TW202333851A - 液中微粒子測量系統、液中微粒子測量方法及中空絲脫氣模組 - Google Patents
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Abstract
提供一種與接液面的平滑性及脫氣性能皆優異之中空絲脫氣模組。更詳言之，中空絲脫氣模組5具有：密閉容器9；管單元8，其配置於密閉容器9內，且將複數個管7捆紮而構成；第一連接器部13，其以貫通密閉容器9之內外的方式配置於密閉容器9的液體導入口9c，且與密閉容器9卡合；及第二連接器部14，其以貫通密閉容器9之內外的方式配置於密閉容器9的液體排出口9d，且與密閉容器9卡合。管單元8的一端部8a，係與配置於密閉容器9的液體導入口9c的第一連接器部13氣密性地連接，另一端部8b係與配置於密閉容器9的液體排出口9d的第二連接器部14氣密性地連接。前述中空絲脫氣模組內之管，係非晶質氟聚合物、聚四氟乙烯或聚甲基戊烯。
Description
本發明係關於一種液中微粒子測量系統、使用其之液中微粒子測量方法、及使用於該系統之中空絲脫氣模組。
於半導體業界及關聯材料業界等中，對於水或藥液等液體的清潔度管理，廣泛使用一種採用光(雷射光)的散射方式之液中微粒子計。尤其是近年來，於半導體業界中，伴隨著元件的微細化，要求進行30nm以下、甚至10nm等級之粒徑的微粒子的管理。然而，若以液中微粒子計對如此粒徑的微粒子進行測定，因為液中之溶解氧等產生的氣泡也與微粒子同樣地使光散射，所以會導致被作為微粒子進行測量而產生誤測(誤計數)的問題。
於專利文獻1記載有一種液中微粒子測量系統，其具備：中空絲脫氣模組，其使用複數根被捆紮的PFA管單元，對被測定液體進行脫氣；及液中微粒子測量手段，其對脫氣後之被測定液體的液中微粒子進行測量。然而，該裝置使用的PFA管存在有雖然平滑性優異但脫氣性能降低的問題。由於接液面之平滑性與脫氣性能係處於背反的關係，當接液面的平滑性降低則會引起微粒子殘留，因此為了確保優異的平滑性，需要將管的有效長度延長。
此外，於專利文獻1中，雖然將平滑性定義為內面的粗糙度Rt(粗糙度曲線的最大截面高度，於評價長度中，輪廓曲線之峰高z
p的最大值與谷深z
v之最大值的和)為0.4μm以下的範圍，但由於該Rt值係利用峰值，因此存在容易受到劃痕、灰塵、測定雜訊等外部干擾影響的問題，未必一定可於該範圍內確保優異的平滑性。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本特開2021-15111號公報
[發明欲解決之課題]
因此，本發明所欲解決之課題在於：提供一種中空絲脫氣模組，係使用於液中微粒子測量系統，且該中空絲脫氣模組之與接液面的平滑性及脫氣性能皆優異。並且，本發明所欲解決之課題在於：提供一種液中微粒子測量系統及使用其之液中微粒子測量方法，其中，該液中微粒子測量系統，係藉由使用此種之中空絲脫氣模組從被測定液體中有效地除去氣泡，且抑制接液面上的微粒子殘留，以抑制誤測(誤計數)。
[用以解決課題之手段]
為了解決前述課題，本發明人等經銳意研究後之結果，發現一種中空絲脫氣模組可解決前述課題，且藉此完成了本發明，該中空絲脫氣模組，係使用有將非晶質氟樹脂、聚四氟乙烯或聚甲基戊烯作為材料的管，其中該非晶質氟樹脂，係含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧呃作為共聚單體之共聚物而成。
[1]即，本發明為一種液中微粒子測量系統，係具有：液中微粒子計；及至少一個中空絲脫氣模組，其連接到進行微粒子之測量的液體之供給源與該液中微粒子計之液體導入口之間的流道，其中，
前述中空絲脫氣模組具有：
密閉容器；
管單元，其配置於前述密閉容器內，且將1根管或2根以上的管捆紮而構成；
第一連接器部，其以貫通該密閉容器之內外的方式配置於前述密閉容器的液體導入口，且與前述密閉容器卡合；及
第二連接器部，其以貫通該密閉容器之內外的方式配置於前述密閉容器的液體排出口，且與前述密閉容器卡合；且
前述管或前述管單元的一端部，係與前述第一連接器部氣密性地連接，
前述管或前述管單元的另一端部，係與前述第二連接器部氣密性地連接，
前述管係由選自非晶質氟聚合物、聚四氟乙烯及聚甲基戊烯中的1種或複數種所構成。
[2]此外，本發明係如前述[1]之液中微粒子測量系統，其中前述第一連接器部或前述第二連接器部，係由選自含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧呃作為共聚單體之共聚物而成之非晶質氟樹脂、四氟乙烯樹脂、聚甲基戊烯樹脂中的1種或複數種所構成。
