KR20240048536A - 액중 미립자 계측 시스템, 액중 미립자 계측 방법 및 중공사 탈기 모듈 - Google Patents
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Abstract
접액면(接液面)과의 평활성과 탈기 성능이 모두 우수한 상기 중공사 탈기 모듈을 제공한다. 보다 상세하게는 중공사 탈기 모듈(5)은, 밀폐 용기(9)와, 밀폐 용기(9) 내에 배치되고, 복수의 튜브(7)를 결속하여 구성되는 튜브 유닛(8)과, 밀폐 용기(9)의 액 도입구(9c)에 밀폐 용기(9)의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 밀폐 용기(9)와 결합하는 제1 커넥터부(13)와, 밀폐 용기(9)의 액 배출구(9d)에 밀폐 용기(9)의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 밀폐 용기(9)와 결합하는 제2 커넥터부(14)를 갖고 있다. 튜브 유닛(8)은, 그 일단부(8a)가, 밀폐 용기(9)의 액 도입구(9c)에 배치된 제1 커넥터부(13)에 기밀하게 접속되고, 타단부(8b)가, 상기 밀폐 용기(9)의 액 배출구(9d)에 배치된 제2 커넥터부(14)에 기밀하게 접속된다. 상기 중공사 탈기 모듈 내의 튜브는, 아몰퍼스(amorphous) 플루오로폴리머, 폴리테트라플루오로에틸렌 또는 폴리메틸펜텐이다.
Description
본 발명은 액중 미립자 계측 시스템 및 그것을 이용한 액중 미립자 계측 방법, 상기 시스템에 이용하는 중공사 탈기 모듈에 관한 것이다.
반도체 업계나 관련된 재료 업계 등에서는, 물이나 약액 등의 액의 청정도 관리에, 광(레이저광)의 산란 방식을 채용하는 액중 미립자계가 폭넓게 사용되고 있다. 특히, 최근, 반도체 업계에서는, 소자의 미세화에 따라 30 ㎚ 이하, 나아가서는 10 ㎚ 오더의 입경의 미립자의 관리가 요구되고 있다. 그러나, 그러한 입경의 미립자를 액중 미립자계로 측정하면, 액중의 용존 산소 등에 의한 기포도 미립자와 마찬가지로 광을 산란하기 때문에 미립자로서 계측되어 버리는, 오계측(오카운트)의 문제가 발생한다.
특허문헌 1에는, 피측정 액체를, 복수 개가 결속된 PFA 튜브 유닛을 이용하여 탈기하는 중공사 탈기 모듈과, 탈기된 피측정 액체의 액중 미립자를 계측하는 액중 미립자 계측 수단을 구비한 액중 미립자 계측 시스템이 기재되어 있다. 그러나, 이 장치에 이용하는 PFA 튜브는, 평활성이 우수하지만 탈기 성능이 저하된다고 하는 문제가 있었다. 이 접액면(接液面)의 평활성과 탈기 성능은 배반되는 관계에 있고, 접액면의 평활성이 저하되면 미립자 잔류를 일으키기 때문에, 우수한 평활성을 담보하기 위해서, 튜브의 유효 길이를 길게 할 필요가 있었다.
또한, 특허문헌 1에서는, 평활성을 내면의 거칠기 Rt(거칠기 곡선의 최대 단면 높이이며, 평가 길이에 있어서, 윤곽 곡선의 산 높이 zp의 최대값과 골 깊이 zv의 최대값의 합) 0.4 ㎛ 이하의 범위로 정의하고 있으나, 상기 Rt값은 피크값을 이용하기 때문에, 흠집이나 먼지, 측정 노이즈 등의 외란의 영향을 받기 쉽다고 하는 문제가 있어, 반드시 상기 범위에서 우수한 평활성을 담보할 수 있는 것은 아니었다.
그래서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 액중 미립자 계측 시스템에 이용하는 중공사 탈기 모듈로서, 접액면과의 평활성과 탈기 성능이 모두 우수한 중공사 탈기 모듈을 제공하는 것에 있다. 또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이러한 중공사 탈기 모듈을 이용하여, 피측정 액체로부터 기포를 효율적으로 제거하면서, 또한, 접액면에서의 미립자 잔류를 억제함으로써, 오계측(오카운트)을 억제하는 것이 가능한, 액중 미립자 계측 시스템 및 그것을 이용한 액중 미립자 계측 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해서 예의 검토를 행한 결과, 테트라플루오로에틸렌 및 퍼플루오로-2,2-디메틸-1,3-디옥솔을 코모노머로 하는 공중합체를 포함하여 이루어지는 비정질 불소 수지, 폴리테트라플루오로에틸렌 또는 폴리메틸펜텐을 소재로 하는 튜브를 이용한 중공사 탈기 모듈이 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
즉, 본 발명은, 〔1〕 액중 미립자계, 및 미립자의 계측을 행하는 액의 공급원과 상기 액중 미립자계의 액 도입구 사이의 유로에 접속된 적어도 하나의 중공사 탈기 모듈을 갖는 액중 미립자 계측 시스템으로서,
상기 중공사 탈기 모듈은,
밀폐 용기와,
상기 밀폐 용기 내에 배치되고, 1개의 튜브 또는 2개 이상의 튜브를 결속하여 구성되는 튜브 유닛과,
상기 밀폐 용기의 액 도입구에 상기 밀폐 용기의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 상기 밀폐 용기와 결합하는 제1 커넥터부와,
상기 밀폐 용기의 액 배출구에 상기 밀폐 용기의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 상기 밀폐 용기와 결합하는 제2 커넥터부
를 갖고,
상기 튜브 또는 상기 튜브 유닛의 일단부가, 상기 제1 커넥터부에 기밀하게 접속되어 있으며,
상기 튜브 또는 상기 튜브 유닛의 타단부가, 상기 제2 커넥터부에 기밀하게 접속되어 있고,
상기 튜브가, 아몰퍼스(amorphous) 플루오로폴리머, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리메틸펜텐에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는 액중 미립자 계측 시스템에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 〔2〕 상기 제1 커넥터부 또는 상기 제2 커넥터부가, 테트라플루오로에틸렌 및 퍼플루오로 2,2-디메틸-1,3-디옥솔을 코모노머로 하는 공중합체를 포함하여 이루어지는 비정질 불소 수지, 사불화에틸렌 수지, 폴리메틸펜텐 수지에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는, 상기 〔1〕에 기재된 액중 미립자 계측 시스템에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 〔3〕 상기 튜브의 접액면의 표면 거칠기 Ra가 0.25 ㎛ 이하이고, 또한, 기체 투과 계수가 5×10-6〔㎤·㎝/㎠·sec·㎝Hg〕∼1×10-9〔㎤·㎝/㎠·sec·㎝Hg〕의 범위인, 상기 〔1〕 또는 〔2〕에 기재된 액중 미립자 계측 시스템에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 〔4〕 상기 제1 커넥터부는, 제1 관통 유로가 형성된 제1 커넥터부 본체와, 제1 관통 유로의 축선 방향에 관해 제1 커넥터부 본체의 일단부에 형성되고, 액의 공급원측의 유로가 접속되는 제1 오목부와, 제1 커넥터부 본체의 타단부에 형성되고, 튜브 유닛의 일단부가 접속되는 제2 오목부와, 제1 커넥터부 본체의 외주부에 형성된 결합부를 갖는, 상기 〔1〕∼〔3〕 중 어느 하나에 기재된 액중 미립자 계측 시스템에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 〔5〕 상기 제1 커넥터부는,
