JP7319938B2 - 液中微粒子計測システムおよび脱気器 - Google Patents

Description

この発明は、液中微粒子計測システムおよび脱気器に関し、特に、光散乱方式の液中微粒子計（液中パーティクルカウンター）を用いて液中の微粒子数の計測を行うのに適用して好適な液中微粒子計測システムおよびこの液中微粒子計測システムに用いられる脱気器に関する。

光（レーザー光) の散乱方式を採用する液中微粒子計は、半導体業界や関連する材料業界等で、水や薬液等の液の清浄度管理に幅広く使用されている。近年、半導体業界では、素子の微細化に伴い１０ｎｍオーダーの粒径の微粒子の管理が要求されている。しかし、液中微粒子計では、液中の溶存酸素等による気泡も微粒子と同様に光を散乱するため微粒子として計測されてしまう誤計測（誤カウント）の問題がある。一方、１２インチの大口径シリコンウエーハが用いられるようになってから、洗浄方法は従来のバッチ洗浄から一枚一枚に薬液を吹き付ける枚葉洗浄へと変化している。ところが、この枚葉洗浄では、洗浄後の薬液に気泡が混ざるようになった。また、超音波洗浄やオゾン洗浄に使用される洗浄液にも同様に気泡が発生する。

この気泡による誤計測の問題を解消するために、液中の溶存酸素等の気体成分を脱気する脱気器（脱気モジュール、脱気ユニット等とも言われる）に液を通してから液中微粒子計に導入することが考えられる。従来、脱気器としては、脱気膜に中空糸を用いた多孔性膜を用いたものが主流である（例えば、非特許文献１、２参照）。

［令和１年７月９日検索］、インターネット〈ＵＲＬ：http://www.dic-global.com/ja/products/membrane/separel/water.html 〉 ［令和１年７月９日検索］、インターネット〈ＵＲＬ：https://www.gore.co.jp/products/categories/module 〉

しかし、本発明者の検討によれば、上述の従来の脱気器では、脱気膜に粒径０．５μｍ以下の微粒子が吸着・残存する可能性が高いため、液中の微粒子の一部が脱気膜に取り込まれてしまうことに加えて、脱気膜に吸着・残存した微粒子が突然、液中に放出されることもあることから、液中に存在する真の微粒子数を計測することができないだけでなく、脱気膜自体が微粒子により目詰まりしてしまうため、脱気能力を発揮することができなくなってしまう。また、液中微粒子計には定格流量が定められているが、この定格流量に対応した流量の脱気器を入手することは困難である。

そこで、この発明が解決しようとする課題は、定格流量が１０ｍＬ（ミリリットル）／ｍｉｎ（分）前後の液中微粒子計に対応可能な脱気器により微粒子計測の対象となる液中に存在する気泡だけを効率的に除去することができ、気泡による誤計測の大幅な減少により液中の微粒子数の真値に近い計測値を得ることができる液中微粒子計測システムおよびこの液中微粒子計測システムに用いられる脱気器を提供することである。

本発明者は、定格流量が１０ｍＬ／ｍｉｎ前後の光散乱方式の液中微粒子計の使用を前提とし、この液中微粒子計の液導入口の前段に接続することで定格流量に整合した流量で液を流して効率的に脱気を行うことが可能な脱気器の実現を目指して鋭意検討を行った。その結果、まず、極めて平滑な表面を有するＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）製の非多孔性膜からなるＰＦＡチューブを中空糸気液分離膜として選択することとした。このＰＦＡ製非多孔性膜は１ｎｍ以下の径のごく微小な細孔しか有しておらず、酸素等の気体は透過するが、微粒子は勿論、純水や薬液等は透過しない性質を有する。このようなＰＦＡチューブを用いることにより、このＰＦＡチューブを流れる液に含まれる微粒子がチューブ内面に吸着・残存する可能性は殆どない。液の脱気を効率良く行うために、このＰＦＡチューブを複数本結束してＰＦＡチューブ束として使用することとした。しかし、ＰＦＡチューブの内径や結束する本数等の選定に当たっては明確な指針がないため、種々の観点から独自に理論的検討および実験的検討を繰り返し行った結果、ＰＦＡチューブの内径は０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下、ＰＦＡチューブの結束本数は２０本以上３２本以下あるいは２０本以上３０本以下とするのが最善であるという結論に至った。内径が０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下のＰＦＡチューブを２０本以上３２本以下あるいは２０本以上３０本以下結束してＰＦＡチューブ束とすることで、このＰＦＡチューブ束の各ＰＦＡチューブに液が流れる時の抵抗を液中微粒子計の定格流量に整合した流量を確保することができる範囲に抑えることができ、しかもＰＦＡチューブ束の液が流入する端面における液中の微粒子の堆積も抑えることができる。後述のように、各ＰＦＡチューブを構成する非多孔性膜を透過する気体の透過量を大きくするためには、非多孔性膜の厚さをできるだけ小さくし、かつ膜面積をできるだけ大きくするために各ＰＦＡチューブ、従ってＰＦＡチューブ束をできるだけ長くすればよい。

この発明は、本発明者が独自に得た上記の知見に基づいて鋭意検討を行った結果、案出されたものである。

すなわち、上記課題を解決するために、この発明は、
定格流量が９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下の光散乱方式の液中微粒子計と、
微粒子の計測を行う液の供給元と上記液中微粒子計の液導入口との間の流路に接続された少なくとも一つの脱気器とを有する液中微粒子計測システムであって、
上記脱気器が、内径が０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下で内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下のＰＦＡチューブが２０本以上３２本以下結束されたＰＦＡチューブ束が密閉容器の内部に収容され、上記ＰＦＡチューブ束の一端が直接または間接的に上記密閉容器の液導入口に接続され、上記ＰＦＡチューブ束の他端が直接または間接的に上記密閉容器の液排出口に接続されたものからなることを特徴とする液中微粒子計測システムである。

