JPH10165708A - 脱気装置 - Google Patents
脱気装置Info
- Publication number
- JPH10165708A JPH10165708A JP34660996A JP34660996A JPH10165708A JP H10165708 A JPH10165708 A JP H10165708A JP 34660996 A JP34660996 A JP 34660996A JP 34660996 A JP34660996 A JP 34660996A JP H10165708 A JPH10165708 A JP H10165708A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- liquid
- chamber
- sensor
- degassing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体中の溶存ガスを除去する脱気作業におい
て、脱気処理中の液漏れ発生を速やかに確認することが
でき液漏れにより発生するトラブルを未然に防止するこ
とができる脱気装置を提供すること。 【解決手段】 １本以上の気体透過性チューブからなる
脱気エレメントが真空チャンバー内に配設されてなる脱
気装置であって、この脱気装置に真空チャンバー内の液
漏れを検知するための液漏れセンサーが設けられてなる
脱気装置とした。
て、脱気処理中の液漏れ発生を速やかに確認することが
でき液漏れにより発生するトラブルを未然に防止するこ
とができる脱気装置を提供すること。 【解決手段】 １本以上の気体透過性チューブからなる
脱気エレメントが真空チャンバー内に配設されてなる脱
気装置であって、この脱気装置に真空チャンバー内の液
漏れを検知するための液漏れセンサーが設けられてなる
脱気装置とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は脱気装置に関し、
その目的は液体中の溶存ガスを除去する脱気作業におい
て脱気処理中の液漏れ発生を外部から速やかに確認する
ことができ、液漏れにより発生するトラブルを未然に防
止することができる脱気装置に関するものである。
その目的は液体中の溶存ガスを除去する脱気作業におい
て脱気処理中の液漏れ発生を外部から速やかに確認する
ことができ、液漏れにより発生するトラブルを未然に防
止することができる脱気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、熱交換器における熱交換エレ
メントや溶液中の溶存ガスの除去等に使用される脱気装
置は、フッ素樹脂製の接合部材とフッ素樹脂製チューブ
を接合せしめた脱気エレメントをプラスチック製や金属
製、或いは、ガラス製の真空チャンバー内に固定治具を
用いて一体化することにより製造される。このような脱
気装置の例としては、例えば、図２に示すものが存在す
る。この脱気装置の構成は、フッ素樹脂製の気体透過性
チューブからなる脱気エレメント（Ａ）を固定治具
（Ｂ）により真空チャンバー（Ｃ）内部に接続固定して
なるものであり、脱気処理される液は継ぎ手（Ｄ）を介
して脱気装置に接続されたフッ素樹脂製チューブから供
給される。このような脱気装置の運転方法としては、吸
引口（Ｅ）に接続された真空ポンプ等の減圧装置により
真空チャンバー（Ｃ）内を減圧した状態で、フッ素樹脂
製チューブ内に処理液を加圧送液する方法が一般的であ
る。しかしながら、このような脱気方法においては処理
液を加圧送液するために真空チャンバーと脱気エレメン
トを一体化する固定治具に少なからず負荷が加わり脱気
エレメントが真空チャンバーから外れて処理液が漏れ出
すことがあるが、上記したような従来の脱気装置では、
処理液の漏れを外部から確認することができないため漏
れ出した処理液が真空ポンプ等の減圧装置に流入してし
まうことがあった。
メントや溶液中の溶存ガスの除去等に使用される脱気装
置は、フッ素樹脂製の接合部材とフッ素樹脂製チューブ
を接合せしめた脱気エレメントをプラスチック製や金属
製、或いは、ガラス製の真空チャンバー内に固定治具を
用いて一体化することにより製造される。このような脱
気装置の例としては、例えば、図２に示すものが存在す
る。この脱気装置の構成は、フッ素樹脂製の気体透過性
チューブからなる脱気エレメント（Ａ）を固定治具
（Ｂ）により真空チャンバー（Ｃ）内部に接続固定して
なるものであり、脱気処理される液は継ぎ手（Ｄ）を介
して脱気装置に接続されたフッ素樹脂製チューブから供
給される。このような脱気装置の運転方法としては、吸
引口（Ｅ）に接続された真空ポンプ等の減圧装置により
真空チャンバー（Ｃ）内を減圧した状態で、フッ素樹脂
製チューブ内に処理液を加圧送液する方法が一般的であ
る。しかしながら、このような脱気方法においては処理
液を加圧送液するために真空チャンバーと脱気エレメン
トを一体化する固定治具に少なからず負荷が加わり脱気
エレメントが真空チャンバーから外れて処理液が漏れ出
すことがあるが、上記したような従来の脱気装置では、
処理液の漏れを外部から確認することができないため漏
れ出した処理液が真空ポンプ等の減圧装置に流入してし
まうことがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】すなわち、液漏れの発
生の確認手段が目視に限られるため、液漏れを極初期の
段階で発見することが困難であり、また早期に液漏れを
発見するには脱気作業中常に窓部を観察しておく必要が
あり他の作業を並行して行うことができず作業効率が悪
かった。本発明の解決課題は、液体中の溶存ガスを除去
する脱気作業において、脱気処理中の液漏れ発生を極初
期の段階で速やかに確認することができ、液漏れにより