[3]此外，本發明係如前述[1]或[2]之液中微粒子測量系統，其中前述管之接液面的表面粗糙度Ra為0.25μm以下，且透氣係數為5×10
-6[cm
3‧cm/cm
2‧sec‧cmHg]〜1×10
-9[cm
3‧cm/cm
2‧sec‧cmHg]的範圍。
[4]此外，本發明係如前述[1]至[3]中任一項之液中微粒子測量系統，其中前述第一連接器部具備：第一連接器部本體，其形成有第一貫通流道；第一凹部，其相對於第一貫通流道之軸線方向設於第一連接器部本體的一端部，且連接液體之供給源側的流道；第二凹部，其設於第一連接器部本體的另一端部，且連接管單元的一端部；及卡合部，其設於第一連接器部本體的外周部。
[5]此外，本發明係如前述[1]至[4]中任一項之液中微粒子測量系統，其中前述第一連接器部係具有至少一個密封部，該至少一個密封部，係從配置於第一連接器部本體與密閉容器之間的第一密封部、配置於第二凹部內之第二密封部、及配置在設於第一連接器部本體之另一端部的缺口部的環狀之第三密封部所構成的群選擇。
[6]此外，本發明係如前述[1]至[5]中任一項之液中微粒子測量系統，其中前述第二連接器部具備：第二連接器部本體，其形成有第二貫通流道；第一凹部，其相對於第二貫通流道之軸線方向設於第二連接器部本體的一端部，且連接與液中微粒子計之液體導入口連接的流道；第二凹部，其設於第二連接器部本體的另一端部，且連接管單元的一端部；及卡合部，其設於第二連接器部本體的外周部。
[7]此外，本發明係如前述[1]至[6]中任一項之液中微粒子測量系統，其中前述第二連接器部具有至少一個密封部，該至少一個密封部，係從配置於第二連接器部本體與密閉容器之間的第一密封部、配置於第二凹部內之第二密封部、及配置在設於第二連接器部本體之另一端部的缺口部的環狀之第三密封部所構成的群選擇。
[8]此外，本發明係一種液中微粒子測量方法，其特徵在於：使用前述[1]至[7]中任一項之液中微粒子測量系統，對液中之微粒子進行測量。
[9]本發明係一種中空絲脫氣模組，係使用於液中微粒子測量系統，其具備：
密閉容器；
管單元，其配置於前述密閉容器內，將1根管或2根以上的管捆紮而構成；
第一連接器部，其以貫通該密閉容器之內外的方式配置於前述密閉容器的液體導入口，且與前述密閉容器卡合；及
第二連接器部，其以貫通該密閉容器之內外的方式配置於前述密閉容器的液體排出口，且與前述密閉容器卡合；且
前述管或前述管單元的一端部，係與前述第一連接器部氣密性地連接，
前述管或前述管單元的另一端部，係與前述第二連接器部氣密性地連接，
前述管係由選自非晶質氟聚合物、聚四氟乙烯及聚甲基戊烯中的1種或複數種所構成。
[發明之效果]
根據本發明，可提供一種中空絲脫氣模組，其係使用於液中微粒子測量系統，且該中空絲脫氣模組之與接液面的平滑性及脫氣性皆優異。此外，根據本發明，可提供一種液中微粒子測量系統及使用其之液中微粒子測量方法，該液中微粒子測量系統，可藉由使用此種之中空絲脫氣模組從被測定液體中有效地除去氣泡，且抑制接液面上的微粒子殘留，以抑制誤測(誤計數)。
[用以實施發明的形態]
以下，參照圖式對本發明之一實施形態進行說明。
圖1為顯示本發明之液中微粒子測量系統的一例的示意圖。本發明之液中微粒子測量系統1，係具有：液中微粒子計2；及至少一個中空絲脫氣模組5，其連接到進行微粒子之測量的液體之供給源3與該液中微粒子計之液體導入口之間的流道(4a、4b)。
本發明使用之液中微粒子計可為公知的構成，例如，可列舉一種藉由對液體照射光，且檢測其光能量的散射或減少，而對液中含有的微粒子數量進行計數之方式(光散射方式)的構成者。
本發明使用的中空絲脫氣模組5，係連接到進行微粒子之測量的液體之供給源3與該液中微粒子計2的液體導入口之間的流道。此外，於中空絲脫氣模組5經由脫氣用之配管6a連接有吸引泵6，俾可對進行微粒子的測量之液體進行脫氣。
圖2為顯示中空絲脫氣模組的一例的示意剖視圖。如圖2所示，中空絲脫氣模組5具有：密閉容器9；管單元8，其配置於密閉容器9內，將複數根管7捆紮而構成；第一連接器部13，其以貫通密閉容器9之內外的方式配置於密閉容器9的液體導入口9c，且與密閉容器9卡合；及第二連接器部14，其以貫通密閉容器9之內外的方式配置於密閉容器9的液體排出口9d，且與密閉容器9卡合。中空絲脫氣模組5，係藉由複數個管7將密閉容器9內分隔為複數個管7各自的內部空間(第一區域)、及複數個管7外側的空間(第二區域)。第一區域係被供給液體的區域，第二區域係被吸氣的區域。並且，中空絲脫氣模組5具有如下構造：藉由朝複數個管7各自的內部空間(第一區域)供給液體，並且自複數個管7外側的空間(第二區域)吸氣，對液體進行脫氣。