ＰＦＡチューブ束を構成するＰＦＡチューブの内面の粗さＲ_t は、粗さ曲線の最大断面高さであり、評価長さにおいて、輪郭曲線の山高さｚ_p の最大値と谷深さｚ_v の最大値との和を表す。ＰＦＡチューブの内面のＲ_t は、好適には０．４μｍ以下、より好適には０．２μｍ以下、さらに好適には０．１μｍ以下、最も好適には０．０１μｍ（１０ｎｍ）以下である。好適には、ＰＦＡチューブ束の一端と液の供給元との間およびＰＦＡチューブ束の他端と液中微粒子計の液導入口との間がそれぞれ、ＰＦＡチューブ束を構成するＰＦＡチューブと同様に、内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下のＰＦＡチューブにより接続される。このＰＦＡチューブは、接液部となる内面が極めて平滑であるため、微粒子を含む液がこのＰＦＡチューブを流れる際に、微粒子がチューブ内面に吸着・残存するのを効果的に抑えることができる。このため、液中の微粒子がチューブ内面に吸着・残存することによる誤計測を大幅に減少させることができる。密閉容器の真空排気口と真空ポンプとの間を直接または間接的に接続するチューブは上記のＰＦＡチューブに限定されないが、上記のＰＦＡチューブを用いることで、密閉容器内を真空排気する際に、微粒子がチューブの内面に吸着・残存するのを効果的に抑えることができる。ＰＦＡチューブ束を構成する各ＰＦＡチューブは、例えばその両端部で結束される。具体的には、例えば、各ＰＦＡチューブを通す複数の貫通孔が形成された円柱部材を用意し、この円柱部材の各貫通孔にＰＦＡチューブの一端部を通した後、接着等によりＰＦＡチューブを円柱部材に固定し、ＰＦＡチューブの他端部も同様に、別の円柱部材の各貫通孔に通した後、接着等によりＰＦＡチューブを円柱部材に固定する。この場合、ＰＦＡチューブ束の両端部以外の部分が実質的な脱気部となる。円柱部材の材質は必要に応じて選ばれるが、一例を挙げると、樹脂、例えば変性ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）により形成する。こうすることで、円柱部材の各貫通孔に通されたＰＦＡチューブを円柱部材に対して融着させることができる。

ＰＦＡチューブ束を構成するＰＦＡチューブは非多孔性中空糸膜であるが、一般に中空糸膜内部に気体を通したときに膜外部に透過してくる気体の量、すなわち気体透過量を求めるには次の透過理論式が使用される。すなわち、気体透過量をＱ、気体透過係数をα、膜内外の圧力差をＰ、膜面積をＳ、透過時間をＴ、膜厚をｔとすると、Ｑ＝α×Ｐ×Ｓ×Ｔ÷ｔである。この透過理論式より、各ＰＦＡチューブを構成する非多孔性膜の膜厚を小さくし、長さを大きくすること等により膜面積が大きなＰＦＡチューブを選定することにより、気体の透過が短時間で進むことがわかる。ＰＦＡチューブを構成する非多孔性膜の膜厚は、小さ過ぎるとＰＦＡチューブの強度が小さくなり過ぎるため、好適には２５μｍ以上、より好適には３０μｍ以上に選ばれ、大き過ぎると気体が透過しにくくなるので好適には５０μｍ以下、より好適には４０μｍ以下に選ばれる。各ＰＦＡチューブの内径をＤ、長さをＬ、ＰＦＡチューブ束を構成するＰＦＡチューブの本数をＮとすると、膜面積はＳ＝πＤ×Ｌ×Ｎと表される。

ＰＦＡチューブ束を構成する全てのＰＦＡチューブの合計膜内容量は、液中微粒子計の定格流量（９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下）に対し、好適には、その１．２倍以上に選ばれる。合計膜内容量はＶ＝（πＤ² ／４）×Ｌ×Ｎと表されるので、Ｖ≧１．２×（定格流量×１分）に選ばれる。こうすることで、脱気器から液中微粒子計に定格流量で液を円滑に導入することができる。

液中微粒子計の定格流量は、上述のように９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下であるが、典型的な一つの例では１０ｍＬ／ｍｉｎである。脱気器のＰＦＡチューブ束を構成する、内径が０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下のＰＦＡチューブの本数が２０本以上３２本以下であることにより、上記の液中微粒子計の定格流量で液がＰＦＡチューブ束の一端面に流入した場合、液の流れの抵抗を十分に低く抑えることができるとともに、ＰＦＡチューブ束の液流入側の一端面に液中の微粒子が堆積し、各ＰＦＡチューブへの液の導入に支障が生じるのを効果的に防止することができる。ＰＦＡチューブ束を構成するＰＦＡチューブの本数は、好適には２２本以上３２本以下あるいは２０本以上３０本以下、より好適には２４本以上３０本以下である。

各ＰＦＡチューブの膜面積を十分に大きくするためにＰＦＡチューブ束の長さを大きくする場合、ＰＦＡチューブを流れる液を繰り返しチューブ内面に当てて攪拌することにより脱気の効率の向上を図るとともに、ＰＦＡチューブ束をコンパクトなサイズに抑えるために、好適には、ＰＦＡチューブ束の少なくとも一部、典型的には大部分が繰り返し折れ曲がった形状とされ、好適にはらせん状に繰り返し巻かれる。

脱気器の使用時には、密閉容器の内部を真空排気して減圧する。密閉容器の内部の圧力は必要に応じて選ばれるが、例えば１２ｋＰａ以下に選ばれる。密閉容器の形状や大きさ等は、密閉容器に収容されるＰＦＡチューブ束の形状や大きさ等に応じて適宜選ばれる。密閉容器の形状は、具体的には、例えば円筒や直方体等である。密閉容器の壁の材質や厚さ等は、密閉容器の内部を真空排気した時に外部より加わる圧力に耐えられるものであれば特に限定されないが、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）等の硬質プラスチック、ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４）等の金属等である。