発生するトラブルを未然に防止することができる脱気装
置を提供することにある。
生の確認手段が目視に限られるため、液漏れを極初期の
段階で発見することが困難であり、また早期に液漏れを
発見するには脱気作業中常に窓部を観察しておく必要が
あり他の作業を並行して行うことができず作業効率が悪
かった。本発明の解決課題は、液体中の溶存ガスを除去
する脱気作業において、脱気処理中の液漏れ発生を極初
期の段階で速やかに確認することができ、液漏れにより
発生するトラブルを未然に防止することができる脱気装
置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、１本以上の気
体透過性チューブからなる脱気エレメントが真空チャン
バー内に配設されてなる脱気装置であって、この脱気装
置に真空チャンバー内の液漏れを検知するための液漏れ
センサーが設けられてなることを特徴とする脱気装置を
提供することにより、上記従来の課題を解決する。
体透過性チューブからなる脱気エレメントが真空チャン
バー内に配設されてなる脱気装置であって、この脱気装
置に真空チャンバー内の液漏れを検知するための液漏れ
センサーが設けられてなることを特徴とする脱気装置を
提供することにより、上記従来の課題を解決する。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る脱気装置の好
適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図
１は本発明に係る脱気装置の一実施例を示す断面図であ
る。本発明に係る脱気装置（１）は図１に示す如く、真
空チャンバー（２）と該真空チャンバー（２）内に配設
される脱気エレメント（３）から構成される。本発明に
係る脱気装置（１）においては、真空チャンバー（２）
の材質は特に限定されるものではなく、金属、プラスチ
ック、ガラス等、適宜任意の素材を用いることができる
が、耐久性や耐薬品性の点から、金属材料を用いる場合
はステンレス鋼を、プラスチック材料を用いる場合はポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やテトラフルオ
ロエチレン−パープルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂
（ＰＰ）、ポリエチレン樹脂（ＰＥ）等を用いることが
好ましい。また真空チャンバー（２）の形状及び大きさ
についても、真空ポンプ等の減圧手段と接続可能な吸引
口（２１）と脱気エレメント（３）に処理液を通過させ
るための入液口（２２）及び出液口（２３）を有し且つ
脱気エレメント（３）をその内部に収めることが可能な
大きさであれば特に限定されない。
適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図
１は本発明に係る脱気装置の一実施例を示す断面図であ
る。本発明に係る脱気装置（１）は図１に示す如く、真
空チャンバー（２）と該真空チャンバー（２）内に配設
される脱気エレメント（３）から構成される。本発明に
係る脱気装置（１）においては、真空チャンバー（２）
の材質は特に限定されるものではなく、金属、プラスチ
ック、ガラス等、適宜任意の素材を用いることができる
が、耐久性や耐薬品性の点から、金属材料を用いる場合
はステンレス鋼を、プラスチック材料を用いる場合はポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やテトラフルオ
ロエチレン−パープルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂
（ＰＰ）、ポリエチレン樹脂（ＰＥ）等を用いることが
好ましい。また真空チャンバー（２）の形状及び大きさ
についても、真空ポンプ等の減圧手段と接続可能な吸引
口（２１）と脱気エレメント（３）に処理液を通過させ
るための入液口（２２）及び出液口（２３）を有し且つ
脱気エレメント（３）をその内部に収めることが可能な
大きさであれば特に限定されない。
【０００６】脱気エレメント（３）は、１本の気体透過
性チューブ又は２本以上の気体透過性チューブが端部に
おいて熱融着性を有するフッ素樹脂粉末を介して融着に
より接合一体化されてなる気体透過性チューブ束からな
る。気体透過性チューブの材質の具体例としては、ポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロ
エチレン−パ−フルオロアルキルビニルエーテル共重合
体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオ
ロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−テトラフ
ルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリ
フルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）等が例示できるが、こ
れらに限定されるものではない。また、熱融着性を有す
るフッ素樹脂粉末についても特に限定されるものではな
いが、具体的には、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリテトラフル
オロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦ
Ａ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）等の粉末を好適な例として例示することができ
る。
性チューブ又は２本以上の気体透過性チューブが端部に
