JP3398826B2 - 脱気装置 - Google Patents
脱気装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は脱気装置に係り、その
目的は液体中の溶存ガスを除去する脱気作業において、
処理液の操作中に金属イオンを液中に溶出させることが
なく、しかも装置全体の気密性に優れ、極めて高純度の
液体の脱気操作を効率良く行うことができる取り扱いの
容易な脱気装置を提供することにある。
目的は液体中の溶存ガスを除去する脱気作業において、
処理液の操作中に金属イオンを液中に溶出させることが
なく、しかも装置全体の気密性に優れ、極めて高純度の
液体の脱気操作を効率良く行うことができる取り扱いの
容易な脱気装置を提供することにある。
【０００２】
【発明の背景】液体クロマトグラフィー等各種分析機器
において、高感度の検出器が創出されてくるに従って、
分析用試薬も高純度のものが要求されてくるようになっ
ている。このような高純度の薬品に空気などが溶解して
しまうと、変色や劣化、或いは不純物の増加等が生じ、
精度の高い分析結果が得られないことがある。さらに、
このような高純度の薬品は、純度を上げることにより様
々な工程を経て製造されるが、特に金属イオンの混入を
嫌う薬品を製造する工程では耐熱性、耐溶剤性等のある
フッ素樹脂が用いられ、金属イオン等の混合を防止して
いる。
において、高感度の検出器が創出されてくるに従って、
分析用試薬も高純度のものが要求されてくるようになっ
ている。このような高純度の薬品に空気などが溶解して
しまうと、変色や劣化、或いは不純物の増加等が生じ、
精度の高い分析結果が得られないことがある。さらに、
このような高純度の薬品は、純度を上げることにより様
々な工程を経て製造されるが、特に金属イオンの混入を
嫌う薬品を製造する工程では耐熱性、耐溶剤性等のある
フッ素樹脂が用いられ、金属イオン等の混合を防止して
いる。
【０００３】
【従来の技術】液体中に溶解している空気等の溶存ガス
を脱気する脱気方法として、液体中のガスを選択的に透
過する分離膜を用いた脱気装置が存在している。この脱
気装置としては、例えば図７に示すような長尺な気体透
過性の合成樹脂製チューブａを多数本束ねたチューブ束
ｂと、このチューブ束ｂの端部に、熱融着性フッ素樹脂
粉末を介して接合一体化される筒状のポリテトラフルオ
ロエチレン製の嵌合片ｃとから構成される脱気エレメン
トＤが例示できる。このような脱気エレメントＤは、図
８に示すように真空ポンプＥと接続された真空チャンバ
ーＦ内部に配設され、この真空チャンバーＦ内を減圧し
ながら合成樹脂チューブの中に脱気すべき液体を送液ポ
ンプＧにより流通させて、このチューブ壁を介して液体
中の溶存ガスを除去するものであり、従前より使用され
ていた煮沸や超音波を用いる脱気方法の欠点が改善さ
れ、分析以外にも各種産業分野に利用されつつある。
を脱気する脱気方法として、液体中のガスを選択的に透
過する分離膜を用いた脱気装置が存在している。この脱
気装置としては、例えば図７に示すような長尺な気体透
過性の合成樹脂製チューブａを多数本束ねたチューブ束
ｂと、このチューブ束ｂの端部に、熱融着性フッ素樹脂
粉末を介して接合一体化される筒状のポリテトラフルオ
ロエチレン製の嵌合片ｃとから構成される脱気エレメン
トＤが例示できる。このような脱気エレメントＤは、図
８に示すように真空ポンプＥと接続された真空チャンバ
ーＦ内部に配設され、この真空チャンバーＦ内を減圧し
ながら合成樹脂チューブの中に脱気すべき液体を送液ポ
ンプＧにより流通させて、このチューブ壁を介して液体
中の溶存ガスを除去するものであり、従前より使用され
ていた煮沸や超音波を用いる脱気方法の欠点が改善さ
れ、分析以外にも各種産業分野に利用されつつある。
【０００４】ここで、脱気エレメントＤを真空チャンバ
ーＦ内部に配設する際には例えば図９に示すような筒状
のアダプターＨを図１０に示すような真空チャンバーＦ
の接続口Ｆ−１に取り付けることによって行われてい
た。このアダプターＨは、外周面先端部に脱気すべき液
体を送り込むパイプが接続されるパイプコネクター部ｉ
が形成され、且つ他端部内壁には脱気エレメントの嵌合
片ｃを嵌着させる嵌着部ｊが形成されてなるとともにそ
の中途部にフランジ部ｋ及びナットＺを嵌合させるため
のネジ部ｙとが形成されてなるものであった。このよう
なアダプターＨの嵌着部ｊに脱気エレメントＤを挿通さ
せ、これをナットｚで固定させて、この固定部を真空チ
ャンバーＦの系内に配設して脱気装置が構成されてい
た。
ーＦ内部に配設する際には例えば図９に示すような筒状
のアダプターＨを図１０に示すような真空チャンバーＦ
の接続口Ｆ−１に取り付けることによって行われてい
た。このアダプターＨは、外周面先端部に脱気すべき液
体を送り込むパイプが接続されるパイプコネクター部ｉ
が形成され、且つ他端部内壁には脱気エレメントの嵌合
片ｃを嵌着させる嵌着部ｊが形成されてなるとともにそ
の中途部にフランジ部ｋ及びナットＺを嵌合させるため
のネジ部ｙとが形成されてなるものであった。このよう