液中微粒子計の液導入口に導入されて微粒子数の計測を行う液の供給元は様々であるが、例えば、液が流される配管、液が貯蔵された試料ボトル等である。液の供給元が液が流される配管である場合、第１ＰＦＡチューブの一端が上記の配管の液の採集口（サンプリングポート）に接続され、第１ＰＦＡチューブの他端が例えばフレア異径ユニオンを介して第２ＰＦＡチューブの一端と接続され、この第２ＰＦＡチューブの他端がＰＦＡチューブ束の一端と接続され、このＰＦＡチューブ束の他端が第３ＰＦＡチューブの一端と接続され、第３ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第４ＰＦＡチューブの一端と接続され、この第４ＰＦＡチューブの他端が液中微粒子計の液導入口に接続され、液中微粒子計の液排出口に第５ＰＦＡチューブを介して圧力対応流量制御器が接続される。これらの第１ＰＦＡチューブ、第２ＰＦＡチューブ、第３ＰＦＡチューブ、第４ＰＦＡチューブおよび第５ＰＦＡチューブの内面の粗さＲ_t は０．８μｍ以下である。液の供給元が液が貯蔵された試料ボトルである場合には、第１ＰＦＡチューブの一端が試料ボトルに貯蔵された液に浸漬され、第１ＰＦＡチューブの他端が例えばフレア異径ユニオンを介して第２ＰＦＡチューブの一端と接続され、この第２ＰＦＡチューブの他端がＰＦＡチューブ束の一端と接続され、このＰＦＡチューブ束の他端が第３ＰＦＡチューブの一端と接続され、第３ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第４ＰＦＡチューブの一端と接続され、この第４ＰＦＡチューブの他端が液中微粒子計の液導入口に接続され、液中微粒子計の液排出口に第５ＰＦＡチューブを介して吸引ポンプが接続され、使用時に脱気器の内部が減圧された時にＰＦＡチューブ束を構成する各ＰＦＡチューブの内部が減圧状態にならないようにするために、試料ボトルに貯蔵された液の液面および吸引ポンプのバルブ部のうちのより低いものから脱気器の上記の密閉容器の液排出口までの落差が最低でも８００ｍｍ以上、必要に応じて１０００ｍｍ以上に設定される。これらの第１ＰＦＡチューブ、第２ＰＦＡチューブ、第３ＰＦＡチューブ、第４ＰＦＡチューブおよび第５ＰＦＡチューブの内面の粗さＲ_t は０．８μｍ以下である。あるいは、液の供給元が液が貯蔵された試料ボトルである場合、第１ＰＦＡチューブの一端が試料ボトルに貯蔵された液に浸漬され、第１ＰＦＡチューブの他端が例えばフレア異径ユニオンを介して第２ＰＦＡチューブの一端と接続され、この第２ＰＦＡチューブの他端がＰＦＡチューブ束の一端と接続され、このＰＦＡチューブ束の他端が第３ＰＦＡチューブの一端と接続され、第３ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第４ＰＦＡチューブの一端と接続され、この第４ＰＦＡチューブの他端が液中微粒子計の液導入口に接続され、液中微粒子計の液排出口に第５ＰＦＡチューブが接続され、使用時に脱気器の内部が減圧された時にＰＦＡチューブ束を構成する各ＰＦＡチューブの内部が減圧状態にならないようにするために、試料ボトルに貯蔵された液の液面から脱気器の上記の密閉容器の液排出口までの落差が最低でも８００ｍｍ以上、必要に応じて１０００ｍｍ以上に設定される。これらの第１ＰＦＡチューブ、第２ＰＦＡチューブ、第３ＰＦＡチューブ、第４ＰＦＡチューブおよび第５ＰＦＡチューブの内面の粗さＲ_t は０．８μｍ以下である。以上の三つの例においては、接液部が全て上記のＰＦＡチューブであるため、液中の微粒子がチューブ内面に付着・残存するのを防止することができる。

微粒子の計測を行う液は特に限定されないが、例えば、純水、薬液を含む純水、薬液等である。液の粘性が純水より高い場合は、酸素除去効率の低下を防止するため、必要に応じて、二つまたはそれ以上の脱気器が直列に接続されて使用される。

また、この発明は、
微粒子の計測を行う液の供給元と定格流量が９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下の光散乱方式の液中微粒子計の液導入口との間の流路に接続されて使用される脱気器であって、
内径が０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下で内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下のＰＦＡチューブが２０本以上３２本以下結束されたＰＦＡチューブ束が密閉容器の内部に収容され、
上記ＰＦＡチューブ束の一端が上記密閉容器の液導入口に直接または間接的に接続され、上記ＰＦＡチューブ束の他端が上記密閉容器の液排出口に直接または間接的に接続されていることを特徴とする脱気器である。

この脱気器の発明においては、その性質に反しない限り、上記の液中微粒子計測システムの発明に関連して説明したことが成立する。

この発明によれば、脱気器が、内径が０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下で内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下のＰＦＡチューブが２０本以上３２本以下結束されたＰＦＡチューブ束を中空糸気液分離膜として用いたものであるため、定格流量が９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下の光散乱方式の液中微粒子計の液導入口に至る流路にこの脱気器を接続することにより、脱気器の流量を液中微粒子計の定格流量に整合させることができる。この場合、液の流れの抵抗の増大を抑えることができるとともに、液が流れ込むＰＦＡチューブ束の一端面に液中の微粒子が堆積するのを防止することができることにより、液中微粒子計の液導入口に導入される前に液の脱気を支障なく効率的に行うことができる。例えば、ＰＦＡチューブを構成する非多孔性膜の厚さを十分に小さく選び、膜面積を十分に大きく選ぶことにより、液中微粒子計の液導入口に導入される前の液の酸素除去効率を例えば８０％程度以上にすることができる。こうして、液中の気泡だけを効率的に除去することができるので、気泡による誤計測を大幅に減少させることができ、液中の微粒子数の真値に近い計測値を得ることができる。

この発明の第１の実施の形態による脱気器を示す断面図である。 この発明の第１の実施の形態による脱気器に用いられるＰＦＡチューブ束の両端部およびその間の部分の横断面を示す断面図である。 この発明の第１の実施の形態による脱気器の要部を示す断面図である。 この発明の第２の実施の形態による液中微粒子計測システムを示す略線図である。 この発明の第３の実施の形態による液中微粒子計測システムを示す略線図である。 この発明の第４の実施の形態による液中微粒子計測システムを示す略線図である。 この発明の第５の実施の形態による液中微粒子計測システムの脱気器の部分を示す略線図である。 試作した脱気器の高低差による流量変化測定試験に用いた配置を示す略線図である。