제1 커넥터부 본체와 밀폐 용기 사이에 배치된 제1 시일부,
제2 오목부 내에 배치된 제2 시일부, 및 제1 커넥터부 본체의 타단부에 형성된 절결부와, 상기 절결부에 배치된 환형의 제3 시일부로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 시일부를 갖는, 상기 〔1〕∼〔4〕 중 어느 하나에 기재된 액중 미립자 계측 시스템에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 〔6〕 상기 제2 커넥터부는, 제2 관통 유로가 형성된 제2 커넥터부 본체와, 제2 관통 유로의 축선 방향에 관해 제2 커넥터부 본체의 일단부에 형성되고, 액중 미립자계의 액 도입구에 접속하는 유로가 접속되는 제1 오목부와, 제2 커넥터부 본체의 타단부에 형성되고, 튜브 유닛의 일단부가 접속되는 제2 오목부와, 제2 커넥터부 본체의 외주부에 형성된 결합부를 갖는, 상기 〔1〕∼〔5〕 중 어느 하나에 기재된 액중 미립자 계측 시스템에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 〔7〕 상기 제2 커넥터부는,
제2 커넥터부 본체와 밀폐 용기 사이에 배치된 제1 시일부,
제2 오목부 내에 배치된 제2 시일부, 및 제2 커넥터부 본체의 타단부에 형성된 절결부와, 상기 절결부에 배치된 환형의 제3 시일부로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 시일부를 갖는, 상기 〔1〕∼〔6〕 중 어느 하나에 기재된 액중 미립자 계측 시스템에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 〔8〕 상기 〔1〕∼〔7〕 중 어느 하나에 기재된 액중 미립자 계측 시스템을 이용하여, 액중의 미립자를 계측하는 것을 특징으로 하는 액중 미립자 계측 방법에 관한 것이다.
또한 본 발명은, 〔9〕 액중 미립자 계측 시스템에 이용하는 중공사 탈기 모듈로서,
밀폐 용기와,
상기 밀폐 용기 내에 배치되고, 1개의 튜브 또는 2개 이상의 튜브를 결속하여 구성되는 튜브 유닛과,
상기 밀폐 용기의 액 도입구에 상기 밀폐 용기의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 상기 밀폐 용기와 결합하는 제1 커넥터부와,
상기 밀폐 용기의 액 배출구에 상기 밀폐 용기의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 상기 밀폐 용기와 결합하는 제2 커넥터부
를 갖고,
상기 튜브 또는 상기 튜브 유닛의 일단부가, 상기 제1 커넥터부에 기밀하게 접속되어 있으며,
상기 튜브 또는 상기 튜브 유닛의 타단부가, 상기 제2 커넥터부에 기밀하게 접속되어 있고,
상기 튜브가, 아몰퍼스 플루오로폴리머, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리메틸펜텐에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는 중공사 탈기 모듈에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 액중 미립자 계측 시스템에 이용하는 중공사 탈기 모듈로서, 접액면과의 평활성과 탈기 성능이 모두 우수한 중공사 탈기 모듈을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 이러한 중공사 탈기 모듈을 이용하여, 피측정 액체로부터 기포를 효율적으로 제거하면서, 또한, 접액면에서의 미립자 잔류를 억제함으로써, 오계측(오카운트)을 억제하는 것이 가능한, 액중 미립자 계측 시스템 및 그것을 이용한 액중 미립자 계측 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 액중 미립자 계측 시스템의 일례를 도시한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 중공사 탈기 모듈의 일례를 도시한 개략 단면도이다.
도 3의 (a)는 도 2의 제1 커넥터부의 구성을 도시한 확대 단면도이고, 도 3의 (b)는 도 2의 제2 커넥터부의 구성을 도시한 확대 단면도이다.
도 4는 본 발명에서 이용하는 튜브 유닛의 일례를 도시한 개략 사시도이다.
도 5의 (a)는 도 3의 (a)의 제1 커넥터부의 변형예를 도시한 개략 단면도이고, 도 5의 (b)는 부분 확대 단면도이다.
도 6의 (a)는 도 3의 (b)의 제2 커넥터부의 변형예를 도시한 개략 단면도이고, 도 6의 (b)는 부분 확대 단면도이다.
도 2는 본 발명의 중공사 탈기 모듈의 일례를 도시한 개략 단면도이다.
도 3의 (a)는 도 2의 제1 커넥터부의 구성을 도시한 확대 단면도이고, 도 3의 (b)는 도 2의 제2 커넥터부의 구성을 도시한 확대 단면도이다.
도 4는 본 발명에서 이용하는 튜브 유닛의 일례를 도시한 개략 사시도이다.
도 5의 (a)는 도 3의 (a)의 제1 커넥터부의 변형예를 도시한 개략 단면도이고, 도 5의 (b)는 부분 확대 단면도이다.
도 6의 (a)는 도 3의 (b)의 제2 커넥터부의 변형예를 도시한 개략 단면도이고, 도 6의 (b)는 부분 확대 단면도이다.
이하, 본 발명의 일 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 본 발명의 액중 미립자 계측 시스템의 일례를 도시한 개념도이다. 본 발명의 액중 미립자 계측 시스템(1)은, 액중 미립자계(2), 및 미립자의 계측을 행하는 액의 공급원(3)과 상기 액중 미립자계의 액 도입구 사이의 유로(4a, 4b)에 접속된 적어도 하나의 중공사 탈기 모듈(5)을 갖는다.
본 발명에서 이용하는 액중 미립자계는, 공지된 것이어도 좋고, 예컨대, 액에 광을 조사하여, 그 광 에너지의 산란이나 감소를 검출함으로써 액중에 포함되는 미립자의 수를 카운트하는 방식(광산란 방식)의 것을 들 수 있다.
본 발명에서 이용하는 중공사 탈기 모듈(5)은, 미립자의 계측을 행하는 액의 공급원(3)과 상기 액중 미립자계(2)의 액 도입구 사이의 유로에 접속된다. 또한, 중공사 탈기 모듈(5)에는, 미립자의 계측을 행하는 액을 탈기할 수 있도록, 탈기용의 배관(6a)을 통해 흡인 펌프(6)가 접속되어 있다.
