WO2024004827A1 - 脱気装置 - Google Patents

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WO2024004827A1
WO2024004827A1 PCT/JP2023/023202 JP2023023202W WO2024004827A1 WO 2024004827 A1 WO2024004827 A1 WO 2024004827A1 JP 2023023202 W JP2023023202 W JP 2023023202W WO 2024004827 A1 WO2024004827 A1 WO 2024004827A1
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WO
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section
buffer
suction
suction pipe
tube
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/023202
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English (en)
French (fr)
Inventor
洋平 菅沼
和保 川島
明 佐藤
貴章 布施
Original Assignee
Dic株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
    • B01D63/06—Tubular membrane modules
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B23/00—Pumping installations or systems

Definitions

  • the present invention relates to a deaerator.
  • Patent Document 1 discloses a degassing device used in liquid chromatography devices and the like.
  • a depressurized space in a deaeration module in which a tube unit is provided and a discharge device (pump) are communicated by vacuum piping, and the tube unit is removed by operating the discharge device. It is configured to degas the flowing liquid.
  • suction pressure pulsations occur within the vacuum piping and within the reduced pressure space.
  • the tube unit repeatedly expands and contracts due to such pulsation, so the volume of the tube unit increases and decreases, causing disturbances in the flow rate and flow velocity of the liquid flowing through the tube unit. As a result, inspections, etc. may be affected.
  • one aspect of the present invention provides a degassing device that can reduce the pulsation of suction pressure generated in the decompressed space of the degassing module and suppress disturbances in the flow rate and flow velocity of the liquid flowing through the tube unit.
  • the purpose is to reduce the pulsation of suction pressure generated in the decompressed space of the degassing module and suppress disturbances in the flow rate and flow velocity of the liquid flowing through the tube unit.
  • a deaeration device includes a deaeration module having a gas permeable tube unit that partitions between a fluid circulation space and a decompression space, and a deaeration module connected to the deaeration module.
  • vacuum piping that communicates with the reduced pressure space; and a discharge device that is connected to the vacuum piping and configured to discharge gas in the reduced pressure space to the outside via the vacuum piping, and the vacuum piping is connected to the reduced pressure space.
  • the suction tube section is connected to the degassing module and extends from the evacuation device, and the buffer tube section is branched from the suction tube section and has a closed tip.
  • the depressurized space of the degassing module and the evacuation device are communicated via the suction pipe section of the vacuum piping, so when the evacuation device operates, the suction pressure inside the suction pipe section and the depressurized space increases. pulsation occurs.
  • the vacuum piping has a suction pipe section that communicates with the depressurized space and extends from the degassing module to the evacuation device, it also has a buffer pipe section that branches from the suction pipe section and has a closed tip, so that the suction pressure The pulsation of the suction pressure spreads to the inside of the buffer pipe, thereby reducing the pulsation of the suction pressure that occurs inside the suction pipe and the depressurized space.
  • the buffer tube section is branched from the suction tube section, the buffer tube section can be provided without increasing the length of the suction tube section. Thereby, it is possible to suppress an increase in the pressure loss of the gas from the reduced pressure space to the discharge device, and therefore it is possible to suppress a decrease in the discharge efficiency of the discharge device. Further, the suction tube portion can be easily handled.
  • the degassing device further includes a detector for detecting the degree of reduced pressure in the reduced pressure space, and the vacuum piping is branched from the suction pipe section and connected to the detector. It may further include a detection piping section.
  • the degree of pressure reduction in the reduced pressure space can be appropriately detected by connecting a detector for detecting the degree of pressure reduction in the reduced pressure space to the detection piping section branching from the suction pipe section.
  • the detection piping section separately from the buffer tube section, the position, shape, etc. of the buffer tube section can be designed without being restricted by the detector.
  • the inner diameter of the buffer tube portion may be the same as the inner diameter of the suction tube portion.
  • the vacuum piping can be easily manufactured.
  • the length of the buffer pipe section is 5% of the length of the path from the deaeration module of the suction pipe section to the discharge device. It may be more than 30%. In this deaerator, the length of the buffer pipe section is 5% or more and 30% or less of the length of the path from the deaeration module of the suction pipe section to the discharge device, so that the buffer pipe section can be easily handled. At the same time, it is possible to appropriately reduce the pulsation of the suction pressure generated within the suction tube.
  • the length of the buffer tube portion may be 1000% or more and 1600% or less of the inner diameter of the buffer tube portion.
  • the buffer tube since the length of the buffer tube is 1000% or more and 1600% or less of the inner diameter of the buffer tube, the buffer tube can be easily handled, and the suction generated in the suction tube can be easily handled. Pressure pulsations can be appropriately reduced.
  • the detector that detects the degree of depressurization in the decompression space, the suction tube, etc. may be damaged, or the suction tube may come off from the degassing module. be.
  • the stopper since the stopper is removably attached to the tip of the buffer tube, when the suction tube and decompression space are pressurized to a high pressure, the stopper comes off from the tip of the buffer tube and the suction The pipe section and the depressurized space are opened to the atmosphere. In this manner, the stopper functions as a safety valve, thereby making it possible to prevent damage to the detector, the suction tube, etc., and to prevent the suction tube from coming off from the degassing module.
  • the stopper may have an insertion portion that is press-fitted into the buffer tube portion.
  • the tip of the buffer tube can be appropriately closed.
  • the deaeration module has a discharge nozzle section that is press-fitted into the suction pipe section, and the outer circumference length of the insertion section is equal to the outer circumference length of the discharge nozzle section. May be smaller than .
  • the outer circumferential length of the insertion section is smaller than the outer circumference of the discharge nozzle section, so that the adhesion force between the insertion section and the buffer tube section is made smaller than the adhesion force between the discharge nozzle section and the suction tube section. be able to.
  • the deaeration module has a cylindrical discharge nozzle portion that is press-fitted into the suction pipe portion, and the insertion portion has a circular shape. It is formed in a columnar shape, and the outer diameter of the insertion part may be smaller than the outer diameter of the discharge nozzle part.
  • the outer diameter of the insertion part is smaller than the outer diameter of the discharge nozzle part, so that the adhesion force between the insertion part and the buffer pipe part is smaller than the adhesion force between the discharge nozzle part and the suction pipe part. be able to.
  • the degassing module has a discharge nozzle section that is press-fitted into the suction pipe section, and the length of the insertion section is equal to or equal to the length of the discharge nozzle section. It may be shorter than the length of the nozzle part.
  • the length of the insertion part is shorter than the length of the discharge nozzle part, so that when the entire insertion part and discharge nozzle part are press-fitted into the buffer pipe part and the suction pipe part, the insertion part and the buffer
  • the adhesion force with the tube part can be made smaller than the adhesion force between the discharge nozzle part and the suction pipe part.
  • the degassing module has a discharge nozzle part that is press-fitted into the suction pipe part, and the insertion part is press-fitted into the buffer pipe part.
  • the length may be shorter than the press fit length of the discharge nozzle part into the suction pipe part.
  • the length of the insertion part press-fitted into the buffer pipe part is shorter than the length of the discharge nozzle part press-fitted into the suction pipe part, so that the adhesive force between the insertion part and the buffer pipe part is reduced between the discharge nozzle part and the suction pipe part.
  • the adhesion force can be made smaller than the adhesion force with the part.
  • At least a portion of the vacuum piping may be made of a resin composition containing a polyolefin and a styrene thermoplastic elastomer.
  • at least a portion of the vacuum piping is made of a resin composition containing a polyolefin and a styrene thermoplastic elastomer, so that it can have excellent solvent resistance, chemical resistance, and durability.
  • gas permeability can be lowered, and the vacuum piping can be prevented from coming off.
  • the suction tube expands and contracts in response to the pulsation of suction pressure generated within the suction tube. This makes it possible to further reduce the pulsation of the suction pressure that occurs within the suction pipe section and within the reduced pressure space.
  • the present invention it is possible to reduce the pulsation of the suction pressure that occurs in the depressurized space of the degassing module, and to suppress disturbances in the flow rate and flow velocity of the liquid flowing through the tube unit.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a deaerator according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic side view of the deaerator shown in FIG. 1.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a degassing module installed in the degassing device shown in FIG. 1.
  • FIG. 4 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the connector section of the deaeration module shown in FIG. 3.
  • FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of the connecting portion between the buffer pipe section and the stopper of the deaeration module shown in FIG. 1.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a deaerator according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic side view of the deaerator shown in FIG. 1.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a degassing module installed in the degassing device shown in FIG. 1.
  • FIG. 4 is an enlarged
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of the connecting portion between the degassing module and the suction pipe section of the degassing module shown in FIG. 1.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing the deaeration module, vacuum piping, and discharge device of the deaeration apparatus shown in FIG. 1.
  • FIG. 8 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the vibration isolating member of the degassing device shown in FIG. 1.
  • FIG. 9 is a schematic side view showing another example of a degassing device.
  • FIG. 10 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the vibration isolating member of the degassing device shown in FIG. 9 in an enlarged manner.
  • FIG. 11 is a schematic side view showing another example of a deaerator.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a deaerator according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic side view of the deaerator shown in FIG. 1.
  • the deaerator 1 includes a housing 5 having a bottom plate 2, a front plate 3, and a rear plate 4, deaerator modules 10 and 20, a vacuum pipe 40, a discharge device 50, It includes an atmosphere release pipe 60, an atmosphere release valve 70, a regulating valve 75, and a control section 80.
  • the bottom plate 2 of the housing 5 defines the bottom part of the deaerator 1
  • the front plate 3 of the housing 5 defines the front part of the deaerator 1
  • the rear plate 4 of the housing 5 defines the rear part of the deaerator 1. Define.
  • the degassing device 1 is, for example, a degassing device for liquid chromatography, and performs a degassing process on a fluid to be inspected by liquid chromatography.
  • the deaerator 1 may be used in gas chromatography, biochemical analysis equipment, inkjet filling equipment, and the like.
  • the degassing modules 10 and 20 have the configuration shown in FIG. 3, for example.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a degassing module installed in the degassing device shown in FIG. 1.
  • FIG. FIG. 4 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the connector section of the deaeration module shown in FIG. 3.
  • FIG. 3 shows the configuration of the degassing module 10 as an example, other degassing modules 20 have similar configurations.
  • the deaeration module 10 includes a tube unit 12 in which a plurality of tubes 11 defining a fluid circulation space S1 are tied together at both ends, and a housing 13 that accommodates the tube unit 12.
  • a lid part 14 that hermetically seals the opening 13a of the housing 13, a connector part 15 and a connector part 16 that connect and fix the tube unit 12 passing through the lid part 14, and a discharge nozzle part 17 and an opening nozzle that protrude from the housing 13.
  • the discharge nozzle portion 17 is formed with a discharge port 17a that communicates with the reduced pressure space S2
  • the open nozzle portion 18 is formed with an open port 18a that communicates with the reduced pressure space S2.
  • the degassing module 10 has a tube unit 12 that is a gas permeable membrane having gas permeability, and the inside of the housing 13 is connected to a fluid circulation space S1, which is an internal space of each tube 11 of the tube unit 12, and an outside of the tube unit 12. It is partitioned into a depressurized space S2, which is a space of .
  • the fluid circulation space S1 is a region to which liquid is supplied, and supplies the liquid introduced from the inlet 12a of the tube unit 12 to the outlet 12b.
  • the decompression space S2 is a region into which internal gas is taken in.
  • the liquid is supplied to the fluid circulation space S1, which is the internal space of each of the plurality of tubes 11, and air is sucked from the decompression space S2 outside the plurality of tubes 11, so that the tube unit
  • the liquid supplied to 12 is degassed.
  • Each tube 11 constituting the tube unit 12 is a tube-shaped membrane (gas permeable membrane) that permeates gas but not liquid (see FIG. 4).