なアダプターＨの嵌着部ｊに脱気エレメントＤを挿通さ
せ、これをナットｚで固定させて、この固定部を真空チ
ャンバーＦの系内に配設して脱気装置が構成されてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記図９乃
至図１０に示したアダプターＨの材質として金属を用い
た場合、処理液中に金属イオンが溶出してしまい、純度
の高い試薬等の処理には適さないという課題が存在し
た。一方、このような問題を解消するため、アダプター
Ｈをフッ素樹脂製とすると、金属イオンの溶出は防止で
きるが、逆にシール性が低下したり、或いは成形性が複
雑になったり、さらには装置自体が非常に高価なものと
なってしまうという課題が存在した。そこで、この発明
では溶液中の溶存ガスを脱気する脱気装置において、そ
の処理液が金属と接触して液中に金属イオンを溶出させ
てしまったり、錆を生じさせてしまうことがないととも
に、シール性に優れ、そのうえ取り扱いが容易で、且つ
安価に得ることのできる脱気装置の提供を目的とする。
至図１０に示したアダプターＨの材質として金属を用い
た場合、処理液中に金属イオンが溶出してしまい、純度
の高い試薬等の処理には適さないという課題が存在し
た。一方、このような問題を解消するため、アダプター
Ｈをフッ素樹脂製とすると、金属イオンの溶出は防止で
きるが、逆にシール性が低下したり、或いは成形性が複
雑になったり、さらには装置自体が非常に高価なものと
なってしまうという課題が存在した。そこで、この発明
では溶液中の溶存ガスを脱気する脱気装置において、そ
の処理液が金属と接触して液中に金属イオンを溶出させ
てしまったり、錆を生じさせてしまうことがないととも
に、シール性に優れ、そのうえ取り扱いが容易で、且つ
安価に得ることのできる脱気装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するためになされたものであって、請求項１の発明で
は金属製真空チャンバー内部に脱気エレメントが配設さ
れた脱気装置であって、真空チャンバーに設けられた接
続口と、接続口を挿通されるパイプコネクターと、真空
チャンバー内部に配設されると共に嵌入孔が形成された
金属製の取付片とを有し、パイプコネクターは、外周面
にパイプ接続部が形成されると共にこれが真空チャンバ
ー外部に位置させられる筒状の胴部と、この胴部に連続
して設けられると共に真空チャンバー内部に位置させら
れるフランジ部とからなり、取付片の嵌入孔の一端には
前記フランジ部が嵌入されると共に同他端には脱気エレ
メントの端部が嵌入され、取付片の嵌入孔内部において
前記フランジ部と脱気エレメントの端部がフッ素樹脂系
のＯリングを介して連接され、脱気エレメントは複数本
のフッ素樹脂製チューブからなるチューブ束とこのチュ
ーブ束の端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダプターとか
らなり、前記フッ素樹脂製アダプターには外周面に第一
嵌合片と第二嵌合片とが嵌着されるとともに第一嵌合片
が取付片の嵌入孔に挿通され、且つ第二嵌合片及び取付
片の外周面が一の嵌着体により嵌合されてなることを特
徴とする脱気装置を提供する。請求項２の発明では前記
チューブ束とフッ素樹脂製アダプターとが熱融着性フッ
素樹脂粉末を介して接合一体化されてなることを特徴と
する脱気装置を提供する。請求項３の発明では前記パイ
プコネクターの胴部外周面に凹部が形成され、この凹部
に固定具を取着してなるとともにこの固定具を真空チャ
ンバーに固着してなることを特徴とする請求項１又は２
に記載の脱気装置を提供する。
成するためになされたものであって、請求項１の発明で
は金属製真空チャンバー内部に脱気エレメントが配設さ
れた脱気装置であって、真空チャンバーに設けられた接
続口と、接続口を挿通されるパイプコネクターと、真空
チャンバー内部に配設されると共に嵌入孔が形成された
金属製の取付片とを有し、パイプコネクターは、外周面
にパイプ接続部が形成されると共にこれが真空チャンバ
ー外部に位置させられる筒状の胴部と、この胴部に連続
して設けられると共に真空チャンバー内部に位置させら
れるフランジ部とからなり、取付片の嵌入孔の一端には
前記フランジ部が嵌入されると共に同他端には脱気エレ
メントの端部が嵌入され、取付片の嵌入孔内部において
前記フランジ部と脱気エレメントの端部がフッ素樹脂系
のＯリングを介して連接され、脱気エレメントは複数本
のフッ素樹脂製チューブからなるチューブ束とこのチュ
ーブ束の端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダプターとか
らなり、前記フッ素樹脂製アダプターには外周面に第一
嵌合片と第二嵌合片とが嵌着されるとともに第一嵌合片
が取付片の嵌入孔に挿通され、且つ第二嵌合片及び取付
片の外周面が一の嵌着体により嵌合されてなることを特
徴とする脱気装置を提供する。請求項２の発明では前記
チューブ束とフッ素樹脂製アダプターとが熱融着性フッ
素樹脂粉末を介して接合一体化されてなることを特徴と
