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体
チュ−ブ、ポリクロロトリフルオロエチレンチュ−ブ等
を使用できる。上記気体透過性チュ−ブ２とチャンバ−
１の被脱気液体流入口１１または流出口１２との連結に
は、例えば気体透過性チュ−ブ端にプラグを結着し、被
脱気液体流入口個所または流出口個所のチャンバ−部の
内壁面にソケット一体に突設し、プラグをこのソケット
にＯリングを介して連結する構造を使用でき、また、気
体透過性チュ−ブ端へのプラグの結着には、例えば熱溶
着性を有するフッ素樹脂系粉末を介して溶着する方法を
使用できる。この気体透過性チュ−ブ２には、単一チュ
−ブを使用することもできるが、単位容積当たりの膜面
積を広くするために多数本の中空糸体を集束して用いる
ことが好ましい。また、図１に示すように、多重コイル
状で使用することが好ましい。
【００１２】上記真空引き用管３の先端３１の位置は、
気体透過性チュ−ブ２の最下面２０よりも下方に設定す
ることが好ましいが、この位置より多少上方でも、前記
した液漏れ後から運転停止時までの正常な脱気効率の維
持をよく確保でき、気体透過性チュ−ブの全膜面積の１
０％の境界を制するレベルより下方に設定すれば充分で
ある。この真空引き用管３には、漏れ液に対し耐食性を
有するものであれば適宜のものを使用でき、例えば、例
えばポリテトラフルオロエチレン管、テトラフルオロエ
チレン−パ−フルオロアルキルビニルエ−テル共重合体
管、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体管、ポ
リクロロトリフルオロエチレン管、ポリプロピレン管、
ポリエチレン管等を使用できる。真空引き用管のチャン
バ−外への気密引出には、溶接、溶着、Ｏリング等を用
いることができる。この真空引き用管の断面は通常円形
とされるが、角形とすることも可能である。
気体透過性チュ−ブ２の最下面２０よりも下方に設定す
ることが好ましいが、この位置より多少上方でも、前記
した液漏れ後から運転停止時までの正常な脱気効率の維
持をよく確保でき、気体透過性チュ−ブの全膜面積の１
０％の境界を制するレベルより下方に設定すれば充分で
ある。この真空引き用管３には、漏れ液に対し耐食性を
有するものであれば適宜のものを使用でき、例えば、例
えばポリテトラフルオロエチレン管、テトラフルオロエ
チレン−パ−フルオロアルキルビニルエ−テル共重合体
管、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体管、ポ
リクロロトリフルオロエチレン管、ポリプロピレン管、
ポリエチレン管等を使用できる。真空引き用管のチャン
バ−外への気密引出には、溶接、溶着、Ｏリング等を用
いることができる。この真空引き用管の断面は通常円形
とされるが、角形とすることも可能である。
【００１３】上記真空チャンバ−１には、例えば、金属
（特に、ステンレス）、ガラス、プラスチック等を使用
でき、プラスチックとしてはポリテトラフルオロエチレ
ンやテトラフルオロエチレン−パ−フルオロアルキルビ
ニルエ−テル共重合体等のフッ素樹脂、ポリプロピレ
ン、ポリエチレン等を例示できる。
（特に、ステンレス）、ガラス、プラスチック等を使用
でき、プラスチックとしてはポリテトラフルオロエチレ
ンやテトラフルオロエチレン−パ−フルオロアルキルビ
ニルエ−テル共重合体等のフッ素樹脂、ポリプロピレ
ン、ポリエチレン等を例示できる。
【００１４】
【実施例】〔実施例〕図１において、気体透過性チュ−
ブ２には、内径１．０ｍｍ、厚さ０．１３ｍｍ、長さ
３．５ｍのポリテトラフルオロエチレンチュ−ブ１３０
本を集束し、これを多重コイル状に形成したものを用
い、真空引き用管３には、先端を４５°にカットしたス
テンレス管を用いて（先端をチャンバ−内の底面に当
接）脱気装置を製作した。脱気テストとして、チャンバ
−内減圧度を−７２０ｍｍＨｇとするように真空ポンプ
を駆動し、処理液（溶存酸素量約８ｐｐｍ）を１００ｍ
ｌ／minで流通させて脱気したところ、液出口で液の溶
存酸素量はほぼ一定で約３．２ｐｐｍであり、満足に脱
気し得た。
ブ２には、内径１．０ｍｍ、厚さ０．１３ｍｍ、長さ
３．５ｍのポリテトラフルオロエチレンチュ−ブ１３０
本を集束し、これを多重コイル状に形成したものを用
い、真空引き用管３には、先端を４５°にカットしたス
テンレス管を用いて（先端をチャンバ−内の底面に当
接）脱気装置を製作した。脱気テストとして、チャンバ
−内減圧度を−７２０ｍｍＨｇとするように真空ポンプ
を駆動し、処理液（溶存酸素量約８ｐｐｍ）を１００ｍ
ｌ／minで流通させて脱気したところ、液出口で液の溶
存酸素量はほぼ一定で約３．２ｐｐｍであり、満足に脱
気し得た。
【００１５】〔比較例〕真空引き用管を省略した以外、
実施例に同じとした。脱気装置の真空チャンバ−内へ強
制的に処理液を供給し、実施例と同様脱気処理を継続
し、その間、液出口で液の溶存酸素量を測定したとこ
ろ、８ｐｐｍであり入口側の処理液中の溶存酸素量と較
べて殆ど変化が観られなかった。
実施例に同じとした。脱気装置の真空チャンバ−内へ強
制的に処理液を供給し、実施例と同様脱気処理を継続
し、その間、液出口で液の溶存酸素量を測定したとこ
ろ、８ｐｐｍであり入口側の処理液中の溶存酸素量と較
べて殆ど変化が観られなかった。
【００１６】
【発明の効果】本発明に係る脱気装置においては、チャ
ンバ−内に液漏れが発生しその漏れ液の真空引きポンプ
への引き込みにより漏れを検知して脱気運転を停止する
までの間においても正常な脱気を保証できるから、その
運転停止を充分な時間的余裕のもとで行い得、操作が容
易であり、また、真空引き用管をチャンバ−内底面に達
するまで引き込むだけでよく、液漏れセンサ−の取付け
等が不要であり、保守が簡易でかつコスト的にも有利で
ある。
ンバ−内に液漏れが発生しその漏れ液の真空引きポンプ
への引き込みにより漏れを検知して脱気運転を停止する