以下、発明を実施するための形態（以下「実施の形態」という）について説明する。

〈第１の実施の形態〉
［脱気器］
図１は第１の実施の形態による脱気器を示す。この脱気器は、微粒子の計測を行う液の供給元と光散乱方式の液中微粒子計（定格流量は９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下）の液導入口との間の流路に接続されて使用され、液中微粒子計の液導入口に導入される液を事前に脱気するためのものである。

図１に示すように、この脱気器は、密閉容器１０の内部にＰＦＡチューブ束２０が収容されている。密閉容器１０は、ＰＦＡチューブ束２０を空間的余裕を持って収容することができる形状および大きさである限り、形状および大きさは必要に応じて選ばれる。密閉容器１０は例えば円筒状の形状を有する。ＰＦＡチューブ束２０に流される液の脱気を効率的に行うことができるようにするために、ＰＦＡチューブ束２０は、コイル状に複数回、一般的には多数回巻かれた形状を有する（図１においては巻き数が２回の場合が示されている）。このようにＰＦＡチューブ束２０をコイル状に形成することにより、十分に大きい長さを確保しながら、ＰＦＡチューブ束２０をコンパクトに構成することができる。ＰＦＡチューブ束２０は両端部で結束されている。

ＰＦＡチューブ束２０の両端部の横断面の一例を図２Ａに、両端部の間の部分の横断面の一例を図２Ｂに示す。図２ＡおよびＢに示すように、ＰＦＡチューブ束２０は、２０本以上３２本以下、典型的には２４本以上３０本以下の互いに同一のＰＦＡチューブ２１の両端部が円柱部材２２に形成された貫通孔をそれぞれ通されて融着等により円柱部材２２に固定されて結束されたものであり、円柱部材２２以外の部分はＰＦＡチューブ２１のみからなる。ＰＦＡチューブ２１の内径は０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下、内面の粗さＲ_t は０．８μｍ以下である。ＰＦＡチューブ２１を構成する非多孔性膜の膜厚は、例えば２０μｍ以上５０μｍ以下に選ばれる。ＰＦＡチューブ束２０の長さ、従ってＰＦＡチューブ２１の長さは非多孔性膜に要求される膜面積に応じて選ばれる。また、ＰＦＡチューブ束２０全体の膜内容量は、液中微粒子計の定格流量（９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下）の１．２倍以上に選ばれる。例えば、定格流量が１０ｍＬ／ｍｉｎの場合は、ＰＦＡチューブ束２０全体の膜内容量は１２ｍＬ以上に選ばれる。ＰＦＡチューブ２１内の液の流速は、例えば、１０００ｍｍ／ｍｉｎ以上３５００ｍｍ／ｍｉｎ以下に選ばれる。ＰＦＡチューブ束２０の両端部の横断面におけるＰＦＡチューブ２１の配列は図２Ａに示すものに限定されず、必要に応じて選ばれるが、ＰＦＡチューブ束２０の直径を小さくするため、好適には最密充填構造に近い密な配列に選ばれる。

ＰＦＡチューブ束２０の上流側（液導入側）の一端は、中継用のＰＦＡリング３１および円筒状のＰＦＡ部材４１を介して液導入用のＰＦＡチューブ５０の下流側の一端と接続されている。ＰＦＡチューブ５０は、密閉容器１０の上面に設けられた開口１０ａを貫通して設けられている。ＰＦＡチューブ５０の内径は、このＰＦＡチューブ５０内で微粒子の滞留が発生しないようにＰＦＡチューブ束２０と同様の流速を確保することができるように選ばれる。例えば、内径が２ｍｍ程度のＰＦＡチューブ５０が用いられる。密閉容器１０の外部のＰＦＡチューブ５０の根元の部分は、密閉容器１０の上面に取り付けられた円筒状のシール部材６１の中心部に設けられた開口を貫通している。シール部材６１と密閉容器１０およびＰＦＡチューブ５０との間の部分は真空シールされている。真空シールは従来公知の方法を用いて行うことができる。

ＰＦＡチューブ束２０の下流側（液排出側）の他端は、中継用のＰＦＡリング３２および円筒状のＰＦＡ部材４２を介して液排出用のＰＦＡチューブ７０の一端と接続されている。ＰＦＡチューブ７０は、密閉容器１０の上面に設けられた開口１０ｂを貫通して設けられている。ＰＦＡチューブ７０は、ＰＦＡチューブ５０と同様に、このＰＦＡチューブ７０内で微粒子の滞留が発生しないようにＰＦＡチューブ束２０と同様の流速を確保することができるように選ばれる。例えば、内径が２ｍｍ程度のＰＦＡチューブ７０が用いられる。密閉容器１０の外部のＰＦＡチューブ７０の根元の部分は、密閉容器１０の上面に取り付けられた円筒状のシール部材６２の中心部に設けられた開口を貫通している。シール部材６２と密閉容器１０およびＰＦＡチューブ７０との間の部分は真空シールされている。真空シールは従来公知の方法を用いて行うことができる。

ＰＦＡチューブ束２０、ＰＦＡリング３１、ＰＦＡ部材４１、ＰＦＡチューブ５０、密閉容器１０およびシール部材６１の部分の詳細な構成を図３に示す。図３に示すように、ＰＦＡリング３１の内周面はＰＦＡチューブ束２０の外周部とＰＦＡ製の融着材（図示せず）で融着されている。ＰＦＡリング３１の上流側の一端面はＰＦＡチューブ束２０の上流側の一端面と同一面上にある。そして、ＰＦＡチューブ束２０およびＰＦＡリング３１の上流側の一端面に中空部４１ａを有する円筒状のＰＦＡ部材４１が取り付けられている。ＰＦＡリング３１とＰＦＡ部材４１との接合部の外周はＰＦＡ材（図示せず）で溶接されてシールされている。ＰＦＡ部材４１の中空部４１ａのＰＦＡチューブ束２０側の端部はＰＦＡチューブ束２０に向かって末広がりになっており、ＰＦＡチューブ束２０の上流側の一端面と接触する部分ではＰＦＡチューブ束２０の直径と同一の直径を有する。ＰＦＡ部材４１とＰＦＡチューブ５０との接合部の外周はＰＦＡ材（図示せず）で溶接されてシールされている。ＰＦＡ部材４１の中空部４１ａのうち末広がり部以外の部分の直径はＰＦＡチューブ５０の内径と同一に選ばれている。