する脱気装置を提供する。請求項３の発明では前記パイ
プコネクターの胴部外周面に凹部が形成され、この凹部
に固定具を取着してなるとともにこの固定具を真空チャ
ンバーに固着してなることを特徴とする請求項１又は２
に記載の脱気装置を提供する。
【０００７】
【作用】請求項１の発明では、真空チャンバーの系内
に、接続口と連通する嵌入孔を備えた金属製取付片を取
り付け、この嵌入孔に系外部より系内部にわってフッ素
樹脂製のパイプコネクターを挿通するとともに、このパ
イプコネクターと脱気エレメントとをフッ素樹脂系のＯ
リングを介して連接して配設する。また、脱気エレメン
トは複数本のフッ素樹脂製チューブからなるチューブ束
とこのチューブ束の端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダ
プターとから構成する。従って、脱気エレメントの内部
を流通する処理液はその全工程においてフッ素樹脂と接
触することとなるから、処理液中に金属イオンが溶出せ
ず、また錆が発生することもない。しかも、脱気エレメ
ント及びパイプコネクターの固定には金属製の取付片を
使用しているから、シール性が高く、純度の高い薬品を
効率良く脱気処理することができる。さらに、金属製の
取付片の使用により、コストを低減することができ、脱
気装置として汎用することができる。請求項２の発明で
はチューブ束とフッ素樹脂製アダプターとを熱融着性フ
ッ素樹脂粉末を介して接合一体化してなるから、アダプ
ターへのチューブの挿入が容易となり、しかもこれらの
接合を位置ズレを起こすことなく行うことができる。請
求項３の発明ではパイプコネクターの胴部外周面に凹部
を形成し、この凹部に固定具を取着してなるとともにこ
の固定具を真空チャンバーに固着するから、パイプコネ
クターの真空チャンバー接続口における空回りを防止す
ることができると同時に、脱気装置のシール性をより向
上させることができる。
に、接続口と連通する嵌入孔を備えた金属製取付片を取
り付け、この嵌入孔に系外部より系内部にわってフッ素
樹脂製のパイプコネクターを挿通するとともに、このパ
イプコネクターと脱気エレメントとをフッ素樹脂系のＯ
リングを介して連接して配設する。また、脱気エレメン
トは複数本のフッ素樹脂製チューブからなるチューブ束
とこのチューブ束の端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダ
プターとから構成する。従って、脱気エレメントの内部
を流通する処理液はその全工程においてフッ素樹脂と接
触することとなるから、処理液中に金属イオンが溶出せ
ず、また錆が発生することもない。しかも、脱気エレメ
ント及びパイプコネクターの固定には金属製の取付片を
使用しているから、シール性が高く、純度の高い薬品を
効率良く脱気処理することができる。さらに、金属製の
取付片の使用により、コストを低減することができ、脱
気装置として汎用することができる。請求項２の発明で
はチューブ束とフッ素樹脂製アダプターとを熱融着性フ
ッ素樹脂粉末を介して接合一体化してなるから、アダプ
ターへのチューブの挿入が容易となり、しかもこれらの
接合を位置ズレを起こすことなく行うことができる。請
求項３の発明ではパイプコネクターの胴部外周面に凹部
を形成し、この凹部に固定具を取着してなるとともにこ
の固定具を真空チャンバーに固着するから、パイプコネ
クターの真空チャンバー接続口における空回りを防止す
ることができると同時に、脱気装置のシール性をより向
上させることができる。
【０００８】
【発明の構成】以下、この発明に係る脱気装置の好まし
い構成を図面に基づいて詳述する。図１はこの発明の脱
気装置の一実施例を示す断面図であり、図２は部分拡大
断面図である。図示するように、脱気装置１は金属製真
空チャンバー２の接続口２１に金属製取付片３を介して
フッ素樹脂製のパイプコネクター４と脱気エレメント５
とをそれぞれ連通状態で挿通させることによって形成さ
れる。
い構成を図面に基づいて詳述する。図１はこの発明の脱
気装置の一実施例を示す断面図であり、図２は部分拡大
断面図である。図示するように、脱気装置１は金属製真
空チャンバー２の接続口２１に金属製取付片３を介して
フッ素樹脂製のパイプコネクター４と脱気エレメント５
とをそれぞれ連通状態で挿通させることによって形成さ
れる。
【０００９】金属製取付片３は、金属製真空チャンバー
２の接続口２１の内面側に溶接等により固定され、接続
口２１と連通する嵌入孔３２が形成されるとともに、外
周面にはネジ部３１が形成されている。嵌入孔３２には
フッ素樹脂製のパイプコネクター４及び脱気エレメント
５とがフッ素樹脂系のＯリング６を介して連接状態で挿
通される。
２の接続口２１の内面側に溶接等により固定され、接続
口２１と連通する嵌入孔３２が形成されるとともに、外
周面にはネジ部３１が形成されている。嵌入孔３２には
フッ素樹脂製のパイプコネクター４及び脱気エレメント
５とがフッ素樹脂系のＯリング６を介して連接状態で挿
通される。
【００１０】フッ素樹脂製のパイプコネクター４は筒状