  • the material, membrane shape, membrane form, etc. of the tube 11 are not particularly limited.
  • Examples of the material for the tube 11 include polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), and tetrafluoroethylene-perfluoropropylene copolymer (FEP).
  • Fluororesins such as ethylene copolymer (ETFE), polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), amorphous fluoropolymer (AF), polyvinylidene fluoride (PVDF), polypropylene (PP) ), polymethylpentene (PMP), silicone, polyimide, and polyamide.
  • ethylene copolymer EFT
  • PCTFE polychlorotrifluoroethylene
  • AF amorphous fluoropolymer
  • PVDF polyvinylidene fluoride
  • PP polypropylene
  • PMP polymethylpentene
  • silicone polyimide
  • polyamide polyamide
  • deaerator 1 Although two such degassing modules 10 and 20 are arranged in the deaerator 1, one deaerator module may be arranged, or three or more deaerator modules may be arranged. It's okay.
  • the vacuum piping 40 is a member for discharging the gas in each decompression space S2 to the outside.
  • the vacuum pipe 40 includes a suction pipe section 41 , a discharge pipe section 42 , a detection pipe section 43 , and a buffer pipe section 44 .
  • the suction pipe section 41 is communicated with each decompression space S2 of the deaeration module 10, 20 in order to send the gas in each decompression space S2 of the deaeration module 10, 20 to the evacuation device 50. and the discharge device 50.
  • the suction pipe section 41 includes discharge piping sections 45 and 46 connected to each discharge nozzle section 17 of the degassing modules 10 and 20, a discharge collection section 47 that collects the discharge piping sections 45 and 46, and a discharge collection section 47 that connects the discharge collection section 47 to a discharge device. 50.
  • the discharge pipe section 42 is connected to the discharge device 50 in order to discharge the gas sent to the discharge device 50 to the outside of the deaerator 1.
  • the end of the discharge pipe section 42 on the side opposite to the discharge device 50 is attached to the front plate 3 and opened to the outside of the degassing device 1 in front of the front plate 3.
  • the detection pipe section 43 is branched from the suction pipe section 41 and connected to the detector 85 in order to detect the degree of pressure reduction in each of the reduced pressure spaces S2 of the degassing modules 10 and 20.
  • the detector 85 is an atmospheric pressure sensor that detects the degree of pressure reduction in each reduced pressure space S2 of the deaeration modules 10 and 20, and is provided in the control unit 80, as will be described later.
  • the buffer tube section 44 branches from the suction tube section 41, and a distal end 44a of the buffer tube section 44 on the opposite side from the suction tube section 41 is closed by a stopper 90.
  • At least a portion of the suction pipe section 41 (discharge pipe sections 45, 46, discharge collection section 47, and pipe section 48), discharge pipe section 42, detection pipe section 43, and buffer pipe section 44 that constitute the vacuum pipe 40,
  • it is made of a resin tube.
  • All or substantially all the constituent members of the vacuum piping 40 may be made of resin tubes. That is, the vacuum piping 40 may be configured by connecting a plurality of tubes using a connecting member or the like.
  • Such a tube is resistant to the solvent used in liquid chromatography, for example, its rubber hardness is preferably within the range of 70 ⁇ 30 degrees, and its oxygen permeability is 6000 cc (STP) cm/cm 2 / It is composed of piping with a sec/cmHg ⁇ 10 ⁇ 10 or less.
  • the rubber hardness is preferably within the range of 70 ⁇ 30 degrees, but it is necessary to have appropriate flexibility to prevent loosening or detachment at the connecting portion, and appropriate durability to prevent tube deformation, collapse, and blockage. From the viewpoint of achieving both, the lower limit is more preferably 50 degrees or more, further preferably 55 degrees or more, particularly preferably 60 degrees or more, and the upper limit is 95 degrees or less.
  • the material of the tube constituting the vacuum piping 40 is not particularly limited as long as it has the above-mentioned properties, but examples include vinyl chloride, silicone rubber, and polyamide (nylon) such as nylon 6, nylon 66, nylon 11, and nylon 12. ; Polyurethane; Polyethylene such as low density polyethylene and linear low density polyethylene, polyolefin such as polypropylene; Fluororesin such as FEP, PFA, ETFE, PTFE; Polyester thermoplastic elastomer, styrene thermoplastic elastomer, olefin thermoplastic Examples include thermoplastic elastomers such as elastomers, and one or more of these can be used.
  • the vacuum piping 40 is made of a resin composition containing the above-mentioned polyolefin and thermoplastic elastomer, it not only has excellent solvent resistance but also has low gas permeability. Further, the vacuum piping 40 is made of a resin composition containing the above-mentioned polyolefin and thermoplastic elastomer, so it has appropriate flexibility, and is used at the connection part of the discharge collecting part 47 during degassing operation. It has excellent durability because it prevents the tube from loosening or coming off, and also suppresses deformation, collapse, and blockage of the tube.
  • the deaerator 1 includes a plurality of deaeration modules, and there are many connection parts such as the connection part between the vacuum pipe 40 and the deaeration modules 10 and 20, and the connection part with other parts of the discharge collection part 47.
  • connection parts such as the connection part between the vacuum pipe 40 and the deaeration modules 10 and 20, and the connection part with other parts of the discharge collection part 47.
  • the long-term reliability of the deaerator can be improved.
  • the styrenic thermoplastic elastomer used in the vacuum piping 40 is a copolymer having at least one styrene block (hard segment) and at least one elastomer block.
  • the elastomer block vinyl-polydiene, polyisoprene, polybutadiene, polyethylene, polychloroprene or poly2,3-dimethylbutadiene can preferably be used.
  • a hydrogenated elastomer block can also be used. It is preferable that the elastomer block is hydrogenated because it tends to have better solvent resistance (solvent resistance) and chemical resistance.
  • styrene thermoplastic elastomers include styrene-vinyl isoprene-styrene triblock copolymer (SIS), styrene-isobutylene diblock copolymer (SIB), and styrene-butadiene-styrene triblock copolymer (SBS).
  • SIS styrene-vinyl isoprene-styrene triblock copolymer
  • SIB styrene-isobutylene diblock copolymer
  • SBS styrene-butadiene-styrene triblock copolymer
  • Styrenic thermoplastic elastomers may be used alone or in combination of two or more.
  • the lower limit of the content of styrene blocks in the styrene thermoplastic elastomer is preferably 1% by mass, more preferably 5% by mass, based on the total of styrene blocks and elastomer blocks.
  • the content is more preferably 10% by mass, and within this range, better solvent resistance (solvent resistance) and chemical resistance tend to be obtained.
  • the upper limit is preferably 30% by mass, more preferably 20% by mass, based on the total of the styrene block and elastomer block, and within this range, the solvent resistance (solvent resistance) and chemical resistance performance are improved. It tends to be better.
  • the lower limit of the content of the styrene thermoplastic elastomer in the resin composition containing the polyolefin and the styrene thermoplastic elastomer is preferably 3% by mass based on the total of the polyolefin and the styrene thermoplastic elastomer,
  • the content is more preferably 5% by mass, and even more preferably 10% by mass, and good solvent resistance (solvent resistance) and chemical resistance tend to be obtained within this range.
  • the upper limit thereof is preferably 30% by mass, more preferably 25% by mass, and even more preferably 20% by mass, based on the total of the polyolefin and the styrene thermoplastic elastomer. It tends to provide good solvent resistance and chemical resistance.
  • the connecting portions that connect the tubes to each other may be made of hard plastic (polypropylene) or the like.
  • the discharge device 50 is connected to the reduced pressure spaces S2 of the degassing modules 10 and 20 via the suction pipe section 41 of the vacuum piping 40, and discharges the gas in each reduced pressure space S2 based on control instructions from the control section 80. is discharged to the outside.
  • the discharge device 50 is arranged above the bottom plate 2.
  • the discharge device 50 includes, for example, a pump 51, a fixing plate 52 to which the pump 51 is fixed, and the like.
  • the pump 51 is fixed to the upper surface 52a (the surface opposite to the bottom plate 2) of the fixed plate 52. Therefore, the lower surface 52b (the surface on the bottom plate 2 side) of the fixed plate 52 is the lowest surface (the surface closest to the bottom plate 2 side) of the ejection device 50.
  • the pump 51 includes a motor 53 for discharging the gas in each decompression space S2 to the outside, an intake port 54 connected to a piping section 48 for sucking in the gas in each decompression space S2, and a An exhaust port 55 to which a discharge pipe section 42 is connected for discharging air to the outside of the device 1, and a motor 53 is rotationally driven based on a control instruction from a control section 80 to discharge air inside each decompression space S2. Exhaust gas to the outside.
  • a diaphragm pump such as a diaphragm dry vacuum pump is used.
  • a diaphragm pump is a vacuum pump that moves a diaphragm up and down by rotating a motor, and moves gas from an intake port to an exhaust port by the up and down movement of the diaphragm.
  • the fixing plate 52 for example, a rectangular metal plate or the like is used.
  • the buffer pipe section 44 described above is for suppressing the pulsation of the suction pressure that occurs in the suction pipe section 410 and each decompression space S2.
  • the buffer pipe section 44 is branched from the discharge collection section 47 of the suction pipe section 41 and is communicated with the suction pipe section 41 .
  • the buffer pipe section 44 increases the volume of the vacuum piping 40 communicating with the suction pipe section 41, and suppresses the pulsation of the suction pressure occurring within the suction pipe section 410 and each decompression space S2.
  • a detector 85 is not connected to the buffer pipe section 44.
  • FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of the connecting portion between the buffer pipe section and the stopper of the deaeration module shown in FIG. 1.
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of the connecting portion between the degassing module and the suction pipe section of the degassing module shown in FIG. 1.
  • the inner diameter d1 of the buffer pipe portion 44 is not particularly limited.
  • the inner diameter d1 of the buffer tube section 44 may be the same as the inner diameter d2 of the suction tube section 41 from the viewpoint of easily manufacturing the vacuum piping 40.
  • the inner diameter d1 of the buffer pipe section 44 is the same as that of the discharge piping sections 45 and 46 of the suction pipe section 41, the discharge gathering section 47, and the piping section 48, excluding the connecting portion that interconnects the tubes in the discharge gathering section 47. It may be the same as each inner diameter d2.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing the degassing module, vacuum piping, and discharge device of the degassing device shown in FIG. 1.
  • the length L1 of the buffer pipe portion 44 is not particularly limited.
  • the length L1 of the buffer tube section 44 is, for example, , 20 to the discharge device 50 is preferably 5% or more of the length L2 of the route R, more preferably 7.5% or more of the length L2 of the route R, and the length L2 of the route R More preferably, it is 10% or more.
  • Route R is, for example, the shortest route from the deaeration modules 10 and 20 of the suction pipe section 41 to the discharge device 50.
  • the path R is, for example, downstream in the flow direction D. This is a route from the degassing module 10 located in the exhaust system 50 to the exhaust device 50.
  • the length L1 of the buffer pipe section 44 is 5% of the length L2 of the route R, it means that the length L1 of the buffer pipe section 44 is 0.05 times the length L2 of the route R. .
  • the length L1 of the buffer pipe section 44 is, for example, 30% or less of the length L2 of the route R. It is more preferably 20% or less of the length L2, and even more preferably 15% or less of the length L2 of the route R.
  • the length L1 of the buffer pipe section 44 should be, for example, 5% or more and 30% or less of the length L2 of the path R from the degassing modules 10, 20 of the suction pipe section 41 to the discharge device 50. is preferably 7.5% or more and 20% or less of the length L2 of the route R, and even more preferably 10% or more and 15% or less of the length L2 of the route R.
