JPH10165709A - 脱気装置 - Google Patents
脱気装置Info
- Publication number
- JPH10165709A JPH10165709A JP34661096A JP34661096A JPH10165709A JP H10165709 A JPH10165709 A JP H10165709A JP 34661096 A JP34661096 A JP 34661096A JP 34661096 A JP34661096 A JP 34661096A JP H10165709 A JPH10165709 A JP H10165709A
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- vacuum chamber
- degassing
- deaerator
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 処理液流通用チューブと脱気エレメントとを
接続する接続部材の割れや折れを防ぎ、接続部の破損に
よるトラブルを未然に防止することができる脱気装置を
提供すること。 【解決手段】 １本以上の気体透過性チューブから成り
両端部に接合片が取着されてなる脱気エレメントが真空
チャンバーに固定された接続部材に嵌合片を介してナッ
トにより接続されてなる脱気装置であって、前記ナット
の外周に筒状のナット膨らみ防止具が嵌入されてなる脱
気装置とした。
接続する接続部材の割れや折れを防ぎ、接続部の破損に
よるトラブルを未然に防止することができる脱気装置を
提供すること。 【解決手段】 １本以上の気体透過性チューブから成り
両端部に接合片が取着されてなる脱気エレメントが真空
チャンバーに固定された接続部材に嵌合片を介してナッ
トにより接続されてなる脱気装置であって、前記ナット
の外周に筒状のナット膨らみ防止具が嵌入されてなる脱
気装置とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は脱気装置に関し、
より詳しくは液体中の溶存ガスを除去する脱気作業中に
おいて真空チャンバー内の脱気エレメントを固定するナ
ットの膨らみにより生じる破損を防止することができる
脱気装置に関するものである。
より詳しくは液体中の溶存ガスを除去する脱気作業中に
おいて真空チャンバー内の脱気エレメントを固定するナ
ットの膨らみにより生じる破損を防止することができる
脱気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、熱交換器における熱交換エレ
メントや溶液中の溶存ガスの除去等に使用される脱気装
置は、フッ素樹脂製の接合部材とフッ素樹脂製チューブ
を接合せしめた脱気エレメントをプラスチック製や金属
製、或いは、ガラス製の真空チャンバー内に固定治具を
用いて固定一体化することにより製造される。このよう
な脱気装置としては、例えば図２に示すものが存在す
る。この脱気装置の構成は、フッ素樹脂製の気体透過性
チューブ（Ｔ）からなる脱気エレメント両端部の接合片
（Ｂ）を真空チャンバー（Ａ）に固定された接続部材
（Ｃ）の一端側にフェルール（Ｆ）を介して嵌入し、外
側からナット（Ｎ）を締め込むことにより脱気エレメン
トを真空チャンバーに固定してなるものである。また、
接続部材の他端側には継ぎ手（Ｄ）を介して処理液供給
用のチューブが接続される。このような脱気装置の運転
方法としては、吸引口（Ｅ）に接続された真空ポンプ等
の減圧装置により真空チャンバー内を減圧した状態で、
フッ素樹脂製チューブ内に処理液を加圧送液する方法が
一般的である。
メントや溶液中の溶存ガスの除去等に使用される脱気装
置は、フッ素樹脂製の接合部材とフッ素樹脂製チューブ
を接合せしめた脱気エレメントをプラスチック製や金属
製、或いは、ガラス製の真空チャンバー内に固定治具を
用いて固定一体化することにより製造される。このよう
な脱気装置としては、例えば図２に示すものが存在す
る。この脱気装置の構成は、フッ素樹脂製の気体透過性
チューブ（Ｔ）からなる脱気エレメント両端部の接合片
（Ｂ）を真空チャンバー（Ａ）に固定された接続部材
（Ｃ）の一端側にフェルール（Ｆ）を介して嵌入し、外
側からナット（Ｎ）を締め込むことにより脱気エレメン
トを真空チャンバーに固定してなるものである。また、
接続部材の他端側には継ぎ手（Ｄ）を介して処理液供給
用のチューブが接続される。このような脱気装置の運転
方法としては、吸引口（Ｅ）に接続された真空ポンプ等
の減圧装置により真空チャンバー内を減圧した状態で、
フッ素樹脂製チューブ内に処理液を加圧送液する方法が
一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２に
示すような従来の脱気装置においては、脱気エレメント
両端部の接合片をフェルールを介してナットにより接続
部材に取り付ける際に、ナットの締め付け力（トルク）