の胴部４１とフランジ部４２とからなり、筒状の胴部４
１にはパイプ接続部４１ａが形成されている。筒状の胴
部４１は真空チャンバー２の系外に配置され、フランジ
部４２が真空チャンバー２系内の取付片３に嵌着されて
いる。脱気エレメント５は複数本のフッ素樹脂製チュー
ブ５１からなるチューブ束５ａとこのチューブ束５ａの
端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダプター５２とからな
る。
の胴部４１とフランジ部４２とからなり、筒状の胴部４
１にはパイプ接続部４１ａが形成されている。筒状の胴
部４１は真空チャンバー２の系外に配置され、フランジ
部４２が真空チャンバー２系内の取付片３に嵌着されて
いる。脱気エレメント５は複数本のフッ素樹脂製チュー
ブ５１からなるチューブ束５ａとこのチューブ束５ａの
端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダプター５２とからな
る。
【００１１】この発明において、フッ素樹脂製チューブ
５１及びフッ素樹脂製アダプター５２、さらにパイプコ
ネクター４を構成するフッ素樹脂としては、具体的には
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフル
オロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−テト
ラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロ
トリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）等が例示できる
が、この発明においては特に限定はされない。また、パ
イプコネクター４と脱気エレメント５との接続部分に使
用されるフッ素樹脂系のＯリング６としては、ＰＴＦ
Ｅ、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ等が好適に
使用できるが、これら以外に例えばビニリデンフルオラ
イド−ヘキサフルオロプロピレン系、ビニリデンフルオ
ライド−ヘキサフルオロプロピレン−テトラフルオロエ
チレン系、ビニリデンフルオライド−クロロトリフルオ
ロエチレン系、テトラフロオロエチレン−プロピレン
系、含フッ素シリコーン系、含フッ素ニトロン系、含フ
ッ素ビニルエーテル系、含フッ素トリアジン系、含フッ
素フォスファゼン系等のフッ素系のゴムなども特に限定
されることなく好適に使用できる。
５１及びフッ素樹脂製アダプター５２、さらにパイプコ
ネクター４を構成するフッ素樹脂としては、具体的には
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフル
オロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−テト
ラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロ
トリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）等が例示できる
が、この発明においては特に限定はされない。また、パ
イプコネクター４と脱気エレメント５との接続部分に使
用されるフッ素樹脂系のＯリング６としては、ＰＴＦ
Ｅ、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ等が好適に
使用できるが、これら以外に例えばビニリデンフルオラ
イド−ヘキサフルオロプロピレン系、ビニリデンフルオ
ライド−ヘキサフルオロプロピレン−テトラフルオロエ
チレン系、ビニリデンフルオライド−クロロトリフルオ
ロエチレン系、テトラフロオロエチレン−プロピレン
系、含フッ素シリコーン系、含フッ素ニトロン系、含フ
ッ素ビニルエーテル系、含フッ素トリアジン系、含フッ
素フォスファゼン系等のフッ素系のゴムなども特に限定
されることなく好適に使用できる。
【００１２】さらに、フッ素樹脂製チューブ束５ａを構
成するフッ素樹脂製チューブ５１の本数としては特に限
定はされず、使用目的に応じて数本、数十本、数百本等
の任意の数を適宜選択することができる。この発明にお
いてフッ素樹脂製アダプター５２は、チューブ束５ａの
端部において、熱融着性を有するフッ素樹脂粉末５３を
介して融着によりチューブ束５ａと接合一体化される。
ここで、熱融着性を有するフッ素樹脂粉末５３として
は、ＦＥＰ、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ等の粉末が特
に限定されることなくいずれのものでも好適に使用する
ことができる。このように熱融着性を有するフッ素樹脂
粉末５３を用いて融着することにより、アダプター５２
へのチューブ束５ａの挿入が容易となるとともに、この
接合を位置ズレを起こすことなく正確に行うことができ
る。
成するフッ素樹脂製チューブ５１の本数としては特に限
定はされず、使用目的に応じて数本、数十本、数百本等