  • the length L1 of the buffer pipe section 44 is, for example, , is preferably 1000% or more of the inner diameter d1 of the buffer pipe part 44, more preferably 1100% or more of the inner diameter d1 of the buffer pipe part 44, and 1200% or more of the inner diameter d1 of the buffer pipe part 44. is even more preferable.
  • the length L1 of the buffer pipe part 44 is 1000% of the inner diameter d1 of the buffer pipe part 44, it means that the length L1 of the buffer pipe part 44 is 10 times the inner diameter d1 of the buffer pipe part 44. .
  • the length L1 of the buffer tube section 44 is, for example, 1600% or less of the inner diameter d1 of the buffer tube section 44. 44 is more preferably 1500% or less of the inner diameter d1, and even more preferably 1400% or less of the inner diameter d1 of the buffer pipe portion 44. From these viewpoints, the length L1 of the buffer pipe section 44 is preferably, for example, 1000% or more and 1600% or less of the inner diameter d1 of the buffer pipe section 44, and 1100% or more and 1500% of the inner diameter d1 of the buffer pipe section 44. It is more preferably the following, and even more preferably 1200% or more and 1400% or less of the inner diameter d1 of the buffer pipe portion 44.
  • the buffer branch part B1 and the detection branch section B2 may be located at any position in the suction tube section 41.
  • the buffer branch B1 is a degassing module in the gas flow direction D from the degassing modules 10 and 20 to the exhaust device 50. It is preferable to be located on the downstream side of 10 and 20.
  • the buffer branch portion B1 is preferably located closer to the discharge device 50 than the degassing modules 10 and 20.
  • the detection branch B2 is located upstream of the buffer branch B1 in the gas flow direction D from the deaeration modules 10 and 20 to the discharge device 50. It is preferable to do so. That is, in the path R from the deaeration modules 10 and 20 of the suction pipe section 41 to the ejection device 50, the detection branch section B2 is preferably located on the opposite side of the ejection device 50 from the buffer branch section B1.
  • the plug 90 is arranged so that the plug 90 comes out of the tip 44a of the buffer tube 44 when the suction tube 41 and the decompression space S2 are pressurized to a high pressure. It is detachably attached to the tip end 44a of the tube section 44. That is, the stopper 90 closes the tip 44a of the buffer tube 44 by being attached to the tip 44a of the buffer tube 44, and exits from the tip 44a of the buffer tube 44, causing the buffer tube 44 to close.
  • the tip 44a of the holder is opened.
  • the plug 90 includes an insertion portion 91 that is press-fitted into the buffer tube portion 44 and an enlarged diameter portion 92 that is enlarged in diameter relative to the insertion portion 91.
  • the insertion portion 91 is press-fitted into the tip portion 44a of the buffer tube portion 44, thereby closing the tip portion 44a of the buffer tube portion 44.
  • the insertion portion 91 may have any shape as long as it can close the tip portion 44a of the buffer tube portion 44 by being press-fitted into the tip portion 44a of the buffer tube portion 44.
  • the insertion portion 91 can have a cylindrical shape.
  • the outer circumferential length of the insertion portion 91 is longer than the inner circumferential length of the distal end portion 44a of the buffer tube portion 44.
  • the outer diameter D1 of the insertion portion 91 is larger than the inner diameter of the tip portion 44a of the buffer tube portion 44.
  • the inner diameter of the distal end portion 44a of the buffer tube portion 44 is not the inner diameter of the distal end portion 44a of the buffer tube portion 44 expanded by press-fitting the insertion portion 91, but the inner diameter of the tip portion 44a of the buffer tube portion 44 before the insertion portion 91 is press-fitted. This refers to the inner diameter of the portion 44a.
  • the enlarged diameter portion 92 is enlarged in diameter relative to the insertion portion 91, thereby forming a step between the enlarged diameter portion 92 and the insertion portion 91.
  • the expanded diameter portion 92 regulates the press-fitting amount (press-fitting length) of the insertion portion 91 into the tip portion 44a of the buffer tube portion 44 by making this step contact the end surface of the tip portion 44a of the buffer tube portion 44.
  • the outer diameter of the expanded diameter portion 92 is such that, for example, the insertion portion 91 is press-fitted so that the expanded diameter portion 92 also serves as a handle for pulling out the insertion portion 91 from the distal end portion 44a of the buffer pipe portion 44. It is larger than the outer diameter of the distal end portion 44a of the buffer pipe portion 44 expanded in .
  • the discharge nozzle part 17 comes out from the suction pipe part 41.
  • the adhesion force between the insertion part 91 and the buffer pipe part 44 is smaller than the adhesion force between the discharge nozzle part 17 and the suction pipe part 41 so that the stopper 90 can be easily removed from the buffer pipe part 44.
  • the outer circumferential length of the insertion portion 91 may be smaller than the outer circumferential length of the discharge nozzle portion 17.
  • the outer diameter D1 of the insertion portion 91 may be smaller than the outer diameter D2 of the discharge nozzle portion 17.
  • the length L3 of the insertion portion 91 is shorter than the length L4 of the discharge nozzle portion 17. can do.
  • the press-fit length L5 of the insertion part 91 into the buffer pipe part 44 is It can be configured to be shorter than the press-fit length L6 of the discharge nozzle portion 17.
  • the ejection device 50 is supported by the bottom plate 2 of the housing 5 via four vibration isolating members 101. Since the four vibration isolating members 101 have the same configuration, they will be collectively described as the vibration isolating member 101 unless specifically explained separately.
  • the vibration isolating member 101 is a member for damping vibrations and suppressing vibrations from being transmitted.
  • the vibration isolating member 101 is interposed between the bottom plate 2 and the discharge device 50 (fixed plate 52), and supports the discharge device 50 with respect to the bottom plate 2.
  • the four vibration isolation members 101 are arranged at the four corners of the fixed plate 52 in plan view, and support the discharge device 50 (fixed plate 52) at the four corners of the fixed plate 52.
  • the ejecting device 50 is arranged at a predetermined height from the upper surface 2a of the bottom plate 2 (the surface on the ejecting device 50 side) by the vibration isolating member 101.
  • the vibration isolating member 101 has a configuration shown in FIG. 8, for example.
  • FIG. 8 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the vibration isolating member of the degassing device shown in FIG. 1.
  • the vibration isolating member 101 is interposed between the bottom plate 2 and the fixed plate 52, and supports the fixed plate 52 with respect to the bottom plate 2.
  • the vibration isolating member 101 includes a neck portion 101a inserted into the through hole 52c of the fixing plate 52, an upper enlarged diameter portion 101b extending from the neck portion 101a toward the upper surface 52a of the fixing plate 52, and an enlarged diameter portion 101b extending from the neck portion 101a to the fixing plate.
  • the upper enlarged diameter part 101b and the lower enlarged diameter part 101c have a diameter larger than that of the through hole 52c of the fixed plate 52 so as not to pass through the through hole 52c of the fixed plate 52. Then, the screw 102 is inserted into the through hole 101d of the vibration isolating member 101 from the upper surface 52a side of the fixed plate 52, and screwed into the screw hole 2c of the bottom plate 2.
  • the upper expanded diameter portion 101b and the lower expanded diameter portion 101c sandwich the fixing plate 52 from the upper surface 52a side and the lower surface 52b side, and the lower expanded diameter portion 101c is pressed against the bottom plate 2, and the discharge device 50 is supported by the bottom plate 2 via the vibration isolating member 101.
  • the lower enlarged diameter portion 101c serves as a spacer between the fixed plate 52 and the bottom plate 2, so that the fixed plate 52 is arranged at a predetermined height from the bottom plate 2.
  • the atmospheric release piping 60 is a member that communicates with each reduced pressure space S2 of the deaeration modules 10 and 20 and connects each reduced pressure space S2 to the atmospheric release valve 70.
  • the atmosphere release pipe 60 includes open pipe parts 61 and 62 connected to the respective open ports 18a of the degassing modules 10 and 20, an open collection part 64 that collects the release pipe parts 61 and 62, and an atmosphere release valve that connects the release collection part 64. It has piping 65 connected to 70. An end 66 of the open gathering portion 64 of the air-opening pipe 60 on the opposite side to the pipe 65 is closed.
  • the atmosphere open pipe 60 is made of the same material as the vacuum pipe 40, for example, a resin tube.
  • the atmosphere release valve 70 communicates with one end of the atmosphere release pipe 60, and introduces the atmosphere at once into each decompression space S2 of the deaeration modules 10 and 20 via the atmosphere release pipe 60 based on a control instruction from the control unit 80.
  • This is a possible solenoid valve.
  • the atmosphere release valve 70 changes the solenoid valve from the closed state (CLOSE) to the open state ( OPEN), and each decompression space S2 (for example, a 1 L container) is opened to the atmosphere within 1 minute.
  • the regulating valve 75 is a solenoid valve that is arranged between the deaeration modules 10, 20 and the discharge device 50, and is used to adjust the degree of pressure reduction in the pressure reduction space S2.
  • the regulating valve 75 opens the valve when the discharge device 50 is performing pressure reduction processing in the reduced pressure space S2, and on the other hand, when the degree of pressure reduction in the reduced pressure space S2 falls within a predetermined range, the control valve 75 opens the valve.
  • the valve is closed based on the control instruction.
  • the ejection device 50 can stop its ejection operation.
  • the valve is opened based on a control instruction from the control unit 80.
  • Both the atmosphere release valve 70 and the adjustment valve 75 are raised to a predetermined height from the bottom plate 2 of the housing 5 by a plurality of legs 71 and a plurality of legs 76.
  • the control unit 80 controls the operation and stopping of the pump 51 of the discharge device 50. Further, the control unit 80 includes a detector 85 that detects the degree of pressure reduction in the pressure reduction space S2, and controls the operation of the discharge device 50 and the regulating valve 75 based on the detected degree of pressure reduction. In this control, the exhaust device 50 discharges the atmosphere so that the degree of pressure reduction detected by the detector 85 becomes a predetermined value, and when the degree of pressure reduction in the reduced pressure space S2 falls within a predetermined range, The regulating valve 75 is closed and the operation of the discharge device 50 is stopped. If the degree of pressure reduction detected by the detector 85 falls outside the predetermined range after closing the regulating valve 75, the control unit 80 moves the discharge device 50 again to perform the discharge process.
  • each decompression space S2 of the deaeration modules 10, 20 and the evacuation device 50 are communicated via the suction pipe section 41 of the vacuum piping 40, so the evacuation device 50 With this operation, suction pressure pulsates within the suction pipe section 41 and within each decompression space S2 of the degassing modules 10 and 20.
  • the vacuum pipe 40 branches from the suction pipe section 41 and has a tip end 44a that is closed.
  • the buffer tube section 44 Since the buffer tube section 44 is provided, the suction pressure pulsations that occur within the suction tube section 41 and within each depressurized space S2 are reduced because the suction pressure pulsations spread to the buffer tube section 44 as well. Thereby, disturbances in the flow rate and flow velocity of the liquid flowing through each tube unit 12 of the degassing modules 10 and 20 can be suppressed. Furthermore, since the buffer tube section 44 is branched from the suction tube section 41, the buffer tube section 44 can be provided without making the suction tube section 41 long. Thereby, it is possible to suppress an increase in the pressure loss of the gas from each decompression space S2 to the discharge device 50, and therefore it is possible to suppress a decrease in the discharge efficiency of the discharge device 50. Further, the suction tube section 41 can be easily handled.
  • the buffer branch part B1 is located downstream of the deaerator modules 10, 20 in the gas flow direction D from the deaerator modules 10, 20 to the discharge device 50, so that the suction pipe
  • the buffer pipe section 44 can suppress the pulsation of the suction pressure generated within the section 41 before it spreads to each decompression space S2. This makes it possible to further reduce the pulsation of suction pressure occurring within each decompression space S2.