おいて熱融着性を有するフッ素樹脂粉末を介して融着に
より接合一体化されてなる気体透過性チューブ束からな
る。気体透過性チューブの材質の具体例としては、ポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロ
エチレン−パ−フルオロアルキルビニルエーテル共重合
体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオ
ロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−テトラフ
ルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリ
フルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）等が例示できるが、こ
れらに限定されるものではない。また、熱融着性を有す
るフッ素樹脂粉末についても特に限定されるものではな
いが、具体的には、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリテトラフル
オロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦ
Ａ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）等の粉末を好適な例として例示することができ
る。
【０００７】脱気エレメント（３）は、接続部材（５）
を介して真空チャンバー（２）内に固定される。脱気エ
レメント（３）と接続部材（５）は、脱気エレメント
（３）両端部の接合片（１０）をフェルール等の嵌合片
（６）を介して嵌合部（５１）に嵌合し、袋ナット
（７）を雄ねじ部（５２）に螺合させることにより接続
固定され、また接続部材（５）と真空チャンバー（２）
はナット（８）を雄ねじ部（５５）に螺合させて鍔部
（５３）とナット（８）で真空チャンバー（２）の上壁
をＯリングを介して挟み込むことにより固定される。な
お、本発明に係る脱気装置においては、脱気エレメント
（３）の真空チャンバー（２）への接続固定方法は、図
示例に何ら限定されるものではなく、接続部の気密性に
優れ且つ真空チャンバー（２）内に脱気エレメント
（３）を確実に固定することができれば、適宜任意の方
法を採用することができる。
を介して真空チャンバー（２）内に固定される。脱気エ
レメント（３）と接続部材（５）は、脱気エレメント
（３）両端部の接合片（１０）をフェルール等の嵌合片
（６）を介して嵌合部（５１）に嵌合し、袋ナット
（７）を雄ねじ部（５２）に螺合させることにより接続
固定され、また接続部材（５）と真空チャンバー（２）
はナット（８）を雄ねじ部（５５）に螺合させて鍔部
（５３）とナット（８）で真空チャンバー（２）の上壁
をＯリングを介して挟み込むことにより固定される。な
お、本発明に係る脱気装置においては、脱気エレメント
（３）の真空チャンバー（２）への接続固定方法は、図
示例に何ら限定されるものではなく、接続部の気密性に
優れ且つ真空チャンバー（２）内に脱気エレメント
（３）を確実に固定することができれば、適宜任意の方
法を採用することができる。
【０００８】真空チャンバー（２）には液漏れセンサー
（９）が設けられており、真空チャンバー（２）内に液
漏れが発生した場合には、この液漏れセンサー（９）を
通じて外部から速やかに液漏れを感知することができる
ようになっている。本発明においては、液漏れセンサー
（９）の種類は真空チャンバー（２）内の液漏れを検出
することが可能であれば全く限定されず、フロート式、
超音波式、接触式、圧力式、光学式などのセンサーがい
ずれも好適に使用できる。これらのセンサーの具体的な
使用方法としては、フロート式の場合は真空チャンバー
（２）内にフロートを配設して液漏れによるフロートの
上昇をフロートと接続された外部の指示計から読み取る
方法、超音波式の場合は真空チャンバー（２）内におい
て底部に向けて超音波を発振しその伝播時間から真空チ
ャンバー内の液漏れを検出する方法、接触式の場合には
結露センサーを真空チャンバー（２）の底部に配設して
抵抗値の変化から液漏れを検出する方法、圧力式の場合
には水位伝送器や液面伝送器などを真空チャンバー内に
配設して半導体圧力センサや半導体差圧センサなどの圧
力センサにより液漏れによる圧力変化を検出する方法、
光学式の場合は直接反射型の光電スイッチを真空チャン
バー内に配設して液漏れを検出する方法などを例示する
ことができる。但し、これら例示した方法に限定される
ものではない。また、真空チャンバー（２）の外側にγ
線源を設置して真空チャンバー（２）内の物質によるγ
線の吸収を利用して液漏れを検出する方法や、真空チャ
ンバー（２）内にヒータピンを配設して液漏れによるヒ
ータピンの温度変化を検出する方法、或いは静電容量形
レベル計のプローブを真空チャンバー内に配設して液漏
れによる静電容量の変化を検出する方法等についても好
適に使用することができる。尚、図示例においては、液
漏れセンサー（９）を真空チャンバー（２）内部に配設
した構成を示しているが、センサーの種類によっては真
空チャンバー（２）外部に配設する構成を採用してもよ
いのは勿論である。上記したような液漏れセンサー
（９）により検知された真空チャンバー（２）内の液漏
れは、ブザーの発音やランプの点灯などの任意の手段に
より操作者に伝達され、操作者は外部から脱気装置を観
察していなくとも液漏れを知ることができ、処理液の供
給の停止や真空ポンプの停止などの処置を速やかに実施
することができる。
（９）が設けられており、真空チャンバー（２）内に液
漏れが発生した場合には、この液漏れセンサー（９）を
通じて外部から速やかに液漏れを感知することができる