の任意の数を適宜選択することができる。この発明にお
いてフッ素樹脂製アダプター５２は、チューブ束５ａの
端部において、熱融着性を有するフッ素樹脂粉末５３を
介して融着によりチューブ束５ａと接合一体化される。
ここで、熱融着性を有するフッ素樹脂粉末５３として
は、ＦＥＰ、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ等の粉末が特
に限定されることなくいずれのものでも好適に使用する
ことができる。このように熱融着性を有するフッ素樹脂
粉末５３を用いて融着することにより、アダプター５２
へのチューブ束５ａの挿入が容易となるとともに、この
接合を位置ズレを起こすことなく正確に行うことができ
る。
【００１３】具体的にチューブ束５ａを形成するには、
例えば小径チューブの多数本を引き揃え、各チューブ５
１の端部の外周面上に前述したような熱融着性フッ素樹
脂粉末を散布し、この散布部分を加熱加圧して各チュー
ブ５１相互をフッ素樹脂粉末を介して融着一体化する方
法を例示することができる。尚、この一体化の際には、
チューブの変形を防止するために、チューブ内に金属
線、金属棒のような耐圧芯材を挿入させておいてもよ
く、或いは端部に金型を外挿させておいてもよい。この
ようにして得られたチューブ束５ａの端部にフッ素樹脂
製アダプター５２を挿通し、前記同様のフッ素樹脂製粉
末５３を介して接合一体化し、脱気エレメント５とす
る。すなわち、筒状のアダプター５２の一方の開口部を
挿入孔５２ａとし、この挿入孔５２ａにチューブ束５ａ
の接合端部が位置するよう配設し、このチューブ束５ａ
とアダプター５２内壁との間隙にフッ素樹脂製粉末５３
を充填して加熱により融着一体化して脱気エレメント５
が形成される。尚、この発明においては、筒状のアダプ
ター５２として、熱収縮性を有するものを用い、フッ素
樹脂粉末の熱融着性と、アダプター５２の熱収縮力とに
よりチューブ束５ａとアダプター５２とを接合一体化す
る方法も好ましく採用することができる。
例えば小径チューブの多数本を引き揃え、各チューブ５
１の端部の外周面上に前述したような熱融着性フッ素樹
脂粉末を散布し、この散布部分を加熱加圧して各チュー
ブ５１相互をフッ素樹脂粉末を介して融着一体化する方
法を例示することができる。尚、この一体化の際には、
チューブの変形を防止するために、チューブ内に金属
線、金属棒のような耐圧芯材を挿入させておいてもよ
く、或いは端部に金型を外挿させておいてもよい。この
ようにして得られたチューブ束５ａの端部にフッ素樹脂
製アダプター５２を挿通し、前記同様のフッ素樹脂製粉
末５３を介して接合一体化し、脱気エレメント５とす
る。すなわち、筒状のアダプター５２の一方の開口部を
挿入孔５２ａとし、この挿入孔５２ａにチューブ束５ａ
の接合端部が位置するよう配設し、このチューブ束５ａ
とアダプター５２内壁との間隙にフッ素樹脂製粉末５３
を充填して加熱により融着一体化して脱気エレメント５
が形成される。尚、この発明においては、筒状のアダプ
ター５２として、熱収縮性を有するものを用い、フッ素
樹脂粉末の熱融着性と、アダプター５２の熱収縮力とに
よりチューブ束５ａとアダプター５２とを接合一体化す
る方法も好ましく採用することができる。
【００１４】以上のようなフッ素樹脂製アダプター５２
には外周面に第一嵌合片７１と第二嵌合片７２とが嵌着
される。この第一嵌合片７１は図３に示すように一端に
フランジ面７１ａを備えた円錐状の筒体とされ、第二嵌
合片７２は図４に示すように円筒体７２ｂの端部に鍔７
２ａを備えた形状を備えている。このような第一嵌合片
７１と第二嵌合片７２とを図示するようにフッ素樹脂製
アダプター５２の外周面に連接して嵌着させるととも
に、第一嵌合片７１を金属製取付片３の嵌入孔３３内に
挿通させる。また、第二嵌合片７２及び取付片３の外周
面とをそれぞれ一の嵌着体、図示する実施例ではナット
８により嵌合させて固定する。
には外周面に第一嵌合片７１と第二嵌合片７２とが嵌着
される。この第一嵌合片７１は図３に示すように一端に
フランジ面７１ａを備えた円錐状の筒体とされ、第二嵌
合片７２は図４に示すように円筒体７２ｂの端部に鍔７
２ａを備えた形状を備えている。このような第一嵌合片
７１と第二嵌合片７２とを図示するようにフッ素樹脂製
アダプター５２の外周面に連接して嵌着させるととも
に、第一嵌合片７１を金属製取付片３の嵌入孔３３内に
挿通させる。また、第二嵌合片７２及び取付片３の外周
面とをそれぞれ一の嵌着体、図示する実施例ではナット
８により嵌合させて固定する。
【００１５】図５はこの発明の脱気装置１の他の実施例
を示す部分拡大断面図である。この発明では、図示する
ようにフッ素樹脂製のパイプコネクター４の胴部４１外
周面に凹部４３を形成し、この凹部４３に固定具９を取
着するとともにこの固定具９を真空チャンバー２に固着
して、パイプコネクター４の空回りを防止し、且つ装置
全体の気密性を向上させる構造としてもよい。固定具９
の真空チャンバー２への固着方法としては、溶接による
固着や、或いは図６に示すようネジ１０を用いた方法な
どが適宜任意に採用できる。