  • the detection branch part B2 is located upstream of the buffer branch part B1 in the gas flow direction D from the deaerator modules 10 and 20 to the discharge device 50, so that the suction pipe part 41
  • the buffer pipe section 44 can reduce the pulsation of the suction pressure generated within the detection pipe section 43 before it spreads to the detection pipe section 43 . Thereby, the detection accuracy of the detector 85 can be improved.
  • the inner diameter d1 of the buffer pipe section 44 is the same as the inner diameter d2 of the suction pipe section 41, so that the vacuum piping 40 can be easily manufactured.
  • the length L1 of the buffer pipe section 44 is 5% or more, and 7.5%, of the length L2 of the path R from the deaeration modules 10, 20 of the suction pipe section 41 to the discharge device 50. or more, or 10% or more, it is possible to appropriately suppress the pulsation of the suction pressure generated within the suction tube section 41.
  • the length L1 of the buffer pipe section 44 is 30% or less, 20% or less, or 15% or less of the length L2 of the path R from the degassing module 10, 20 of the suction pipe section 41 to the discharge device 50. Therefore, the buffer pipe portion 44 can be easily handled.
  • the length L1 of the buffer pipe part 44 is 1000% or more, 1100% or more, or 1200% or more of the inner diameter d1 of the buffer pipe part 44, so that the suction generated in the suction pipe part 41 is Pressure pulsation can be appropriately suppressed.
  • the length L1 of the buffer tube section 44 is 1600% or less, 1500% or less, or 1400% or less of the inner diameter d1 of the buffer tube section 44, the buffer tube section 44 can be easily handled.
  • the tip 44a of the buffer tube 44 can be easily closed.
  • the suction pipe section 41 and each decompression space S2 will be pressurized to a high pressure. Ru. If the suction tube section 41 and each decompression space S2 are pressurized to a high pressure, the detector 85 that detects the degree of decompression in each decompression space S2, the suction tube section 41, etc. may be damaged, or the degassing module 10, 20 may be damaged.
  • the stopper 90 is detachably attached to the tip 44a of the buffer tube 44, when the suction tube 41 and each decompression space S2 are pressurized to a high pressure, the tip of the buffer tube 44 The stopper 90 is removed from 44a, and the suction tube section 41 and each decompression space S2 are opened to the atmosphere. In this manner, the stopper 90 functions as a safety valve, thereby preventing damage to the detector 85, the suction tube section 41, etc., and preventing the suction tube section 41 from coming off from the degassing modules 10, 20. Note that by removing the stopper 90 from the buffer tube section 44, an additional degassing module (not shown) can be connected to the buffer tube section 44, which provides excellent expandability.
  • the stopper 90 since the stopper 90 has the insertion portion 91 that is press-fitted into the buffer tube portion 44, the tip portion 44a of the buffer tube portion 44 can be appropriately closed.
  • the adhesion force between the insertion part 91 and the buffer pipe part 44 is smaller than the adhesion force between the discharge nozzle part 17 and the suction pipe part 41, so that the suction pipe part 41 and each decompression space S2
  • the insertion part 91 can be easily removed from the buffer pipe part 44 before the discharge nozzle part 17 is removed from the suction pipe part 41.
  • the suction pipe section 41 and each decompression space S2 can be opened to the atmosphere at an earlier stage, so that the function of the stopper 90 as a safety valve can be further improved.
  • the outer circumferential length of the insertion section 91 is smaller than the outer circumference length of the discharge nozzle section 17, so that the adhesion force between the insertion section 91 and the buffer tube section 44 is reduced between the discharge nozzle section 17 and the suction tube section.
  • the adhesion force with 41 can be made smaller.
  • the outer diameter D1 of the insertion portion 91 is smaller than the outer diameter D2 of the discharge nozzle portion 17, so that the adhesion between the insertion portion 91 and the buffer pipe portion 44 is reduced by the suction with the discharge nozzle portion 17.
  • the adhesion force with the tube portion 41 can be made smaller.
  • the entire insertion section 91 and the discharge nozzle section 17 are connected to the buffer pipe section 44 and the suction pipe section. 41, the adhesion force between the insertion part 91 and the buffer pipe part 44 can be made smaller than the adhesion force between the discharge nozzle part 17 and the suction pipe part 41.
  • the suction tube section 41 and each decompression space S2 are pressurized to a high pressure, the insertion section 91 can easily come out from the buffer tube section 44 before the discharge nozzle section 17 comes out from the suction tube section 41. can do.
  • the press-fit length L5 of the insertion part 91 into the buffer pipe part 44 is shorter than the press-fit length L6 of the discharge nozzle part 17 into the suction pipe part 41, so that the insertion part 91 and the buffer pipe part 44 can be made smaller than the adhesion force between the discharge nozzle section 17 and the suction tube section 41.
  • the suction tube section 41 and each decompression space S2 are pressurized to a high pressure, the insertion section 91 can easily come out from the buffer tube section 44 before the discharge nozzle section 17 comes out from the suction tube section 41. can do.
  • the vacuum piping 40 is made of a resin composition containing polyolefin and a styrene thermoplastic elastomer, so that it has excellent solvent resistance, chemical resistance, and durability. be able to. Furthermore, gas permeability can be lowered, and the vacuum piping 40 can be prevented from coming off. Furthermore, due to the elasticity of the resin composition containing polyolefin and styrene thermoplastic elastomer, the suction tube section 41 expands and contracts in response to the pulsation of suction pressure generated within the suction tube section 41 . Thereby, it is possible to further reduce the pulsation of the suction pressure occurring within the suction tube portion 41 and within each decompression space S2.
  • the buffer pipe portion may be closed by a structure other than a stopper.
  • the buffer tube portion may be closed by being pinched by a holding member such as a clip.
  • the part up to the position pinched and closed by the clamping member such as a clip becomes the buffer tube part, and the vicinity of the position pinched and closed by the clamping member such as the clip becomes the tip of the buffer pipe part.
  • the vibration isolating member may not be attached directly to the housing and the ejection device, but may be attached to the housing and the ejection device via another member.
  • FIG. 9 is a schematic side view showing another example of a degassing device.
  • FIG. 10 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the vibration isolating member of the degassing device shown in FIG. 9 in an enlarged manner.
  • the vibration isolating member 103 is formed in a columnar shape such as a cylinder or a square column.
  • An upper plate 104 having a threaded groove 104a is connected to the upper end of the vibration isolating member 103, and a threaded groove 105a is connected to the lower end of the other side of the vibration isolating member 103.
  • a formed lower plate 105 is connected. Then, the screws 106 inserted into the through holes 52d of the fixing plate 52 are screwed into the thread grooves 104a of the upper plate 104, thereby fixing the upper plate 104 to the fixing plate 52, and are inserted into the through holes 2d of the bottom plate 2.
  • the lower plate 105 is fixed to the bottom plate 2 by screwing the screws 107 into the thread grooves 105a of the lower plate 105.
  • the vibration isolating member 103 is interposed between the bottom plate 2 of the housing 5 and the fixing plate 52 of the ejection device 50, and supports the ejection device 50 with respect to the bottom plate 2 of the housing 5.
  • FIG. 11 is a schematic side view showing another example of a deaerator.
  • the evacuation device 56 has the same pump 51 as in the above embodiment, but does not have a configuration corresponding to the fixed plate of the above embodiment.
  • the vibration isolating member 109 is attached to the pump 51 and the bottom plate 2 directly or indirectly.
  • the shape of the vibration isolating member 109 and the mounting structure of the vibration isolating member 109 to the pump 51 and the bottom plate 2 are, for example, the shape of the vibration isolating member 101 shown in FIG.
  • the structure, the shape of the vibration isolating member 103 shown in FIG. 10, the attachment structure of the vibration isolating member 103 to the fixed plate 52 and the bottom plate 2, etc. can be the same.
  • the present invention can be used as a degassing device for liquid chromatography, gas chromatography, biochemical analysis equipment, inkjet filling equipment, etc.
  • Vibration isolating member 101a... Neck, 101b... Upper enlarged diameter part, 101c... Lower enlarged diameter part, 101d... Through hole, 102... Screw, 103... Vibration isolation member, 104... Upper plate, 104a... Thread groove, 105... Lower plate, 105a... Thread groove, 106... Screw, 107... Screw, 109... Vibration isolating member, B1... Buffer branch, B2... Detection branch, D... Flow direction, d1... Inner diameter, d2... Inner diameter, D1...