此外，於兩端部捆紮有複數個管7形成之管單元8的截面較佳為，各管係採用細密填充構造(蜂窩狀)。此外，更佳為，管單元8的截面係設為六邊形。再者，將管單元的截面設為六邊形，係指於將配置於外側之複數個管的中心以線連結之際(虛擬線)形成為六邊形的情況。藉此，截面為六邊形之情況下的管總數，可為以1/4×{3(2n+1)
2+1}根所表示的數量。其中，式中的n為自然數，下限為1，上限雖無規定，但較佳為6。
再者，於前述實施形態中，對構成管單元之管的數量為複數根的情況進行了說明，但構成管單元之管的數量也可為一根。
管7乃係可供氣體透過但不能讓液體透過之管狀的膜。作為本發明中使用之管7的材料，例如可列舉出選自聚四氟乙烯(以下，也稱為PTFE)、非晶質氟聚合物、聚甲基戊烯(以下，也稱為PMP)中的1種或複數種。非晶質氟聚合物(以下，也稱為「特夫綸(註冊商標)AF」)，更詳言之，可為含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧呃作為共聚單體的共聚物而成的非晶質氟樹脂。由於這些既能保持樹脂本來的平滑度，且氣泡及氣體的透過性也良好，因此可進一步縮短有效長度。因此，可抑制微粒子滯留於管內，可進行高精度的測定。
並且，在管是以非晶質氟聚合物作為材料的情況下，較佳為，管內徑為0.015mm以上且1.0mm以下的範圍。此外，較佳為，管有效長度為0.01m以上且1.5m以下的範圍。並且，更佳為，構成管單元之管的數量為1根，管內徑為0.8mm以上且1.0mm以下的範圍，此外，最佳為，構成管單元之管的數量為2根以上且30根以下的範圍，管內徑為0.045±0.03mm以上且0.68±0.03mm以下的範圍。
此外，在管是以PTFE作為材料之情況下，較佳為，構成管單元之管的數量為10根以上且20根以下的範圍，管內徑為0.4mm以上且0.6mm以下的範圍，有效長度為1m以上且2m以下的範圍。此外，在管是以PMP作為材料的情況下，較佳為，構成管單元之管的數量為1根，管內徑為0.1mm以上且0.2mm以下的範圍，有效長度為0.01m以上且1.5m以下的範圍。
較佳為，本發明使用之管的與被測定液體的接觸面、即管之接液面的算術平均粗糙度Ra為0.25μm以下，更佳為0.1μm以下，進一步更佳為0.07μm以下，特佳為0.02μm以下。本發明使用的管，藉由使用前述材料，具有如此優異的平滑性，因此可抑制因外部干擾的影響等引起的誤測(誤計數)，故而較佳。再者，算術平均粗糙度Ra，係根據ISO4287：1997，且將基準長度設為200μm，取任意選擇10根對本發明使用的管之與被測定液體的接觸面進行測定而得之值的數平均值。
此外，較佳為，本發明使用之管的透氣係數為5×10
-6[cm
3‧cm/cm
2‧sec‧cmHg]以上、且1×10
-9[cm
3‧cm/cm
2‧sec‧cmHg]以下的範圍。
管單元8，也可為將複數個管7的兩端部捆紮而構成。即，管單元8，也可具備複數個管7、及分別將複數個管7之一側的端部及另一側的端部捆紮的一對捆紮部10a、10b。再者，一對捆紮部10a、10b，也可為安裝於密閉容器9的部位。
捆紮部10a、10b，可為分別具備套設於複數個管7各自的端部的外筒11a、11b、及填充於複數個管7各自的端部與外筒11a、11b之間的封止部12a、12b的構成。
外筒11a、11b係形成為大致圓筒狀，其構成捆紮部10a、10b的最外層。外筒11a、11b，係安裝於密閉容器9的部位。作為外筒11a、11b的材料，例如，可列舉PTFE、非晶質氟聚合物、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(以下，也稱為PFA)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(以下，也稱為FEP)、四氟乙烯-乙烯共聚物(以下，也稱為ETFE)、聚三氟氯乙烯(以下，也稱為PCTFE)、聚偏氟乙烯(以下，也稱為PVDF)等氟樹脂、PMP、聚丙烯(以下，也稱為PP)等烯烴樹脂、矽樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺樹脂等。較佳為，外筒11a、11b係採用與管7的材料相同的材料。
