CN118043642A - 液中微粒子测量系统、液中微粒子测量方法及中空纤维脱气模块 - Google Patents

Abstract

提供一种接液面的平滑性及脱气性能皆优异的中空纤维脱气模块。更详言之，中空纤维脱气模块(5)具有：密闭容器(9)；管单元(8)，其配置于密闭容器(9)内，且将多个管(7)捆扎而构成；第一连接器部(13)，其以贯通密闭容器(9)的内外的方式配置于密闭容器(9)的液体导入口(9c)，且与密闭容器(9)卡合；及第二连接器部(14)，其以贯通密闭容器(9)的内外的方式配置于密闭容器(9)的液体排出口(9d)，且与密闭容器(9)卡合。管单元(8)的一端部(8a)与配置于密闭容器(9)的液体导入口(9c)的第一连接器部(13)气密性地连接，另一端部(8b)与配置于密闭容器(9)的液体排出口(9d)的第二连接器部(14)气密性地连接。所述中空纤维脱气模块内的管是非晶质氟聚合物、聚四氟乙烯或聚甲基戊烯。

Description

液中微粒子测量系统、液中微粒子测量方法及中空纤维脱气 模块

技术领域

本发明是关于一种液中微粒子测量系统、使用该系统的液中微粒子测量方法、及使用于该系统的中空纤维脱气模块。

背景技术

在半导体业界及关联材料业界等中，对于水或药液等液体的清洁度管理，广泛使用一种采用光(激光)的散射方式的液中微粒子计。尤其是近年来，在半导体业界中，伴随着组件的微细化，要求进行30nm以下、甚至10nm等级的粒径的微粒子的管理。然而，若以液中微粒子计对如此粒径的微粒子进行测定，因为由液中的溶解氧等产生的气泡也与微粒子同样地使光散射，所以会导致被作为微粒子测量而产生误测(误计数)的问题。

在专利文献1记载有一种液中微粒子测量系统，其具备：中空纤维脱气模块，其使用多根被捆扎的PFA管单元，对被测定液体进行脱气；及液中微粒子测量部件，其对脱气后的被测定液体的液中微粒子进行测量。然而，该装置使用的PFA管存在有虽然平滑性优异但脱气性能降低的问题。由于接液面的平滑性与脱气性能处于悖反的关系，当接液面的平滑性降低则会引起微粒子残留，因此为了确保优异的平滑性，需要将管的有效长度延长。

此外，在专利文献1中，虽然将平滑性定义为内面的粗糙度Rt(粗糙度曲线的最大截面高度，在评价长度中，轮廓曲线的峰高z_p的最大值与谷深z_v的最大值之和)为0.4μm以下的范围，但由于该Rt值利用峰值，因此存在容易受到划痕、灰尘、测定噪声等外部干扰影响的问题，未必一定可在该范围内确保优异的平滑性。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本特开2021-15111号公报

发明内容

发明要解决的问题

因此，本发明所欲解决的课题在于：提供一种中空纤维脱气模块，其使用于液中微粒子测量系统，该中空纤维脱气模块的接液面的平滑性及脱气性能皆优异。并且，本发明所欲解决的课题在于：提供一种液中微粒子测量系统及使用该系统的液中微粒子测量方法，其中，该液中微粒子测量系统能够通过使用这样的中空纤维脱气模块从被测定液体中有效地除去气泡，且抑制接液面上的微粒子残留，以抑制误测(误计数)。

用于解决问题的方案

为了解决所述课题，本发明人等经锐意研究后，结果发现一种中空纤维脱气模块可解决所述课题，由此完成了本发明，该中空纤维脱气模块使用有将非晶质氟树脂、聚四氟乙烯或聚甲基戊烯作为材料的管，其中该非晶质氟树脂是含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧杂环戊烯作为共聚单体的共聚物而成。

[1]即，本发明为一种液中微粒子测量系统，具有：液中微粒子计；及至少一个中空纤维脱气模块，其连接到进行微粒子测量的液体的供给源与该液中微粒子计的液体导入口之间的流路，其中，

所述中空纤维脱气模块具有：

密闭容器；

管单元，其配置于所述密闭容器内，且将1根管或2根以上的管捆扎而构成；

第一连接器部，其以贯通该密闭容器的内外的方式配置于所述密闭容器的液体导入口，且与所述密闭容器卡合；及

第二连接器部，其以贯通该密闭容器的内外的方式配置于所述密闭容器的液体排出口，且与所述密闭容器卡合，

所述管或所述管单元的一端部与所述第一连接器部气密性地连接，

所述管或所述管单元的另一端部与所述第二连接器部气密性地连接，

所述管由选自非晶质氟聚合物、聚四氟乙烯及聚甲基戊烯中的1种或多种所构成。

[2]此外，本发明如所述[1]的液中微粒子测量系统，其中，所述第一连接器部或所述第二连接器部由选自非晶质氟树脂、四氟乙烯树脂、聚甲基戊烯树脂中的1种或多种所构成，所述非晶质氟树脂含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧杂环戊烯作为共聚单体的共聚物而成。