ＰＦＡチューブ束２０、ＰＦＡリング３２、ＰＦＡ部材４２、ＰＦＡチューブ７０、密閉容器１０およびシール部材６２の部分も図３と同様に構成されている。

密閉容器１０の上面には開口１０ｃが設けられている。真空排気用のＰＦＡチューブ８０がこの開口１０ｃを貫通して設けられている。密閉容器１０の外部のＰＦＡチューブ８０の根元の部分は、密閉容器１０の上面に取り付けられた円筒状のシール部材６３の中心部に設けられた開口を貫通している。シール部材６３と密閉容器１０およびＰＦＡチューブ８０との間の部分は真空シールされている。真空シールは従来公知の方法を用いて行うことができる。

この脱気器の各部の寸法等の具体例を挙げると次の通りである。すなわち、密閉容器１０は直径が１５０ｍｍ、高さが１５０ｍｍの円筒状である。ＰＦＡチューブ束２０は結束部の直径が４ｍｍ、長さが２０００ｍｍ、ＰＦＡチューブ束２０を構成するＰＦＡチューブ２１は内径が０．５ｍｍ、非多孔質膜の厚さが３５μｍである。ＰＦＡチューブ５０、７０は内径が２ｍｍ、外径が４ｍｍ、ＰＦＡチューブ８０は内径が４ｍｍ、外径が６ｍｍである。

［脱気器の動作方法］
ＰＦＡチューブ８０の他端を真空ポンプに接続して密閉容器１０の内部を所定の圧力、例えば１２ｋＰａ程度に真空排気する。

ＰＦＡチューブ５０の他端から脱気を行う液を供給する。図１において矢印で示すように、この液はＰＦＡチューブ５０およびＰＦＡ部材４１の中空部４１ａを通ってＰＦＡチューブ束２０の一端に到達し、このＰＦＡチューブ束２０を構成する各ＰＦＡチューブ２１を流れ、さらにＰＦＡ部材４２の中空部を通ってＰＦＡチューブ７０に流れ、このＰＦＡチューブ７０を通って脱気器から排出される。密閉容器１０の内部は真空になっているため、図１において破線の矢印で示すように、ＰＦＡチューブ束２０の各ＰＦＡチューブ２１内を液が流れる途中で液中に含まれる酸素や窒素等の気体が各ＰＦＡチューブ２１の非多孔性膜を透過してＰＦＡチューブ束２０の外部に強制的に除去され、脱気が行われる。ＰＦＡチューブ７０にはこうして脱気が行われた液が流れる。

以上のように、この第１の実施の形態によれば、脱気器が、内径が０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下で内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下のＰＦＡチューブが２０本以上３２本以下結束されたＰＦＡチューブ束２０を中空糸気液分離膜として用いているため、定格流量が９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下の光散乱方式の液中微粒子計の液導入口に至る流路にこの脱気器を接続することにより、脱気器の流量を液中微粒子計の定格流量に整合させることができる。この場合、液の流れの抵抗の増大を抑えることができるとともに、液が流れ込むＰＦＡチューブ束２０の一端面に液中の微粒子が堆積するのを防止することができることにより、液中微粒子計の液導入口に導入される前に液の脱気を支障なく効率的に行うことができる。そして、ＰＦＡチューブ２１を構成する非多孔性膜の厚さを十分に小さく選び、膜面積を十分に大きく選ぶことにより、液中微粒子計の液導入口に導入される前の液の酸素除去効率を例えば約８０％程度以上にすることができ、それによって液から気泡だけを効率的に除去することができる。このため、この脱気器を定格流量が９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下の光散乱方式の液中微粒子計の液導入口に至る流路に接続して脱気を行うことにより、液中に存在する気泡による誤計測を大幅に減少させることができ、液中の微粒子数の真値に近い計測値を得ることができる。

〈第２の実施の形態〉
［液中微粒子計測システム］
図４は第２の実施の形態による液中微粒子計測システムを示す。

図４に示すように、この液中微粒子計測システムは、液中微粒子計１００に第１の実施の形態による脱気器２００を組み合わせたものである。液中微粒子計１００は光散乱方式により液中の微粒子数の計測を行うものであり、定格流量は９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下（例えば、１０ｍＬ／ｍｉｎ）である。

すなわち、図４に示すように、液（例えば、純水や純水を含む薬液等）が流される管３００のオンラインのサンプリングポートに一端が接続されたＰＦＡチューブ４１０の他端がフレア異径ユニオン４２０を介して脱気器２００のＰＦＡチューブ５０と接続されている。脱気器２００のＰＦＡチューブ７０はフレア異径ユニオン４３０を介してＰＦＡチューブ４４０の一端に接続されている。ＰＦＡチューブ４１０、４４０の内径は、ＰＦＡチューブ４１０、４４０内で微粒子の滞留が発生しないようにするため、好適には、脱気器２００と同様の流速を確保することができる内径に選ばれる。例えば、内径が２ｍｍ、外径が４ｍｍのＰＦＡチューブ４１０、４４０が用いられる。ＰＦＡチューブ４４０の他端は液中微粒子計１００の液導入口に接続されている。脱気器２００のＰＦＡチューブ８０はフレア異径ユニオン４５０を介してＰＦＡチューブ４６０の一端と接続されている。このＰＦＡチューブ４６０の他端は真空ポンプ５００の吸気口に接続されている。例えば、ＰＦＡチューブ４６０の内径は４ｍｍ、外径は６ｍｍである。真空ポンプ５００の排気口にはＰＦＡチューブ４７０が接続されている。液中微粒子計１００の液排出口にはＰＦＡチューブ４８０の一端が接続されている。ＰＦＡチューブ４８０の他端は圧力対応流量制御器６００の入口に接続されている。圧力対応流量制御器６００は、ＰＦＡチューブ４４０を介して液中微粒子計１００に導入される液の流速を液中微粒子計１００の定格流量に合わせた流速に調節するためのものである。圧力対応流量制御器６００の排出口にはＰＦＡチューブ４９０が接続されている。このＰＦＡチューブ４９０から排出された液はドレインに廃棄される。