封止部12a、12b，係填充於複數個管7的端部與外筒11a、11b之間，用以捆紮複數個管7的端部並且將複數個管7的端部與外筒11a、11b之間密封。即，封止部12a、12b不是填充於複數個管7各自的內部空間，而是填充於複數個管7之間及複數個管7與外筒11a、11b之間(參照圖4)。因此，僅複數個管7各自的內部空間，係自封止部12a、12b的端面開放。作為封止部12a、12b的材料，可使用與外筒11a、11b所例示的材料相同的材料。例如，可列舉出PTFE、非晶質氟聚合物、PMP、PFA、FEP、ETFE、聚三氟氯乙烯(以下，也稱為PCTFE)、聚偏氟乙烯(以下，也稱為PVDF)等氟樹脂、聚丙烯(以下，也稱為PP)、矽、聚醯亞胺、聚醯胺等。較佳為採用與管7的材料相同的材料。
於本實施形態中，管單元8(或管7)的一端部8a，係與配置於密閉容器9的液體導入口9c之第一連接器部13氣密性地連接，管單元8(或管7)的另一端部8b，係與配置於前述密閉容器9的液體排出口9d之第二連接器部14氣密性地連接。藉由形成如此的構造，可維持密閉容器9與第一連接器部13、第二連接器部14之間的氣密性，並且可長期維持管單元8(或管7)與第一連接器部13、第二連接器部14之間的高氣密性。此外，與在供給源與該液中微粒子計的液體導入口之間的流道直接連接到密閉容器的構成比較之情況下，可實現優異的氣密性，而且，第一、第二連接器部的設計自由度高，可容易實現進一步提高氣密性。
以下，根據圖2對密閉容器9的一實施形態進行說明。密閉容器9具備容器本體9a及蓋部9b。
容器本體9a係收容管單元8的部位。容器本體9a係於一個端面具有開口的圓筒狀的容器。蓋部9b係與容器本體9a氣密性地接合而將容器本體9a之開口堵塞的蓋。蓋部9b與容器本體9a的接合，例如，可藉由熔接、螺合、嵌合等進行。此外，若無製造上的問題，密閉容器9，也可不區分為容器本體9a及蓋部9b而一體地形成。
於本實施形態中，第一連接器部13及第二連接器部14係氣密性地接合於蓋部9b。於第一連接器部13形成有貫通蓋部9b(密閉容器9)的內外之第一貫通流道15，於第二連接器部14形成有貫通蓋部9b(密閉容器9)的內外之第二貫通流道16。第一連接器部13及第二連接器部14與蓋部9b的接合，例如，可藉由熔接、螺合、嵌合等進行。
如圖3(a)所示，第一連接器部13具有：第一連接器部本體131，其形成有第一貫通流道15；第一凹部132，其相對於第一貫通流道15的軸線方向設於第一連接器部本體131的一端部131a，且連接液體之供給源3側的流道4a；第二凹部133，其設於第一連接器部本體131的另一端部131b，且連接管單元8的一端部8a；及卡合部134，其設於第一連接器部本體131的外周部。
此外，如圖3(b)所示，第二連接器部14具有：第二連接器部本體141，其形成有第二貫通流道16；第三凹部142，其相對於第二貫通流道16的軸線方向設於第二連接器部本體141的一端部141a，且連接液中微粒子計2之液體導入口側的流道4b；第四凹部143，其設於第二連接器部本體141的另一端部141b，且連接管單元8的另一端部8b；及卡合部144，其設於第二連接器部本體141的外周部。
於第一連接器部13之第一凹部132內插入有流道4a，藉由將這些接合，以連通流道4a與第一貫通流道15。藉由該構成，可防止中心錯位，可防止流道堵塞及壓力損失增加。此外，將管單元8的一端部8a與捆紮部10a一起插入第一連接器部13之第二凹部133內，且將第一連接器部本體131與管單元8的一個捆紮部10a氣密性地接合，藉此，將第一連接器部13與管單元8氣密性地連接。藉由該構造，可防止中心錯位，可防止流道堵塞及壓力損失增加。此外，藉此，經由第一貫通流道15將複數個管7各自的內部空間與流道4a連通。卡合部134，例如為配置於管單元8之一個捆紮部10a與密閉容器9之間的附階梯部。該附階梯部，例如，也可形成於具有圓筒狀之第一連接器部本體131的軸線方向一端側的擴徑部與另一端側的縮徑部之間。藉由第一連接器部13之前述構成，可進一步提高第一連接器部13與密閉容器9之間的氣密性。第一連接器部13之與流道4a的接合，例如，可藉由熔接、螺合、嵌合等進行。此外，第一連接器部13之與管單元8的一個捆紮部10a的接合，例如，可藉由熔接、螺合、嵌合等進行。