を示す部分拡大断面図である。この発明では、図示する
ようにフッ素樹脂製のパイプコネクター４の胴部４１外
周面に凹部４３を形成し、この凹部４３に固定具９を取
着するとともにこの固定具９を真空チャンバー２に固着
して、パイプコネクター４の空回りを防止し、且つ装置
全体の気密性を向上させる構造としてもよい。固定具９
の真空チャンバー２への固着方法としては、溶接による
固着や、或いは図６に示すようネジ１０を用いた方法な
どが適宜任意に採用できる。
【００１６】
【実施例】以下、この発明に係る脱気装置の効果を実施
例を挙げることにより、一層詳細に説明する。但し、こ
の発明は以下の実施例により限定はされない。
例を挙げることにより、一層詳細に説明する。但し、こ
の発明は以下の実施例により限定はされない。
【００１７】（実施例１）内径０．５ｍｍ、外径０．８
ｍｍ、長さ２８ｃｍのＰＴＦＥチューブを１５０本結束
して得られたチューブ束の一端部に金型を外挿すると共
に、各チューブの端部外周面上にＰＦＡ粉末を散布し
て、温度３７０℃で１０分間加熱加圧し、前記粉末を介
してチューブ相互を融着一体化することにより、断面円
形のチューブ束を得た。一方、これとは別に外周面に熱
収縮性を有する円筒状のフッ素樹脂製アダプターを前記
融着後のチューブ束に挿入し、さらにアダプターの開口
部上に金型を配置して、温度３７０℃で２０分間加熱加
圧し、チューブ束とアダプターとを融着一体化して図１
に示すような有効チューブ長さ２０ｃｍの脱気エレメン
トを得た。この脱気エレメントの外周面に、図３及び図
４に示した第一嵌合片、第二嵌合片をそれぞれ嵌合さ
せ、図１に示すように真空チャンバーの系内に固着され
ている取付片に挿通させ、これをナットで締めて脱気エ
レメントを固定した。またフランジ部およびパイプ接続
部とを備えたパイプコネクターを前記取付片にフッ素ビ
ニルエーテル系のフッ素ゴム（商品名：パーフロ、ダイ
キン工業株式会社製）からなるＯリングを用いて固定し
た。さらに、パイプコネクターの空回りを防止するため
に、図５に示すような金属製の固定具を外周面に取り付
け、これを真空チャンバー外壁に溶接により固着して実
施例１の脱気装置とした。この脱気装置に送液パイプを
接続したところ、パイプコネクターの空回りは認められ
ず、容易にパイプの接続を行うことができた。
ｍｍ、長さ２８ｃｍのＰＴＦＥチューブを１５０本結束
して得られたチューブ束の一端部に金型を外挿すると共
に、各チューブの端部外周面上にＰＦＡ粉末を散布し
て、温度３７０℃で１０分間加熱加圧し、前記粉末を介
してチューブ相互を融着一体化することにより、断面円
形のチューブ束を得た。一方、これとは別に外周面に熱
収縮性を有する円筒状のフッ素樹脂製アダプターを前記
融着後のチューブ束に挿入し、さらにアダプターの開口
部上に金型を配置して、温度３７０℃で２０分間加熱加
圧し、チューブ束とアダプターとを融着一体化して図１
に示すような有効チューブ長さ２０ｃｍの脱気エレメン
トを得た。この脱気エレメントの外周面に、図３及び図
４に示した第一嵌合片、第二嵌合片をそれぞれ嵌合さ
せ、図１に示すように真空チャンバーの系内に固着され
ている取付片に挿通させ、これをナットで締めて脱気エ
レメントを固定した。またフランジ部およびパイプ接続
部とを備えたパイプコネクターを前記取付片にフッ素ビ
ニルエーテル系のフッ素ゴム（商品名：パーフロ、ダイ
キン工業株式会社製）からなるＯリングを用いて固定し
た。さらに、パイプコネクターの空回りを防止するため
に、図５に示すような金属製の固定具を外周面に取り付
け、これを真空チャンバー外壁に溶接により固着して実
施例１の脱気装置とした。この脱気装置に送液パイプを
接続したところ、パイプコネクターの空回りは認められ
ず、容易にパイプの接続を行うことができた。
【００１８】（実施例２）パイプコネクターの外周面に
取り付けた固定具を、図６に示すようにネジで真空チャ
ンバー外壁に固定した以外は前記実施例１と同様の脱気
装置を作成した。この脱気装置に送液パイプを接続した
ところ、パイプコネクターの空回りは認められず、容易
にパイプの接続を行うことができた。
取り付けた固定具を、図６に示すようにネジで真空チャ
ンバー外壁に固定した以外は前記実施例１と同様の脱気
装置を作成した。この脱気装置に送液パイプを接続した
ところ、パイプコネクターの空回りは認められず、容易
にパイプの接続を行うことができた。
【００１９】
【発明の効果】以上詳述した如く、請求項１の発明は金
属製真空チャンバー内部に脱気エレメントが配設された
脱気装置であって、真空チャンバーに設けられた接続口
と、接続口を挿通されるパイプコネクターと、真空チャ
ンバー内部に配設されると共に嵌入孔が形成された金属
製の取付片とを有し、パイプコネクターは、外周面にパ
イプ接続部が形成されると共にこれが真空チャンバー外
部に位置させられる筒状の胴部と、この胴部に連続して
設けられると共に真空チャンバー内部に位置させられる
フランジ部とからなり、取付片の嵌入孔の一端には前記
フランジ部が嵌入されると共に同他端には脱気エレメン