[3]此外，本发明如所述[1]或[2]的液中微粒子测量系统，其中，所述管的接液面的表面粗糙度Ra为0.25μm以下，且透气系数为5×10^-6[cm³·cm/cm²·sec·cmHg]～1×10^-9[cm³·cm/cm²·sec·cmHg]的范围。

[4]此外，本发明如所述[1]至[3]中任一项的液中微粒子测量系统，其中，所述第一连接器部具备：第一连接器部主体，其形成有第一贯通流路；第一凹部，其在第一贯通流路的轴线方向上设于第一连接器部主体的一端部，液体的供给源侧的流路连接于所述第一凹部；第二凹部，其设于第一连接器部主体的另一端部，管单元的一端部连接于所述第二凹部；及卡合部，其设于第一连接器部主体的外周部。

[5]此外，本发明如所述[1]至[4]中任一项的液中微粒子测量系统，其中，所述第一连接器部具有至少一个密封部，该至少一个密封部从由配置于第一连接器部主体与密闭容器之间的第一密封部、配置于第二凹部内的第二密封部、及配置在缺口部的环状的第三密封部所构成的群中选择，所述缺口部设于第一连接器部主体的另一端部。

[6]此外，本发明如所述[1]至[5]中任一项的液中微粒子测量系统，其中，所述第二连接器部具备：第二连接器部主体，其形成有第二贯通流路；第一凹部，其在第二贯通流路的轴线方向上设于第二连接器部主体的一端部，与液中微粒子计的液体导入口连接的流路连接于所述第一凹部；第二凹部，其设于第二连接器部主体的另一端部，管单元的一端部连接于所述第二凹部；及卡合部，其设于第二连接器部主体的外周部。

[7]此外，本发明如所述[1]至[6]中任一项的液中微粒子测量系统，其中，所述第二连接器部具有至少一个密封部，该至少一个密封部从由配置于第二连接器部主体与密闭容器之间的第一密封部、配置于第二凹部内的第二密封部、及配置在缺口部的环状的第三密封部所构成的群中选择，所述缺口部设于第二连接器部主体的另一端部。

[8]此外，本发明涉及一种液中微粒子测量方法，其特征在于，使用所述[1]至[7]中任一项的液中微粒子测量系统，对液中的微粒子进行测量。

[9]本发明涉及一种中空纤维脱气模块，使用于液中微粒子测量系统，其具备：

密闭容器；

管单元，其配置于所述密闭容器内，将1根管或2根以上的管捆扎而构成；

第一连接器部，其以贯通该密闭容器的内外的方式配置于所述密闭容器的液体导入口，且与所述密闭容器卡合；及

第二连接器部，其以贯通该密闭容器的内外的方式配置于所述密闭容器的液体排出口，且与所述密闭容器卡合，

所述管或所述管单元的一端部与所述第一连接器部气密性地连接，

所述管或所述管单元的另一端部与所述第二连接器部气密性地连接，

所述管由选自非晶质氟聚合物、聚四氟乙烯及聚甲基戊烯中的1种或多种所构成。

发明的效果

根据本发明，可提供一种中空纤维脱气模块，其使用于液中微粒子测量系统，该中空纤维脱气模块的接液面的平滑性及脱气性能皆优异。此外，根据本发明，可提供一种液中微粒子测量系统及使用该系统的液中微粒子测量方法，该液中微粒子测量系统可通过使用这样的中空纤维脱气模块从被测定液体中有效地除去气泡，且抑制接液面上的微粒子残留，以抑制误测(误计数)。

附图说明

图1为表示本发明的液中微粒子测量系统的一例的示意图。

图2为表示本发明的中空纤维脱气模块的一例的示意剖视图。

图3的(a)为表示图2的第一连接器部的结构的放大剖视图，图3的(b)为表示图2的第二连接器部的结构的放大剖视图。

图4为表示本发明中使用的管单元的一例的示意立体图。

图5的(a)为表示图3的(a)的第一连接器部的变形例的示意剖视图，图5的(b)为局部放大剖视图。

图6的(a)为表示图3的(b)的第二连接器部的变形例的示意剖视图，图6的(b)为局部放大剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。

图1为表示本发明的液中微粒子测量系统的一例的示意图。本发明的液中微粒子测量系统1具有：液中微粒子计2；及至少一个中空纤维脱气模块5，其连接到进行微粒子测量的液体的供给源3与该液中微粒子计的液体导入口之间的流路(4a、4b)。