於第二連接器部14之第三凹部142內插入有流道4b，藉由將這些接合，以連通流道4b與第二貫通流道16。藉由該構造，可防止中心錯位，可防止流道堵塞及壓力損失增加。此外，將管單元8的另一端部8b與捆紮部10b一起插入第二連接器部14之第四凹部143內，且將第二連接器部本體141與管單元8的另一捆紮部10b氣密性地接合，藉此，將第二連接器部14與管單元8氣密性地連接。藉由該構造，可防止中心錯位，可防止流道堵塞及壓力損失增加。此外，藉此，經由第二貫通流道16將複數個管7各自的內部空間與流道4b連通。卡合部144，例如為配置於管單元8的另一個捆紮部10b與密閉容器9之間的附階梯部。該附階梯部，例如也可形成於具有圓筒狀之第二連接器部本體141的軸線方向一端側的縮徑部與另一端側的擴徑部之間。藉由第二連接器部14的前述構成，可進一步提高第二連接器部14與密閉容器9之間的氣密性。第二連接器部14之與流道4b的接合，例如，可藉由熔接、螺合、嵌合等進行。此外，第二連接器部14之與管單元8的另一個捆紮部10b的接合，例如，可藉由熔接、螺合、嵌合等進行。
較佳為，第一連接器部13，係由選自非晶質氟樹脂、四氟乙烯樹脂、聚甲基戊烯樹脂中的1種或複數種所構成，該非晶質氟樹脂，係含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧呃作為共聚單體的共聚物而成。同樣地，較佳為，第二連接器部14，係由選自非晶質氟樹脂、四氟乙烯樹脂、聚甲基戊烯樹脂中的1種或複數種所構成，該非晶質氟樹脂，係含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧呃作為共聚單體的共聚物而成。
較佳為，第一連接器部13、第二連接器部14，係採用與管7之材料相同的材料，並且，更佳為，構成捆紮部10a、10b的外筒11a、11b及/或封止部12a、12b的材料也相同。藉由使前述各部分的材料相同而使線膨脹係數一致，不僅可提高密接性、氣密性，並且再加上於將該捆紮部10a插入該第二凹部133內的構造、或將該捆紮部10b插入第二凹部143內的構造的效應，例如，即使因氣溫變化或壓力變化而於材料產生膨脹或收縮等變形，也可相互隨動（follow up）以防止於接合面產生間隙，藉此可防止氣泡滯留等，可抑制因外部干擾的影響等引起的誤測(誤計數)，故而較佳。
可於容器本體9a形成吸氣口20。吸氣口20係形成於容器本體9a內的開口，用以自密閉容器9內的複數個管7外側的空間進行吸氣。可於吸氣口20接合配管6a，該配管6a係用以與密閉容器9內之複數個管7外側的空間連通。因此，藉由將吸引泵6連接於配管6a，以吸引泵6自吸氣口20吸氣，可對密閉容器9內之複數個管7外側的空間進行減壓。配管6a之與吸氣口20的接合，例如，可藉由熔接、螺合、嵌合等進行。
於使用如此構成之中空絲脫氣模組5對液體進行脫氣的情況下，一面藉由與配管6a連接之吸引泵6對密閉容器9內的複數個管7外側的空間進行吸氣，一面朝流道4a供給液體，同時自流道4b排出液體。於是，供給於流道4a的液體經由第一連接器部13被供給至複數個管7各自的內部空間。此時，由於密閉容器9內之複數個管7外側的空間成為被減壓後的狀態，因此當液體通過複數個管7各自的內部空間時，液體的溶解氣體及氣泡分別透過複數個管7，被引入至密閉容器9內的複數個管7外側的空間。藉此，進行液體的脫氣。然後，脫氣後的液體經由第二連接器部14被排出至流道4b。
流道4a、4b可為管。較佳為，流道4a、4b，係由選自含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧呃作為共聚單體的共聚物而成之非晶質氟樹脂、四氟乙烯樹脂、聚甲基戊烯樹脂中的1種或複數種所構成。較佳為，流道4a、4b係採用與管7的材料相同的材料。藉由使材料相同，可使線膨脹係數一致，並且，因為是將該流道4a插入該第一凹部132、將該流道4b插入該第三凹部142的構造，所以，例如即使因氣溫變化或壓力變化而於材料中產生膨脹或收縮等變形，也可相互隨動以防止於接合面產生間隙，藉此可防止氣泡滯留等，可抑制因外部干擾的影響等引起的誤測(誤計數)，故而較佳。
此外，於複數個管7各自的端部相互分離的情況下，成為複數個管7各自的端部被封止部12a、12b覆蓋的狀態。藉此，可抑制流體自複數個管7各自的端部的界面漏出。
並且，於本實施形態的中空絲脫氣模組5中，一面自吸氣口20吸氣一面朝液體導入口9c之第一貫通流道15供給液體，並且自液體排出口9d之第二貫通流道16排出液體，藉此，使供給至第一貫通流道15的液體於通過複數個管7時脫氣，且自第二貫通流道16排出。並且，由於具備前述管單元8，因此提高了複數個管7的捆紮強度。藉此，可提高中空絲脫氣模組5的耐久性，並且可抑制供給至第一貫通流道15的液體朝複數個管7外側的空間漏出。