Abstract

脱気装置は、流体流通空間と減圧空間との間を仕切るガス透過性を有するチューブユニットを有する脱気モジュールと、脱気モジュールに接続されて脱気モジュールの減圧空間に連通される真空配管と、真空配管に接続されて真空配管を介して減圧空間内の気体を外部に排出するように構成された排出装置と、を備え、真空配管は、減圧空間に連通されて脱気モジュールから排出装置に至る吸引管部と、吸引管部から分岐して先端部が閉塞されたバッファ管部と、を有する。

Description

脱気装置
　本発明は、脱気装置に関する。
　特許文献１には、液体クロマトグラフィ装置等に用いられる脱気装置が開示されている。
国際公開第２００７／０９４２４２号
　特許文献１に記載の脱気装置は、チューブユニットが設けられた脱気モジュール内の減圧空間と排出装置（ポンプ）とが真空配管により連通されており、排出装置を作動させることでチューブユニットを流通する液体を脱気するように構成されている。しかしながら、排出装置を作動すると、真空配管内及び減圧空間内において吸引圧力の脈動が生じる。脱気モジュールでは、かかる脈動によりチューブユニットの膨張と収縮とが繰り返されるため、チューブユニットの容積が増減して、チューブユニットを流れる液体の流量及び流速に乱れが生じる。その結果、検査等に影響を与えてしまうことがある。
　そこで、本発明の一側面は、脱気モジュールの減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動を低減して、チューブユニットを流れる液体の流量及び流速の乱れを抑制することができる脱気装置を提供することを目的とする。
　［１］　本発明の一側面に係る脱気装置は、流体流通空間と減圧空間との間を仕切るガス透過性を有するチューブユニットを有する脱気モジュールと、脱気モジュールに接続されて脱気モジュールの減圧空間に連通される真空配管と、真空配管に接続されて真空配管を介して減圧空間内の気体を外部に排出するように構成された排出装置と、を備え、真空配管は、減圧空間に連通されて脱気モジュールから排出装置に至る吸引管部と、吸引管部から分岐して先端部が閉塞されたバッファ管部と、を有する。
　この脱気装置では、真空配管の吸引管部を介して脱気モジュールの減圧空間と排出装置とが連通されているため、排出装置の作動に伴い、吸引管部内及び及び減圧空間内において吸引圧力の脈動が生じる。しかしながら、真空配管が、減圧空間に連通されて脱気モジュールから排出装置に至る吸引管部に加えて、吸引管部から分岐して先端部が閉塞されたバッファ管部を有するため、この吸引圧力の脈動がバッファ管部内にも波及することで、吸引管部内及び及び減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動が低減される。これにより、脱気モジュールのチューブユニットを流れる液体の流量及び流速の乱れを抑制することができる。しかも、バッファ管部が吸引管部から分岐しているため、吸引管部を長くしなくてもバッファ管部を設けることができる。これにより、減圧空間から排出装置に至る気体の圧力損失の増大を抑制することができるため、排出装置の排出効率が低下するのを抑制することができる。また、吸引管部の取り回しを容易に行うことができる。
　［２］　［１］に記載の脱気装置において、吸引管部からバッファ管部が分岐するバッファ分岐部は、脱気モジュールから排出装置に至る気体の流れ方向における脱気モジュールの下流側に位置してもよい。この脱気装置では、バッファ分岐部が、脱気モジュールから排出装置に至る気体の流れ方向における脱気モジュールの下流側に位置することで、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動が減圧空間に波及する前に、バッファ管部により当該脈動を抑制することができる。これにより、減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる。
　［３］　［１］又は［２］に記載の脱気装置において、減圧空間の減圧度を検出するための検出器を更に備え、真空配管は、吸引管部から分岐して検出器に接続される検出配管部を更に有してもよい。この脱気装置では、吸引管部から分岐する検出配管部に減圧空間の減圧度を検出するための検出器が接続されていることで、減圧空間の減圧度を適切に検出することができる。また、検出配管部がバッファ管部とは別に設けられることで、検出器による制約を受けることなくバッファ管部の位置、形状等を設計することができる。
　［４］　［３］に記載の脱気装置において、吸引管部から検出配管部が分岐する検出分岐部は、脱気モジュールから排出装置に至る気体の流れ方向における、吸引管部からバッファ管部が分岐するバッファ分岐部の上流側に位置してもよい。この脱気装置では、検出分岐部が、脱気モジュールから排出装置に至る気体の流れ方向におけるバッファ分岐部の上流側に位置することで、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動が検出配管部に波及する前に、バッファ管部により当該脈動を低減することができる。これにより、検出器の検出精度を向上することができる。
　［５］　［１］～［４］の何れか一つに記載の脱気装置において、バッファ管部の内径は、吸引管部の内径と同じであってもよい。この脱気装置では、バッファ管部の内径が吸引管部の内径と同じであることで、真空配管を容易に製造することができる。
　［６］　［１］～［５］の何れか一つに記載の脱気装置において、バッファ管部の長さは、吸引管部の脱気モジュールから排出装置に至る経路の長さの５％以上３０％以下であってもよい。この脱気装置では、バッファ管部の長さが吸引管部の脱気モジュールから排出装置に至る経路の長さの５％以上３０％以下であることで、バッファ管部の取り回しを容易に行うことができるとともに、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動を適切に低減することができる。
　［７］　［１］～［６］の何れか一つに記載の脱気装置において、バッファ管部の長さは、バッファ管部の内径の１０００％以上１６００％以下であってもよい。この脱気装置では、バッファ管部の長さがバッファ管部の内径の１０００％以上１６００％以下であることで、バッファ管部の取り回しを容易に行うことができるとともに、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動を適切に低減することができる。
　［８］　［１］～［７］の何れか一つに記載の脱気装置において、バッファ管部の先端部に着脱可能に装着されてバッファ管部の先端部を閉塞する栓を更に備えてもよい。この脱気装置では、バッファ管部の先端部を閉塞する栓を備えることで、バッファ管部の先端部を容易に閉塞することができる。ところで、メンテナンス等において誤って排出装置の排気口側に吸引管部が接続され、この状態で排出装置が作動すると、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧される。吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧されると、減圧空間の減圧度を検出する検出器、吸引管部等が破損したり、脱気モジュールから吸引管部が抜けたりする可能性がある。しかしながら、栓は、バッファ管部の先端部に着脱可能に装着されているため、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧されると、バッファ管部の先端部から栓が抜けて、吸引管部及び減圧空間が大気開放される。このように、栓が安全弁として機能することで、検出器、吸引管部等の破損、脱気モジュールからの吸引管部の抜けを抑制することができる。
　［９］　［８］に記載の脱気装置において、栓は、バッファ管部に圧入される挿入部を有してもよい。この脱気装置では、栓がバッファ管部に圧入される挿入部を有することで、バッファ管部の先端部を適切に閉塞することができる。
　［１０］　［９］に記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、挿入部とバッファ管部との密着力は、排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくてもよい。この脱気装置では、挿入部とバッファ管部との密着力が排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さいことで、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先にバッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。このため、栓の安全弁としての機能を更に向上することができる。
　［１１］　［９］又は［１０］に記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、挿入部の外周長は、排出ノズル部の外周長よりも小さくてもよい。この脱気装置では、挿入部の外周長が排出ノズル部の外周長よりも小さいことで、挿入部とバッファ管部との密着力を排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先にバッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。
　［１２］　［９］～［１１］の何れか一つに記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される円柱状の排出ノズル部を有し、挿入部は、円柱状に形成されており、挿入部の外径は、排出ノズル部の外径よりも小さくてもよい。この脱気装置では、挿入部の外径が排出ノズル部の外径よりも小さいことで、挿入部とバッファ管部との密着力を排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先に、バッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。
　［１３］　［９］～［１２］の何れか一つに記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、挿入部の長さは、排出ノズル部の長さよりも短くてもよい。この脱気装置では、挿入部の長さが排出ノズル部の長さよりも短いことで、挿入部及び排出ノズル部の全体がバッファ管部及び吸引管部に圧入された際に、挿入部とバッファ管部との密着力を排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先に、バッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。
　［１４］　［９］～［１３］の何れか一つに記載の脱気装置において、脱気モジュールは、吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、バッファ管部に対する挿入部の圧入長さは、吸引管部に対する排出ノズル部の圧入長さよりも短くてもよい。この脱気装置では、バッファ管部に対する挿入部の圧入長さが吸引管部に対する排出ノズル部の圧入長さよりも短いことで、挿入部とバッファ管部との密着力を排出ノズル部と吸引管部との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部及び減圧空間が高い圧力に加圧された際に、吸引管部から排出ノズル部が抜けるよりも先に、バッファ管部から挿入部が抜けやすくすることができる。
　［１５］　［１］～［１４］の何れか一つに記載の脱気装置において、真空配管の少なくとも一部は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であってもよい。この脱気装置では、真空配管の少なくとも一部がポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であることで、耐溶剤性、耐薬品性、及び耐久性に優れるものとすることができる。また、気体透過性を低くすることができるとともに、真空配管の抜けを抑制することができる。しかも、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物の伸縮性により、吸引管部内に生じる吸引圧力の脈動に応じて吸引管部が膨張及び伸縮する。これにより、吸引管部内及び及び減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる。
　本発明の一側面によれば、脱気モジュールの減圧空間内に生じる吸引圧力の脈動を低減して、チューブユニットを流れる液体の流量及び流速の乱れを抑制することができる。
図１は、本発明の一実施形態に係る脱気装置を示す模式的な概略平面図である。 図２は、図１に示す脱気装置の模式的な概略側面図である。 図３は、図１に示す脱気装置に搭載される脱気モジュールの一例を示す概略断面図である。 図４は、図３に示す脱気モジュールのコネクタ部の付近を拡大して示す拡大断面図である。 図５は、図１に示す脱気モジュールのバッファ管部と栓との接続部分付近を拡大して示す拡大断面図である。 図６は、図１に示す脱気モジュールの脱気モジュールと吸引管部との接続部分付近を拡大して示す拡大断面図である。 図７は、図１に示す脱気装置の脱気モジュール、真空配管、及び排出装置を示す模式図である。 図８は、図１に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。 図９は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。 図１０は、図９に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。 図１１は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。
　以下、図面を参照して、実施形態の脱気装置について詳細に説明する。なお、全図中、同一または相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　図１は、一実施形態に係る脱気装置を示す模式的な概略平面図である。図２は、図１に示す脱気装置の模式的な概略側面図である。図１及び図２に示すように、脱気装置１は、底板２、前板３及び後板４を有するハウジング５と、脱気モジュール１０，２０と、真空配管４０と、排出装置５０と、大気開放配管６０と、大気開放弁７０と、調整弁７５と、制御部８０と、を備えている。ハウジング５の底板２は、脱気装置１の底部を画定し、ハウジング５の前板３は、脱気装置１の前部を画定し、ハウジング５の後板４は、脱気装置１の後部を画定する。脱気装置１は、例えば、液体クロマトグラフィ用の脱気装置であり、液体クロマトグラフィの検査対象となる流体に対して脱ガス処理を行う。脱気装置１は、ガスクロマトグラフィー、生化学分析装置、インクジェット充填装置等に用いてももちろんよい。
　脱気モジュール１０，２０は、例えば図３に示す構成を有している。図３は、図１に示す脱気装置に搭載される脱気モジュールの一例を示す概略断面図である。図４は、図３に示す脱気モジュールのコネクタ部の付近を拡大して示す拡大断面図である。図３は、一例として、脱気モジュール１０の構成を示しているが、他の脱気モジュール２０も同様の構成である。図３及び図４に示すように、脱気モジュール１０は、内部に流体流通空間Ｓ１を画定する複数のチューブ１１が両端部において結束されたチューブユニット１２と、チューブユニット１２を収容するハウジング１３と、ハウジング１３の開口部１３ａを気密密封する蓋部１４と、蓋部１４を貫通するチューブユニット１２を接続固定するコネクタ部１５及びコネクタ部１６と、ハウジング１３から突出する排出ノズル部１７及び開放ノズル部１８と、を備えている。排出ノズル部１７には、減圧空間Ｓ２に連通している排出口１７ａが形成されており、開放ノズル部１８には、減圧空間Ｓ２に連通している開放口１８ａが形成されている。
　脱気モジュール１０は、ガス透過性を有するガス透過膜であるチューブユニット１２により、ハウジング１３内が、チューブユニット１２のチューブ１１のそれぞれの内部空間である流体流通空間Ｓ１と、チューブユニット１２の外側の空間である減圧空間Ｓ２と、に仕切られている。流体流通空間Ｓ１は、液体が供給される領域であり、チューブユニット１２の流入口１２ａから導入された液体を排出口１２ｂまで供給する。減圧空間Ｓ２は、内部の気体が吸気される領域である。そして、脱気モジュール１０では、複数のチューブ１１のそれぞれの内部空間である流体流通空間Ｓ１に液体が供給されるとともに、複数のチューブ１１の外側の減圧空間Ｓ２から吸気されることで、チューブユニット１２に供給された液体を脱気する。