が小さいと脱気エレメントが接続部材から脱離する恐れ
があり、逆にナットの締め付け力が大き過ぎるとナット
が膨らんで最終的にはナットが破損してしまい、脱気エ
レメントが脱離して脱気エレメント内を流れる処理液が
真空ポンプ等の減圧装置に流入してしまうというトラブ
ルが発生する。本発明の解決課題は、真空チャンバー内
の脱気エレメントを固定するナットの膨らみにより生じ
る破損を防止することができる脱気装置を提供すること
にある。
示すような従来の脱気装置においては、脱気エレメント
両端部の接合片をフェルールを介してナットにより接続
部材に取り付ける際に、ナットの締め付け力（トルク）
が小さいと脱気エレメントが接続部材から脱離する恐れ
があり、逆にナットの締め付け力が大き過ぎるとナット
が膨らんで最終的にはナットが破損してしまい、脱気エ
レメントが脱離して脱気エレメント内を流れる処理液が
真空ポンプ等の減圧装置に流入してしまうというトラブ
ルが発生する。本発明の解決課題は、真空チャンバー内
の脱気エレメントを固定するナットの膨らみにより生じ
る破損を防止することができる脱気装置を提供すること
にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明においては、１本
以上の気体透過性チューブから成り両端部に接合片が取
着されてなる脱気エレメントが真空チャンバーに固定さ
れた接続部材に嵌合片を介してナットにより接続されて
なる脱気装置であって、前記ナットの外周に筒状のナッ
ト膨らみ防止具が嵌入されてなることを特徴とする脱気
装置を提供することにより上記従来の課題を解決する。
以上の気体透過性チューブから成り両端部に接合片が取
着されてなる脱気エレメントが真空チャンバーに固定さ
れた接続部材に嵌合片を介してナットにより接続されて
なる脱気装置であって、前記ナットの外周に筒状のナッ
ト膨らみ防止具が嵌入されてなることを特徴とする脱気
装置を提供することにより上記従来の課題を解決する。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る脱気装置の好
適な実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１
は本発明に係る脱気装置の一実施例を示す断面図であ
る。本発明に係る脱気装置（１）は、図示の如く、真空
チャンバー（２）と該真空チャンバー（２）内に配設さ
れる脱気エレメント（３）から構成される。本発明に係
る脱気装置（１）においては、真空チャンバー（２）の
材質は特に限定されるものではなく、金属、プラスチッ
ク、ガラス等、適宜任意の素材を用いることができる
が、耐久性や耐薬品性の点から、金属材料を用いる場合
はステンレス鋼を、プラスチック材料を用いる場合はポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やテトラフルオ
ロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂、
ポリエチレン樹脂等を用いることが好ましい。また真空
チャンバー（２）の形状及び大きさについても、真空ポ
ンプ等の減圧手段と接続可能な吸引口（２１）と脱気エ
レメント（３）に処理液を通過させるための入液口及び
出液口を有し且つ脱気エレメント（３）をその内部に収
めることが可能な大きさであれば特に限定されない。
適な実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１
は本発明に係る脱気装置の一実施例を示す断面図であ
る。本発明に係る脱気装置（１）は、図示の如く、真空
チャンバー（２）と該真空チャンバー（２）内に配設さ
れる脱気エレメント（３）から構成される。本発明に係
る脱気装置（１）においては、真空チャンバー（２）の
材質は特に限定されるものではなく、金属、プラスチッ
ク、ガラス等、適宜任意の素材を用いることができる
が、耐久性や耐薬品性の点から、金属材料を用いる場合
はステンレス鋼を、プラスチック材料を用いる場合はポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やテトラフルオ
ロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂、
ポリエチレン樹脂等を用いることが好ましい。また真空
チャンバー（２）の形状及び大きさについても、真空ポ
ンプ等の減圧手段と接続可能な吸引口（２１）と脱気エ
レメント（３）に処理液を通過させるための入液口及び
出液口を有し且つ脱気エレメント（３）をその内部に収
めることが可能な大きさであれば特に限定されない。
【０００６】脱気エレメント（３）は、１本の気体透過
性チューブ又は２本以上の気体透過性チューブが端部に
おいて熱融着性を有するフッ素樹脂粉末を介して融着に
より接合一体化されてなる気体透過性チューブ束から構