根據圖1，對本發明之液中微粒子測量系統的動作進行說明。
液中微粒子測量系統1，係以進行微粒子之測量的液體(被測定液體)自其供給源3被供給的方式構成。藉由採用此種構成，自供給源3朝液中微粒子測量系統1供給被測定液體。
作為被測定液體，並無特別限制，例如可列舉出有機溶劑、離子交換水、純水、超純水等之水、和在這些水中溶解酸、鹼、臭氧、界面活性劑、有機溶劑等而賦予功能性的液體、超臨界水(壓力為22.1MPa以上，且溫度為374°C以上。也可加入二氧化碳而使表面張力降低至極限的純水、或將其與藥品組合使用)等。例如，可為供給至液晶面板之製造裝置的清洗用的液體、或供給於矽晶圓等半導體晶圓製造裝置的清洗用或加工切斷用的液體，較佳為超純水。
前述供給源3之上游側的構成只要為被測定液體的供給源，則無特別限制，但也可以自液體流動的配管分歧且能對液體的一部分進行微粒子的測量之方式連接，或者也可連接於貯存部，或者也可連接於高壓清洗機等加壓裝置，例如，也可以供給3MPa以上且20MPa以下這樣的被高壓化的液體(高壓液體)的方式構成。
本發明之液中微粒子測量系統1，係構成為自供給源3經由被測定液體的流道4a與中空絲脫氣模組5之第一連接器部13連接。藉由採用此種構成，自供給源3供給的被測定液體在流道4a中流動，且自第一連接器部13供給至中空絲脫氣模組5內。
真空泵等減壓泵係經由脫氣用配管連接於中空絲脫氣模組的密閉容器9。藉此，驅動減壓泵，自密閉容器9內(第二區域)朝密閉容器9外送出氣體，以使內壓降低，進而使被測定液體中的氣泡或溶解於被測定液體中的氣體自管7的接液面(第一區域)脫氣。
本發明之液中微粒子測量系統1，係構成為自中空絲脫氣模組5之第二連接器部14經由被測定液體的流道4b與液中微粒子計2連接。液中微粒子計2，係構成為藉由對自液中微粒子計2之液體供給口供給的被測定液體照射光，且檢測其光能量的散射或減少，對液中含有的微粒子的數量進行計數，且測量供給之被測定液體含有的微粒子的數量並將其顯示於顯示部。藉此，由中空絲脫氣模組5脫氣後的被測定液體，自第二連接器部14經由流道4b被送出至液中微粒子計2，對被測定液體含有的微粒子之數量進行測量。本發明使用的液中微粒子計2的額定流量並無特別限制，較佳為11mL/min以下，且更佳為10.5mL/min以下，此外，較佳為9.5mL/min以上。
液中微粒子計2，係以自液體排出口經由流道4c朝系統體系外送出被測定液體的方式構成。自液中微粒子計2之液體排出口排出的被測定液體，也可藉由連接於流道4c的中途的送液泵，自系統的下游側吸引，而使被測定液體於系統內流動。也可取代送液泵，或者連同送液泵一起，於該液體排出口的下游側，進一步經由流道4c連接流量調整裝置或壓力調整裝置，以調整流量或壓力。自液體排出口排出之被測定液體，雖然也可再次連接於供給源的下游側，但也可廢棄於排水管。
本發明之液中微粒子測量系統1，例如，可使用在測量供給至液晶面板之製造裝置的清洗用的液體、及供給於矽晶圓等半導體晶圓製造裝置之清洗用或加工切斷用的液體、較佳為測量超純水中含有的微粒的數量的情況。
圖5(a)為顯示圖3(a)之第一連接器部13之變形例的示意剖視圖，圖5(b)為局部放大剖視圖。
如圖5(a)及圖5(b)所示，第一連接器部23具有：第一連接器部本體231，其形成有第一貫通流道15；第一凹部232，其相對於第一貫通流道15的軸線方向設於第一連接器部本體231的一端部231a，且連接液體之供給源3側的流道4a；第二凹部233，其設於第一連接器部本體231的另一端部231b，連接管單元8的一端部8a；及卡合部234，其設於第一連接器部本體231的外周部。
第一連接器部23，也可具有配置於第一連接器部本體231與密閉容器9之間的O形環等之第一密封部235。於第一密封部235係由O形環構成的情況下，較佳為，O形環配置於形成在第一連接器部本體231之環狀的槽部等。第一密封部235的配置位置並無特別限制，例如可設於蓋部9b的上方。藉此，可進一步提高第一連接器部23與密閉容器9之間的氣密性。作為O形環的材料，只要為公知的材料即可，例如可列舉出丁腈橡膠、氟橡膠、矽膠、乙烯丙烯橡膠、氯丁橡膠、聚氨酯橡膠、氫化腈橡膠等橡膠、氟樹脂等。