ようになっている。本発明においては、液漏れセンサー
（９）の種類は真空チャンバー（２）内の液漏れを検出
することが可能であれば全く限定されず、フロート式、
超音波式、接触式、圧力式、光学式などのセンサーがい
ずれも好適に使用できる。これらのセンサーの具体的な
使用方法としては、フロート式の場合は真空チャンバー
（２）内にフロートを配設して液漏れによるフロートの
上昇をフロートと接続された外部の指示計から読み取る
方法、超音波式の場合は真空チャンバー（２）内におい
て底部に向けて超音波を発振しその伝播時間から真空チ
ャンバー内の液漏れを検出する方法、接触式の場合には
結露センサーを真空チャンバー（２）の底部に配設して
抵抗値の変化から液漏れを検出する方法、圧力式の場合
には水位伝送器や液面伝送器などを真空チャンバー内に
配設して半導体圧力センサや半導体差圧センサなどの圧
力センサにより液漏れによる圧力変化を検出する方法、
光学式の場合は直接反射型の光電スイッチを真空チャン
バー内に配設して液漏れを検出する方法などを例示する
ことができる。但し、これら例示した方法に限定される
ものではない。また、真空チャンバー（２）の外側にγ
線源を設置して真空チャンバー（２）内の物質によるγ
線の吸収を利用して液漏れを検出する方法や、真空チャ
ンバー（２）内にヒータピンを配設して液漏れによるヒ
ータピンの温度変化を検出する方法、或いは静電容量形
レベル計のプローブを真空チャンバー内に配設して液漏
れによる静電容量の変化を検出する方法等についても好
適に使用することができる。尚、図示例においては、液
漏れセンサー（９）を真空チャンバー（２）内部に配設
した構成を示しているが、センサーの種類によっては真
空チャンバー（２）外部に配設する構成を採用してもよ
いのは勿論である。上記したような液漏れセンサー
（９）により検知された真空チャンバー（２）内の液漏
れは、ブザーの発音やランプの点灯などの任意の手段に
より操作者に伝達され、操作者は外部から脱気装置を観
察していなくとも液漏れを知ることができ、処理液の供
給の停止や真空ポンプの停止などの処置を速やかに実施
することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明に係る脱気装置の実施例及び比
較例を示すことにより、本発明に係る脱気装置の効果を
より明確にする。尚、本発明はこの実施例により何ら限
定されるものではない。 （実施例）内径０．５ｍｍ、外径０．８ｍｍ、長さ２８
ｃｍのＰＴＦＥ気体透過性チューブを１５０本結束して
得られた気体透過性チューブ束の両端部に金型を外挿す
ると共に、気体透過性チューブの端部外周面上にＰＦＡ
粉末を塗布して３７０℃で１０分間加熱加圧し、気体透
過性チューブ相互を融着一体化することにより、断面円
形の気体透過性チューブ束を得た。この気体透過性チュ
ーブ束の端部に、熱収縮性を有する円筒形のフッ素樹脂
製パイプの内部にＰＦＡ粉末を塗布したものを嵌合し、
気体透過性チューブ束とパイプを融着一体化して有効長
さ２０ｃｍの脱気エレメントを得た。この脱気エレメン
トを真空チャンバー内に配設し、図１に示すように真空
チャンバー内に液漏れを感知するために接触式の液漏れ
センサーを取り付けた。そして、真空チャンバーの吸引
口に真空ポンプ等の減圧装置を接続して作動させること
により真空チャンバー内を真空状態にし、入液口より脱
気エレメントに処理液を液量２００ｍｌ／ｍｉｎ、圧力
０．３ｋｇｆ／ｃｍ2 の条件下で供給して脱気作業を行
った。この脱気作業の際に、処理液の供給条件を液量２
０００ｍｌ／ｍｉｎ、圧力３ｋｇｆ／ｃｍ2 として供給
流量を大きくしたところ、真空チャンバーと脱気エレメ
ントとが脱離し処理液が真空チャンバー内に漏れ出した
が、真空チャンバーに設けられた液漏れセンサーにより
液漏れが感知されたので、液の供給の遮断と真空ポンプ
の停止操作を速やかに実施することができ、減圧装置へ
の処理液の流入を未然に防止することができた。
較例を示すことにより、本発明に係る脱気装置の効果を
より明確にする。尚、本発明はこの実施例により何ら限
定されるものではない。 （実施例）内径０．５ｍｍ、外径０．８ｍｍ、長さ２８
ｃｍのＰＴＦＥ気体透過性チューブを１５０本結束して
得られた気体透過性チューブ束の両端部に金型を外挿す
ると共に、気体透過性チューブの端部外周面上にＰＦＡ
粉末を塗布して３７０℃で１０分間加熱加圧し、気体透
過性チューブ相互を融着一体化することにより、断面円
形の気体透過性チューブ束を得た。この気体透過性チュ
ーブ束の端部に、熱収縮性を有する円筒形のフッ素樹脂
製パイプの内部にＰＦＡ粉末を塗布したものを嵌合し、
気体透過性チューブ束とパイプを融着一体化して有効長
さ２０ｃｍの脱気エレメントを得た。この脱気エレメン
トを真空チャンバー内に配設し、図１に示すように真空
チャンバー内に液漏れを感知するために接触式の液漏れ
センサーを取り付けた。そして、真空チャンバーの吸引
口に真空ポンプ等の減圧装置を接続して作動させること
により真空チャンバー内を真空状態にし、入液口より脱
気エレメントに処理液を液量２００ｍｌ／ｍｉｎ、圧力
０．３ｋｇｆ／ｃｍ2 の条件下で供給して脱気作業を行
った。この脱気作業の際に、処理液の供給条件を液量２
０００ｍｌ／ｍｉｎ、圧力３ｋｇｆ／ｃｍ2 として供給
流量を大きくしたところ、真空チャンバーと脱気エレメ
ントとが脱離し処理液が真空チャンバー内に漏れ出した
が、真空チャンバーに設けられた液漏れセンサーにより
液漏れが感知されたので、液の供給の遮断と真空ポンプ
の停止操作を速やかに実施することができ、減圧装置へ
の処理液の流入を未然に防止することができた。
【００１０】（比較例）実施例において用いた脱気装置
において、真空チャンバー内の液漏れセンサーを取り外