成される。気体透過性チューブ（４）の材質の具体例と
しては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テ
トラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエ
ーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−
ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレ
ン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポ
リクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）等が例示
できるが、これらに限定されるものではない。また、熱
融着性を有するフッ素樹脂粉末についても特に限定され
るものではないが、具体的には、テトラフルオロエチレ
ン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオ
ロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共
重合体（ＥＴＦＥ）等の粉末を好適な例として例示する
ことができる。
性チューブ又は２本以上の気体透過性チューブが端部に
おいて熱融着性を有するフッ素樹脂粉末を介して融着に
より接合一体化されてなる気体透過性チューブ束から構
成される。気体透過性チューブ（４）の材質の具体例と
しては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テ
トラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエ
ーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−
ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレ
ン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポ
リクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）等が例示
できるが、これらに限定されるものではない。また、熱
融着性を有するフッ素樹脂粉末についても特に限定され
るものではないが、具体的には、テトラフルオロエチレ
ン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオ
ロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合体（ＰＦＡ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共
重合体（ＥＴＦＥ）等の粉末を好適な例として例示する
ことができる。
【０００７】脱気エレメント（３）は接続部材（５）を
介して真空チャンバー（２）内に配設される。接続部材
（５）はフッ素樹脂から構成することが好ましく、具体
的には気体透過性チューブの材質例として例示した素材
がいずれも好適に使用できる。接続部材（５）は、一端
側に嵌合部（５１）、雄ねじ部（５２）及び鍔部（５
３）が形成され、他端側には継手固定部（５４）（図示
例においては雌ねじとされている）及び雄ねじ部（５
５）が形成されている。脱気エレメント（３）と接続部
材（５）は、脱気エレメント（３）両端部の接合片（１
０）をフェルール等の嵌合片（６）を介して嵌合部（５
１）に嵌合し袋袋ナット（７）を雄ねじ部（５２）に螺
合させることにより接続固定され、また接続部材（５）
と真空チャンバー（２）は、ナット（８）を雄ねじ部
（５５）に螺合させることにより鍔部（５３）とナット
（８）で真空チャンバー（２）上壁をＯリング（９）を
介して挟み込むことにより固定される。
介して真空チャンバー（２）内に配設される。接続部材
（５）はフッ素樹脂から構成することが好ましく、具体
的には気体透過性チューブの材質例として例示した素材
がいずれも好適に使用できる。接続部材（５）は、一端
側に嵌合部（５１）、雄ねじ部（５２）及び鍔部（５
３）が形成され、他端側には継手固定部（５４）（図示
例においては雌ねじとされている）及び雄ねじ部（５
５）が形成されている。脱気エレメント（３）と接続部
材（５）は、脱気エレメント（３）両端部の接合片（１
０）をフェルール等の嵌合片（６）を介して嵌合部（５
１）に嵌合し袋袋ナット（７）を雄ねじ部（５２）に螺
合させることにより接続固定され、また接続部材（５）
と真空チャンバー（２）は、ナット（８）を雄ねじ部
（５５）に螺合させることにより鍔部（５３）とナット
（８）で真空チャンバー（２）上壁をＯリング（９）を
介して挟み込むことにより固定される。
【０００８】このとき、ナット（８）に膨らみを防止す