本发明使用的液中微粒子计可为公知的结构，例如，可列举一种通过对液体照射光，且检测其光能量的散射或减少，而对液中含有的微粒子数量进行计数的方式(光散射方式)的结构。

本发明使用的中空纤维脱气模块5连接到进行微粒子测量的液体的供给源3与该液中微粒子计2的液体导入口之间的流路。此外，在中空纤维脱气模块5经由脱气用的配管6a连接有吸引泵6，以能够对进行微粒子测量的液体进行脱气。

图2为表示中空纤维脱气模块的一例的示意剖视图。如图2所示，中空纤维脱气模块5具有：密闭容器9；管单元8，其配置于密闭容器9内，将多根管7捆扎而构成；第一连接器部13，其以贯通密闭容器9的内外的方式配置于密闭容器9的液体导入口9c，且与密闭容器9卡合；及第二连接器部14，其以贯通密闭容器9的内外的方式配置于密闭容器9的液体排出口9d，且与密闭容器9卡合。中空纤维脱气模块5利用多个管7将密闭容器9内分隔为多个管7各自的内部空间(第一区域)、及多个管7外侧的空间(第二区域)。第一区域是被供给液体的区域，第二区域是被吸气的区域。并且，中空纤维脱气模块5具有如下构造：通过朝多个管7各自的内部空间(第一区域)供给液体，并且自多个管7外侧的空间(第二区域)吸气，从而对液体进行脱气。

此外，在两端部捆扎有多个管7形成的管单元8的截面较佳为，各管采用细密填充构造(蜂窝状)。此外，更佳为，管单元8的截面设为六边形。再者，将管单元的截面设为六边形是指在将配置于外侧的多个管的中心以线连结之际(虚拟线)形成为六边形的情况。由此，截面为六边形的情况下的管总数可为以1/4×{3(2n+1)²+1}根所表示的数量。其中，式中的n为自然数，下限为1，上限虽无规定，但较佳为6。

再者，在所述实施方式中，对构成管单元的管的数量为多根的情况进行了说明，但构成管单元的管的数量也可为一根。

管7是可供气体透过但不让液体透过的管状的膜。作为本发明中使用的管7的材料，例如可列举出选自聚四氟乙烯(以下，也称为PTFE)、非晶质氟聚合物、聚甲基戊烯(以下，也称为PMP)中的1种或多种。更详言之，非晶质氟聚合物(以下，也称为「特氟纶(注册商标)AF」)可为含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧杂环戊烯作为共聚单体的共聚物而成的非晶质氟树脂。由于这些既能保持树脂本来的平滑度，且气泡及气体的透过性也良好，因此可进一步缩短有效长度。因此，可抑制微粒子滞留于管内，可进行高精度的测定。

并且，在管是以非晶质氟聚合物作为材料的情况下，较佳为，管内径为0.015mm以上且1.0mm以下的范围。此外，较佳为，管有效长度为0.01m以上且1.5m以下的范围。并且，更佳为，构成管单元的管的数量为1根，管内径为0.8mm以上且1.0mm以下的范围，此外，进一步更佳为，构成管单元的管的数量为2根以上且30根以下的范围，管内径为0.045±0.03mm以上且0.68±0.03mm以下的范围。

此外，在管是以PTFE作为材料的情况下，较佳为，构成管单元的管的数量为10根以上且20根以下的范围，管内径为0.4mm以上且0.6mm以下的范围，有效长度为1m以上且2m以下的范围。此外，在管是以PMP作为材料的情况下，较佳为，构成管单元的管的数量为1根，管内径为0.1mm以上且0.2mm以下的范围，有效长度为0.01m以上且1.5m以下的范围。

较佳为，本发明使用的管的与被测定液体的接触面、即管的接液面的算术平均粗糙度Ra为0.25μm以下，更佳为0.1μm以下，进一步更佳为0.07μm以下，特佳为0.02μm以下。本发明使用的管通过使用所述材料，具有如此优异的平滑性，因此可抑制因外部干扰的影响等引起的误测(误计数)，故而较佳。再者，算术平均粗糙度Ra是根据ISO4287：1997，且将基准长度设为200μm，取任意选择10根对本发明使用的管的与被测定液体的接触面进行测定而得的值的数平均值。

此外，较佳为，本发明使用的管的透气系数为5×10^-6[cm³·cm/cm²·sec·cmHg]以上、且1×10^-9[cm³·cm/cm²·sec·cmHg]以下的范围。

管单元8也可为将多个管7的两端部捆扎而构成。即，管单元8也可具备多个管7、及分别将多个管7的一侧的端部及另一侧的端部捆扎的一对捆扎部10a、10b。再者，一对捆扎部10a、10b也可为安装于密闭容器9的部位。

捆扎部10a、10b可为如下结构：分别具备套设于多个管7各自的端部的外筒11a、11b、及填充于多个管7各自的端部与外筒11a、11b之间的密封部12a、12b。