　チューブユニット１２を構成する各チューブ１１は、気体を透過するが液体を透過しないチューブ状の膜（ガス透過膜）である（図４を参照）。チューブ１１の素材、膜形状、膜形態等は、特に制限されない。チューブ１１の素材としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン－エチレン共重合体（エチレン共重合樹脂）（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、アモルファスフロロポリマ（非晶性弗素樹脂；ＡＦ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリメチルペンテン（ＰＭＰ）、シリコン、ポリイミド、ポリアミドが挙げられる。アモルファスフロロポリマとしては、例えば、テフロン（登録商標）ＡＦが挙げられる。
　脱気装置１には、このような脱気モジュール１０，２０が２つ配置されているが、１つの脱気モジュールが配置されていてもよいし、３つ以上の脱気モジュールが配置されていてもよい。
　図１及び図２に示すように、真空配管４０は、各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出するための部材である。真空配管４０は、吸引管部４１と、排出管部４２と、検出配管部４３と、バッファ管部４４と、を備える。
　吸引管部４１は、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２の気体を排出装置５０に送るために、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２に連通されて、脱気モジュール１０，２０と排出装置５０とに接続されている。吸引管部４１は、脱気モジュール１０，２０の各排出ノズル部１７に連なる排出配管部４５，４６と、排出配管部４５，４６を集合させる排出集合部４７と、排出集合部４７を排出装置５０に繋げる配管部４８と、を有している。
　排出管部４２は、排出装置５０に送られた気体を脱気装置１の外部に排出するために、排出装置５０に接続されている。排出管部４２の排出装置５０とは反対側の端部は、前板３に取り付けられて、前板３の前方の脱気装置１の外部に開放されている。
　検出配管部４３は、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２内の減圧度を検出するために、吸引管部４１から分岐されて検出器８５に接続されている。検出器８５は、後述するように、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２内の減圧度を検出する気圧センサであり、制御部８０に設けられている。
　バッファ管部４４は、後述するように、吸引管部４１から分岐しており、バッファ管部４４の吸引管部４１とは反対側の先端部４４ａは、栓９０により閉塞されている。
　真空配管４０を構成する吸引管部４１（排出配管部４５，４６、排出集合部４７、及び配管部４８）、排出管部４２、検出配管部４３、及びバッファ管部４４の少なくとも一部は、例えば樹脂系のチューブから構成されている。真空配管４０のすべて又は略すべて（例えば連結部分を除く）の構成部材が樹脂系のチューブから構成されていてもよい。つまり、複数のチューブを連結部材等を使って連結して真空配管４０を構成してもよい。このようなチューブは、液体クロマトグラフィの使用溶媒に耐性があり、例えば、そのゴム硬度が好ましくは７０±３０度の範囲内であり、及び、その酸素透過性が６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下である配管から構成される。前記ゴム硬度は、好ましくは７０±３０度の範囲内であるが、連結部分での緩みや外れを防止する適切な可撓性と、チューブの変形、潰れ、閉塞を抑制する適切な耐久性を両立する観点から、その下限値が、５０度以上であることがより好ましく、５５度以上であることがさらに好ましくは、６０度以上であることが特に好ましく、そして、上限値が、９５度以下であることがより好ましく、８０度以下であることがさらに好ましく、７５度以下の範囲であることが特に好ましい。ただし、ゴム硬度はショアＡを表し、例えば、ＪＩＳ　Ｋ７３１２（１９９６）に準拠した方法でデュロメータ（タイプＡ）で測定することができる。また、前記酸素透過性は、耐久性に優れる観点から、好ましくは６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下であるが、より好ましくは３０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下、さらに好ましくは１０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下、特に好ましくは５００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下であり、そして、好ましくは０．１ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以上、より好ましくは１０ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以上であってよい。ただし、酸素透過性は酸素透過速度を意味し、例えば、ＡＳＴＭ　Ｄ　１４３４圧力法に準拠した方法で測定することができる。
　真空配管４０を構成するチューブの材質は、上述した性質を有するものであれば特に限定されないが、例えば、塩化ビニル、シリコーンゴム；ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１１、ナイロン１２などのポリアミド（ナイロン）；ポリウレタン；低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレンなどのポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン；ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＰＴＦＥなどのフッ素樹脂；ポリエステル系熱可塑性エラストマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマーなどの熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いることができる。真空配管４０を構成するチューブの材質としては、上述した材質のうち、ポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物がより好ましいものとして挙げられ、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物がさらに好ましいものとして挙げられる。
　真空配管４０は、上述したポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物で構成されることで、耐溶剤性に優れるだけでなく、気体透過性を低くすることができる。また、真空配管４０は、上述したポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物で構成されることで、適切な可撓性を有しており、脱気動作時の排出集合部４７の連結部分での緩みや外れを防止しつつ、またチューブの変形、潰れ、閉塞を抑制することもできることから、耐久性にも優れる。さらに、本実施形態に係る脱気装置１は、複数の脱気モジュールを備え、真空配管４０と脱気モジュール１０，２０との連結部や排出集合部４７の他の部分との連結部など多くの連結構成を備えているが、かかる可撓性や耐久性を備えるチューブから構成されることで、脱気装置としての長期信頼性を向上することもできる。
　なお、真空配管４０に用いられるスチレン系熱可塑性エラストマーとは、少なくとも１つのスチレンブロック（ハードセグメント）と少なくとも１つのエラストマーブロックとを有する共重合体である。エラストマーブロックとしては、ビニル－ポリジエン、ポリイソプレン、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリクロロプレンまたはポリ２，３－ジメチルブタジエンなどを好ましくは用いることができる。エラストマーブロックは、水素添加したものを用いることもできる。エラストマーブロックが水素添加されていると、耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより良好となる傾向があり好ましい。スチレン系熱可塑性エラストマーの具体例としては、スチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン－イソブチレンジブロック共重合体（ＳＩＢ）、スチレン－ブタジエン－スチレントリブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン－エチレン・ブテン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレン－エチレン・プロピレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＰＳ）、スチレン－エチレン・エチレン・プロピレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＥＰＳ）、スチレン－ブタジエン・ブチレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＢＢＳ）などが挙げられる。スチレン系熱可塑性エラストマーは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。なかでも耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより優れることから、スチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体を用いることが好ましい。このようなスチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体の好適な例としては、クレイトン社製の「ＦＧ１９０１　Ｇ　Ｐｏｌｙｍｅｒ」、「ＦＧ１９２４　Ｇ　Ｐｏｌｙｍｅｒ」、（株）クラレ製のハイブラー５１２７などが挙げられる。また、ビニルイソプレンブロックを水素添加した、（株）クラレ製のハイブラー７３１１も好適に使用することができる。
　スチレン系熱可塑性エラストマー中のスチレンブロックの含有率（スチレン含有率）の範囲は、その下限値が、スチレンブロックとエラストマーブロックの合計に対し、好ましくは１質量％であり、より好ましくは５質量％であり、さらに好ましくは１０質量％であり、当該範囲で、より良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。一方、その上限値は、スチレンブロックとエラストマーブロックの合計に対し、好ましくは３０質量％であり、より好ましくは２０質量％であり、当該範囲で、耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより優れる傾向がある。
　ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物におけるスチレン系熱可塑性エラストマーの含有量の範囲は、その下限値が、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーの合計に対し、好ましくは３質量％であり、より好ましくは５質量％であり、さらに好ましくは１０質量％であり、当該範囲で良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。一方、その上限値は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーの合計に対し、好ましくは３０質量％であり、より好ましくは２５質量％であり、さらに好ましくは２０質量％であり、当該範囲で、良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。
　なお、排出集合部４７において、各チューブを相互に連結する連結部分は、硬質プラスチック（ポリプロピレン）等から構成されていてもよい。
　排出装置５０は、真空配管４０の吸引管部４１を介して脱気モジュール１０，２０の減圧空間Ｓ２に連通されており、制御部８０からの制御指示に基づいて、各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出する。排出装置５０は、底板２の上方に配置されている。排出装置５０は、例えば、ポンプ５１、ポンプ５１が固定された固定板５２等を含んで構成されている。ポンプ５１は、固定板５２の上面５２ａ（底板２とは反対側の面）に固定されている。このため、固定板５２の下面５２ｂ（底板２側の面）が、排出装置５０の最下面（最も底板２側の面）となっている。ポンプ５１は、各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出するためのモータ５３と、各減圧空間Ｓ２内の気体を吸い込むために配管部４８が接続された吸気口５４と、吸い込んだ気体を脱気装置１の外部に排出するために排出管部４２が接続された排気口５５と、を備え、制御部８０からの制御指示に基づいてモータ５３が回転駆動することで各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出する。ポンプ５１としては、例えば、ダイアフラム型ドライ真空ポンプ等のダイヤフラムポンプが用いられる。ダイヤフラムポンプは、モータを回転駆動することにより隔膜（ダイアフラム）を上下動させ、この隔膜の上下動により吸気口から排気口に気体を移動させる真空ポンプである。固定板５２としては、例えば、矩形の金属プレート等が用いられる。
　各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出するためにポンプ５１を作動させると、排出装置５０に接続されている吸引管部４１内において吸引圧力の脈動が生じる。また、吸引管部４１に連通されている各減圧空間Ｓ２内においても吸引圧力の脈動が生じる。上述したバッファ管部４４は、このような吸引管部４１０内及び各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動を抑制するためのものである。バッファ管部４４は、吸引管部４１の排出集合部４７から分岐しているとともに、吸引管部４１に連通されている。これにより、バッファ管部４４は、吸引管部４１に連通されている真空配管４０の容積を増大させて、吸引管部４１０内及び各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動を抑制する。なお、バッファ管部４４には、検出配管部４３とは異なり検出器８５が接続されていない。
　図５は、図１に示す脱気モジュールのバッファ管部と栓との接続部分付近を拡大して示す拡大断面図である。図６は、図１に示す脱気モジュールの脱気モジュールと吸引管部との接続部分付近を拡大して示す拡大断面図である。図５及び図６に示すように、バッファ管部４４の内径ｄ１は、特に限定されるものではない。例えば、真空配管４０を容易に製造することができる観点から、バッファ管部４４の内径ｄ１は、吸引管部４１の内径ｄ２と同じであってもよい。つまり、バッファ管部４４の内径ｄ１は、排出集合部４７において各チューブを相互に連結する連結部分を除く、吸引管部４１の排出配管部４５，４６、排出集合部４７、及び配管部４８のそれぞれの内径ｄ２と同じであってもよい。