るために、袋ナット（７）の外周に筒状のナット膨らみ
防止具（１１）を嵌入する。なお、このナット膨らみ防
止具（１１）はステンレス鋼等の金属素材から形成する
ことが好ましいが、他の素材で形成してもよい。また、
形状については袋ナット（７）外周に密接可能であれば
特に限定されないが、高さについては図示の如く袋ナッ
ト（７）と同高さとすることが好ましい。また、ナット
膨らみ防止具（１１）は単一部材で構成してもよいし、
２以上の部材、例えば袋ナット（７）外周を両側から挟
み込むように２つの部材で構成してもよい。また袋ナッ
ト（７）外周にテープ状の物を巻き付けて筒状とする構
成としてもよい。
るために、袋ナット（７）の外周に筒状のナット膨らみ
防止具（１１）を嵌入する。なお、このナット膨らみ防
止具（１１）はステンレス鋼等の金属素材から形成する
ことが好ましいが、他の素材で形成してもよい。また、
形状については袋ナット（７）外周に密接可能であれば
特に限定されないが、高さについては図示の如く袋ナッ
ト（７）と同高さとすることが好ましい。また、ナット
膨らみ防止具（１１）は単一部材で構成してもよいし、
２以上の部材、例えば袋ナット（７）外周を両側から挟
み込むように２つの部材で構成してもよい。また袋ナッ
ト（７）外周にテープ状の物を巻き付けて筒状とする構
成としてもよい。
【０００９】尚、本発明に係る脱気装置においては、脱
気エレメント（３）と接続部材（５）、接続部材（５）
と真空チャンバー（２）の接続固定方法は図示例に限定
されるものではなく、接続部の気密性に優れ且つ脱気エ
レメントと接続部材、接続部材と真空チャンバーを確実
に固定することができれば、他の方法を採用してもよ
い。
気エレメント（３）と接続部材（５）、接続部材（５）
と真空チャンバー（２）の接続固定方法は図示例に限定
されるものではなく、接続部の気密性に優れ且つ脱気エ
レメントと接続部材、接続部材と真空チャンバーを確実
に固定することができれば、他の方法を採用してもよ
い。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る脱気装置の実施例及び比
較例を示すことにより、本発明に係る脱気装置の効果を
より明確にする。 （実施例）内径０．５ｍｍ、外径０．８ｍｍ、長さ２８
ｃｍのＰＴＦＥ気体透過性チューブを１５０本結束して
得られた気体透過性チューブ束の両端部に金型を外挿す
ると共に、気体透過性チューブの端部外周面上にＰＦＡ
粉末を塗布して３７０℃で１０分間加熱加圧し、気体透
過性チューブ相互を融着一体化することにより、断面円
形の気体透過性チューブ束を得た。この気体透過性チュ
ーブ束の端部に、熱収縮性を有する円筒形のフッソ樹脂
パイプの内部にＰＦＡ粉末を塗布したものを嵌合し、気
体透過性チューブ束とパイプを融着一体化して有効長さ
２０ｃｍの脱気エレメントを得た。この脱気エレメント
の端部の一部を図１のようにフェルールを介して６０ｋ
ｇｆ・ｃｍトルクで厚み３ｍｍのＳＵＳ製ナット膨らみ
防止具を取り付けたナットを固定し、Ｏリングを介して
接続部材により真空チャンバーに装着した。そして真空
チャンバーの吸引口に真空ポンプ等の減圧装置を接続し
て作動させることにより真空チャンバー内を真空状態に
して入液口から脱気エレメントに処理液を供給して脱気
作業を行った。このときの処理液の供給方法は、圧力３
ｋｇｆ／ｃｍ2 の条件下で１０秒間吐出して６０秒間大
気圧下で停止する間欠運転を行った。その結果、繰り返
し回数１０万回でも液漏れの発生はなく、真空チャンバ
ー内のナットを確認しても破損は見られなかった。 （比較例）厚さ３ｍｍのＳＵＳ製ナット膨らみ防止具を
取り外したナットを使用して実施例と同様の脱気装置及
び処理液の供給方法で脱気作業を行ったところ、繰り返
し回数３００回で液漏れが確認され、真空チャンバー内
を確認したところナットが破損して脱気エレメントが接
続部材から脱離していた。
較例を示すことにより、本発明に係る脱気装置の効果を
より明確にする。 （実施例）内径０．５ｍｍ、外径０．８ｍｍ、長さ２８
ｃｍのＰＴＦＥ気体透過性チューブを１５０本結束して
得られた気体透過性チューブ束の両端部に金型を外挿す
ると共に、気体透過性チューブの端部外周面上にＰＦＡ
粉末を塗布して３７０℃で１０分間加熱加圧し、気体透
過性チューブ相互を融着一体化することにより、断面円
形の気体透過性チューブ束を得た。この気体透過性チュ
ーブ束の端部に、熱収縮性を有する円筒形のフッソ樹脂
パイプの内部にＰＦＡ粉末を塗布したものを嵌合し、気
体透過性チューブ束とパイプを融着一体化して有効長さ
２０ｃｍの脱気エレメントを得た。この脱気エレメント
の端部の一部を図１のようにフェルールを介して６０ｋ
ｇｆ・ｃｍトルクで厚み３ｍｍのＳＵＳ製ナット膨らみ
防止具を取り付けたナットを固定し、Ｏリングを介して
接続部材により真空チャンバーに装着した。そして真空
チャンバーの吸引口に真空ポンプ等の減圧装置を接続し