外筒11a、11b形成为大致圆筒状，其构成捆扎部10a、10b的最外层。外筒11a、11b是安装于密闭容器9的部位。作为外筒11a、11b的材料，例如，可列举PTFE、非晶质氟聚合物、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(以下，也称为PFA)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(以下，也称为FEP)、四氟乙烯-乙烯共聚物(以下，也称为ETFE)、聚三氟氯乙烯(以下，也称为PCTFE)、聚偏氟乙烯(以下，也称为PVDF)等氟树脂、PMP、聚丙烯(以下，也称为PP)等烯烃树脂、硅树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂等。较佳为，外筒11a、11b采用与管7的材料相同的材料。

密封部12a、12b填充于多个管7的端部与外筒11a、11b之间，用以捆扎多个管7的端部并且将多个管7的端部与外筒11a、11b之间密封。即，密封部12a、12b不是填充于多个管7各自的内部空间，而是填充于多个管7之间及多个管7与外筒11a、11b之间(参照图4)。因此，仅多个管7各自的内部空间自密封部12a、12b的端面开放。作为密封部12a、12b的材料，可使用与外筒11a、11b所例示的材料相同的材料。例如，可列举出PTFE、非晶质氟聚合物、PMP、PFA、FEP、ETFE、聚三氟氯乙烯(以下，也称为PCTFE)、聚偏氟乙烯(以下，也称为PVDF)等氟树脂、聚丙烯(以下，也称为PP)、硅、聚酰亚胺、聚酰胺等。较佳为采用与管7的材料相同的材料。

在本实施形态中，管单元8(或管7)的一端部8a与配置于密闭容器9的液体导入口9c的第一连接器部13气密性地连接，管单元8(或管7)的另一端部8b与配置于所述密闭容器9的液体排出口9d的第二连接器部14气密性地连接。通过形成如此的构造，可维持密闭容器9与第一连接器部13、第二连接器部14之间的气密性，并且可长期维持管单元8(或管7)与第一连接器部13、第二连接器部14之间的高气密性。此外，与在供给源与该液中微粒子计的液体导入口之间的流路直接连接到密闭容器的结构比较的情况下，可实现优异的气密性，而且，第一连接器部、第二连接器部的设计自由度高，可容易实现进一步提高气密性。

以下，根据图2对密闭容器9的一实施方式进行说明。密闭容器9具备容器主体9a及盖部9b。

容器主体9a是收容管单元8的部位。容器主体9a是在一个端面具有开口的圆筒状的容器。盖部9b是与容器主体9a气密性地接合而将容器主体9a的开口堵塞的盖。盖部9b与容器主体9a的接合例如可通过熔接、螺合、嵌合等进行。此外，若无制造上的问题，密闭容器9也可不区分为容器主体9a及盖部9b而一体地形成。

在本实施形态中，第一连接器部13及第二连接器部14气密性地接合于盖部9b。在第一连接器部13形成有贯通盖部9b(密闭容器9)的内外的第一贯通流路15，在第二连接器部14形成有贯通盖部9b(密闭容器9)的内外的第二贯通流路16。第一连接器部13及第二连接器部14与盖部9b的接合例如可通过熔接、螺合、嵌合等进行。

如图3的(a)所示，第一连接器部13具有：第一连接器部主体131，其形成有第一贯通流路15；第一凹部132，其在第一贯通流路15的轴线方向上设于第一连接器部主体131的一端部131a，且连接液体的供给源3侧的流路4a；第二凹部133，其设于第一连接器部主体131的另一端部131b，且连接管单元8的一端部8a；及卡合部134，其设于第一连接器部主体131的外周部。

此外，如图3的(b)所示，第二连接器部14具有：第二连接器部主体141，其形成有第二贯通流路16；第三凹部142，其在第二贯通流路16的轴线方向上设于第二连接器部主体141的一端部141a，且连接液中微粒子计2的液体导入口侧的流路4b；第四凹部143，其设于第二连接器部主体141的另一端部141b，且连接管单元8的另一端部8b；及卡合部144，其设于第二连接器部主体141的外周部。

在第一连接器部13的第一凹部132内插入有流路4a，通过将它们接合，以连通流路4a与第一贯通流路15。通过该结构，可防止中心错位，可防止流路堵塞及压力损失增加。此外，将管单元8的一端部8a与捆扎部10a一起插入第一连接器部13的第二凹部133内，且将第一连接器部主体131与管单元8的一个捆扎部10a气密性地接合，由此，将第一连接器部13与管单元8气密性地连接。通过该构造，可防止中心错位，可防止流路堵塞及压力损失增加。此外，通过如此设置，经由第一贯通流路15将多个管7各自的内部空间与流路4a连通。卡合部134例如为配置于管单元8的一个捆扎部10a与密闭容器9之间的阶梯部。该阶梯部例如也可形成于具有圆筒状的第一连接器部主体131的轴线方向一端侧的扩径部与另一端侧的缩径部之间。通过第一连接器部13的所述结构，可进一步提高第一连接器部13与密闭容器9之间的气密性。第一连接器部13与流路4a的接合例如可通过熔接、螺合、嵌合等进行。此外，第一连接器部13与管单元8的一个捆扎部10a的接合例如可通过熔接、螺合、嵌合等进行。