　図７は、図１に示す脱気装置の脱気モジュール、真空配管、及び排出装置を示す模式図である。図７に示すように、バッファ管部４４の長さＬ１は、特に限定されるものではない。例えば、吸引管部４１内及び各減圧空間Ｓ２に生じる吸引圧力の脈動を適切に抑制することができる観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒの長さＬ２の５％以上であることが好ましく、経路Ｒの長さＬ２の７．５％以上であることがより好ましく、経路Ｒの長さＬ２の１０％以上であることが更に好ましい。経路Ｒは、例えば、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る最短経路である。脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおいて、脱気モジュール１０が脱気モジュール２０の下流側に配置されている場合、経路Ｒは、例えば、流れ方向Ｄにおいて下流側に配置される脱気モジュール１０から排出装置５０に至る経路となる。なお、バッファ管部４４の長さＬ１が経路Ｒの長さＬ２の５％であるとは、バッファ管部４４の長さＬ１が経路Ｒの長さＬ２の０．０５倍であることをいう。一方、バッファ管部４４の取り回しを容易に行うことができる観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、経路Ｒの長さＬ２の３０％以下であることが好ましく、経路Ｒの長さＬ２の２０％以下であることがより好ましく、経路Ｒの長さＬ２の１５％以下であることが更に好ましい。これらの観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒの長さＬ２の５％以上３０％以下であることが好ましく、経路Ｒの長さＬ２の７．５％以上２０％以下であることがより好ましく、経路Ｒの長さＬ２の１０％以上１５％以下であることが更に好ましい。
　図５及び図７に示すように、例えば、吸引管部４１内及び各減圧空間Ｓ２に生じる吸引圧力の脈動を適切に抑制することができる観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、バッファ管部４４の内径ｄ１の１０００％以上であることが好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１１００％以上であることがより好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１２００％以上であることが更に好ましい。なお、バッファ管部４４の長さＬ１がバッファ管部４４の内径ｄ１の１０００％であるとは、バッファ管部４４の長さＬ１がバッファ管部４４の内径ｄ１の１０倍であることをいう。一方、バッファ管部４４の取り回しを容易に行うことができる観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、バッファ管部４４の内径ｄ１の１６００％以下であることが好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１５００％以下であることがより好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１４００％以下であることが更に好ましい。これらの観点から、バッファ管部４４の長さＬ１は、例えば、バッファ管部４４の内径ｄ１の１０００％以上１６００％以下であることが好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１１００％以上１５００％以下であることがより好ましく、バッファ管部４４の内径ｄ１の１２００％以上１４００％以下であることが更に好ましい。
　図１及び図７に示すように、吸引管部４１からバッファ管部４４が分岐する部分をバッファ分岐部Ｂ１といい、吸引管部４１から検出配管部４３が分岐する部分を検出分岐部Ｂ２という。この場合、バッファ分岐部Ｂ１及び検出分岐部Ｂ２は、吸引管部４１の如何なる位置であってもよい。例えば、減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる観点から、バッファ分岐部Ｂ１は、脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおける脱気モジュール１０，２０の下流側に位置することが好ましい。つまり、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒにおいて、バッファ分岐部Ｂ１は、脱気モジュール１０，２０よりも排出装置５０側に位置することが好ましい。また、検出器８５の検出精度を向上することができる観点から、検出分岐部Ｂ２は、脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおけるバッファ分岐部Ｂ１の上流側に位置することが好ましい。つまり、吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒにおいて、検出分岐部Ｂ２は、バッファ分岐部Ｂ１よりも排出装置５０とは反対側に位置することが好ましい。
　図１、図５、及び図７に示すように、栓９０は、吸引管部４１及び減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際にバッファ管部４４の先端部４４ａから抜けるように、バッファ管部４４の先端部４４ａに着脱可能に装着されている。つまり、栓９０は、バッファ管部４４の先端部４４ａに装着されることで、バッファ管部４４の先端部４４ａを閉塞し、バッファ管部４４の先端部４４ａから抜けることで、バッファ管部４４の先端部４４ａを開放する。栓９０は、バッファ管部４４に圧入される挿入部９１と、挿入部９１に対して拡径された拡径部９２と、を有する。
　挿入部９１は、バッファ管部４４の先端部４４ａに圧入されることで、バッファ管部４４の先端部４４ａを閉塞する。挿入部９１は、バッファ管部４４の先端部４４ａに圧入されることでバッファ管部４４の先端部４４ａを閉塞することができれば、如何なる形状であってもよい。例えば、挿入部９１は、円柱状とすることができる。挿入部９１の外周長は、バッファ管部４４の先端部４４ａの内周長より長くなっている。挿入部９１が円柱状に形成されている場合、挿入部９１の外径Ｄ１は、バッファ管部４４の先端部４４ａの内径よりも大径となっている。このバッファ管部４４の先端部４４ａの内径は、挿入部９１が圧入されて拡大したバッファ管部４４の先端部４４ａの内径ではなく、挿入部９１が圧入される前のバッファ管部４４の先端部４４ａの内径をいう。
　拡径部９２は、挿入部９１に対して拡径されることで、挿入部９１との間に段差を形成している。拡径部９２は、この段差がバッファ管部４４の先端部４４ａの端面に当接することで、バッファ管部４４の先端部４４ａに対する挿入部９１の圧入量（圧入長さ）を規制する。また、拡径部９２が、バッファ管部４４の先端部４４ａから挿入部９１を引き抜くための取っ手にもなるように、拡径部９２の外径は、例えば、挿入部９１が圧入されることで拡大したバッファ管部４４の先端部４４ａの外径よりも大きくなっている。
　図５及び図６に示すように、脱気装置１では、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先にバッファ管部４４から栓９０が抜けやすいように、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力が排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくなる構成となっている。このような構成としては、例えば、挿入部９１の外周長が、排出ノズル部１７の外周長よりも小さい構成とすることができる。また、排出ノズル部１７及び挿入部９１が円柱状に形成されている場合は、挿入部９１の外径Ｄ１が、排出ノズル部１７の外径Ｄ２よりも小さい構成とすることができる。また、挿入部９１及び排出ノズル部１７の全体がバッファ管部４４及び吸引管部４１に圧入される場合、挿入部９１の長さＬ３が、排出ノズル部１７の長さＬ４よりも短い構成とすることができる。また、挿入部９１及び排出ノズル部１７の任意の部分がバッファ管部４４及び吸引管部４１に圧入される場合、バッファ管部４４に対する挿入部９１の圧入長さＬ５が、吸引管部４１に対する排出ノズル部１７の圧入長さＬ６よりも短い構成とすることができる。
　図１及び図２に示すように、排出装置５０は、４つの防振部材１０１を介してハウジング５の底板２に支持されている。４つの防振部材１０１は、同じ構成であるため、特に分けて説明する場合を除き、防振部材１０１として纏めて説明する。防振部材１０１は、振動を減衰して振動が伝達されるのを抑制するための部材である。防振部材１０１は、底板２と排出装置５０（固定板５２）との間に介在して、底板２に対して排出装置５０を支持している。４つの防振部材１０１は、平面視における固定板５２の四隅に配置されて、固定板５２の四隅において排出装置５０（固定板５２）を支持している。排出装置５０は、防振部材１０１により、底板２の上面２ａ（排出装置５０側の面）から所定の高さに配置されている。
　防振部材１０１は、例えば図８に示す構成を有している。図８は、図１に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。図８に示すように、防振部材１０１は、底板２と固定板５２との間に介在して、底板２に対して固定板５２を支持している。防振部材１０１は、固定板５２の貫通穴５２ｃに挿入された首部１０１ａと、首部１０１ａから固定板５２の上面５２ａ側に延びて拡径された上拡径部１０１ｂと、首部１０１ａから固定板５２の下面５２ｂ側に延びて拡径された下拡径部１０１ｃと、首部１０１ａ、上拡径部１０１ｂ、及び下拡径部１０１ｃを貫通する貫通穴１０１ｄと、を有する。上拡径部１０１ｂ及び下拡径部１０１ｃは、固定板５２の貫通穴５２ｃを通過しないように、固定板５２の貫通穴５２ｃの穴径よりも大径となっている。そして、ネジ１０２が、固定板５２の上面５２ａ側から防振部材１０１の貫通穴１０１ｄに挿入されて、底板２のネジ穴２ｃにねじ込まれている。これにより、上拡径部１０１ｂ及び下拡径部１０１ｃが上面５２ａ側及び下面５２ｂ側から固定板５２を挟み込んで、下拡径部１０１ｃが底板２に押圧された状態となって、排出装置５０が防振部材１０１を介して底板２に支持された状態となっている。なお、下拡径部１０１ｃが固定板５２と底板２との間のスペーサーとなることで、固定板５２が底板２から所定高さとなるように配置されている。
　図１及び図２に示すように、大気開放配管６０は、脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２に連通され、各減圧空間Ｓ２を大気開放弁７０に繋げるための部材である。大気開放配管６０は、脱気モジュール１０，２０の各開放口１８ａに連なる開放配管部６１，６２と、開放配管部６１，６２を集合させる開放集合部６４と、開放集合部６４を大気開放弁７０に繋げる配管６５と、を有している。大気開放配管６０の開放集合部６４の配管６５と逆側の端部６６は閉じられている。大気開放配管６０は、真空配管４０と同様の材料、例えば、樹脂系のチューブから構成されている。より具体的には、大気開放配管６０を構成する開放配管部６１，６２、開放集合部６４及び配管６５の少なくとも一部は、例えば上述したような樹脂系のチューブから構成されている。大気開放配管６０のすべて又は略すべて（例えば連結部分を除く）の構成部材が樹脂系のチューブから構成されていてもよい。つまり、複数の樹脂チューブを連結部材等を使って連結して大気開放配管６０を構成してもよい。このような樹脂チューブは、液体クロマトグラフィの使用溶媒に耐性があり、そのゴム硬度が７０±３０度の範囲であり、且つ、その酸素透過性が６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下である配管から構成されている。なお、開放集合部６４の連結部分は、排出集合部４７の連結部分と同様に、硬質プラスチック（例えば、ポリプロピレン）等から構成されていてもよい。
　大気開放弁７０は、大気開放配管６０の一端に連通され、制御部８０からの制御指示に基づいて、大気開放配管６０を介して脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２に一気に大気を導入可能な電磁弁である。大気開放弁７０は、例えば、脱気モジュール１０，２０での脱ガス処理が終了すると、制御部８０からの制御指示に基づいて、電磁弁を５秒以内で閉状態（ＣＬＯＳＥ）から開状態（ＯＰＥＮ）に開放し、各減圧空間Ｓ２(例えば１Ｌの容器)を１分以内に大気開放する。
　調整弁７５は、脱気モジュール１０，２０と排出装置５０との間に配置され、減圧空間Ｓ２の減圧度を調整するための電磁弁である。調整弁７５は、排出装置５０による減圧空間Ｓ２の減圧処理を行っている場合には弁を開放し、一方、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲内となった場合に、制御部８０からの制御指示に基づいて弁を閉める。この際、排出装置５０は、その排出動作を停止することができる。その後、一方、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲外となった場合に、制御部８０からの制御指示に基づいて弁を開ける。大気開放弁７０及び調整弁７５のいずれも複数の脚部７１及び複数の脚部７６により、ハウジング５の底板２から所定の高さとなるように嵩上げされている。
　制御部８０は、排出装置５０のポンプ５１の作動及び作動の停止を制御する。また、制御部８０は、制御部８０は、減圧空間Ｓ２の減圧度を検出する検出器８５を有し、検出した減圧度に基づいて、排出装置５０及び調整弁７５の動作を制御する。この制御では、検出器８５で検出される減圧度が所定の値となるように排出装置５０による大気の排出を行うと共に、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲内になった場合には、調整弁７５を閉めると共に排出装置５０の動作を停止する。調整弁７５を閉めた後に検出器８５で検出した減圧度が所定の範囲外となった場合には、制御部８０は、排出装置５０を再度、可動させて排出処理を行う。
　一方、制御部８０は、脱気モジュール１０，２０により脱ガス処理が終了すると、外部等からの停止指示に基づいて、排出装置５０及び大気開放弁７０の動作を制御する。この制御では、脱気処理を終了した後に大気開放弁７０を開放して各減圧空間Ｓ２を一気に大気開放する。脱気処理を終了した後に、排出装置５０による気体の排出動作を所定時間（例えば数秒）継続させつつ、大気開放弁７０を開放して各減圧空間Ｓ２を一気に大気開放するように制御してもよい。
　以上、本実施形態に係る脱気装置１では、真空配管４０の吸引管部４１を介して脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２と排出装置５０とが連通されているため、排出装置５０の作動に伴い、吸引管部４１内及び及び脱気モジュール１０，２０の各減圧空間Ｓ２内において吸引圧力の脈動が生じる。しかしながら、真空配管４０が、各減圧空間Ｓ２に連通されて脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る吸引管部４１に加えて、吸引管部４１から分岐して先端部４４ａが閉塞されたバッファ管部４４を有するため、この吸引圧力の脈動がバッファ管部４４内にも波及することで、吸引管部４１内及び及び各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動が低減される。これにより、脱気モジュール１０，２０の各チューブユニット１２を流れる液体の流量及び流速の乱れを抑制することができる。しかも、バッファ管部４４が吸引管部４１から分岐しているため、吸引管部４１を長くしなくてもバッファ管部４４を設けることができる。これにより、各減圧空間Ｓ２から排出装置５０に至る気体の圧力損失の増大を抑制することができるため、排出装置５０の排出効率が低下するのを抑制することができる。また、吸引管部４１の取り回しを容易に行うことができる。
　また、この脱気装置１では、バッファ分岐部Ｂ１が、脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおける脱気モジュール１０，２０の下流側に位置することで、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動が各減圧空間Ｓ２に波及する前に、バッファ管部４４により当該脈動を抑制することができる。これにより、各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる。