て作動させることにより真空チャンバー内を真空状態に
して入液口から脱気エレメントに処理液を供給して脱気
作業を行った。このときの処理液の供給方法は、圧力３
ｋｇｆ／ｃｍ2 の条件下で１０秒間吐出して６０秒間大
気圧下で停止する間欠運転を行った。その結果、繰り返
し回数１０万回でも液漏れの発生はなく、真空チャンバ
ー内のナットを確認しても破損は見られなかった。 （比較例）厚さ３ｍｍのＳＵＳ製ナット膨らみ防止具を
取り外したナットを使用して実施例と同様の脱気装置及
び処理液の供給方法で脱気作業を行ったところ、繰り返
し回数３００回で液漏れが確認され、真空チャンバー内
を確認したところナットが破損して脱気エレメントが接
続部材から脱離していた。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、１本以
上の気体透過性チューブから成り両端部に接合片が取着
されてなる脱気エレメントが真空チャンバーに固定され
た接続部材に嵌合片を介してナットにより接続されてな
る脱気装置であって、前記ナットの外周に筒状のナット
膨らみ防止具が嵌入されてなることを特徴とする脱気装
置であるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、
脱気エレメントを固定するためのナットの外周に筒状の
ナット膨らみ防止具を設けたので、ナットの膨らみを防
止することができナットが破損することがなく、脱気作
業中において脱気エレメントが脱離して真空チャンバー
内に液漏れが発生することがない。
上の気体透過性チューブから成り両端部に接合片が取着
されてなる脱気エレメントが真空チャンバーに固定され
た接続部材に嵌合片を介してナットにより接続されてな
る脱気装置であって、前記ナットの外周に筒状のナット
膨らみ防止具が嵌入されてなることを特徴とする脱気装
置であるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、
脱気エレメントを固定するためのナットの外周に筒状の
ナット膨らみ防止具を設けたので、ナットの膨らみを防
止することができナットが破損することがなく、脱気作
業中において脱気エレメントが脱離して真空チャンバー
内に液漏れが発生することがない。
【図１】本発明に係る脱気装置の一実施例を示す断面図
である。
である。
【図２】従来の脱気装置の例を示す断面図である。
１ 脱気装置 ２ 真空チャンバー ３ 脱気エレメント ４ 気体透過性チューブ ５ 接続部材 ６ 嵌合片 ７ ナット（袋ナット） １０ 接続片 １１ 膨らみ防止具
Claims (1)
- 【請求項１】 １本以上の気体透過性チューブから成り
両端部に接合片が取着されてなる脱気エレメントが真空
チャンバーに固定された接続部材に嵌合片を介してナッ
トにより接続されてなる脱気装置であって、前記ナット
の外周に筒状のナット膨らみ防止具が嵌入されてなるこ
とを特徴とする脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34661096A JP3616221B2 (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34661096A JP3616221B2 (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 脱気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10165709A true JPH10165709A (ja) | 1998-06-23 |
| JP3616221B2 JP3616221B2 (ja) | 2005-02-02 |
Family
ID=18384604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34661096A Expired - Fee Related JP3616221B2 (ja) | 1996-12-09 | 1996-12-09 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3616221B2 (ja) |
-
1996
- 1996-12-09 JP JP34661096A patent/JP3616221B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3616221B2 (ja) | 2005-02-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040726 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040924 |
|
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