トの端部が嵌入され、取付片の嵌入孔内部において前記
フランジ部と脱気エレメントの端部がフッ素樹脂系のＯ
リングを介して連接され、脱気エレメントは複数本のフ
ッ素樹脂製チューブからなるチューブ束とこのチューブ
束の端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダプターとからな
り、前記フッ素樹脂製アダプターには外周面に第一嵌合
片と第二嵌合片とが嵌着されるとともに第一嵌合片が取
付片の嵌入孔に挿通され、且つ第二嵌合片及び取付片の
外周面が一の嵌着体により嵌合されてなることを特徴と
する脱気装置であるから、液体中の溶存ガスを除去する
脱気作業において、処理液の操作中に金属イオンが液中
に溶出されることがないとともに錆が発生することもな
く、しかも装置全体の気密性が優れているため、極めて
高純度の液体の脱気操作を効率良く行うことができ、さ
らに取り扱いが容易で且つ安価な脱気装置であるという
優れた効果を奏する。請求項２の発明は前記チューブ束
とフッ素樹脂製アダプターとが熱融着性フッ素樹脂粉末
を介して接合一体化されてなることを特徴とする脱気装
置であるからアダプターへのチューブの挿入を容易に行
うことができ、しかもこれらの接合を位置ズレを起こす
ことなく正確に行えるという優れた効果を奏する。請求
項３の発明は前記パイプコネクターの胴部外周面に凹部
が形成され、この凹部に固定具を取着してなるとともに
この固定具を真空チャンバーに固着してなることを特徴
とする脱気装置であるから、パイプコネクターの真空チ
ャンバー接続口における空回りを防止することができ、
取扱いが良好で、さらに脱気装置のシール性をより向上
させることができるという優れた効果を奏する。
属製真空チャンバー内部に脱気エレメントが配設された
脱気装置であって、真空チャンバーに設けられた接続口
と、接続口を挿通されるパイプコネクターと、真空チャ
ンバー内部に配設されると共に嵌入孔が形成された金属
製の取付片とを有し、パイプコネクターは、外周面にパ
イプ接続部が形成されると共にこれが真空チャンバー外
部に位置させられる筒状の胴部と、この胴部に連続して
設けられると共に真空チャンバー内部に位置させられる
フランジ部とからなり、取付片の嵌入孔の一端には前記
フランジ部が嵌入されると共に同他端には脱気エレメン
トの端部が嵌入され、取付片の嵌入孔内部において前記
フランジ部と脱気エレメントの端部がフッ素樹脂系のＯ
リングを介して連接され、脱気エレメントは複数本のフ
ッ素樹脂製チューブからなるチューブ束とこのチューブ
束の端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダプターとからな
り、前記フッ素樹脂製アダプターには外周面に第一嵌合
片と第二嵌合片とが嵌着されるとともに第一嵌合片が取
付片の嵌入孔に挿通され、且つ第二嵌合片及び取付片の
外周面が一の嵌着体により嵌合されてなることを特徴と
する脱気装置であるから、液体中の溶存ガスを除去する
脱気作業において、処理液の操作中に金属イオンが液中
に溶出されることがないとともに錆が発生することもな
く、しかも装置全体の気密性が優れているため、極めて
高純度の液体の脱気操作を効率良く行うことができ、さ
らに取り扱いが容易で且つ安価な脱気装置であるという
優れた効果を奏する。請求項２の発明は前記チューブ束
とフッ素樹脂製アダプターとが熱融着性フッ素樹脂粉末
を介して接合一体化されてなることを特徴とする脱気装
置であるからアダプターへのチューブの挿入を容易に行
うことができ、しかもこれらの接合を位置ズレを起こす
ことなく正確に行えるという優れた効果を奏する。請求
項３の発明は前記パイプコネクターの胴部外周面に凹部
が形成され、この凹部に固定具を取着してなるとともに
この固定具を真空チャンバーに固着してなることを特徴
とする脱気装置であるから、パイプコネクターの真空チ
ャンバー接続口における空回りを防止することができ、
取扱いが良好で、さらに脱気装置のシール性をより向上
させることができるという優れた効果を奏する。
【図１】この発明の脱気装置の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図２】図１に示した脱気装置の部分拡大断面図であ
る。
る。
【図３】この発明の脱気装置において使用される第一嵌
合片の一例を示す外観図である。
合片の一例を示す外観図である。
【図４】この発明の脱気装置において使用される第二嵌
合片の一例を示す外観図である。
合片の一例を示す外観図である。
【図５】この発明の脱気装置の他の例を示す部分拡大断
面図である。
面図である。
【図６】この発明の脱気装置の他の例を示す部分拡大断
面図である。
面図である。
【図７】従来の脱気エレメントの一例を示す断面図であ
る。
る。
【図８】前記従来の脱気エレメントを用いた脱気処理装
置の一例を示す模式図である。
置の一例を示す模式図である。
【図９】従来のアダプターを介して真空チャンバーに脱
気エレメントを接続した状態を示す部分拡大断面図であ
る。
気エレメントを接続した状態を示す部分拡大断面図であ