도 2는 중공사 탈기 모듈의 일례를 도시한 개략 단면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 중공사 탈기 모듈(5)은, 밀폐 용기(9)와, 밀폐 용기(9) 내에 배치되고, 복수의 튜브(7)를 결속하여 구성되는 튜브 유닛(8)과, 밀폐 용기(9)의 액 도입구(9c)에 밀폐 용기(9)의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 밀폐 용기(9)와 결합하는 제1 커넥터부(13)와, 밀폐 용기(9)의 액 배출구(9d)에 밀폐 용기(9)의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 밀폐 용기(9)와 결합하는 제2 커넥터부(14)를 갖고 있다. 중공사 탈기 모듈(5)은, 복수의 튜브(7)에 의해, 밀폐 용기(9) 내가, 복수의 튜브(7)의 각각의 내부 공간(제1 영역)과, 복수의 튜브(7)의 외측의 공간(제2 영역)으로 나누어져 있다. 제1 영역은, 액체가 공급되는 영역이고, 제2 영역은 흡기되는 영역이다. 그리고, 중공사 탈기 모듈(5)은, 복수의 튜브(7)의 각각의 내부 공간(제1 영역)에 액체가 공급되고, 복수의 튜브(7)의 외측의 공간(제2 영역)으로부터 흡기됨으로써, 액체를 탈기하는 구조를 갖는다.
또한, 복수의 튜브(7)가 양단부에 있어서 결속된 튜브 유닛(8)의 단면은, 각 튜브가 세밀 충전 구조(벌집형)를 채용하는 것임이 바람직하다. 또한, 튜브 유닛(8)의 단면은, 육각형을 하고 있는 것이 보다 바람직하다. 또한, 튜브 유닛의 단면이 육각형을 하고 있다는 것은, 외측에 배치된 복수의 튜브의 중심을 선으로 연결했을 때(상상선)에, 육각형을 하고 있는 것을 가리킨다. 따라서, 단면이 육각형인 경우의 튜브 총수는, 1/4×{3(2n+1)2+1}개로 표시되는 수여도 좋다. 단, 식 중, n은 자연수이며, 하한은 1이고, 상한은 규정되지 않으나, 바람직하게는 6이다.
또한, 상기 실시형태에서는, 튜브 유닛을 구성하는 튜브의 수가 복수 개인 것으로서 설명하였으나, 튜브 유닛을 구성하는 튜브의 수는 1개로 해도 좋다.
튜브(7)는, 기체를 투과하지만 액체를 투과하지 않는 튜브형의 막이다. 본 발명에서 사용하는 튜브(7)의 소재로서는, 예컨대, 폴리테트라플루오로에틸렌(이하, PTFE라고도 칭함), 아몰퍼스 플루오로폴리머, 폴리메틸펜텐(이하, PMP라고도 칭함)에서 선택되는 1종 또는 복수 종을 들 수 있다. 아몰퍼스 플루오로폴리머[이하, 「테플론(등록 상표) AF」라고도 칭함]는, 보다 상세하게는, 테트라플루오로에틸렌 및 퍼플루오로-2,2-디메틸-1,3-디옥솔을 코모노머로 하는 공중합체를 포함하여 이루어지는 비정질 불소 수지여도 좋다. 이들은 수지 본래의 평활함을 유지하고, 또한 기포나 기체의 투과도 양호하기 때문에, 유효 길이를 보다 짧게 할 수 있다. 이 때문에, 튜브 내에서의 미립자의 체류를 억제할 수 있어, 고정밀도의 측정이 가능해진다.
또한, 튜브가 아몰퍼스 플루오로폴리머를 소재로 하는 경우, 튜브 내경은 0.015 ㎜ 이상, 1.0 ㎜ 이하의 범위인 것이 바람직하다. 또한, 튜브 유효 길이는 0.01 m 이상, 1.5 m 이하의 범위인 것이 바람직하다. 또한, 튜브 유닛을 구성하는 튜브의 수가 1개이고, 튜브 내경이 0.8 ㎜ 이상, 1.0 ㎜ 이하의 범위가 보다 바람직하고, 또한, 튜브 유닛을 구성하는 튜브의 수가 2개 이상, 30개 이하의 범위이고, 튜브 내경이 0.045±0.03 ㎜ 이상, 0.68±0.03 ㎜ 이하의 범위가 보다 바람직하다.
또한, 튜브가 PTFE를 소재로 하는 경우, 튜브 유닛을 구성하는 튜브의 수가 10개 이상, 20개 이하의 범위이고, 튜브 내경이 0.4 ㎜ 이상, 0.6 ㎜ 이하의 범위이며, 유효 길이 1 m 이상, 2 m 이하의 범위인 것이 바람직하다. 또한, 튜브가 PMP를 소재로 하는 경우, 튜브 유닛을 구성하는 튜브의 수가 1개이고, 튜브 내경이 0.1 ㎜ 이상, 0.2 ㎜ 이하의 범위이며, 유효 길이 0.01 m 이상, 1.5 m 이하의 범위인 것이 바람직하다.
본 발명에 이용하는 튜브의 피측정 액체와의 접촉면, 즉 튜브의 접액면의 산술 평균 거칠기 Ra는, 0.25 ㎛ 이하인 것이 바람직하고, 0.1 ㎛ 이하인 것이 보다 바람직하며, 0.07 ㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하고, 0.02 ㎛ 이하인 것이 특히 바람직하다. 본 발명에 이용하는 튜브는, 상기 소재를 이용함으로써, 이러한 우수한 평활성을 갖기 때문에, 외란의 영향 등에 의한 오계측(오카운트)을 억제할 수 있어, 바람직하다. 또한, 산술 평균 거칠기 Ra는, ISO4287:1997에 준거하여, 기준 길이를 200 ㎛로 하고, 본 발명에 이용하는 튜브의 피측정 액체와의 접촉면을 임의로 10개를 선택하여 측정한 값의 수 평균값으로 한다.
또한, 본 발명에 이용하는 튜브의 기체 투과 계수는, 5×10-6〔㎤·㎝/㎠·sec·㎝Hg〕 이상, 1×10-9〔㎤·㎝/㎠·sec·㎝Hg〕 이하의 범위인 것이 바람직하다.
튜브 유닛(8)은, 복수의 튜브(7)의 양단부가 결속되어 구성되어 있어도 좋다. 즉, 튜브 유닛(8)은, 복수의 튜브(7)와, 복수의 튜브(7)의 한쪽측의 단부 및 다른쪽측의 단부를 각각 결속하는 한 쌍의 결속부(10a, 10b)를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 한 쌍의 결속부(10a, 10b)는, 밀폐 용기(9)에 부착되는 부위여도 좋다.
결속부(10a, 10b)는, 각각, 복수의 튜브(7)의 각각의 단부의 외측에 끼워진 외통(11a, 11b)과, 복수의 튜브(7)의 각각의 단부와 외통(11a, 11b) 사이에 충전된 밀봉부(12a, 12b)를 구비하는 구성이어도 좋다.
외통(11a, 11b)은, 대략 원통형으로 형성되고, 결속부(10a, 10b)의 최외층을 이룬다. 외통(11a, 11b)은, 밀폐 용기(9)에 부착되는 부위이다. 외통(11a, 11b)의 소재로서는, 예컨대, PTFE, 아몰퍼스 플루오로폴리머, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(이하, PFA라고도 칭함), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(이하, FEP라고도 칭함), 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(이하, ETFE라고도 칭함), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(이하, PCTFE라고도 칭함), 폴리불화비닐리덴(이하, PVDF라고도 칭함) 등의 불소 수지, PMP, 폴리프로필렌(이하, PP라고도 칭함) 등의 올레핀 수지, 실리콘 수지, 폴리이미드 수지, 폴리아미드 수지 등을 들 수 있다. 외통(11a, 11b)은, 튜브(7)의 소재와 동일한 것을 채용하는 것이 바람직하다.