此外，第一連接器部23，也可具有配置於第二凹部233內之第二密封部236。第二密封部236可由例如環箍構成。此時，較佳為，例如，分別於第二凹部233設置陰螺紋部，於構成捆紮部10a的外筒11a分別設置陽螺紋部，具有由第二凹部233及外筒11a形成的螺合構造。藉由前述環箍及螺合構造，可實現牢固的接合，並且可藉由第二密封部236的變形，獲得高氣密性。
並且，第一連接器部23，也可具有設於第一連接器部本體231之另一端部231b的缺口部237、及配置於該缺口部237的環狀之第三密封部238。缺口部237的形態並無特別限制，例如為C倒角，且較佳為形成環狀。第三密封部238並無特別限制，可由以黏著劑等之環氧類樹脂、PFA等之氟樹脂為首的樹脂材料構成，或者也可由焊接金屬等之金屬構成。
藉由如前述的構成，可進一步提高第一連接器部23與管單元8之間的接合性、氣密性。
此外，第一連接器部23，也可具有前述第一密封部、第二密封部、第三密封部中的一個或複數個。藉此，可進一步提高第一連接器部23與密閉容器9之間的接合性、氣密性、及第一連接器部與管單元8之間的接合性、氣密性。
圖6(a)為顯示圖3(b)之第二連接器部14的變形例的示意剖視圖，圖6(b)為局部放大剖視圖。
如圖6(a)及圖6(b)所示，第二連接器部24具有：第二連接器部本體241，其形成有第二貫通流道16；第一凹部242，其相對於第二貫通流道16之軸線方向設於第二連接器部本體241的一端部21a，且連接與液中微粒子計之液體導入口連接的流道4b；第二凹部243，其設於第二連接器部本體241的另一端部241b，且連接管單元8的一端部8b；及卡合部244，其設於第二連接器部本體241的外周部。
第二連接器部24，也可具有O形環等之第一密封部245，該第一密封部245係配置於第二連接器部本體241與密閉容器9之間。於由O形環構成第一密封部245的情況下，較佳為，O形環係配置於形成在第二連接器部本體241之環狀槽部等。第一密封部245的配置位置並無特別限制，例如可設於蓋部9b的上方。藉此，可進一步提高第二連接器部24與密閉容器9之間的氣密性。
此外，第二連接器部24，也可具有配置於第二凹部243內之第二密封部246。第二密封部246，例如可由環箍構成。於此情況下，例如，較佳為，具有分別於第二凹部243設置陰螺紋部、於構成捆紮部10b的外筒11b設置陽螺紋部之由第二凹部243及外筒11b所形成的螺合構造。藉由前述環箍及螺合構成，可實現牢固的接合，並且可藉由第二密封部246的變形獲得高氣密性。
並且，第二連接器部24，也可具有設於第二連接器部本體241之另一端部241b的缺口部247、及配置於缺口部247的環狀之第三密封部248。缺口部247的形態並無特別限制，較佳例如為C倒角，且形成為環狀。第三密封部248並無特別限制，可由以黏著劑等之環氧類樹脂、PFA等之氟樹脂為首的樹脂材料構成，或者也可由焊接金屬等之金屬構成。
藉由如前述的構成，可進一步提高第二連接器部24與管單元8之間的接合性、氣密性。
此外，與第一連接器部23同樣，第二連接器部24，也可具有前述第一密封部、第二密封部、第三密封部中的一個或複數個。藉此，可進一步提高第二連接器部與密閉容器9之間的接合性、氣密性、及第二連接器部與管單元8之間的接合性、氣密性。
1:液中微粒子測量系統
2:液中微粒子計(微粒計數器)
3:液體(被測定液體)之供給源
4a,4b,4c:流道
5:中空絲脫氣模組
6:吸引泵
6a:脫氣用配管
7:管
8:管單元
9:密閉容器
9a:容器本體
9b:蓋部
9c:液體導入口
9d:液體排出口
10a,10b:捆紮部
11a,11b:外筒
12a,12b:封止部
13,23:第一連接器部
14:第二連接器部
15:第一貫通流道
16:第二貫通流道
20:吸氣口
131:第一連接器部本體
131a:一端部
131b:另一端部
132:第一凹部
133:第二凹部
134:卡合部
141:第二連接器部本體
141a:一端部
141b:另一端部
142:第三凹部
143:第四凹部
144:卡合部
231:第一連接器部本體
231a:一端部
231b:另一端部
232:第一凹部
233:第二凹部
234:卡合部
235:第一密封部
236:第二密封部
237:缺口部
238:第三密封部
241:第二連接器部本體
241a:一端部
241b:另一端部
242:第一凹部
243:第二凹部
244:卡合部
245:第一密封部
246:第二密封部
247:缺口部
248:第三密封部
圖1為顯示本發明之液中微粒子測量系統的一例的示意圖。
圖2為顯示本發明之中空絲脫氣模組的一例的示意剖視圖。