在第二连接器部14的第三凹部142内插入有流路4b，通过将它们接合，以连通流路4b与第二贯通流路16。通过该构造，可防止中心错位，可防止流路堵塞及压力损失增加。此外，将管单元8的另一端部8b与捆扎部10b一起插入第二连接器部14的第四凹部143内，且将第二连接器部主体141与管单元8的另一捆扎部10b气密性地接合，由此，将第二连接器部14与管单元8气密性地连接。通过该构造，可防止中心错位，可防止流路堵塞及压力损失增加。此外，通过如此设置，经由第二贯通流路16将多个管7各自的内部空间与流路4b连通。卡合部144例如为配置于管单元8的另一个捆扎部10b与密闭容器9之间的阶梯部。该阶梯部例如也可形成于具有圆筒状的第二连接器部主体141的轴线方向一端侧的缩径部与另一端侧的扩径部之间。通过第二连接器部14的所述结构，可进一步提高第二连接器部14与密闭容器9之间的气密性。第二连接器部14与流路4b的接合例如可通过熔接、螺合、嵌合等进行。此外，第二连接器部14与管单元8的另一个捆扎部10b的接合例如可通过熔接、螺合、嵌合等进行。

较佳为，第一连接器部13由选自非晶质氟树脂、四氟乙烯树脂、聚甲基戊烯树脂中的1种或多种所构成，该非晶质氟树脂是含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧杂环戊烯作为共聚单体的共聚物而成。同样地，较佳为，第二连接器部14由选自非晶质氟树脂、四氟乙烯树脂、聚甲基戊烯树脂中的1种或多种所构成，该非晶质氟树脂是含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧杂环戊烯作为共聚单体的共聚物而成。

较佳为，第一连接器部13、第二连接器部14采用与管7的材料相同的材料，并且，更佳为，构成捆扎部10a、10b的外筒11a、11b及/或密封部12a、12b的材料也相同。通过使所述各部分的材料相同而使线膨胀系数一致，从而不仅可提高密接性、气密性，并且再加上将该捆扎部10a插入该第二凹部133内的构造、或将该捆扎部10b插入第二凹部143内的构造的效应，例如，即使因气温变化或压力变化而在材料产生膨胀或收缩等变形，也可相互随动以防止在接合面产生间隙，由此可防止气泡滞留等，可抑制因外部干扰的影响等引起的误测(误计数)，故而较佳。

可在容器主体9a形成吸气口20。吸气口20是形成于容器主体9a的开口，用以自密闭容器9内的多个管7外侧的空间进行吸气。可在吸气口20接合配管6a，该配管6a用以与密闭容器9内的多个管7外侧的空间连通。因此，通过将吸引泵6连接于配管6a，利用吸引泵6自吸气口20吸气，从而可对密闭容器9内的多个管7外侧的空间进行减压。配管6a与吸气口20的接合例如可通过熔接、螺合、嵌合等进行。

在使用如此构成的中空纤维脱气模块5对液体进行脱气的情况下，一边利用与配管6a连接的吸引泵6对密闭容器9内的多个管7外侧的空间进行吸气，一边朝流路4a供给液体，同时自流路4b排出液体。于是，供给于流路4a的液体经由第一连接器部13被供给至多个管7各自的内部空间。此时，由于密闭容器9内的多个管7外侧的空间成为被减压后的状态，因此当液体通过多个管7各自的内部空间时，液体的溶解气体及气泡分别透过多个管7，被引入至密闭容器9内的多个管7外侧的空间。由此，进行液体的脱气。然后，脱气后的液体经由第二连接器部14被排出至流路4b。

流路4a、4b可为管。较佳为，流路4a、4b由选自非晶质氟树脂、四氟乙烯树脂、聚甲基戊烯树脂中的1种或多种所构成，该非晶质氟树脂是含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧杂环戊烯作为共聚单体的共聚物而成。较佳为，流路4a、4b采用与管7的材料相同的材料。通过使材料相同，可使线膨胀系数一致，并且，因为是将该流路4a插入该第一凹部132、将该流路4b插入该第三凹部142的构造，所以，例如即使因气温变化或压力变化而在材料中产生膨胀或收缩等变形，也可相互随动以防止在接合面产生间隙，由此可防止气泡滞留等，可抑制因外部干扰的影响等引起的误测(误计数)，故而较佳。