밀봉부(12a, 12b)는, 복수의 튜브(7)의 단부와 외통(11a, 11b) 사이에 충전되어, 복수의 튜브(7)의 단부를 결속하고 복수의 튜브(7)의 단부와 외통(11a, 11b) 사이를 밀봉한다. 즉, 밀봉부(12a, 12b)는, 복수의 튜브(7)의 각각의 내부 공간에는 충전되어 있지 않고, 복수의 튜브(7) 사이와, 복수의 튜브(7)와 외통(11a, 11b) 사이에 충전되어 있다(도 4 참조). 이 때문에, 밀봉부(12a, 12b)의 단부면으로부터는, 복수의 튜브(7)의 각각의 내부 공간만이 개방되어 있다. 밀봉부(12a, 12b)의 소재로서는, 외통(11a, 11b)에서 예시한 것과 동일한 것을 이용할 수 있다. 예컨대, PTFE, 아몰퍼스 플루오로폴리머, PMP, PFA, FEP, ETFE, 폴리클로로트리플루오로에틸렌(이하, PCTFE라고도 칭함), 폴리불화비닐리덴(이하, PVDF라고도 칭함) 등의 불소 수지, 폴리프로필렌(이하, PP라고도 칭함), 실리콘, 폴리이미드, 폴리아미드 등을 들 수 있다. 튜브(7)의 소재와 동일한 것을 채용하는 것이 바람직하다.
본 실시형태에서는, 튜브 유닛(8)[또는 튜브(7)]은, 그 일단부(8a)가 밀폐 용기(9)의 액 도입구(9c)에 배치된 제1 커넥터부(13)에 기밀하게 접속되고, 튜브 유닛(8)[또는 튜브(7)]의 타단부(8b)가, 상기 밀폐 용기(9)의 액 배출구(9d)에 배치된 제2 커넥터부(14)에 기밀하게 접속된다. 이러한 구조로 함으로써, 밀폐 용기(9)와 제1 커넥터부(13), 제2 커넥터부(14) 사이의 기밀성을 유지할 수 있고, 튜브 유닛(8)[또는 튜브(7)]과 제1 커넥터부(13), 제2 커넥터부(14) 사이의 높은 기밀성을 장기간 유지할 수 있다. 또한, 공급원과 상기 액중 미립자계의 액 도입구 사이의 유로가 밀폐 용기에 직접 접속되어 있는 구성과 비교한 경우, 우수한 기밀성을 실현할 수 있고, 게다가, 제1, 제2 커넥터부의 설계의 자유도가 높아, 한층 더한 기밀성의 향상을 용이하게 실현할 수 있다.
이하, 도 2에 기초하여, 밀폐 용기(9)의 일 실시형태에 대해 설명한다. 밀폐 용기(9)는, 용기 본체(9a)와, 덮개부(9b)를 구비한다.
용기 본체(9a)는, 튜브 유닛(8)이 수용되는 부위이다. 용기 본체(9a)는, 한쪽의 단부면에 개구를 갖는 원통형의 용기이다. 덮개부(9b)는, 용기 본체(9a)에 기밀하게 접합되어 용기 본체(9a)의 개구를 막는 덮개이다. 용기 본체(9a)에 대한 덮개부(9b)의 접합은, 예컨대, 용착, 나사 결합, 감합(嵌合) 등에 의해 행할 수 있다. 또한, 제조상의 문제가 없으면, 밀폐 용기(9)는, 용기 본체(9a)와 덮개부(9b)로 나누어져 있지 않고, 일체적으로 형성되어 있어도 좋다.
본 실시형태에서는, 덮개부(9b)에는, 제1 커넥터부(13) 및 제2 커넥터부(14)가 기밀하게 접합되어 있다. 제1 커넥터부(13)에는, 덮개부(9b)[밀폐 용기(9)]의 내외를 관통하는 제1 관통 유로(15)가 형성되어 있고, 제2 커넥터부(14)에는, 덮개부(9b)[밀폐 용기(9)]의 내외를 관통하는 제2 관통 유로(16)가 형성되어 있다. 덮개부(9b)에 대한 제1 커넥터부(13) 및 제2 커넥터부(14)의 접합은, 예컨대, 용착, 나사 결합, 감합 등에 의해 행할 수 있다.
제1 커넥터부(13)는, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 관통 유로(15)가 형성된 제1 커넥터부 본체(131)와, 제1 관통 유로(15)의 축선 방향에 관해 제1 커넥터부 본체(131)의 일단부(131a)에 형성되고, 액의 공급원(3)측의 유로(4a)가 접속되는 제1 오목부(132)와, 제1 커넥터부 본체(131)의 타단부(131b)에 형성되고, 튜브 유닛(8)의 일단부(8a)가 접속되는 제2 오목부(133)와, 제1 커넥터부 본체(131)의 외주부에 형성된 결합부(134)를 갖고 있다.
또한, 제2 커넥터부(14)는, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 관통 유로(16)가 형성된 제2 커넥터부 본체(141)와, 제2 관통 유로(16)의 축선 방향에 관해 제2 커넥터부 본체(141)의 일단부(141a)에 형성되고, 액중 미립자계(2)의 액 도입구측의 유로(4b)가 접속되는 제3 오목부(142)와, 제2 커넥터부 본체(141)의 타단부(141b)에 형성되고, 튜브 유닛(8)의 타단부(8b)가 접속되는 제4 오목부(143)와, 제2 커넥터부 본체(141)의 외주부에 형성된 결합부(144)를 갖고 있다.
제1 커넥터부(13)의 제1 오목부(132)에는 유로(4a)가 삽입되어 있고, 이들이 접합됨으로써, 유로(4a)와 제1 관통 유로(15)가 연통(連通)된다. 이 구조에 의해, 중심 어긋남을 방지할 수 있고, 유로 폐색이나 압력 손실 증가를 방지할 수 있다. 또한, 제1 커넥터부(13)의 제2 오목부(133)에는, 튜브 유닛(8)의 일단부(8a)가 결속부(10a)와 함께 삽입되어 있고, 제1 커넥터부 본체(131)와 튜브 유닛(8)의 한쪽의 결속부(10a)가 기밀하게 접합됨으로써, 제1 커넥터부(13)와 튜브 유닛(8)이 기밀하게 접속된다. 이 구조에 의해, 중심 어긋남을 방지할 수 있고, 유로 폐색이나 압력 손실 증가를 방지할 수 있다. 또한 이에 의해, 복수의 튜브(7)의 각각의 내부 공간과 유로(4a)가 제1 관통 유로(15)를 통해 연통된다. 결합부(134)는, 예컨대, 튜브 유닛(8)의 한쪽의 결속부(10a)와 밀폐 용기(9) 사이에 배치된 단차부이다. 이 단차부는, 예컨대 원통형을 갖는 제1 커넥터부 본체(131)의 축선 방향 일단측의 직경 확대부와, 타단측의 직경 축소부 사이에 형성되어 있어도 좋다. 제1 커넥터부(13)의 상기 구성에 의해, 제1 커넥터부(13)와 밀폐 용기(9) 사이의 기밀성을 보다 향상시킬 수 있다. 유로(4a)에 대한 제1 커넥터부(13)의 접합은, 예컨대, 용착, 나사 결합, 감합 등에 의해 행할 수 있다. 또한, 튜브 유닛(8)의 한쪽의 결속부(10a)에 대한 제1 커넥터부(13)의 접합은, 예컨대, 용착, 나사 결합, 감합 등에 의해 행할 수 있다.