［液中微粒子計測システムの動作方法］
液が流されている管３００のオンラインサンプリングポートから液のサンプリングが行われ、ＰＦＡチューブ４１０およびＰＦＡチューブ５０を介して脱気器２００に導入され、第１の実施の形態において説明した方法によりＰＦＡチューブ束２０において液の脱気が行われる。こうして脱気が行われた液は、ＰＦＡチューブ７０およびＰＦＡチューブ４４０を介して液中微粒子計１００の液導入口に供給され、光散乱方式により液中の微粒子数の計測が行われる。こうして微粒子数の計測が行われた液は液中微粒子計１００の排出口から排出され、ＰＦＡチューブ４８０を介して圧力対応流量制御器６００に送られた後、ＰＦＡチューブ４９０からドレインに廃棄される。

この第２の実施の形態によれば、脱気器１００のＰＦＡチューブ束２０において液の脱気が効率的に行われ、こうして脱気が行われた液が液中微粒子計２００の液導入口に供給されるため、液中に含まれる気泡を大幅に減少させることができ、従って気泡による誤計測を大幅に減少させることができ、このため液中の微粒子数の真値に近い計測値を得ることができる。

〈第３の実施の形態〉
［液中微粒子計測システム］
図５は第３の実施の形態による液中微粒子計測システムを示す。

この液中微粒子計測システムは、液の供給元が液が流される管３００ではなく、液が貯蔵された試料ボトルであること、圧力対応流量制御器６００の代わりに吸引ポンプを用いていることが第２の実施の形態による液中微粒子計測システムと異なる。

すなわち、図５に示すように、この液中微粒子計測システムにおいては、試料ボトル７００中に貯蔵された液７１０の中にＰＦＡチューブ４１０の一端が浸漬され、他端がフレア異径ユニオン４２０を介して脱気器２００のＰＦＡチューブ５０と接続されている。液中微粒子計１００の液排出口にはＰＦＡチューブ４８０の一端が接続されている。ＰＦＡチューブ４８０の他端はフレア異径ユニオン４９５を介してＰＦＡチューブ４９６の一端と接続されている。ＰＦＡチューブ４９６の他端は吸引ポンプ８００の吸液口に接続されている。吸引ポンプ８００は、ＰＦＡチューブ４４０を介して液中微粒子計１００に導入される液の流速を液中微粒子計１００の定格流量に合わせた流速に調節するためのものである。吸引ポンプ８００の排出口にはＰＦＡチューブ４９０が接続されている。吸引ポンプ８００には、ＰＦＡチューブ４９６とＰＦＡチューブ４９０との間にバルブ（図示せず）が設けられており、このバルブの制御によりＰＦＡチューブ４４０に流れる液の流量を調節することができるようになっている。

ここで重要なことは、ＰＦＡチューブ束２０の内部が減圧状態とならないようにするため、脱気器２００の密閉容器１０の上面が、試料ボトル７００中に貯蔵された液７１０の液面と吸引ポンプ８００のバルブ部とのどちらか高さが低いものの高さより最低でも８００ｍｍ以上、必要に応じて１０００ｍｍ以上低い位置になるようにすることである。

この液中微粒子計測システムの上記以外の構成は第２の実施の形態による液中微粒子計測システムと同様である。

［液中微粒子計測システムの動作方法］
試料ボトル７００中に貯蔵された液７１０のサンプリングが行われ、ＰＦＡチューブ４１０およびＰＦＡチューブ５０を介して脱気器１００に導入され、第１の実施の形態において説明した方法によりＰＦＡチューブ束２０において液の脱気が行われる。こうして脱気が行われた液は、ＰＦＡチューブ７０およびＰＦＡチューブ４４０を介して液中微粒子計１００の液導入口に供給され、光散乱方式により液中の微粒子数の計測が行われる。こうして微粒子数の計測が行われた液は液中微粒子計１００の排出口から排出され、吸引ポンプ８００およびＰＦＡチューブ４９０を通ってドレインに廃棄される。

この第３の実施の形態によれば、第２の実施の形態と同様な利点を得ることができる。

〈第４の実施の形態〉
［液中微粒子計測システム］
図６は第４の実施の形態による液中微粒子計測システムを示す。

この液中微粒子計測システムは、液の供給元が液が流される管３００ではなく、液が貯蔵された試料ボトルであること、圧力対応流量制御器６００を用いていないことが第２の実施の形態による液中微粒子計測システムと異なる。

すなわち、図６に示すように、試料ボトル７００中に貯蔵された液（例えば、純水を含む薬液）の中にＰＦＡチューブ４１０の一端が浸漬され、フレア異径ユニオン４２０を介して脱気器２００のＰＦＡチューブ５０と接続されている。液中微粒子計１００の液排出口にはＰＦＡチューブ４８０の一端が接続されている。ＰＦＡチューブ４８０の他端は自由空間に開放されている。このＰＦＡチューブ４８０から排出される液はドレインに廃棄される。

ここで重要なことは、ＰＦＡチューブ束２０の内部が減圧状態とならないようにするため、脱気器１００の密閉容器１０の上面が、試料ボトル７００中に貯蔵された液７１０の液面の高さより最低でも８００ｍｍ以上、必要に応じて１０００ｍｍ以上低い位置になるようにすることである。