此外，在多个管7各自的端部相互分离的情况下，成为多个管7各自的端部被密封部12a、12b覆盖的状态。由此，可抑制流体自多个管7各自的端部的界面漏出。

并且，在本实施方式的中空纤维脱气模块5中，一边自吸气口20吸气一边朝液体导入口9c的第一贯通流路15供给液体，并且自液体排出口9d的第二贯通流路16排出液体，由此，使供给至第一贯通流路15的液体在通过多个管7时脱气，且自第二贯通流路16排出。并且，由于具备所述管单元8，因此提高了多个管7的捆扎强度。由此，可提高中空纤维脱气模块5的耐久性，并且可抑制供给至第一贯通流路15的液体朝多个管7外侧的空间漏出。

根据图1，对本发明的液中微粒子测量系统的动作进行说明。

液中微粒子测量系统1以进行微粒子测量的液体(被测定液体)自其供给源3被供给的方式构成。通过采用这样的结构，自供给源3朝液中微粒子测量系统1供给被测定液体。

作为被测定液体，并无特别限制，例如可列举出有机溶剂、及离子交换水、纯水、超纯水等水、和在这些水中溶解酸、碱、臭氧、界面活性剂、有机溶剂等而赋予功能性的液体、超临界水(压力为22.1MPa以上，且温度为374℃以上。也可加入二氧化碳而使表面张力降低至极限的纯水、或将其与药品组合使用)等。例如，可为液晶面板的制造装置的清洗用时所供给的液体、或硅晶圆等半导体晶圆制造装置的清洗用或加工切断用时所供给的液体，较佳为超纯水。

所述供给源3的上游侧的结构只要为被测定液体的供给源，则无特别限制，但也可以以自液体流动的配管分支且能对液体的一部分进行微粒子的测量的方式连接，或者也可连接于贮存部，或者也可连接于高压清洗机等加压装置，例如，也可供给3MPa以上且20MPa以下这样的被高压化的液体(高压液体)。

本发明的液中微粒子测量系统1构成为自供给源3经由被测定液体的流路4a与中空纤维脱气模块5的第一连接器部13连接。通过采用这样的结构，自供给源3供给的被测定液体在流路4a中流动，且自第一连接器部13供给至中空纤维脱气模块5内。

构成为真空泵等减压泵经由脱气用配管连接于中空纤维脱气模块的密闭容器9。由此，驱动减压泵，自密闭容器9内(第二区域)朝密闭容器9外送出气体，以使内压降低，进而使被测定液体中的气泡或溶解于被测定液体中的气体自管7的接液面(第一区域)脱气。

本发明的液中微粒子测量系统1构成为，自中空纤维脱气模块5的第二连接器部14经由被测定液体的流路4b与液中微粒子计2连接。液中微粒子计2构成为通过对自液中微粒子计2的液体供给口供给的被测定液体照射光，且检测其光能量的散射或减少，从而对液中含有的微粒子的数量进行计数，且测量供给的被测定液体含有的微粒子的数量并将其显示于显示部。由此，由中空纤维脱气模块5脱气后的被测定液体自第二连接器部14经由流路4b被送出至液中微粒子计2，对被测定液体含有的微粒子的数量进行测量。本发明使用的液中微粒子计2的额定流量并无特别限制，较佳为11mL/min以下，且更佳为10.5mL/min以下，此外，较佳为9.5mL/min以上。

液中微粒子计2构成为自其液体排出口经由流路4c朝系统体系外送出被测定液体。自液中微粒子计2的液体排出口排出的被测定液体，也可通过连接于流路4c的中途的送液泵，自系统的下游侧吸引，而使被测定液体在系统内流动。也可取代送液泵，或者连同送液泵一起，在该液体排出口的下游侧进一步经由流路4c连接流量调整装置或压力调整装置，以调整流量或压力。自液体排出口排出的被测定液体虽然也可再次连接于供给源的下游侧，但也可废弃于排水管。

本发明的液中微粒子测量系统1例如可在如下情况下使用，即：测量液晶面板的制造装置的清洗用时所供给的液体、及硅晶圆等半导体晶圆制造装置的清洗用或加工切断用时所供给的液体中含有的微粒的数量、较佳为测量超纯水中含有的微粒的数量。

图5的(a)为表示图3的(a)的第一连接器部13的变形例的示意剖视图，图5的(b)为局部放大剖视图。

如图5的(a)及图5的(b)所示，第一连接器部23具有：第一连接器部主体231，其形成有第一贯通流路15；第一凹部232，其在第一贯通流路15的轴线方向上设于第一连接器部主体231的一端部231a，且连接液体的供给源3侧的流路4a；第二凹部233，其设于第一连接器部主体231的另一端部231b，连接管单元8的一端部8a；及卡合部234，其设于第一连接器部主体231的外周部。