제2 커넥터부(14)의 제3 오목부(142)에는 유로(4b)가 삽입되어 있고, 이들이 접합됨으로써, 유로(4b)와 제2 관통 유로(16)가 연통된다. 이 구조에 의해, 중심 어긋남을 방지할 수 있고, 유로 폐색이나 압력 손실 증가를 방지할 수 있다. 또한, 제2 커넥터부(14)의 제4 오목부(143)에는, 튜브 유닛(8)의 타단부(8b)가 결속부(10b)와 함께 삽입되어 있고, 제2 커넥터부 본체(141)와 튜브 유닛(8)의 다른쪽의 결속부(10b)가 기밀하게 접합됨으로써, 제2 커넥터부(14)와 튜브 유닛(8)이 기밀하게 접속된다. 이 구조에 의해, 중심 어긋남을 방지할 수 있고, 유로 폐색이나 압력 손실 증가를 방지할 수 있다. 또한 이에 의해, 복수의 튜브(7)의 각각의 내부 공간과 유로(4b)가 제2 관통 유로(16)를 통해 연통된다. 결합부(144)는, 예컨대, 튜브 유닛(8)의 다른쪽의 결속부(10b)와 밀폐 용기(9) 사이에 배치된 단차부이다. 이 단차부는, 예컨대 원통형을 갖는 제2 커넥터부 본체(141)의 축선 방향 일단측의 직경 축소부와, 타단측의 직경 확대부 사이에 형성되어 있어도 좋다. 제2 커넥터부(14)의 상기 구성에 의해, 제2 커넥터부(14)와 밀폐 용기(9) 사이의 기밀성을 보다 향상시킬 수 있다. 유로(4b)에 대한 제2 커넥터부(14)의 접합은, 예컨대, 용착, 나사 결합, 감합 등에 의해 행할 수 있다. 또한, 튜브 유닛(8)의 다른쪽의 결속부(10b)에 대한 제2 커넥터부(14)의 접합은, 예컨대, 용착, 나사 결합, 감합 등에 의해 행할 수 있다.
제1 커넥터부(13)는, 테트라플루오로에틸렌 및 퍼플루오로-2,2-디메틸-1,3-디옥솔을 코모노머로 하는 공중합체를 포함하여 이루어지는 비정질 불소 수지, 사불화에틸렌 수지, 폴리메틸펜텐 수지에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는 것이 바람직하다. 마찬가지로, 제2 커넥터부(14)는, 테트라플루오로에틸렌 및 퍼플루오로-2,2-디메틸-1,3-디옥솔을 코모노머로 하는 공중합체를 포함하여 이루어지는 비정질 불소 수지, 사불화에틸렌 수지, 폴리메틸펜텐 수지에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는 것이 바람직하다.
제1 커넥터부(13), 제2 커넥터부(14)는, 튜브(7)의 소재와 동일한 것을 채용하는 것이 바람직하고, 또한, 결속부(10a, 10b)를 구성하는 외통(11a, 11b), 및/또는, 밀봉부(12a, 12b)의 소재도 동일한 것으로 하는 것이 보다 바람직하다. 상기 각부의 소재를 동일한 것으로 함으로써 선팽창 계수를 일치시킴으로써 밀착성, 기밀성이 향상될 뿐만 아니라, 또한, 상기 제2 오목부(133)에, 상기 결속부(10a)가 삽입되는 구조, 또는, 제2 오목부(143)에, 상기 결속부(10b)가 삽입되는 구조인 것과 더불어, 예컨대, 기온 변화나 압력 변화에 의해 소재에 팽창이나 수축 등의 변형이 발생해도 서로 추종하여 접합면에 간극이 발생하는 것을 방지하고, 그에 의해 기포가 체류하는 것을 방지하는 등, 외란의 영향 등에 의한 오계측(오카운트)을 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.
용기 본체(9a)에는, 흡기구(20)가 형성되어 있어도 좋다. 흡기구(20)는, 밀폐 용기(9) 내에서의 복수의 튜브(7)의 외측의 공간으로부터 흡기하기 위해서, 용기 본체(9a)에 형성된 개구이다. 흡기구(20)에는, 밀폐 용기(9) 내에서의 복수의 튜브(7)의 외측의 공간과 연통되는 배관(6a)이 접합되어 있어도 좋다. 이 때문에, 배관(6a)에 흡인 펌프(6)를 접속하고, 흡인 펌프(6)에 의해 흡기구(20)로부터 흡기함으로써, 밀폐 용기(9) 내에서의 복수의 튜브(7)의 외측의 공간을 감압할 수 있다. 흡기구(20)에 대한 배관(6a)의 접합은, 예컨대, 용착, 나사 결합, 감합 등에 의해 행할 수 있다.
이와 같이 구성되는 중공사 탈기 모듈(5)을 이용하여 액체를 탈기하는 경우에는, 배관(6a)에 접속된 흡인 펌프(6)에 의해 밀폐 용기(9) 내에서의 복수의 튜브(7)의 외측의 공간을 흡기하면서, 유로(4a)에 액체를 공급하고, 유로(4b)로부터 액체를 배출한다. 그러면, 유로(4a)에 공급된 액체는, 제1 커넥터부(13)를 통해 복수의 튜브(7)의 각각의 내부 공간에 공급된다. 이때, 밀폐 용기(9) 내에서의 복수의 튜브(7)의 외측의 공간은 감압된 상태로 되어 있기 때문에, 액체가 복수의 튜브(7)의 각각의 내부 공간을 통과할 때에, 액체의 용존 기체 및 기포가, 복수의 튜브(7)의 각각을 투과하여, 밀폐 용기(9) 내에서의 복수의 튜브(7)의 외측의 공간으로 인입된다. 이에 의해, 액체의 탈기가 행해진다. 그리고, 탈기된 액체는, 제2 커넥터부(14)를 통해 유로(4b)로 배출된다.
유로(4a, 4b)는 튜브여도 좋다. 유로(4a, 4b)는, 테트라플루오로에틸렌 및 퍼플루오로-2,2-디메틸-1,3-디옥솔을 코모노머로 하는 공중합체를 포함하여 이루어지는 비정질 불소 수지, 사불화에틸렌 수지, 폴리메틸펜텐 수지에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는 것이 바람직하다. 유로(4a, 4b)는 튜브(7)의 소재와 동일한 것을 채용하는 것이 바람직하다. 소재를 동일하게 함으로써 선팽창 계수를 일치시킬 수 있고, 또한, 상기 제1 오목부(132)에 상기 유로(4a)가, 또한, 제3 오목부(142)에 상기 유로(4b)가, 삽입되는 구조이기 때문에, 예컨대, 기온 변화나 압력 변화와 같은 소재에 팽창이나 수축 등의 변형이 발생해도, 서로 추종하여 접합면에 간극이 발생하는 것을 방지하고, 그에 의해 기포가 체류하는 것을 방지하는 등, 외란의 영향 등에 의한 오계측(오카운트)을 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.
또한, 복수의 튜브(7)의 각각의 단부가 서로 이격되어 있는 경우, 복수의 튜브(7)의 각각의 단부가 밀봉부(12a, 12b)로 덮여진 상태가 된다. 이에 의해, 복수의 튜브(7)의 각각의 단부의 계면으로부터 유체가 누출되는 것을 억제할 수 있다.
그리고, 본 실시형태에 따른 중공사 탈기 모듈(5)에서는, 흡기구(20)로부터 흡기하면서 액 도입구(9c)의 제1 관통 유로(15)에 액체를 공급하고 액 배출구(9d)의 제2 관통 유로(16)로부터 액체를 배출함으로써, 제1 관통 유로(15)에 공급된 액체는, 복수의 튜브(7)를 통과할 때에 탈기되어, 제2 관통 유로(16)로부터 배출된다. 그리고, 상기한 튜브 유닛(8)을 구비하기 때문에, 복수의 튜브(7)의 결속 강도가 향상된다. 이에 의해, 중공사 탈기 모듈(5)의 내구성을 향상시킬 수 있고, 제1 관통 유로(15)에 공급된 액체가 복수의 튜브(7)의 외측의 공간으로 누출되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 액중 미립자 계측 시스템의 동작을 도 1에 기초하여 설명한다.
액중 미립자 계측 시스템(1)에는, 미립자의 계측을 행하는 액(피측정 액체)이, 그 공급원(3)으로부터 공급되도록 구성되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 공급원(3)으로부터 액중 미립자 계측 시스템(1)에, 피측정 액체가 공급된다.
피측정 액체로서는, 특별히 한정되지 않으나, 예컨대, 유기 용매나, 이온 교환수, 순수(純水), 초순수 등의 물이나, 이들 물에 산, 알칼리, 오존, 계면 활성제, 유기 용제 등을 용해시킨 기능성을 부여한 액체, 초임계수(압력 22.1 ㎫ 이상, 또한 온도 374℃ 이상의 것. 이산화탄소를 첨가하여, 표면 장력을 극한까지 낮게 한 순수나, 그것을 약품과 세트로 이용해도 좋음) 등을 들 수 있다. 예컨대, 액정 패널의 제조 장치의 세정용으로 공급되는 액체나, 실리콘 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼 제조 장치의 세정용 혹은 가공 절단용으로 공급되는 액체, 바람직하게는 초순수여도 좋다.
상기 공급원(3)의 상류측의 구성은 피측정 액체의 공급원인 한 특별히 한정되지 않으나, 액이 흐르는 배관으로부터 분기시켜, 액의 일부에 대해 미립자의 계측을 행할 수 있도록 접속되어 있거나, 저류부에 접속되어 있거나, 또한, 고압 세정기 등의 가압 장치에 접속되어 있어도 좋고, 예컨대 3 ㎫ 이상, 20 ㎫ 이하와 같은 고압화된 액체(고압 액체)가 공급되도록 되어 있어도 좋다.
본 발명의 액중 미립자 계측 시스템(1)은, 공급원(3)으로부터 피측정 액체의 유로(4a)를 통해, 중공사 탈기 모듈(5)의 제1 커넥터부(13)와 접속하도록 구성되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 공급원(3)으로부터 공급된 피측정 액체가, 유로(4a)를 흘러, 제1 커넥터부(13)로부터 중공사 탈기 모듈(5) 내에 공급된다.
중공사 탈기 모듈의 밀폐 용기(9)에는, 탈기용의 배관을 통해 진공 펌프 등의 감압 펌프가 접속되도록 구성되어 있다. 이에 의해, 감압 펌프를 구동하여, 밀폐 용기(9) 내(제2 영역)로부터 기체를 밀폐 용기(9) 밖으로 송출함으로써 내압을 저하시켜, 튜브(7)의 접액면(제1 영역)으로부터 피측정 액체 중의 기포나 피측정 액체 중에 용존하는 기체가 탈기된다.
본 발명의 액중 미립자 계측 시스템(1)은, 중공사 탈기 모듈(5)의 제2 커넥터부(14)로부터 피측정 액체의 유로(4b)를 통해, 액중 미립자계(2)와 접속하도록 구성되어 있다. 액중 미립자계(2)는, 액중 미립자계(2)의 액 공급구로부터 공급된 피측정 액체에 광을 조사하고, 그 광 에너지의 산란이나 감소를 검출함으로써 액중에 포함되는 미립자의 수를 카운트하도록 구성되어 있고, 공급된 피측정 액체에 포함되는 미립자의 수를 계측하여 표시부에 표시하도록 되어 있다. 이에 의해 중공사 탈기 모듈(5)에서 탈기된 피측정 액체는, 제2 커넥터부(14)로부터 유로(4b)를 통해, 액중 미립자계(2)에 송출되어, 피측정 액체에 포함되는 미립자의 수가 계측된다. 본 발명에 이용하는 액중 미립자계(2)의 정격 유량은 특별히 한정되지 않으나, 11 mL/min 이하인 것이 바람직하고, 또한, 10.5 mL/min 이하인 것이 보다 바람직하며, 그리고 9.5 mL/min 이상인 것이 바람직하다.
액중 미립자계(2)는, 그 액 배출구로부터 유로(4c)를 통해, 시스템계 밖으로 피측정 액체가 송출되도록 구성되어 있다. 액중 미립자계(2)의 액 배출구로부터 배출된 피측정 액체는, 유로(4c)의 도중에 접속된 송액 펌프에 의해, 시스템의 하류측으로부터 흡인함으로써, 시스템 내를 피측정 액체가 흐르도록 구성되어 있어도 좋다. 송액 펌프를 대신하여, 또는 송액 펌프와 함께, 상기 액 배출구의 하류측에, 또한 유로(4c)를 통해, 유량 조정 장치나 압력 조정 장치를 접속하여, 유량이나 압력을 조정할 수도 있다. 액 배출구로부터 배출된 피측정 액체는, 다시 공급원의 하류측에 접속할 수도 있으나, 드레인에 폐기되도록 되어 있어도 좋다.
본 발명의 액중 미립자 계측 시스템(1)은, 예컨대, 액정 패널의 제조 장치의 세정용으로 공급되는 액체나, 실리콘 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼 제조 장치의 세정용 혹은 가공 절단용으로 공급되는 액체, 바람직하게는 초순수 중에 포함되는 파티클의 수를 계측하는 경우에 이용할 수 있다.
도 5의 (a)는 도 3의 (a)의 제1 커넥터부(13)의 변형예를 도시한 개략 단면도이고, 도 5의 (b)는 부분 확대 단면도이다.
도 5의 (a) 및 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 커넥터부(23)는, 제1 관통 유로(15)가 형성된 제1 커넥터부 본체(231)와, 제1 관통 유로(15)의 축선 방향에 관해 제1 커넥터부 본체(231)의 일단부(231a)에 형성되고, 액의 공급원(3)측의 유로(4a)가 접속되는 제1 오목부(232)와, 제1 커넥터부 본체(231)의 타단부(231b)에 형성되고, 튜브 유닛(8)의 일단부(8a)가 접속되는 제2 오목부(233)와, 제1 커넥터부 본체(231)의 외주부에 형성된 결합부(234)를 갖고 있다.
제1 커넥터부(23)는, 제1 커넥터부 본체(231)와 밀폐 용기(9) 사이에 배치된 O링 등의 제1 시일부(235)를 갖고 있어도 좋다. 제1 시일부(235)가 O링으로 구성되는 경우, O링은 제1 커넥터부 본체(231)에 형성된 환형의 홈부 등에 배치되는 것이 바람직하다. 제1 시일부(235)의 배치 위치는, 특별히 제한되지 않으나, 예컨대 덮개부(9b)의 상방에 설치할 수 있다. 이에 의해, 제1 커넥터부(23)와 밀폐 용기(9) 사이의 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있다. O링의 소재로서는 공지된 것이면 되고, 예컨대, 니트릴 고무, 불소 고무, 실리콘 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 수소화니트릴 고무 등의 고무, 불소 수지 등을 들 수 있다.
또한, 제1 커넥터부(23)는, 제2 오목부(233) 내에 배치된 제2 시일부(236)를 갖고 있어도 좋다. 제2 시일부(236)는, 예컨대 페룰로 구성할 수 있다. 이 경우, 예컨대, 제2 오목부(233)에 암나사부, 결속부(10a)를 구성하는 외통(11a)에 수나사부가 각각 형성되어, 제2 오목부(233)와 외통(11a)으로 형성되는 나사 결합 구조를 갖고 있는 것이 바람직하다. 상기 페룰 및 나사 결합 구조에 의해, 강고한 접합이 실현되고, 제2 시일부(236)의 변형에 의해 높은 기밀성을 얻을 수 있다.
또한, 제1 커넥터부(23)는, 제1 커넥터부 본체(231)의 타단부(231b)에 형성된 절결부(237)와, 상기 절결부(237)에 배치된 환형의 제3 시일부(238)를 갖고 있어도 좋다. 절결부(237)의 형태는, 특별히 제한되지 않으나, 예컨대 C 모따기이며, 환형으로 형성되는 것이 바람직하다. 제3 시일부(238)는, 특별히 제한되지 않고, 접착제 등의 에폭시계 수지나, PFA 등의 불소 수지를 비롯한 수지 재료로 구성되어도 좋고, 혹은, 용접 금속 등의 금속으로 구성되어도 좋다.
상기와 같은 구성에 의해, 제1 커넥터부(23)와 튜브 유닛(8) 사이의 접합성, 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 제1 커넥터부(23)가, 상기 제1 시일부, 제2 시일부, 제3 시일부 중 하나 또는 복수를 갖고 있어도 좋다. 이에 의해, 제1 커넥터부(23)와 밀폐 용기(9) 사이의 접합성, 기밀성, 및 제1 커넥터부와 튜브 유닛(8) 사이의 접합성, 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 6의 (a)는 도 3의 (b)의 제2 커넥터부(14)의 변형예를 도시한 개략 단면도이고, 도 6의 (b)는 부분 확대 단면도이다.
도 6의 (a) 및 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 커넥터부(24)는, 제2 관통 유로(16)가 형성된 제2 커넥터부 본체(241)와, 제2 관통 유로(16)의 축선 방향에 관해 제2 커넥터부 본체(241)의 일단부(241a)에 형성되고, 액중 미립자계의 액 도입구에 접속하는 유로(4b)가 접속되는 제1 오목부(242)와, 제2 커넥터부 본체(241)의 타단부(241b)에 형성되고, 튜브 유닛(8)의 일단부(8b)가 접속되는 제2 오목부(243)와, 제2 커넥터부 본체(241)의 외주부에 형성된 결합부(244)를 갖고 있다.
제2 커넥터부(24)는, 제2 커넥터부 본체(241)와 밀폐 용기(9) 사이에 배치된 O링 등의 제1 시일부(245)를 갖고 있어도 좋다. 제1 시일부(245)가 O링으로 구성되는 경우, O링은 제2 커넥터부 본체(241)에 형성된 환형의 홈부 등에 배치되는 것이 바람직하다. 제1 시일부(245)의 배치 위치는, 특별히 제한되지 않으나, 예컨대 덮개부(9b)의 상방에 설치할 수 있다. 이에 의해, 제2 커넥터부(24)와 밀폐 용기(9) 사이의 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 제2 커넥터부(24)는, 제2 오목부(243) 내에 배치된 제2 시일부(246)를 갖고 있어도 좋다. 제2 시일부(246)는, 예컨대 페룰로 구성할 수 있다. 이 경우, 예컨대, 제2 오목부(243)에 암나사부, 결속부(10b)를 구성하는 외통(11b)에 수나사부가 각각 형성되어, 제2 오목부(243)와 외통(11b)으로 형성되는 나사 결합 구조를 갖고 있는 것이 바람직하다. 상기 페룰 및 나사 결합 구조에 의해, 강고한 접합이 실현되고, 제2 시일부(246)의 변형에 의해 높은 기밀성을 얻을 수 있다.
또한, 제2 커넥터부(24)는, 제2 커넥터부 본체(241)의 타단부(241b)에 형성된 절결부(247)와, 절결부(247)에 배치된 환형의 제3 시일부(248)를 갖고 있어도 좋다. 절결부(247)의 형태는, 특별히 제한되지 않으나, 예컨대 C 모따기이며, 환형으로 형성되는 것이 바람직하다. 제3 시일부(248)는, 특별히 제한되지 않고, 접착제 등의 에폭시계 수지나, PFA 등의 불소 수지를 비롯한 수지 재료로 구성되어도 좋고, 혹은, 용접 금속 등의 금속으로 구성되어도 좋다.
상기와 같은 구성에 의해, 제2 커넥터부(24)와 튜브 유닛(8) 사이의 접합성, 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 제1 커넥터부(23)와 마찬가지로, 제2 커넥터부(24)가, 상기 제1 시일부, 제2 시일부, 제3 시일부 중 하나 또는 복수를 갖고 있어도 좋다. 이에 의해, 제2 커넥터부와 밀폐 용기(9) 사이의 접합성, 기밀성, 및 제2 커넥터부와 튜브 유닛(8) 사이의 접합성, 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있다.
1: 액중 미립자 계측 시스템
2: 액중 미립자계(파티클 카운터)
3: 액체(피측정 액체)의 공급원 4a, 4b, 4c: 유로
5: 중공사 탈기 모듈 6: 흡인 펌프
6a: 탈기용의 배관 7: 튜브
8: 튜브 유닛 9: 밀폐 용기
9a: 용기 본체 9b: 덮개부
9c: 액 도입구 9d: 액 배출구
10a, 10b: 결속부 11a, 11b: 외통
12a, 12b: 밀봉부 13, 23: 제1 커넥터부
14: 제2 커넥터부 15: 제1 관통 유로
16: 제2 관통 유로 20: 흡기구
131: 제1 커넥터부 본체 131a: 일단부
131b: 타단부 132: 제1 오목부
133: 제2 오목부 134: 결합부
141: 제2 커넥터부 본체 141a: 일단부
141b: 타단부 142: 제3 오목부
143: 제4 오목부 144: 결합부
231: 제1 커넥터부 본체 231a: 일단부
231b: 타단부 232: 제1 오목부
233: 제2 오목부 234: 결합부
235: 제1 시일부 236: 제2 시일부
237: 절결부 238: 제3 시일부
241: 제2 커넥터부 본체 241a: 일단부
241b: 타단부 242: 제1 오목부
243: 제2 오목부 244: 결합부
245: 제1 시일부 246: 제2 시일부
247: 절결부 248: 제3 시일부
3: 액체(피측정 액체)의 공급원 4a, 4b, 4c: 유로
5: 중공사 탈기 모듈 6: 흡인 펌프
6a: 탈기용의 배관 7: 튜브
8: 튜브 유닛 9: 밀폐 용기
9a: 용기 본체 9b: 덮개부
9c: 액 도입구 9d: 액 배출구
10a, 10b: 결속부 11a, 11b: 외통
12a, 12b: 밀봉부 13, 23: 제1 커넥터부
14: 제2 커넥터부 15: 제1 관통 유로
16: 제2 관통 유로 20: 흡기구
131: 제1 커넥터부 본체 131a: 일단부
131b: 타단부 132: 제1 오목부
133: 제2 오목부 134: 결합부
141: 제2 커넥터부 본체 141a: 일단부
141b: 타단부 142: 제3 오목부
143: 제4 오목부 144: 결합부
231: 제1 커넥터부 본체 231a: 일단부
231b: 타단부 232: 제1 오목부
233: 제2 오목부 234: 결합부
235: 제1 시일부 236: 제2 시일부
237: 절결부 238: 제3 시일부
241: 제2 커넥터부 본체 241a: 일단부
241b: 타단부 242: 제1 오목부
243: 제2 오목부 244: 결합부
245: 제1 시일부 246: 제2 시일부
247: 절결부 248: 제3 시일부
Claims (9)
- 액중 미립자계, 및 미립자의 계측을 행하는 액의 공급원과 상기 액중 미립자계의 액 도입구 사이의 유로에 접속된 적어도 하나의 중공사 탈기 모듈을 갖는 액중 미립자 계측 시스템으로서,
상기 중공사 탈기 모듈은,
밀폐 용기와,
상기 밀폐 용기 내에 배치되고, 1개의 튜브 또는 2개 이상의 튜브를 결속하여 구성되는 튜브 유닛과,
상기 밀폐 용기의 액 도입구에 상기 밀폐 용기의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 상기 밀폐 용기와 결합하는 제1 커넥터부와,
상기 밀폐 용기의 액 배출구에 상기 밀폐 용기의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 상기 밀폐 용기와 결합하는 제2 커넥터부
를 갖고,
상기 튜브 또는 상기 튜브 유닛의 일단부가, 상기 제1 커넥터부에 기밀하게 접속되어 있으며,
상기 튜브 또는 상기 튜브 유닛의 타단부가, 상기 제2 커넥터부에 기밀하게 접속되어 있고,
상기 튜브가, 아몰퍼스(amorphous) 플루오로폴리머, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리메틸펜텐에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는 액중 미립자 계측 시스템. - 제1항에 있어서, 상기 제1 커넥터부 또는 상기 제2 커넥터부가, 테트라플루오로에틸렌 및 퍼플루오로 2,2-디메틸-1,3-디옥솔을 코모노머로 하는 공중합체를 포함하여 이루어지는 비정질 불소 수지, 사불화에틸렌 수지, 폴리메틸펜텐 수지에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는 액중 미립자 계측 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 튜브의 접액면(接液面)의 표면 거칠기 Ra가 0.25 ㎛ 이하이고, 또한, 기체 투과 계수가 5×10-6〔㎤·㎝/㎠·sec·㎝Hg〕∼1×10-9〔㎤·㎝/㎠·sec·㎝Hg〕의 범위인 액중 미립자 계측 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 커넥터부는, 제1 관통 유로가 형성된 제1 커넥터부 본체와, 제1 관통 유로의 축선 방향에 관해 제1 커넥터부 본체의 일단부에 형성되고, 액의 공급원측의 유로가 접속되는 제1 오목부와, 제1 커넥터부 본체의 타단부에 형성되고, 튜브 유닛의 일단부가 접속되는 제2 오목부와, 제1 커넥터부 본체의 외주부에 형성된 결합부를 갖는 액중 미립자 계측 시스템.
- 제4항에 있어서, 상기 제1 커넥터부는,
제1 커넥터부 본체와 밀폐 용기 사이에 배치된 제1 시일부,
제2 오목부 내에 배치된 제2 시일부, 및 제1 커넥터부 본체의 타단부에 형성된 절결부와, 상기 절결부에 배치된 환형의 제3 시일부로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 시일부를 갖는 액중 미립자 계측 시스템. - 제1항에 있어서, 상기 제2 커넥터부는, 제2 관통 유로가 형성된 제2 커넥터부 본체와, 제2 관통 유로의 축선 방향에 관해 제2 커넥터부 본체의 일단부에 형성되고, 액중 미립자계의 액 도입구에 접속하는 유로가 접속되는 제1 오목부와, 제2 커넥터부 본체의 타단부에 형성되고, 튜브 유닛의 일단부가 접속되는 제2 오목부와, 제2 커넥터부 본체의 외주부에 형성된 결합부를 갖는 액중 미립자 계측 시스템.
- 제6항에 있어서, 상기 제2 커넥터부는,
제2 커넥터부 본체와 밀폐 용기 사이에 배치된 제1 시일부,
제2 오목부 내에 배치된 제2 시일부, 및 제2 커넥터부 본체의 타단부에 형성된 절결부와, 상기 절결부에 배치된 환형의 제3 시일부로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 시일부를 갖는 액중 미립자 계측 시스템. - 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 액중 미립자 계측 시스템을 이용하여, 액중의 미립자를 계측하는 것을 특징으로 하는 액중 미립자 계측 방법.
- 액중 미립자 계측 시스템에 이용하는 중공사 탈기 모듈로서,
밀폐 용기와,
상기 밀폐 용기 내에 배치되고, 1개의 튜브 또는 2개 이상의 튜브를 결속하여 구성되는 튜브 유닛과,
상기 밀폐 용기의 액 도입구에 상기 밀폐 용기의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 상기 밀폐 용기와 결합하는 제1 커넥터부와,
상기 밀폐 용기의 액 배출구에 상기 밀폐 용기의 내외를 관통하여 배치되고, 또한, 상기 밀폐 용기와 결합하는 제2 커넥터부
를 갖고,
상기 튜브 또는 상기 튜브 유닛의 일단부가, 상기 제1 커넥터부에 기밀하게 접속되어 있으며,
상기 튜브 또는 상기 튜브 유닛의 타단부가, 상기 제2 커넥터부에 기밀하게 접속되어 있고,
상기 튜브가, 아몰퍼스 플루오로폴리머, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리메틸펜텐에서 선택되는 1종 또는 복수 종으로 구성되는 중공사 탈기 모듈.
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