この液中微粒子計測システムの上記以外の構成は第２の実施の形態による液中微粒子計測システムと同様である。

［液中微粒子計測システムの動作方法］
試料ボトル７００中に貯蔵された液７１０のサンプリングが行われ、ＰＦＡチューブ４１０およびＰＦＡチューブ５０を介して脱気器２００に導入され、第１の実施の形態において説明した方法によりＰＦＡチューブ束２０において液の脱気が行われる。こうして脱気が行われた液は、ＰＦＡチューブ７０およびＰＦＡチューブ４４０を介して液中微粒子計１００の液導入口に供給され、光散乱方式により液中の微粒子数の計測が行われる。こうして微粒子数の計測が行われた液は液中微粒子計１００の液排出口から排出され、ＰＦＡチューブ４８０を通ってドレインに廃棄される。

この第４の実施の形態によれば、第２の実施の形態と同様な利点を得ることができる。

〈第５の実施の形態〉
［液中微粒子計測システム］
第５の実施の形態による液中微粒子計測システムにおいては、第２～第４の実施の形態のいずれかの液中微粒子計測システムにおいて、二つの脱気器２００を直列に接続することが、第２～第４の実施の形態と異なる。

すなわち、図７に、この液中微粒子計測システムのうちの直列に接続された二つの脱気器２００の部分を示す。図７に示すように、上流側の脱気器２００のＰＦＡチューブ７０の一端はフレア異径ユニオン４３０を介してＰＦＡチューブ４４１の一端と接続され、このＰＦＡチューブ４４１の他端はフレア異径ユニオン４２０を介して下流側の脱気器２００のＰＦＡチューブ５０の一端と接続されている。この下流側の脱気器２００のＰＦＡチューブ７０はフレア異径ユニオン４３０を介してＰＦＡチューブ４４０の一端と接続されている。ＰＦＡチューブ４４０の他端は液中微粒子計１００の液導入口に接続されている。上流側の脱気器２００のＰＦＡチューブ４６０と下流側の脱気器２００のＰＦＡチューブ４６０とは合流し、真空ポンプ５００の吸気口に接続されている。

この液中微粒子計測システムは、上記以外のことについては、第２～第４の実施の形態のいずれかの液中微粒子計測システムと同様である。

［液中微粒子計測システムの動作方法］
この液中微粒子計測システムの動作方法は、液を二つの脱気器２００に順次通して脱気を行うことを除いて、第２～第４の実施の形態のいずれかの液中微粒子計測システムと同様である。

この第５の実施の形態によれば、二つの脱気器２００に液を順次通して脱気を行うことができるため、液が純水より粘性の高い液である場合にも、液から酸素等の気体を効率的に除去することができ、例えば８０％程度の酸素除去効率を得ることができる。

［脱気器２００の高低差（落差）による流量変化測定試験］
脱気器２００を試作し、高低差（落差）による流量変化測定試験を行った。測定に用いた配置を図８に示す。図８に示すように、室内の床９００上に置いたテーブル９１０上に試作した脱気器２００を設置した。脱気器２００の定格流量は１０ｍＬ／ｍｉｎである。脱気器２００の密閉容器１０は直径が１５０ｍｍ、高さが１５０ｍｍの円筒状であり、ＰＦＡチューブ束２０は結束部の直径が４ｍｍ、長さが２７００ｍｍ、ＰＦＡチューブ束２０を構成するＰＦＡチューブ２１は内径が０．５ｍｍ、内面の粗さＲ_t が０．８μｍ、本数が２８本、ＰＦＡチューブ２１を構成する非多孔質膜の厚さは３５μｍである。脱気器２００の液導入側のＰＦＡチューブ５０および液排出側のＰＦＡチューブ７０は内径が２ｍｍ、外径が４ｍｍ、長さが１００ｍｍである。真空排気用のＰＦＡチューブ８０は設けられていない。ＰＦＡチューブ５０、７０にそれぞれフレア異径ユニオン４２０、４３０を介してＰＦＡチューブ４１０、４４０の一端を接続した。ＰＦＡチューブ４１０、４４０は内径が２ｍｍ、外径が４ｍｍ、長さが１０００ｍｍである。テーブル９１０上に液７１０として水を貯蔵した試料ボトル７００を置いた。ＰＦＡチューブ４１０の他端を試料ボトル７００中に貯蔵された液７１０、すなわち水に浸漬した。ＰＦＡチューブ４４０は水平方向に延びる部分と鉛直方向に延びる部分とからなり、鉛直方向に延びる部分の下端（先端）は床９００上に置かれた５００ｍＬ用のメスシリンダー９２０の内部に位置させた。試料ボトル７００中に貯蔵された液７１０、すなわち水の液面とＰＦＡチューブ４４０の鉛直方向に延びる部分の下端との間の高低差（落差）を７５０ｍｍ、８００ｍｍ、１０００ｍｍの３水準に変化させて流量計測を行った。測定時間は５分とし、各高低差に対して２回または３回計測を行った。室内温度は２０℃であった。測定結果は次の通りである。

〈高低差（落差）７５０ｍｍの場合〉
（１）１回目 ４５．０ｍＬ ９．０ｍＬ／ｍｉｎ
（２）２回目 ４６．０ｍＬ ９．２ｍＬ／ｍｉｎ
〈高低差（落差）８００ｍｍの場合〉
（１）１回目 ５０．３ｍＬ １０．０６ｍＬ／ｍｉｎ
（２）２回目 ５０．３ｍＬ １０．０６ｍＬ／ｍｉｎ
〈高低差（落差）１０００ｍｍの場合〉
（１）１回目 ６２．８ｍＬ １２．５６ｍＬ／ｍｉｎ
（２）２回目 ６１．０ｍＬ １２．２ｍＬ／ｍｉｎ
（３）３回目 ６３．０ｍＬ １２．６ｍＬ／ｍｉｎ

以上の結果より、高低差（落差）が７５０ｍｍの場合は定格流量１０ｍＬ／ｍｉｎを確保することができないが、高低差（落差）が８００ｍｍの場合および１０００ｍｍの場合は定格流量１０ｍＬ／ｍｉｎを確保することができることが分かる。すなわち、高低差（落差）を８００ｍｍ以上確保することで定格流量１０ｍＬ／ｍｉｎを確保することができる。これは、高低差（落差）を８００ｍｍ以上確保することで、試作した脱気器２００の液排出側から吸引（減圧）して液を流す場合に、高低差により脱気器２００のＰＦＡチューブ束２０を構成する各ＰＦＡチューブの内部が減圧状態にならないようにすることができることを意味する。