第一连接器部23也可具有配置于第一连接器部主体231与密闭容器9之间的O形环等第一密封部235。在第一密封部235由O形环构成的情况下，较佳为，O形环配置于形成在第一连接器部主体231的环状的槽部等。第一密封部235的配置位置并无特别限制，例如可设于盖部9b的上方。由此，可进一步提高第一连接器部23与密闭容器9之间的气密性。作为O形环的材料，只要为公知的材料即可，例如可列举出丁腈橡胶、氟橡胶、硅胶、乙烯丙烯橡胶、氯丁橡胶、聚氨酯橡胶、氢化腈橡胶等橡胶、氟树脂等。

此外，第一连接器部23也可具有配置于第二凹部233内的第二密封部236。第二密封部236可由例如环箍构成。此时，较佳为，例如，分别在第二凹部233设置阴螺纹部、在构成捆扎部10a的外筒11a设置阳螺纹部，具有由第二凹部233及外筒11a形成的螺合构造。通过所述环箍及螺合构造，可实现牢固的接合，并且可通过第二密封部236的变形而获得高气密性。

并且，第一连接器部23也可具有设于第一连接器部主体231的另一端部231b的缺口部237、及配置于该缺口部237的环状的第三密封部238。缺口部237的形态并无特别限制，例如为C倒角，且较佳为形成环状。第三密封部238并无特别限制，可由以黏着剂等环氧类树脂、PFA等氟树脂为首的树脂材料构成，或者也可由焊接金属等金属构成。

通过如此构成，可进一步提高第一连接器部23与管单元8之间的接合性、气密性。

此外，第一连接器部23也可具有所述第一密封部、第二密封部、第三密封部中的一个或多个。由此，可进一步提高第一连接器部23与密闭容器9之间的接合性、气密性、及第一连接器部与管单元8之间的接合性、气密性。

图6的(a)为表示图3的(b)的第二连接器部14的变形例的示意剖视图，图6的(b)为局部放大剖视图。

如图6的(a)及图6的(b)所示，第二连接器部24具有：第二连接器部主体241，其形成有第二贯通流路16；第一凹部242，其在第二贯通流路16的轴线方向上设于第二连接器部主体241的一端部21a，且连接与液中微粒子计的液体导入口连接的流路4b；第二凹部243，其设于第二连接器部主体241的另一端部241b，且连接管单元8的一端部8b；及卡合部244，其设于第二连接器部主体241的外周部。

第二连接器部24也可具有O形环等第一密封部245，该第一密封部245配置于第二连接器部主体241与密闭容器9之间。在由O形环构成第一密封部245的情况下，较佳为，O形环配置于形成在第二连接器部主体241的环状槽部等。第一密封部245的配置位置并无特别限制，例如可设于盖部9b的上方。由此，可进一步提高第二连接器部24与密闭容器9之间的气密性。

此外，第二连接器部24也可具有配置于第二凹部243内的第二密封部246。第二密封部246例如可由环箍构成。在该情况下，例如，较佳为，分别在第二凹部243设置阴螺纹部、在构成捆扎部10b的外筒11b设置阳螺纹部，具有由第二凹部243及外筒11b所形成的螺合构造。通过所述环箍及螺合构造，可实现牢固的接合，并且可通过第二密封部246的变形而获得高气密性。

并且，第二连接器部24也可具有设于第二连接器部主体241的另一端部241b的缺口部247、及配置于缺口部247的环状的第三密封部248。缺口部247的形态并无特别限制，较佳例如为C倒角，且形成为环状。第三密封部248并无特别限制，可由以黏着剂等环氧类树脂、PFA等氟树脂为首的树脂材料构成，或者也可由焊接金属等金属构成。

通过如此构成，可进一步提高第二连接器部24与管单元8之间的接合性、气密性。

此外，与第一连接器部23同样，第二连接器部24也可具有所述第一密封部、第二密封部、第三密封部中的一个或多个。由此，可进一步提高第二连接器部与密闭容器9之间的接合性、气密性、及第二连接器部与管单元8之间的接合性、气密性。

附图标记说明

1:液中微粒子测量系统

2:液中微粒子计(微粒计数器)