圖3(a)為顯示圖2之第一連接器部的構成的放大剖視圖，圖3(b)為顯示圖2之第二連接器部的構成的放大剖視圖。
圖4為顯示本發明中使用之管單元的一例的示意立體圖。
圖5(a)為顯示圖3(a)之第一連接器部的變形例的示意剖視圖，圖5(b)為局部放大剖視圖。
圖6(a)為顯示圖3(b)之第二連接器部的變形例的示意剖視圖，圖6(b)為局部放大剖視圖。
4a,4b:流道
5:中空絲脫氣模組
6a:脫氣用配管
7:管
8:管單元
8a:一端部
8b:另一端部
9:密閉容器
9a:容器本體
9b:蓋部
9c:液體導入口
9d:液體排出口
13:第一連接器部
14:第二連接器部
15:第一貫通流道
16:第二貫通流道
20:吸氣口
Claims (9)
- 一種液中微粒子測量系統，係具有：液中微粒子計；及至少一個中空絲脫氣模組，其連接到進行微粒子之測量的液體之供給源與該液中微粒子計之液體導入口之間的流道，其中， 前述中空絲脫氣模組具有： 密閉容器； 管單元，其配置於前述密閉容器內，且將1根管或2根以上的管捆紮而構成； 第一連接器部，其以貫通該密閉容器之內外的方式配置於前述密閉容器的液體導入口，且與前述密閉容器卡合；及 第二連接器部，其以貫通該密閉容器之內外的方式配置於前述密閉容器的液體排出口，且與前述密閉容器卡合；且 前述管或前述管單元的一端部，係與前述第一連接器部氣密性地連接， 前述管或前述管單元的另一端部，係與前述第二連接器部氣密性地連接， 前述管係由選自非晶質氟聚合物、聚四氟乙烯及聚甲基戊烯中的1種或複數種所構成。
- 如請求項1之液中微粒子測量系統，其中前述第一連接器部或前述第二連接器部，係由選自非晶質氟樹脂、四氟乙烯樹脂、聚甲基戊烯樹脂中的1種或複數種所構成，該非晶質氟樹脂，係含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧呃作為共聚單體之共聚物而成。
- 如請求項1之液中微粒子測量系統，其中前述管之接液面的表面粗糙度Ra為0.25μm以下，且透氣係數為5×10 -6[cm 3‧cm/cm 2‧sec‧cmHg]〜1×10 -9[cm 3‧cm/cm 2‧sec‧cmHg]的範圍。
- 如請求項1之液中微粒子測量系統，其中前述第一連接器部具備：第一連接器部本體，其形成有第一貫通流道；第一凹部，其相對於第一貫通流道之軸線方向設於第一連接器部本體的一端部，且連接液體之供給源側的流道；第二凹部，其設於第一連接器部本體的另一端部，且連接管單元的一端部；及卡合部，其設於第一連接器部本體的外周部。
- 如請求項4之液中微粒子測量系統，其中前述第一連接器部係具有至少一個密封部，該至少一個密封部，係從配置於第一連接器部本體與密閉容器之間的第一密封部、配置於第二凹部內之第二密封部、及配置於設在第一連接器部本體之另一端部的缺口部的環狀之第三密封部所構成的群選擇。
- 如請求項1之液中微粒子測量系統，其中前述第二連接器部具備：第二連接器部本體，其形成有第二貫通流道；第一凹部，其相對於第二貫通流道之軸線方向設於第二連接器部本體的一端部，且供連接與液中微粒子計之液體導入口連接的流道；第二凹部，其設於第二連接器部本體的另一端部，且連接管單元的一端部；及卡合部，其設於第二連接器部本體的外周部。
- 如請求項6之液中微粒子測量系統，其中前述第二連接器部具有至少一個密封部，該至少一個密封部，係從配置於第二連接器部本體與密閉容器之間的第一密封部、配置於第二凹部內之第二密封部、及配置於設在第二連接器部本體之另一端部的缺口部的環狀之第三密封部所構成的群選擇。
- 一種液中微粒子測量方法，其特徵在於：使用如前述請求項1至7中任一項之液中微粒子測量系統，對液中之微粒子進行測量。
- 一種中空絲脫氣模組，係使用於液中微粒子測量系統，其具備： 密閉容器； 管單元，其配置於前述密閉容器內，將1根管或2根以上的管捆紮而構成； 第一連接器部，其以貫通該密閉容器之內外的方式配置於前述密閉容器的液體導入口，且與前述密閉容器卡合；及 第二連接器部，其以貫通該密閉容器之內外的方式配置於前述密閉容器的液體排出口，且與前述密閉容器卡合；且 前述管或前述管單元的一端部，係與前述第一連接器部氣密性地連接， 前述管或前述管單元的另一端部，係與前述第二連接器部氣密性地連接， 前述管係由選自非晶質氟聚合物、聚四氟乙烯及聚甲基戊烯中的1種或複數種所構成。
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