　また、この脱気装置１では、吸引管部４１から分岐する検出配管部４３に各減圧空間Ｓ２の減圧度を検出するための検出器８５が接続されていることで、各減圧空間Ｓ２の減圧度を適切に検出することができる。また、検出配管部４３がバッファ管部４４とは別に設けられることで、検出器８５による制約を受けることなくバッファ管部４４の位置、形状等を設計することができる。
　また、この脱気装置１では、検出分岐部Ｂ２が、脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る気体の流れ方向Ｄにおけるバッファ分岐部Ｂ１の上流側に位置することで、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動が検出配管部４３に波及する前に、バッファ管部４４により当該脈動を低減することができる。これにより、検出器８５の検出精度を向上することができる。
　また、この脱気装置１では、バッファ管部４４の内径ｄ１が吸引管部４１の内径ｄ２と同じであることで、真空配管４０を容易に製造することができる。
　また、この脱気装置１では、バッファ管部４４の長さＬ１が吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒの長さＬ２の５％以上、７．５％以上、又は１０％以上であることで、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動を適切に抑制することができる。一方、バッファ管部４４の長さＬ１が吸引管部４１の脱気モジュール１０，２０から排出装置５０に至る経路Ｒの長さＬ２の３０％以下、２０％以下、又は１５％以下であることで、バッファ管部４４の取り回しを容易に行うことができる。
　また、この脱気装置では、バッファ管部４４の長さＬ１がバッファ管部４４の内径ｄ１の１０００％以上、１１００％以上、又は１２００％以上であることで、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動を適切に抑制することができる。一方、バッファ管部４４の長さＬ１がバッファ管部４４の内径ｄ１の１６００％以下、１５００％以下、又は１４００％以下であることで、バッファ管部４４の取り回しを容易に行うことができる。
　また、この脱気装置１では、バッファ管部４４の先端部４４ａを閉塞する栓９０を備えることで、バッファ管部４４の先端部４４ａを容易に閉塞することができる。ところで、メンテナンス等において誤って排出装置５０の排気口５５側に吸引管部４１が接続され、この状態で排出装置５０が作動すると、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧される。吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧されると、各減圧空間Ｓ２の減圧度を検出する検出器８５、吸引管部４１等が破損したり、脱気モジュール１０，２０から吸引管部４１が抜けたりする可能性がある。しかしながら、栓９０は、バッファ管部４４の先端部４４ａに着脱可能に装着されているため、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧されると、バッファ管部４４の先端部４４ａから栓９０が抜けて、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が大気開放される。このように、栓９０が安全弁として機能することで、検出器８５、吸引管部４１等の破損、脱気モジュール１０，２０からの吸引管部４１の抜けを抑制することができる。なお、バッファ管部４４から栓９０を外すことで、バッファ管部４４に追加の脱気モジュール（不図示）を接続することもできるため、拡張性にも優れる。
　また、この脱気装置１では、栓９０がバッファ管部４４に圧入される挿入部９１を有することで、バッファ管部４４の先端部４４ａを適切に閉塞することができる。
　また、この脱気装置１では、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力が排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さいことで、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先にバッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。これにより、より早い段階で吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２を大気開放させることができるため、栓９０の安全弁としての機能を更に向上することができる。
　また、この脱気装置１では、挿入部９１の外周長が排出ノズル部１７の外周長よりも小さいことで、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力を排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先にバッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。
　また、この脱気装置１では、挿入部９１の外径Ｄ１が排出ノズル部１７の外径Ｄ２よりも小さいことで、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力を排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先に、バッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。
　また、この脱気装置１では、挿入部９１の長さＬ３が排出ノズル部１７の長さＬ４よりも短いことで、挿入部９１及び排出ノズル部１７の全体がバッファ管部４４及び吸引管部４１に圧入された際に、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力を排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先に、バッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。
　また、この脱気装置１では、バッファ管部４４に対する挿入部９１の圧入長さＬ５が吸引管部４１に対する排出ノズル部１７の圧入長さＬ６よりも短いことで、挿入部９１とバッファ管部４４との密着力を排出ノズル部１７と吸引管部４１との密着力よりも小さくすることができる。これにより、吸引管部４１及び各減圧空間Ｓ２が高い圧力に加圧された際に、吸引管部４１から排出ノズル部１７が抜けるよりも先に、バッファ管部４４から挿入部９１が抜けやすくすることができる。
　また、この脱気装置１では、真空配管４０の少なくとも一部がポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であることで、耐溶剤性、耐薬品性、及び耐久性に優れるものとすることができる。また、気体透過性を低くすることができるとともに、真空配管４０の抜けを抑制することができる。しかも、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物の伸縮性により、吸引管部４１内に生じる吸引圧力の脈動に応じて吸引管部４１が膨張及び伸縮する。これにより、吸引管部４１内及び及び各減圧空間Ｓ２内に生じる吸引圧力の脈動をより一層低減することができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜、変更または修正することが可能である。
　例えば、バッファ管部は、栓以外の他の構成により閉塞されていてもよい。例えば、バッファ管部がクリップ等の挟持部材により挟み込まれることで、バッファ管部が閉塞されていてもよい。この場合、クリップ等の挟持部材により挟み込まれて閉塞した位置までがバッファ管部となり、クリップ等の挟持部材により挟み込まれて閉塞した位置の近傍が、バッファ管部の先端部となる。
　また、例えば、防振部材は、ハウジング及び排出装置に直接的に取り付けられるものではなく、他の部材を介してハウジング及び排出装置に取り付けられるものであってもよい。図９は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。図１０は、図９に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。図９及び図１０に示す脱気装置１Ａでは、防振部材１０３は、円柱、角柱等の柱状に形成されている。防振部材１０３の一方側の先端である上端には、ネジ溝１０４ａが形成された上部プレート１０４が接続されており、防振部材１０３の他方側の先端である下端には、ネジ溝１０５ａが形成された下部プレート１０５が接続されている。そして、固定板５２の貫通穴５２ｄに挿入されたネジ１０６が上部プレート１０４のネジ溝１０４ａにねじ込まれることで、固定板５２に上部プレート１０４が固定されており、底板２の貫通穴２ｄに挿入されたネジ１０７が下部プレート１０５のネジ溝１０５ａにねじ込まれることで、底板２に下部プレート１０５が固定されている。これにより、防振部材１０３は、ハウジング５の底板２と排出装置５０の固定板５２との間に介在して、ハウジング５の底板２に対して排出装置５０を支持した状態となっている。
　また、例えば、防振部材は、排出装置の固定板に取り付けられるのではなく、排出装置のポンプに取り付けられるものであってもよい。図１１は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。図１１に示す脱気装置１Ｂでは、排出装置５６は、上記実施形態と同様のポンプ５１を有するが、上記実施形態の固定板に対応する構成を有しない。そして、防振部材１０９は、直接的又は間接的にポンプ５１と底板２とに取り付けられている。防振部材１０９の形状、及びポンプ５１及び底板２に対する防振部材１０９の取付構造は、例えば、図８に示す防振部材１０１の形状、及び固定板５２及び底板２に対する防振部材１０１の取付構造、図１０に示す防振部材１０３の形状、及び固定板５２及び底板２に対する防振部材１０３の取付構造等と同様とすることができる。
　本発明は、液体クロマトグラフィ、ガスクロマトグラフィー、生化学分析装置、インクジェット充填装置等に用いる脱気装置として利用可能である。
　１，１Ａ，１Ｂ…脱気装置、２…底板、２ａ…上面、２ｃ…ネジ穴、２ｄ…貫通穴、３…前板、４…後板、５…ハウジング、１０…脱気モジュール、１１…チューブ、１２…チューブユニット、１２ａ…流入口、１２ｂ…排出口、１３…ハウジング、１３ａ…開口部、１４…蓋部、１５…コネクタ部、１６…コネクタ部、１７…排出ノズル部、１７ａ…排出口、１８…開放ノズル部、１８ａ…開放口、２０…脱気モジュール、４０…真空配管、４１…吸引管部、４２…排出管部、４３…検出配管部、４４…バッファ管部、４４ａ…先端部、４５，４６…排出配管部、、４７…排出集合部、４８…配管部、５０…排出装置、５１…ポンプ、５２…固定板、５２ａ…上面、５２ｂ…下面、５２ｃ…貫通穴、５２ｄ…貫通穴、５３…モータ、５４…吸気口、５５…排気口、５６…排出装置、６０…大気開放配管、６１，６２…開放配管部、６４…開放集合部、６５…配管、６６…端部、７０…大気開放弁、７１…脚部、７５…調整弁、７６…脚部、８０…制御部、８５…検出器、９０…栓、９１…挿入部、９２…拡径部、１０１…防振部材、１０１ａ…首部、１０１ｂ…上拡径部、１０１ｃ…下拡径部、１０１ｄ…貫通穴、１０２…ネジ、１０３…防振部材、１０４…上部プレート、１０４ａ…ネジ溝、１０５…下部プレート、１０５ａ…ネジ溝、１０６…ネジ、１０７…ネジ、１０９…防振部材、Ｂ１…バッファ分岐部、Ｂ２…検出分岐部、Ｄ…流れ方向、ｄ１…内径、ｄ２…内径、Ｄ１…外径、Ｄ２…外径、Ｌ１…バッファ管部の長さ、Ｌ２…吸引管部の脱気モジュールから排出装置に至る経路の長さ、Ｌ３…挿入部の長さ、Ｌ４…排出ノズル部の長さ、Ｌ５…バッファ管部に対する挿入部の圧入長さ、Ｌ６…吸引管部に対する排出ノズル部の圧入長さ、Ｒ…経路、Ｓ１…流体流通空間、Ｓ２…減圧空間。

Claims (15)

  1. 　流体流通空間と減圧空間との間を仕切るガス透過性を有するチューブユニットを有する脱気モジュールと、
    　前記脱気モジュールに接続されて前記脱気モジュールの前記減圧空間に連通される真空配管と、
    　前記真空配管に接続されて前記真空配管を介して前記減圧空間内の気体を外部に排出するように構成された排出装置と、を備え、
    　前記真空配管は、
    　　前記減圧空間に連通されて前記脱気モジュールから前記排出装置に至る吸引管部と、
    　　前記吸引管部から分岐して先端部が閉塞されたバッファ管部と、を有する、
    脱気装置。
  2. 　前記吸引管部から前記バッファ管部が分岐するバッファ分岐部は、前記脱気モジュールから前記排出装置に至る前記気体の流れ方向における前記脱気モジュールの下流側に位置する、
    請求項１に記載の脱気装置。
  3. 　前記減圧空間の減圧度を検出するための検出器を更に備え、
    　前記真空配管は、吸引管部から分岐して前記検出器に接続される検出配管部を更に有する、
    請求項１又は２に記載の脱気装置。
  4. 　前記吸引管部から前記検出配管部が分岐する検出分岐部は、前記脱気モジュールから前記排出装置に至る前記気体の流れ方向における、前記吸引管部から前記バッファ管部が分岐するバッファ分岐部の上流側に位置する、
    請求項３に記載の脱気装置。
  5. 　前記バッファ管部の内径は、前記吸引管部の内径と同じである、
    請求項１～４の何れか一項に記載の脱気装置。
  6. 　前記バッファ管部の長さは、前記吸引管部の前記脱気モジュールから前記排出装置に至る経路の長さの５％以上３０％以下である、
    請求項１～５の何れか一項に記載の脱気装置。
  7. 　前記バッファ管部の長さは、前記バッファ管部の内径の１０００％以上１６００％以下である、
    請求項１～６の何れか一項に記載の脱気装置。
  8. 　前記バッファ管部の前記先端部に着脱可能に装着されて前記バッファ管部の前記先端部を閉塞する栓を更に備える、
    請求項１～７の何れか一項に記載の脱気装置。
  9. 　前記栓は、前記バッファ管部に圧入される挿入部を有する、
    請求項８記載の脱気装置。
  10. 　前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、
    　前記挿入部と前記バッファ管部との密着力は、前記排出ノズル部と前記吸引管部との密着力よりも小さい、
    請求項９に記載の脱気装置。
  11. 　前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、
    　前記挿入部の外周長は、前記排出ノズル部の外周長よりも小さい、
    請求項９又は１０に記載の脱気装置。
  12. 　前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される円柱状の排出ノズル部を有し、
    　前記挿入部は、円柱状に形成されており、
    　前記挿入部の外径は、前記排出ノズル部の外径よりも小さい、
    請求項９～１１の何れか一項に記載の脱気装置。
  13. 　前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、
    　前記挿入部の長さは、前記排出ノズル部の長さよりも短い、
    請求項９～１２の何れか一項に記載の脱気装置。
  14. 　前記脱気モジュールは、前記吸引管部に圧入される排出ノズル部を有し、
    　前記バッファ管部に対する前記挿入部の圧入長さは、前記吸引管部に対する前記排出ノズル部の圧入長さよりも短い、
    請求項９～１３の何れか一項に記載の脱気装置。
  15. 　前記真空配管の少なくとも一部は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物である、
    請求項１～１４の何れか一項に記載の脱気装置。
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