以上、この発明の実施の形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。

例えば、上述の実施の形態において挙げた数値、構造、構成等はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれらと異なる数値、構造、構成等を用いてもよい。

１０…密閉容器、２０…ＰＦＡチューブ束、２１、５０、７０、８０、４１０、４４０、４６０、４７０、４８０、４９０…ＰＦＡチューブ、２２…円柱部材、３１、３２…ＰＦＡリング、４１、４２…ＰＦＡ部材、６１、６２、６３…シール部材、１００…液中微粒子計、２００…脱気器、３００…管、５００…真空ポンプ、６００…圧力対応流量制御器、７１０…液、８００…吸引ポンプ

Claims (9)

1. 定格流量が９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下の光散乱方式の液中微粒子計と、
   微粒子の計測を行う液の供給元と上記液中微粒子計の液導入口との間の流路に接続された少なくとも一つの脱気器とを有する液中微粒子計測システムであって、
   上記脱気器が、内径が０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下で内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下のＰＦＡチューブが２０本以上３２本以下結束されたＰＦＡチューブ束が密閉容器の内部に収容され、上記ＰＦＡチューブ束の一端が上記密閉容器の液導入口に直接または間接的に接続され、上記ＰＦＡチューブ束の他端が上記密閉容器の液排出口に直接または間接的に接続されたものからなることを特徴とする液中微粒子計測システム。
2. 上記密閉容器の上記液導入口と上記液の供給元との間および上記密閉容器の上記液排出口と上記液中微粒子計の上記液導入口との間がそれぞれ、内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下のＰＦＡチューブにより接続されている請求項１記載の液中微粒子計測システム。
3. 上記脱気器の上記ＰＦＡチューブ束を構成する上記ＰＦＡチューブが２４本以上３０本以下である請求項１または２記載の液中微粒子計測システム。
4. 上記脱気器の上記ＰＦＡチューブ束の少なくとも一部がらせん状に巻かれている請求項１～３のいずれか一項記載の液中微粒子計測システム。
5. 上記ＰＦＡチューブ束を構成する上記ＰＦＡチューブは両端部で結束されている請求項１～４のいずれか一項記載の液中微粒子計測システム。
6. 上記液の供給元が上記液が流される配管であり、第１ＰＦＡチューブの一端が上記配管の上記液の採集口に接続され、上記第１ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第２ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第２ＰＦＡチューブの他端が上記ＰＦＡチューブ束の一端と接続され、上記ＰＦＡチューブ束の他端が第３ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第３ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第４ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第４ＰＦＡチューブの他端が上記液中微粒子計の液導入口に接続され、上記液中微粒子計の液排出口に第５ＰＦＡチューブを介して圧力対応流量制御器が接続され、上記第１ＰＦＡチューブ、上記第２ＰＦＡチューブ、上記第３ＰＦＡチューブおよび上記第４ＰＦＡチューブの内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下である請求項１～５のいずれか一項記載の液中微粒子計測システム。
7. 上記液の供給元が上記液が貯蔵された試料ボトルであり、第１ＰＦＡチューブの一端が上記試料ボトルに貯蔵された上記液に浸漬され、上記第１ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第２ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第２ＰＦＡチューブの他端が上記ＰＦＡチューブ束の一端と接続され、上記ＰＦＡチューブ束の他端が第３ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第３ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第４ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第４ＰＦＡチューブの他端が上記液中微粒子計の液導入口に接続され、上記液中微粒子計の液排出口に第５ＰＦＡチューブを介して吸引ポンプが接続され、上記試料ボトルに貯蔵された上記液の液面および上記吸引ポンプのバルブ部のうちのより低いものから上記脱気器の上記密閉容器の上記液排出口までの落差が８００ｍｍ以上に設定され、上記第１ＰＦＡチューブ、上記第２ＰＦＡチューブ、上記第３ＰＦＡチューブ、上記第４ＰＦＡチューブおよび上記第５ＰＦＡチューブの内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下である請求項１～５のいずれか一項記載の液中微粒子計測システム。
8. 上記液の供給元が上記液が貯蔵された試料ボトルであり、第１ＰＦＡチューブの一端が上記試料ボトルに貯蔵された上記液に浸漬され、上記第１ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第２ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第２ＰＦＡチューブの他端が上記ＰＦＡチューブ束の一端と接続され、上記ＰＦＡチューブ束の他端が第３ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第３ＰＦＡチューブの他端がフレア異径ユニオンを介して第４ＰＦＡチューブの一端と接続され、上記第４ＰＦＡチューブの他端が上記液中微粒子計の液導入口に接続され、上記液中微粒子計の液排出口に第５ＰＦＡチューブが接続され、上記試料ボトルに貯蔵された上記液の液面から上記脱気器の上記密閉容器の上記液排出口までの落差が８００ｍｍ以上に設定され、上記第１ＰＦＡチューブ、上記第２ＰＦＡチューブ、上記第３ＰＦＡチューブ、上記第４ＰＦＡチューブおよび上記第５ＰＦＡチューブの内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下である請求項１～５のいずれか一項記載の液中微粒子計測システム。
9. 微粒子の計測を行う液の供給元と定格流量が９．５ｍＬ／ｍｉｎ以上１０．５ｍＬ／ｍｉｎ以下の光散乱方式の液中微粒子計の液導入口との間の流路に接続されて使用される脱気器であって、
   内径が０．５ｍｍ以上０．７ｍｍ以下で内面の粗さＲ_t が０．８μｍ以下のＰＦＡチューブが２０本以上３２本以下結束されたＰＦＡチューブ束が密閉容器の内部に収容され、
   上記ＰＦＡチューブ束の一端が上記密閉容器の液導入口に直接または間接的に接続され、上記ＰＦＡチューブ束の他端が上記密閉容器の液排出口に直接または間接的に接続されていることを特徴とする脱気器。

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