3:液体(被测定液体)的供给源

4a,4b,4c:流路

5:中空纤维脱气模块

6:吸引泵

6a:脱气用配管

7:管

8:管单元

9:密闭容器

9a:容器主体

9b:盖部

9c:液体导入口

9d:液体排出口

10a,10b:捆扎部

11a,11b:外筒

12a,12b:密封部

13,23:第一连接器部

14:第二连接器部

15:第一贯通流路

16:第二贯通流路

20:吸气口

131:第一连接器部主体

131a:一端部

131b:另一端部

132:第一凹部

133:第二凹部

134:卡合部

141:第二连接器部主体

141a:一端部

141b:另一端部

142:第三凹部

143:第四凹部

144:卡合部

231:第一连接器部主体

231a:一端部

231b:另一端部

232:第一凹部

233:第二凹部

234:卡合部

235:第一密封部

236:第二密封部

237:缺口部

238:第三密封部

241:第二连接器部主体

241a:一端部

241b:另一端部

242:第一凹部

243:第二凹部

244:卡合部

245:第一密封部

246:第二密封部

247:缺口部

248:第三密封部

Claims (9)

1.一种液中微粒子测量系统，具有：液中微粒子计；及至少一个中空纤维脱气模块，其连接到进行微粒子测量的液体的供给源与该液中微粒子计的液体导入口之间的流路，其中，

所述中空纤维脱气模块具有：

密闭容器；

管单元，其配置于所述密闭容器内，且将1根管或2根以上的管捆扎而构成；

第一连接器部，其以贯通该密闭容器的内外的方式配置于所述密闭容器的液体导入口，且与所述密闭容器卡合；及

第二连接器部，其以贯通该密闭容器的内外的方式配置于所述密闭容器的液体排出口，且与所述密闭容器卡合，

所述管或所述管单元的一端部与所述第一连接器部气密性地连接，

所述管或所述管单元的另一端部与所述第二连接器部气密性地连接，

所述管由选自非晶质氟聚合物、聚四氟乙烯及聚甲基戊烯中的1种或多种所构成。

2.根据权利要求1所述的液中微粒子测量系统，其中，

所述第一连接器部或所述第二连接器部由选自非晶质氟树脂、四氟乙烯树脂、聚甲基戊烯树脂中的1种或多种所构成，该非晶质氟树脂是含有以四氟乙烯及全氟-2,2-二甲基-1,3-二氧杂环戊烯作为共聚单体的共聚物而成。

3.根据权利要求1所述的液中微粒子测量系统，其中，

所述管的接液面的表面粗糙度Ra为0.25μm以下，且透气系数为5×10^-6[cm³·cm/cm²·sec·cmHg]～1×10^-9[cm³·cm/cm²·sec·cmHg]的范围。

4.根据权利要求1所述的液中微粒子测量系统，其中，

所述第一连接器部具备：第一连接器部主体，其形成有第一贯通流路；第一凹部，其在第一贯通流路的轴线方向上设于第一连接器部主体的一端部，液体的供给源侧的流路连接于该第一凹部；第二凹部，其设于第一连接器部主体的另一端部，管单元的一端部连接于该第二凹部；及卡合部，其设于第一连接器部主体的外周部。

5.根据权利要求4所述的液中微粒子测量系统，其中，

所述第一连接器部具有至少一个密封部，该至少一个密封部从由配置于第一连接器部主体与密闭容器之间的第一密封部、配置于第二凹部内的第二密封部、及配置于缺口部的环状的第三密封部所构成的群中选择，所述缺口部设在第一连接器部主体的另一端部。

6.根据权利要求1所述的液中微粒子测量系统，其中，

所述第二连接器部具备：第二连接器部主体，其形成有第二贯通流路；第一凹部，其在第二贯通流路的轴线方向上设于第二连接器部主体的一端部，与液中微粒子计的液体导入口连接的流路连接于该第一凹部；第二凹部，其设于第二连接器部主体的另一端部，管单元的一端部连接于该第二凹部；及卡合部，其设于第二连接器部主体的外周部。

7.根据权利要求6所述的液中微粒子测量系统，其中，

所述第二连接器部具有至少一个密封部，该至少一个密封部从由配置于第二连接器部主体与密闭容器之间的第一密封部、配置于第二凹部内的第二密封部、及配置于缺口部的环状的第三密封部所构成的群中选择，所述缺口部设在第二连接器部主体的另一端部。

8.一种液中微粒子测量方法，其特征在于，

使用权利要求1至7中任一项所述的液中微粒子测量系统，对液中的微粒子进行测量。

9.一种中空纤维脱气模块，使用于液中微粒子测量系统，其具备：

密闭容器；

管单元，其配置于所述密闭容器内，将1根管或2根以上的管捆扎而构成；

第一连接器部，其以贯通该密闭容器的内外的方式配置于所述密闭容器的液体导入口，且与所述密闭容器卡合；及

第二连接器部，其以贯通该密闭容器的内外的方式配置于所述密闭容器的液体排出口，且与所述密闭容器卡合，

所述管或所述管单元的一端部与所述第一连接器部气密性地连接，

所述管或所述管单元的另一端部与所述第二连接器部气密性地连接，

所述管由选自非晶质氟聚合物、聚四氟乙烯及聚甲基戊烯中的1种或多种所构成。