して、実施例と同じ方法で作業したところ、同様に液漏
れが発生したが液漏れを感知することができず、漏れ出
した処理液が真空ポンプ等の減圧装置へ流入してしまっ
た。
において、真空チャンバー内の液漏れセンサーを取り外
して、実施例と同じ方法で作業したところ、同様に液漏
れが発生したが液漏れを感知することができず、漏れ出
した処理液が真空ポンプ等の減圧装置へ流入してしまっ
た。
【００１１】
【発明の効果】以上説明した如く、本発明は、１本以上
の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが真空チ
ャンバー内に配設されてなる脱気装置であって、この脱
気装置に真空チャンバー内の液漏れを検知するための液
漏れセンサーが設けられてなることを特徴とする脱気装
置であるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、
真空チャンバー内の液漏れを確認するための液漏れセン
サーが設けられているので、脱気作業中において真空チ
ャンバー内で液漏れが発生した場合に、常時脱気装置を
観察していなくとも液漏れセンサーを介して外部から速
やかに液漏れを検知して迅速に対応することができ、液
漏れにより発生するトラブルを未然に防止することがで
きる。
の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが真空チ
ャンバー内に配設されてなる脱気装置であって、この脱
気装置に真空チャンバー内の液漏れを検知するための液
漏れセンサーが設けられてなることを特徴とする脱気装
置であるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、
真空チャンバー内の液漏れを確認するための液漏れセン
サーが設けられているので、脱気作業中において真空チ
ャンバー内で液漏れが発生した場合に、常時脱気装置を
観察していなくとも液漏れセンサーを介して外部から速
やかに液漏れを検知して迅速に対応することができ、液
漏れにより発生するトラブルを未然に防止することがで
きる。
【図１】本発明に係る脱気装置の一実施例の断面図であ
る。
る。
【図２】従来の脱気装置の一実施例の断面図である。
１ 脱気装置 ２ 真空チャンバー ３ 脱気エレメント ９ 液漏れセンサー
Claims (1)
- 【請求項１】 １本以上の気体透過性チューブからなる
脱気エレメントが真空チャンバー内に配設されてなる脱
気装置であって、この脱気装置に真空チャンバー内の液
漏れを検知するための液漏れセンサーが設けられてなる
ことを特徴とする脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34660996A JPH10165708A (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34660996A JPH10165708A (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 脱気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10165708A true JPH10165708A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18384596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34660996A Pending JPH10165708A (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10165708A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007136957A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Sii Printek Inc | インクジェット記録装置 |
| WO2008035714A1 (fr) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Nitto Denko Corporation | Dispositif de dégazage |
| JP2008073641A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nitto Denko Corp | 脱気装置 |
| JP2008073640A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nitto Denko Corp | 脱気装置 |
| JP2009219996A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Kurita Water Ind Ltd | 気体透過膜の劣化検知方法及び気体透過膜モジュールの運転方法 |
| KR101243785B1 (ko) * | 2012-08-01 | 2013-03-15 | (주) 디엔아이테크 | 탈기 장치의 어댑터 구조 |
| JP2013133950A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Daikin Industries Ltd | 調湿装置 |
| CN116173651A (zh) * | 2023-02-15 | 2023-05-30 | 上海良薇机电工程有限公司 | 一种基于流量控制的液态源气体中的He分子剥离装置 |
-
1996