までの間においても正常な脱気を保証できるから、その
運転停止を充分な時間的余裕のもとで行い得、操作が容
易であり、また、真空引き用管をチャンバ−内底面に達
するまで引き込むだけでよく、液漏れセンサ−の取付け
等が不要であり、保守が簡易でかつコスト的にも有利で
ある。
【図１】本発明に係る脱気装置を示す図面である。
【図２】本発明に係る脱気装置における真空引き用管の
先端部を示す図面である。
先端部を示す図面である。
【図３】従来の脱気装置を示す図面である。
１ 減圧チャンバ− １１ 被脱気液体流入口 １２ 被脱気液体流出口 ２ 気体透過性チュ−ブ ３ 真空引き用管 ３１ 真空引き用管の先端部 ３１０ 真空引き用管の先端面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年６月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西井 弘行 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】被脱気液体流入口と流出口を有する減圧チ
ャンバ−に気体透過性チュ−ブを収容し、該チュ−ブ両
端を前記流入口と流出口に連結し、前記チャンバ−内底
部に達する真空引き用管を前記チャンバ−に取付けたこ
とを特徴とする脱気装置。 - 【請求項２】真空引き用管の先端面とチャンバ−内底面
とを互いに非並行とするように、真空引き用管の先端面
を斜面とした請求項１記載の脱気装置。 - 【請求項３】真空引き用管の先端面とチャンバ−内底面
とを互いに非並行とするように、真空引き用管の先端部
を曲げ加工した求項１記載の脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16294198A JP4008576B2 (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16294198A JP4008576B2 (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 脱気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11333206A true JPH11333206A (ja) | 1999-12-07 |
| JP4008576B2 JP4008576B2 (ja) | 2007-11-14 |
Family
ID=15764171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16294198A Expired - Fee Related JP4008576B2 (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4008576B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152182A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Nitto Denko Corp | 脱気装置および脱気システム |
| JP2007262583A (ja) * | 1998-11-09 | 2007-10-11 | Ebara Corp | めっき方法及び装置 |
| WO2008035714A1 (fr) | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Nitto Denko Corporation | Dispositif de dégazage |
| JP2008073640A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nitto Denko Corp | 脱気装置 |
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0634785U (ja) * | 1992-10-22 | 1994-05-10 | オルガノ株式会社 | 膜脱気装置における結露水除去装置 |
| JPH0985011A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-03-31 | Miura Co Ltd | 脱気モジュールの液漏れ検出装置 |
| JPH09150008A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液供給装置 |
-
1998
- 1998-05-26 JP JP16294198A patent/JP4008576B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
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| JP2008073641A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nitto Denko Corp | 脱気装置 |
| KR101128592B1 (ko) | 2006-09-22 | 2012-03-23 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 탈기 장치 |
| US8177889B2 (en) | 2006-09-22 | 2012-05-15 | Nitto Denko Corporation | Gas removal device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4008576B2 (ja) | 2007-11-14 |
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