る。
【図１０】前記図９に示した従来の脱気装置の断面図で
ある。
ある。
１ 脱気装置
２ 真空チャンバー
２１ 接続口
３ 金属製取付片
３１ 嵌入孔
４ パイプコネクター
４１ 胴部
４１ａ パイプ接続部
４２ フランジ部
５ 脱気エレメント
５１ フッ素樹脂製チューブ
５２ フッ素樹脂製アダプター
６ フッ素樹脂系Ｏリング
７１ 第一嵌合片
７２ 第二嵌合片
８ 嵌着体
９ 固定具
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01D 19/00 - 19/04
C02F 1/20
B01D 61/00 - 71/82
Claims (3)
- 【請求項１】 金属製真空チャンバー内部に脱気エレメ
ントが配設された脱気装置であって、真空チャンバーに
設けられた接続口と、接続口を挿通されるパイプコネク
ターと、真空チャンバー内部に配設されると共に嵌入孔
が形成された金属製の取付片とを有し、パイプコネクタ
ーは、外周面にパイプ接続部が形成されると共にこれが
真空チャンバー外部に位置させられる筒状の胴部と、こ
の胴部に連続して設けられると共に真空チャンバー内部
に位置させられるフランジ部とからなり、取付片の嵌入
孔の一端には前記フランジ部が嵌入されると共に同他端
には脱気エレメントの端部が嵌入され、取付片の嵌入孔
内部において前記フランジ部と脱気エレメントの端部が
フッ素樹脂系のＯリングを介して連接され、脱気エレメ
ントは複数本のフッ素樹脂製チューブからなるチューブ
束とこのチューブ束の端部に嵌合されるフッ素樹脂製ア
ダプターとからなり、前記フッ素樹脂製アダプターには
外周面に第一嵌合片と第二嵌合片とが嵌着されるととも
に第一嵌合片が取付片の嵌入孔に挿通され、且つ第二嵌
合片及び取付片の外周面が一の嵌着体により嵌合されて
なることを特徴とする脱気装置。 - 【請求項２】 前記チューブ束とフッ素樹脂製アダプタ
ーとが熱融着性フッ素樹脂粉末を介して接合一体化され
てなることを特徴とする請求項１に記載の脱気装置。 - 【請求項３】 前記パイプコネクターの胴部外周面に凹
部が形成され、この凹部に固定具を取着してなるととも
にこの固定具を真空チャンバーに固着してなることを特
徴とする請求項１又は２に記載の脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32125594A JP3398826B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32125594A JP3398826B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 脱気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08150302A JPH08150302A (ja) | 1996-06-11 |
| JP3398826B2 true JP3398826B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=18130542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32125594A Expired - Lifetime JP3398826B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3398826B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101243785B1 (ko) * | 2012-08-01 | 2013-03-15 | (주) 디엔아이테크 | 탈기 장치의 어댑터 구조 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6076831B2 (ja) * | 2013-05-22 | 2017-02-08 | ダイセン・メンブレン・システムズ株式会社 | 中空糸膜モジュール |
| TW202333851A (zh) * | 2021-10-26 | 2023-09-01 | 日商Ｄｉｃ股份有限公司 | 液中微粒子測量系統、液中微粒子測量方法及中空絲脫氣模組 |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP32125594A patent/JP3398826B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101243785B1 (ko) * | 2012-08-01 | 2013-03-15 | (주) 디엔아이테크 | 탈기 장치의 어댑터 구조 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08150302A (ja) | 1996-06-11 |
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