- 1996-12-09 JP JP34660996A patent/JPH10165708A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007136957A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Sii Printek Inc | インクジェット記録装置 |
| WO2008035714A1 (fr) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Nitto Denko Corporation | Dispositif de dégazage |
| JP2008073641A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nitto Denko Corp | 脱気装置 |
| JP2008073640A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Nitto Denko Corp | 脱気装置 |
| KR101128592B1 (ko) | 2006-09-22 | 2012-03-23 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 탈기 장치 |
| US8177889B2 (en) | 2006-09-22 | 2012-05-15 | Nitto Denko Corporation | Gas removal device |
| JP2009219996A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Kurita Water Ind Ltd | 気体透過膜の劣化検知方法及び気体透過膜モジュールの運転方法 |
| JP2013133950A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Daikin Industries Ltd | 調湿装置 |
| KR101243785B1 (ko) * | 2012-08-01 | 2013-03-15 | (주) 디엔아이테크 | 탈기 장치의 어댑터 구조 |
| CN116173651A (zh) * | 2023-02-15 | 2023-05-30 | 上海良薇机电工程有限公司 | 一种基于流量控制的液态源气体中的He分子剥离装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100257468B1 (ko) | 이중 봉쇄 피팅 | |
| US4469495A (en) | Method and device for degassifying liquid | |
| US5652391A (en) | Double-diaphragm gauge protector | |
| JP2001246232A (ja) | ガス透過膜装置 | |
| JPH10165708A (ja) | 脱気装置 | |
| JP5260622B2 (ja) | 脱気装置 | |
| TWI316418B (ja) | ||
| US7811416B2 (en) | Apparatus and process for digesting cellulosic material | |
| KR20150091891A (ko) | 비결정질 불소수지 중공사튜브를 이용한 탈기장치 및 그 제조법 | |
| JP2011104508A (ja) | 脱気システム | |
| JPH105503A (ja) | 脱気装置 | |
| CN215427440U (zh) | 一种增效脱气及空液检测组合装置 | |
| US8172984B2 (en) | Digester with improved space utilization and/or sample holder | |
| JP3847909B2 (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| JP4008576B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP3585077B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP3398826B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JPH10165709A (ja) | 脱気装置 | |
| JP3398824B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP4885050B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP3521368B2 (ja) | 脱気装置 | |
| JP4105716B2 (ja) | 脱気装置及び脱気方法 | |
| JP2007152182A (ja) | 脱気装置および脱気システム | |
| JP2004340300A (ja) | チューブデバイス | |
| JPH03157105A (ja) | 液体脱気装置用気体透過部材及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040713 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040726 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041117 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |