WO2024004829A1 - 脱気装置 - Google Patents

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WO2024004829A1
WO2024004829A1 PCT/JP2023/023204 JP2023023204W WO2024004829A1 WO 2024004829 A1 WO2024004829 A1 WO 2024004829A1 JP 2023023204 W JP2023023204 W JP 2023023204W WO 2024004829 A1 WO2024004829 A1 WO 2024004829A1
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WO
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pressure
space
introduction path
pressure introduction
opening
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/023204
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English (en)
French (fr)
Inventor
明 佐藤
和保 川島
貴章 布施
和美 大井
Original Assignee
Dic株式会社
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
    • B01D63/06—Tubular membrane modules
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B23/00—Pumping installations or systems

Definitions

  • the present invention relates to a deaerator.
  • Patent Document 1 discloses a degassing device used in liquid chromatography devices and the like.
  • a depressurized space in a deaeration module in which a tube unit is provided and a discharge device (pump) are communicated by vacuum piping, and the tube unit is removed by operating the discharge device. It is configured to degas the flowing liquid.
  • this degassing device is equipped with a detector (pressure detection unit) that monitors the degree of decompression (pressure) in the decompression space, and when the degree of decompression in the decompression space deviates from a predetermined value range, the degassing device is activated. Controls on/off.
  • a detector used in a deaerator generally includes a connection nozzle section connected to a vacuum piping, a pressure introduction path extending from an opening formed at the tip of the connection nozzle section and communicating with the vacuum piping. It includes a pressure detection space communicated with the pressure introduction path and a pressure detection element such as a diaphragm arranged in the pressure detection space. Therefore, if dew condenses inside the connection nozzle and vacuum piping due to temperature differences between the inside and outside of the connection nozzle and vacuum piping, there is a possibility that this condensed water will enter the pressure detection space from the pressure introduction path and come into contact with the pressure detection element. be.
  • one aspect of the present invention aims to provide a deaerator that can suppress liquid from coming into contact with a pressure detection element of a detector.
  • a deaeration device includes a deaeration module having a gas permeable tube unit that partitions between a fluid circulation space and a decompression space, and a deaeration module connected to the deaeration module.
  • a vacuum pipe connected to the reduced pressure space of the vacuum pipe, a discharge device connected to the vacuum pipe and configured to discharge gas in the reduced pressure space to the outside, and a detector connected to the vacuum pipe to detect pressure;
  • the detector includes a connection nozzle section connected to the vacuum piping, a pressure introduction path extending from an opening formed at the tip of the connection nozzle section and communicating with the vacuum piping, and a pressure introduction path communicating with the pressure introduction path. It has a pressure detection space and a pressure detection element arranged in the pressure detection space, and the opening of the pressure introduction path faces downward rather than in the horizontal direction.
  • the pressure detection element of the detector is placed in the pressure detection space that communicates with the vacuum piping via the pressure introduction path, so it is possible to detect the degree of reduced pressure in the reduced pressure space. Since the opening of the pressure introduction path is oriented downward rather than horizontally, condensation water (liquid) may occur in the pressure introduction path, or condensed water generated in the vacuum piping may flow into the pressure introduction path. However, this condensed water is likely to be discharged from the opening to the outside of the pressure introduction path due to gravity. Thereby, it is possible to suppress condensed water from coming into contact with the pressure detection element.
  • the opening of the pressure introduction path may be directed downward by 10° or more with respect to the horizontal direction.
  • the opening of the pressure introduction path is oriented downward by 10 degrees or more with respect to the horizontal direction, making it easier to discharge the liquid from the pressure introduction path.
  • the pressure introduction path may extend linearly. In this deaerator, since the pressure introduction path extends linearly, it becomes easier to discharge the liquid from the pressure introduction path.
  • the central axis of the pressure introduction path from the pressure detection space side to the opening side may be directed downward rather than horizontally. good.
  • the central axis of the pressure introduction path from the pressure detection space side to the opening side is oriented downward rather than horizontally, making it easier to discharge liquid from the pressure introduction path.
  • the pressure detection element may be arranged at a position overlapping the opening when viewed from the extending direction of the pressure introduction path.
  • the pressure detection element is placed at a position that overlaps with the opening when viewed from the extending direction of the pressure introduction path, making it possible to reduce the size of the detector and further reduce the pressure in the decompression space. can be detected efficiently.
  • At least a portion of the vacuum piping may be made of a resin composition containing a polyolefin and a styrene thermoplastic elastomer.
  • at least a portion of the vacuum piping is made of a resin composition containing a polyolefin and a styrene thermoplastic elastomer, so that it can have excellent solvent resistance, chemical resistance, and durability.
  • gas permeability can be lowered, and the vacuum piping can be prevented from coming off.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a deaerator according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic side view of the deaerator shown in FIG. 1.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a degassing module installed in the degassing device shown in FIG. 1.
  • FIG. 4 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the connector section of the deaeration module shown in FIG. 3.
  • FIG. 5 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the vibration isolating member of the degassing device shown in FIG. 1.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the detector shown in FIG. 1.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining the direction in which the opening of the pressure introduction path faces.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of another example of a detector.
  • FIG. 9 is a schematic side view showing another example of a degassing device.
  • FIG. 10 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the vibration isolating member of the degassing device shown in FIG. 9 in an enlarged manner.
  • FIG. 11 is a schematic side view showing another example of a deaerator.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a deaerator according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic side view of the deaerator shown in FIG. 1.
  • a degassing device 1 shown in FIGS. 1 and 2 is, for example, a degassing device for liquid chromatography, and performs a degassing process on a fluid to be inspected by liquid chromatography.
  • the deaerator 1 may be used in gas chromatography, biochemical analysis equipment, inkjet filling equipment, and the like.
  • the deaerator 1 includes a housing 5 having a bottom plate 2, a front plate 3, and a rear plate 4, deaerator modules 10, 20, 30, vacuum piping 40, and a discharge device 50. , an atmosphere release pipe 60 , an atmosphere release valve 70 , a regulating valve 75 , a control section 80 , and a detector 90 .
  • the bottom plate 2 of the housing 5 defines the bottom of the deaerator 1.
  • the front plate 3 of the housing 5 stands up from the bottom plate 2 and defines the front part of the deaerator 1.
  • the rear plate 4 of the housing 5 is erected from the bottom plate 2 so as to face the front plate 3 at the rear of the front plate 3, and defines the rear part of the deaerator 1.
  • the horizontal direction when the deaerator 1 is installed is called the horizontal direction H
  • the vertical direction when the deaerator 1 is installed is called the up-down direction UD.
  • the upper part in the state where the deaerator 1 is installed is called the upper part U
  • the lower part in the state where the deaerator 1 is installed is called the lower part D.
  • the horizontal direction H is, for example, the direction in which the bottom plate 2 extends.
  • the vertical direction UD is, for example, a direction perpendicular to the bottom plate 2.
  • the upper U is, for example, a direction in which the front plate 3 and the rear plate 4 are erected with respect to the bottom plate 2.
  • the downward direction D is, for example, a direction opposite to the direction in which the front plate 3 and the rear plate 4 are erected with respect to the bottom plate 2.
  • the degassing modules 10, 20, and 30 have the configuration shown in FIG. 3, for example.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a degassing module installed in the degassing device shown in FIG. 1.
  • FIG. FIG. 4 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the connector section of the deaeration module shown in FIG. 3.
  • FIG. 3 shows the configuration of the degassing module 10 as an example, the other degassing modules 20 and 30 have similar configurations.
  • the deaeration module 10 includes a tube unit 12 in which a plurality of tubes 11 defining a fluid circulation space S1 are tied together at both ends, and a housing 13 that accommodates the tube unit 12.
  • a lid part 14 that hermetically seals the opening 13a of the housing 13, a connector part 15 and a connector part 16 that connect and fix the tube unit 12 passing through the lid part 14, and a discharge nozzle part 17 and an opening nozzle that protrude from the housing 13.
  • the discharge nozzle portion 17 is formed with a discharge port 17a that communicates with the reduced pressure space S2
  • the open nozzle portion 18 is formed with an open port 18a that communicates with the reduced pressure space S2.
  • the degassing module 10 has a tube unit 12 that is a gas permeable membrane having gas permeability, and the inside of the housing 13 is connected to a fluid circulation space S1, which is an internal space of each tube 11 of the tube unit 12, and an outside of the tube unit 12. It is partitioned into a depressurized space S2, which is a space of .
  • the fluid circulation space S1 is a region to which liquid is supplied, and supplies the liquid introduced from the inlet 12a of the tube unit 12 to the outlet 12b.
  • the decompression space S2 is a region into which internal gas is taken in.
  • the liquid is supplied to the fluid circulation space S1, which is the internal space of each of the plurality of tubes 11, and air is sucked from the decompression space S2 outside the plurality of tubes 11, so that the tube unit
  • the liquid supplied to 12 is degassed.
  • Each tube 11 constituting the tube unit 12 is a tube-shaped membrane (gas permeable membrane) that permeates gas but not liquid (see FIG. 4).
  • the material, membrane shape, membrane form, etc. of the tube 11 are not particularly limited.
  • Examples of the material for the tube 11 include polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), and tetrafluoroethylene-perfluoropropylene copolymer (FEP).
  • Fluororesins such as ethylene copolymer (ETFE), polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), amorphous fluoropolymer (AF), polyvinylidene fluoride (PVDF), polypropylene (PP) ), polymethylpentene (PMP), silicone, polyimide, and polyamide.
  • ethylene copolymer EFT
  • PCTFE polychlorotrifluoroethylene
  • AF amorphous fluoropolymer
  • PVDF polyvinylidene fluoride
  • PP polypropylene
  • PMP polymethylpentene
  • silicone polyimide
  • polyamide polyamide
  • deaerator 1 In the deaerator 1, three such deaeration modules 10, 20, and 30 are arranged, but one deaeration module may be arranged, or two deaeration modules may be arranged. Alternatively, four or more degassing modules may be arranged.
  • the vacuum piping 40 is a member for discharging the gas in each decompression space S2 to the outside.
  • the vacuum piping 40 includes a suction pipe section 41 and a discharge pipe section 42.
  • the suction pipe section 41 is connected to the degassing modules 10, 20, and 30, and communicates with each decompression space S2 of the degassing modules 10, 20, and 30.
  • the suction pipe section 41 includes discharge piping sections 43, 44, 45 connected to each discharge nozzle section 17 of the deaeration modules 10, 20, 30, a discharge collection section 46 that collects the discharge piping sections 43, 44, 45, and It has a piping section 47 that connects the collection section 46 to the discharge device 50 and a detection piping section 48 that connects the discharge collection section 46 to the detector 90 .
  • the detector 90 is an atmospheric pressure sensor that detects the degree of pressure reduction (pressure) in each of the reduced pressure spaces S2 of the degassing modules 10, 20, and 30, and is provided in the control unit 80, for example.
  • the discharge pipe section 42 is connected to the discharge device 50 in order to discharge the gas sent out from the discharge device 50 to the outside of the deaerator 1.
  • the end of the discharge pipe section 42 opposite to the discharge device 50 is attached to the front plate 3 and is open to the outside of the deaerator 1 in front of the front plate 3.
  • At least a portion of the suction pipe section 41 (discharge piping sections 43, 44, 45, discharge collection section 46, piping section 47, and detection piping section 48) and the discharge pipe section 42, which constitute the vacuum piping 40, are made of resin-based material, for example. It is made up of tubes. All or substantially all the constituent members of the vacuum piping 40 (excluding, for example, the connecting portions) may be made of resin tubes. That is, the vacuum piping 40 may be configured by connecting a plurality of tubes using a connecting member or the like.
  • Such a tube is resistant to the solvent used in liquid chromatography, for example, its rubber hardness is preferably within the range of 70 ⁇ 30 degrees, and its oxygen permeability is 6000 cc (STP) cm/cm 2 / It is composed of piping with a sec/cmHg ⁇ 10 ⁇ 10 or less.
  • the rubber hardness is preferably within the range of 70 ⁇ 30 degrees, but it is necessary to have appropriate flexibility to prevent loosening or detachment at the connecting portion, and appropriate durability to prevent tube deformation, collapse, and blockage. From the viewpoint of achieving both, the lower limit is more preferably 50 degrees or more, further preferably 55 degrees or more, particularly preferably 60 degrees or more, and the upper limit is 95 degrees or less.
  • the angle is more preferably 80 degrees or less, and particularly preferably 75 degrees or less.
  • rubber hardness represents Shore A, and can be measured with a durometer (type A), for example, in accordance with JIS K7312 (1996).
  • the oxygen permeability is preferably 6000 cc (STP) cm/cm 2 /sec/cmHg ⁇ 10 ⁇ 10 or less, and more preferably 3000 cc (STP) cm/cm 2 / sec/cmHg x 10 -10 or less, more preferably 1000cc (STP) cm/cm 2 /sec/cmHg x 10 -10 or less, particularly preferably 500cc (STP) cm/cm 2 /sec/cmHg x 10 -10 or less and preferably 0.1 cc (STP) cm/cm 2 /sec/cmHg x 10 -10 or more, more preferably 10 cc (STP) cm/cm 2 /sec/cmHg x 10 -10
  • the material of the tube constituting the vacuum piping 40 is not particularly limited as long as it has the above-mentioned properties, but examples include vinyl chloride, silicone rubber, and polyamide (nylon) such as nylon 6, nylon 66, nylon 11, and nylon 12. ; Polyurethane; Polyethylene such as low density polyethylene and linear low density polyethylene, polyolefin such as polypropylene; Fluororesin such as FEP, PFA, ETFE, PTFE; Polyester thermoplastic elastomer, styrene thermoplastic elastomer, olefin thermoplastic Examples include thermoplastic elastomers such as elastomers, and one or more of these can be used.
  • a resin composition containing a polyolefin and a thermoplastic elastomer is more preferable, and a resin composition containing a polyolefin and a styrene thermoplastic elastomer is more preferable. These are listed as preferred.
  • the vacuum piping 40 is made of a resin composition containing the above-mentioned polyolefin and thermoplastic elastomer, it not only has excellent solvent resistance but also has low gas permeability.
  • the vacuum piping 40 is made of a resin composition containing the above-mentioned polyolefin and thermoplastic elastomer, so it has appropriate flexibility, and is used at the connection part of the discharge collection part 46 during degassing operation. It has excellent durability because it prevents the tube from loosening or coming off, and also suppresses deformation, collapse, and blockage of the tube.
  • the degassing device 1 includes a plurality of degassing modules, including connecting portions between the vacuum piping 40 and the degassing modules 10, 20, and 30, and connecting portions with other parts of the discharge collecting portion 46.
  • the degassing device has many connection configurations, by being constructed from a tube with such flexibility and durability, the long-term reliability of the deaerator can be improved.
  • the styrenic thermoplastic elastomer used in the vacuum piping 40 is a copolymer having at least one styrene block (hard segment) and at least one elastomer block.
  • the elastomer block vinyl-polydiene, polyisoprene, polybutadiene, polyethylene, polychloroprene or poly2,3-dimethylbutadiene can preferably be used.
  • a hydrogenated elastomer block can also be used. It is preferable that the elastomer block is hydrogenated because it tends to have better solvent resistance (solvent resistance) and chemical resistance.
  • styrene thermoplastic elastomers include styrene-vinyl isoprene-styrene triblock copolymer (SIS), styrene-isobutylene diblock copolymer (SIB), and styrene-butadiene-styrene triblock copolymer (SBS).
  • SIS styrene-vinyl isoprene-styrene triblock copolymer
  • SIB styrene-isobutylene diblock copolymer
  • SBS styrene-butadiene-styrene triblock copolymer
  • Styrenic thermoplastic elastomers may be used alone or in combination of two or more.
  • a styrene-vinyl isoprene-styrene triblock copolymer because it has better solvent resistance and chemical resistance.
  • Suitable examples of such styrene-vinyl isoprene-styrene triblock copolymers include "FG1901 G Polymer” and “FG1924 G Polymer” manufactured by Clayton Co., Ltd., and Hybrer 5127 manufactured by Kuraray Co., Ltd..
  • HYBRAR 7311 manufactured by Kuraray Co., Ltd. which is obtained by hydrogenating a vinyl isoprene block, can also be suitably used.
  • the lower limit of the content of styrene blocks in the styrenic thermoplastic elastomer is preferably 1% by mass, more preferably 5% by mass, based on the total of styrene blocks and elastomer blocks.
  • the content is more preferably 10% by mass, and within this range, better solvent resistance (solvent resistance) and chemical resistance tend to be obtained.
  • the upper limit is preferably 30% by mass, more preferably 20% by mass, based on the total of the styrene block and elastomer block, and within this range, solvent resistance (solvent resistance) and chemical resistance performance are improved. It tends to be better.
  • the lower limit of the content of the styrene thermoplastic elastomer in the resin composition containing the polyolefin and the styrene thermoplastic elastomer is preferably 3% by mass based on the total of the polyolefin and the styrene thermoplastic elastomer,
  • the content is more preferably 5% by mass, and even more preferably 10% by mass, and good solvent resistance (solvent resistance) and chemical resistance tend to be obtained within this range.
  • the upper limit thereof is preferably 30% by mass, more preferably 25% by mass, and even more preferably 20% by mass, based on the total of the polyolefin and the styrene thermoplastic elastomer. It tends to provide good solvent resistance and chemical resistance.
  • the connecting portions that connect the tubes to each other may be made of hard plastic (polypropylene) or the like.
  • the discharge device 50 is connected to the suction pipe section 41 and the discharge pipe section 42 of the vacuum piping 40, and is configured to send gas from the suction pipe section 41 to the discharge pipe section 42.
  • the discharge device 50 is connected to each decompression space S2 of the deaeration modules 10, 20, and 30 via the suction pipe section 41, and discharges the gas in each decompression space S2 based on control instructions from the control section 80. It is discharged to the outside from the discharge pipe section 42.
  • the discharge device 50 includes, for example, a pump 51, a fixing plate 52 to which the pump 51 is fixed, and the like.
  • the pump 51 is fixed to the upper surface 52a (the surface opposite to the bottom plate 2) of the fixed plate 52.
  • the pump 51 includes a motor 53 for discharging the gas in each decompression space S2 to the outside, and an intake port 54 to which the piping part 47 of the suction pipe part 41 is connected to suck the gas in each decompression space S2.
  • an exhaust port 55 is provided to which the discharge pipe section 42 is connected.
  • the pump 51 sends out the gas in each decompression space S2 from the piping part 47 to the discharge pipe part 42 by rotating the motor 53 based on a control instruction from the control part 80, and from the discharge pipe part 42 to the outside. to be discharged.
  • a diaphragm pump such as a diaphragm dry vacuum pump is used.
  • a diaphragm pump is a vacuum pump that moves a diaphragm up and down by rotating a motor, and moves gas from an intake port to an exhaust port by the up and down movement of the diaphragm.
  • the fixing plate 52 for example, a rectangular metal plate or the like is used.
  • the ejection device 50 is supported by the bottom plate 2 of the housing 5 via four vibration isolating members 101. Since the four vibration isolating members 101 have the same configuration, they will be collectively described as the vibration isolating member 101 unless specifically explained separately.
  • the vibration isolating member 101 is a member for damping vibrations and suppressing vibrations from being transmitted.
  • the vibration isolating member 101 is interposed between the bottom plate 2 and the discharge device 50 (fixed plate 52), and supports the discharge device 50 with respect to the bottom plate 2.
  • the four vibration isolation members 101 are arranged at the four corners of the fixed plate 52 in plan view, and support the discharge device 50 (fixed plate 52) at the four corners of the fixed plate 52.
  • the ejecting device 50 is arranged at a predetermined height from the upper surface 2a of the bottom plate 2 (the surface on the ejecting device 50 side) by the vibration isolating member 101.
  • the vibration isolating member 101 has a configuration shown in FIG. 5, for example.
  • FIG. 5 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the vibration isolating member of the degassing device shown in FIG. 1.
  • the vibration isolating member 101 is interposed between the bottom plate 2 and the fixed plate 52, and supports the fixed plate 52 with respect to the bottom plate 2.
  • the vibration isolating member 101 includes a neck portion 101a inserted into the through hole 52c of the fixing plate 52, an upper enlarged diameter portion 101b extending from the neck portion 101a toward the upper surface 52a of the fixing plate 52, and an enlarged diameter portion 101b extending from the neck portion 101a to the fixing plate.
  • the upper enlarged diameter part 101b and the lower enlarged diameter part 101c have a diameter larger than that of the through hole 52c of the fixed plate 52 so as not to pass through the through hole 52c of the fixed plate 52. Then, the screw 102 is inserted into the through hole 101d of the vibration isolating member 101 from the upper surface 52a side of the fixed plate 52, and screwed into the screw hole 2c of the bottom plate 2.
  • the upper expanded diameter portion 101b and the lower expanded diameter portion 101c sandwich the fixing plate 52 from the upper surface 52a side and the lower surface 52b side, and the lower expanded diameter portion 101c is pressed against the bottom plate 2, and the discharge device 50 is supported by the bottom plate 2 via the vibration isolating member 101.
  • the lower enlarged diameter portion 101c serves as a spacer between the fixed plate 52 and the bottom plate 2, so that the fixed plate 52 is arranged at a predetermined height from the bottom plate 2.
  • the atmospheric release pipe 60 is a member that communicates with each reduced pressure space S2 of the deaeration modules 10, 20, and 30, and connects each reduced pressure space S2 to the atmospheric release valve 70.
  • the atmosphere release piping 60 includes open piping sections 61, 62, 63 connected to the respective opening ports 18a of the deaeration modules 10, 20, 30, an open collection section 64 that collects the open piping sections 61, 62, 63, and an open collection section 64. It has a pipe 65 that connects the section 64 to the atmosphere release valve 70. An end 66 of the open gathering portion 64 of the air-opening pipe 60 on the opposite side to the pipe 65 is closed.
  • the atmosphere open pipe 60 is made of the same material as the vacuum pipe 40, for example, a resin tube. More specifically, at least a portion of the open piping sections 61, 62, 63, the open collection section 64, and the piping 65 that constitute the atmosphere open piping 60 are made of, for example, resin-based tubes as described above. All or substantially all (excluding the connecting portions) of the atmosphere-opening piping 60 may be made of resin-based tubes. That is, the atmosphere open piping 60 may be configured by connecting a plurality of resin tubes using a connecting member or the like.
  • Such a resin tube is resistant to the solvent used in liquid chromatography, has a rubber hardness in the range of 70 ⁇ 30 degrees, and has an oxygen permeability of 6000 cc (STP) cm/cm 2 /sec/cmHg ⁇ 10 -10 or less.
  • the connecting portion of the open collecting portion 64 may be made of hard plastic (for example, polypropylene) or the like, similarly to the connecting portion of the discharge collecting portion 46.
  • the atmosphere release valve 70 is communicated with one end of the atmosphere release pipe 60, and based on the control instruction from the control unit 80, the atmosphere release valve 70 releases the atmosphere at once into each depressurized space S2 of the degassing module 10, 20, 30 via the atmosphere release pipe 60.
  • It is a solenoid valve that can be introduced.
  • the atmosphere release valve 70 opens the solenoid valve from the closed state (CLOSE) within 5 seconds based on a control instruction from the control unit 80. state (OPEN), and each decompression space S2 (for example, a 1 L container) is opened to the atmosphere within 1 minute.
  • the regulating valve 75 is a solenoid valve that is disposed between the deaeration modules 10, 20, 30 and the discharge device 50, and is used to adjust the degree of pressure reduction in the pressure reduction space S2.
  • the regulating valve 75 opens the valve when the discharge device 50 is performing pressure reduction processing in the reduced pressure space S2, and on the other hand, when the degree of pressure reduction in the reduced pressure space S2 falls within a predetermined range, the control valve 75 opens the valve.
  • the valve is closed based on the control instruction.
  • the ejection device 50 can stop its ejection operation.
  • the valve is opened based on a control instruction from the control unit 80.
  • Both the atmosphere release valve 70 and the adjustment valve 75 are raised to a predetermined height from the bottom plate 2 of the housing 5 by a plurality of legs 71 and a plurality of legs 76.
  • the control unit 80 controls the operation and stopping of the pump 51 of the discharge device 50. Further, the control unit 80 includes a detector 90 that detects the degree of pressure reduction in the pressure reduction space S2, and controls the operation of the discharge device 50 and the regulating valve 75 based on the detected degree of pressure reduction. In this control, the exhaust device 50 discharges the atmosphere so that the degree of pressure reduction detected by the detector 90 becomes a predetermined value, and when the degree of pressure reduction in the reduced pressure space S2 falls within a predetermined range, The regulating valve 75 is closed and the operation of the discharge device 50 is stopped. If the degree of pressure reduction detected by the detector 90 falls outside the predetermined range after closing the regulating valve 75, the control unit 80 moves the discharge device 50 again to perform the discharge process.
  • the control unit 80 controls the operation of the exhaust device 50 and the atmosphere release valve 70 based on a stop instruction from the outside.
  • the atmosphere release valve 70 is opened to open each depressurized space S2 to the atmosphere at once.
  • the gas discharge operation by the discharge device 50 may be continued for a predetermined period of time (for example, several seconds), and the atmosphere release valve 70 may be opened to open each decompression space S2 to the atmosphere at once. good.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the detector shown in FIG. 1.
  • the detector 90 includes a connecting nozzle portion 91 connected to the detection piping portion 48 of the vacuum piping 40, and an opening 92a formed at the tip of the connecting nozzle portion 91 to communicate with the vacuum piping 40. It has a pressure introduction path 92 , a pressure detection space 93 communicated with the pressure introduction path 92 , and a pressure detection element 94 arranged in the pressure detection space 93 .
  • connection nozzle portion 91 is connected to the detection piping portion 48 by being press-fitted into the detection piping portion 48 .
  • the connection nozzle portion 91 is formed into a shape such as a columnar shape or a conical shape that is easily press-fitted into the detection piping portion 48 and easily maintains airtightness between the connection nozzle portion 91 and the detection piping portion 48 .
  • the pressure introduction path 92 is a space that communicates the vacuum piping 40 with the pressure detection space 83 and transmits pressure from the vacuum piping 40 to the pressure detection space 93.
  • the pressure introduction path 92 is open to the vacuum piping 40 side through an opening 92a.
  • the pressure introduction path 92 extends linearly along the connection nozzle portion 91 from an opening 92 a formed at the tip of the connection nozzle portion 91 .
  • the direction in which the pressure introduction path 92 extends is referred to as an extending direction E.
  • the extending direction E of the pressure introduction path 92 is, for example, the same as the extending direction of the connection nozzle portion 91.
  • the inner diameter of the pressure introduction path 92 may be different in the extending direction E of the pressure introduction path 92, but from the viewpoint of efficiently transmitting pressure from the vacuum piping 40 to the pressure detection space 93 and being easily manufactured. , is preferably the same over the entire area in the extending direction E of the pressure introduction path 92.
  • the pressure detection space 93 is a space adjacent to the pressure introduction path 92 on the opposite side from the opening 92a.
  • the pressure detection space 93 does not need to be clearly distinguished from the pressure introduction path 92 as long as it is adjacent to the pressure introduction path 92 on the side opposite to the opening 92a, and may have any shape.
  • the detector 90 has a cylindrical space extending in a cylindrical shape from an opening 92a formed at the tip of the connecting nozzle part 91, a part of the cylindrical space that continues from the opening 92a is under pressure.
  • the introduction path 92 may be the pressure detection space 93, and the remaining space of this cylindrical space may be the pressure detection space 93.
  • a cylindrical space is formed that extends in a cylindrical shape from an opening 92a formed at the tip of the connecting nozzle part 91, and a direction perpendicular to the extending direction E is formed on the opposite side of the cylindrical space from the opening 92a.
  • this cylindrical space may be the pressure introduction path 92, and this enlarged diameter space may be the pressure detection space 93.
  • the pressure detection space 93 is arranged with the pressure detection element 94, it is preferable that it is formed in a wide part of the detector 90 other than the connection nozzle part 91, but if the pressure detection element 94 is small, It may be formed in the connection nozzle part 91.
  • the pressure detection element 94 is an element for detecting the pressure of a diaphragm or the like.
  • the pressure detection element 94 is arranged, for example, so that the pressure receiving surface of the diaphragm is exposed to the pressure detection space 93.
  • the pressure detection element 94 electrically detects the amount of strain in the diaphragm, thereby detecting the pressure in the pressure detection space 93, that is, each depressurization space of the degassing modules 10, 20, and 30 communicating with the pressure detection space 93.
  • the degree of pressure reduction in S2 is detected.
  • the pressure detection element 94 is arranged, for example, at a position overlapping the opening 92a when viewed from the extending direction E of the pressure introduction path 92.
  • the pressure detection element 94 is arranged at a position visible from the opening 92a.
  • the pressure detection element 94 is connected to an output device 95 that converts the detected value of the pressure detection element 94 into pressure information and outputs it to the control section 80 .
  • a temperature difference may occur between the inside and outside of the detector 90 and the vacuum piping 40, resulting in dew condensation inside the pressure introduction path 92 and the vacuum piping 40.
  • the pressure introduction path 92 condenses, there is a possibility that the condensed water generated in the pressure introduction path 92 enters the pressure detection space 93 from the pressure introduction path 92 .
  • the vacuum piping 40 condenses, there is a possibility that the condensed water generated in the vacuum piping 40 flows into the pressure introduction path 92 and enters the pressure detection space 93 from the pressure introduction path 92 .
  • the opening 92a of the pressure introduction path 92 is oriented downward D rather than in the horizontal direction H. ing. That is, the detector 90 is arranged in the deaerator 1 so that the opening 92a of the pressure introduction path 92 faces downward D rather than in the horizontal direction H. The opening 92a of the pressure introduction path 92 is facing downward D rather than the horizontal direction H. This means that the opening 92a of the pressure introduction path 92 is not facing the horizontal direction H and is facing upward U than the horizontal direction H. It means that it is not suitable for you.
  • the opening 92a of the pressure introduction path 92 is oriented downward D rather than the horizontal direction H.
  • the central axis L of the pressure introduction path 92 from the pressure detection space 93 side to the opening 92a side is oriented in the horizontal direction H. It means facing downward D. Since the pressure introduction path 92 faces downward D rather than the horizontal direction H, that is, the center axis L of the pressure introduction path 92 that goes from the pressure detection space 93 side to the opening 92a side points downward D rather than the horizontal direction H. Due to the orientation, the liquid in the pressure introduction path 92 is discharged to the outside of the pressure introduction path 92 from the opening 92a along the pressure introduction path 92 due to gravity.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining the direction in which the opening 92a of the pressure introduction path 92 faces.
  • the direction in which the opening 92a of the pressure introduction path 92 faces is defined as a direction F
  • the inclination angle of the direction F on the downward D side with respect to the horizontal direction H is defined as an angle ⁇ .
  • the direction F is, for example, the direction in which the central axis L of the pressure introduction path 92 from the pressure detection space 93 side to the opening 92a side faces.
  • the angle ⁇ is greater than 0°.
  • the central axis L of the pressure introduction path 92 from the pressure detection space 93 side to the opening 92a side faces downward D at an angle greater than 0° with respect to the horizontal direction H. It means to be there. Since the angle ⁇ is larger than 0°, the liquid in the pressure introduction path 92 is discharged to the outside of the pressure introduction path 92 from the opening 92a along the pressure introduction path 92 due to gravity.
  • the opening 92a of the pressure introduction path 92 preferably faces downward D by 10 degrees or more with respect to the horizontal direction H. It is more preferable to face downward D by 45 degrees or more with respect to the direction H, even more preferably to face downward D by 80 degrees or more with respect to the horizontal direction H, and downward D by 89 degrees or more with respect to the horizontal direction H. It is particularly preferable that the Moreover, it is preferable that the central axis L of the pressure introduction path 92 extending from the pressure detection space 93 side to the opening 92a side faces downward D by 10 degrees or more with respect to the horizontal direction H, and 45 degrees with respect to the horizontal direction H.
  • the angle ⁇ is preferably 10° or more, more preferably 45° or more, even more preferably 80° or more, and particularly preferably 89° or more.
  • FIG. 6 shows, as an example, a case where the opening 92a of the pressure introduction path 92 faces downward D in the up-down direction UD (vertical direction), and the angle ⁇ is 90°.
  • the pressure detection element 94 of the detector 90 is arranged in the pressure detection space 93 that communicates with the vacuum piping 40 via the pressure introduction path 92, so The degree of pressure reduction in S2 can be detected. Since the opening 92a of the pressure introduction path 92 faces downward D rather than the horizontal direction H, dew condensation occurs in the pressure introduction path 92, and dew condensation water generated within the vacuum piping 40 flows into the pressure introduction path 92. Even if the dew condensation water comes out, the dew condensation water is easily discharged to the outside of the pressure introduction path 92 from the opening 92a due to gravity. Thereby, it is possible to suppress condensed water from coming into contact with the pressure detection element 94.
  • the leaked liquid is introduced into the pressure introduction path from the opening 92a due to gravity. It becomes easy to be discharged to the outside of the channel 92. Thereby, it is possible to suppress the leaked liquid from coming into contact with the pressure detection element 94.
  • the opening 92a of the pressure introduction path 92 faces downward D rather than the horizontal direction H. The liquid in the pressure detection space 93 is easily discharged from the opening 92a along the pressure introduction path 92 due to gravity. Thereby, it is possible to suppress the liquid from coming into contact with the pressure detection element 94.
  • the opening 92a of the pressure introduction path 92 is preferably 10° or more, more preferably 45° or more, still more preferably 80° or more, particularly preferably 89° or more with respect to the horizontal direction H.
  • the central axis L of the pressure introduction path 92 that goes from the pressure detection space 93 side to the opening 92a side is directed downward D rather than the horizontal direction H, so that liquid can be removed from the pressure introduction path 92. Easier to drain.
  • the pressure detection element 94 is arranged at a position overlapping the opening 92a when viewed from the extending direction E of the pressure introduction path 92, so that the detector 90 can be made smaller. At the same time, the degree of pressure reduction in the pressure reduction space S2 can be detected more efficiently.
  • the vacuum piping 40 is made of a resin composition containing polyolefin and a styrene thermoplastic elastomer, so that it has excellent solvent resistance, chemical resistance, and durability. be able to. Furthermore, gas permeability can be lowered, and the vacuum piping 40 can be prevented from coming off.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of another example of a detector.
  • the detector 90A shown in FIG. 8 has a connecting nozzle section 91A, a pressure introduction path 92A in which an opening 92Aa is formed at the tip of the connection nozzle section 91A and communicates with the vacuum piping 40, and a pressure introduction path 92A that communicates with the pressure introduction path 92A. It has a pressure detection space 93A and a pressure detection element 94A arranged in the pressure detection space 93A.
  • the pressure detection space 93A extends long in a direction perpendicular to the extending direction E of the pressure introducing path 92A, and the pressure detecting element 94A is an opening of the pressure detecting space 93A when viewed from the extending direction E of the pressure introducing path 92A. It is arranged at a position that does not overlap with 92Aa. Even in such a case, since the opening 92Aa of the pressure introduction path 92A faces downward D rather than the horizontal direction H, the liquid is more likely to be discharged from the opening 92Aa to the outside of the pressure detection space. It is possible to prevent liquid from coming into contact with the element 94A.
  • the vibration isolating member may not be attached directly to the housing and the ejection device, but may be attached to the housing and the ejection device via another member.
  • FIG. 9 is a schematic side view showing another example of a degassing device.
  • FIG. 10 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the vibration isolating member of the degassing device shown in FIG. 9 in an enlarged manner.
  • the vibration isolating member 103 is formed in a columnar shape such as a cylinder or a square column.
  • An upper plate 104 having a threaded groove 104a is connected to the upper end of the vibration isolating member 103, and a threaded groove 105a is connected to the lower end of the other side of the vibration isolating member 103.
  • a formed lower plate 105 is connected. Then, the screws 106 inserted into the through holes 52d of the fixing plate 52 are screwed into the thread grooves 104a of the upper plate 104, thereby fixing the upper plate 104 to the fixing plate 52, and are inserted into the through holes 2d of the bottom plate 2.
  • the lower plate 105 is fixed to the bottom plate 2 by screwing the screws 107 into the thread grooves 105a of the lower plate 105.
  • the vibration isolating member 103 is interposed between the bottom plate 2 of the housing 5 and the fixing plate 52 of the ejection device 50, and supports the ejection device 50 with respect to the bottom plate 2 of the housing 5.
  • FIG. 11 is a schematic side view showing another example of a deaerator.
  • the evacuation device 56 has the same pump 51 as in the above embodiment, but does not have a configuration corresponding to the fixed plate of the above embodiment.
  • the vibration isolating member 109 is attached to the pump 51 and the bottom plate 2 directly or indirectly.
  • the shape of the vibration isolating member 109 and the mounting structure of the vibration isolating member 109 to the pump 51 and the bottom plate 2 are, for example, the shape of the vibration isolating member 101 shown in FIG.
  • the structure, the shape of the vibration isolating member 103 shown in FIG. 10, the attachment structure of the vibration isolating member 103 to the fixed plate 52 and the bottom plate 2, etc. can be the same.
  • the present invention can be used as a degassing device for liquid chromatography, gas chromatography, biochemical analysis equipment, inkjet filling equipment, etc.
  • Discharge collecting section 47...Piping section, 48...Detection piping section, 50...Discharge device, 51...Pump, 52...Fixing plate, 52a...Top surface, 52b...Bottom surface, 52c...Through hole, 52d...Through hole, 53...Motor, 54...Intake Port, 55... Exhaust port, 56... Discharge device, 60... Atmospheric release piping, 61, 62, 63... Open piping section, 64... Open gathering section, 65... Piping, 66... End, 70... Atmospheric release valve, 71 ... Leg part, 75... Regulating valve, 76... Leg part, 80... Control part, 83... Pressure detection space, 90, 90A... Detector, 91...

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Abstract

脱気装置は、流体流通空間と減圧空間との間を仕切るガス透過性を有するチューブユニットを有する脱気モジュールと、脱気モジュールに接続されて脱気モジュールの減圧空間に連通される真空配管と、真空配管に接続されて減圧空間内の気体を外部に排出するように構成された排出装置と、真空配管に接続されて圧力を検出する検出器と、を備え、検出器は、真空配管に接続される接続ノズル部と、接続ノズル部の先端部に形成された開口から延びて真空配管に連通される圧力導入路と、圧力導入路に連通される圧力検出空間と、圧力検出空間に配置される圧力検出素子と、を有し、圧力導入路の開口は、水平方向よりも下方を向いている。

Description

脱気装置
　本発明は、脱気装置に関する。
　特許文献１には、液体クロマトグラフィ装置等に用いられる脱気装置が開示されている。
国際公開第２００７／０９４２４２号
　特許文献１に記載の脱気装置は、チューブユニットが設けられた脱気モジュール内の減圧空間と排出装置（ポンプ）とが真空配管により連通されており、排出装置を作動させることでチューブユニットを流通する液体を脱気するように構成されている。また、この脱気装置は、減圧空間の減圧度（圧力）をモニタリングする検出器（圧力検知部）を備えており、減圧空間の減圧度が所定値の範囲から逸脱したときに、排出装置のオン／オフを制御している。
　脱気装置に用いられる検出器は、一般的に、真空配管に接続される接続ノズル部と、接続ノズル部の先端部に形成された開口から延びて真空配管に連通される圧力導入路と、圧力導入路に連通される圧力検出空間と、圧力検出空間に配置されるダイアフラム等の圧力検出素子と、を備える。このため、接続ノズル部及び真空配管の内外の温度差により接続ノズル部内及び真空配管内が結露すると、この結露水が、圧力導入路から圧力検出空間に入り、圧力検出素子に接触する可能性がある。また、チューブユニットの劣化等によりチューブユニットから減圧空間に液体が漏出すると、排出装置の作動により、漏出した液体である漏出液体が、真空配管を伝って、圧力導入路から圧力検出空間に入り、圧力検出素子に接触する可能性がある。圧力検出素子に結露水及び漏出液体等の液体が接触すると、圧力検出素子が劣化したり故障したりすることで検出部に不具合が発生しやすい。
　そこで、本発明の一側面は、検出器の圧力検出素子に液体が接触することを抑制することができる脱気装置を提供することを目的とする。
　［１］　本発明の一側面に係る脱気装置は、流体流通空間と減圧空間との間を仕切るガス透過性を有するチューブユニットを有する脱気モジュールと、脱気モジュールに接続されて脱気モジュールの減圧空間に連通される真空配管と、真空配管に接続されて減圧空間内の気体を外部に排出するように構成された排出装置と、真空配管に接続されて圧力を検出する検出器と、を備え、検出器は、真空配管に接続される接続ノズル部と、接続ノズル部の先端部に形成された開口から延びて真空配管に連通される圧力導入路と、圧力導入路に連通される圧力検出空間と、圧力検出空間に配置される圧力検出素子と、を有し、圧力導入路の開口は、水平方向よりも下方を向いている。
　この脱気装置では、検出器の圧力検出素子が、圧力導入路を介して真空配管に連通される圧力検出空間に配置されているため、減圧空間の減圧度を検出することができる。そして、圧力導入路の開口が水平方向よりも下方を向いているため、圧力導入路で結露水（液体）が生じたり、真空配管内で生じた結露水が圧力導入路に流れてきたりしても、これらの結露水は、重力により開口から圧力導入路の外部に排出されやすくなる。これにより、圧力検出素子に結露水が接触することを抑制することができる。また、チューブユニットから減圧空間に漏出した漏出液体が、排出装置の作動により真空配管を伝って圧力導入路に流れてきても、この漏出液体は、重力により開口から圧力導入路の外部に排出されやすくなる。これにより、圧力検出素子に漏出液体が接触することを抑制することができる。
　［２］　［１］に記載の脱気装置において、圧力導入路の開口は、水平方向に対して１０°以上下方に向いていてもよい。この脱気装置では、圧力導入路の開口が水平方向に対して１０°以上下方に向いていることで、圧力導入路から液体をより一層排出しやすくなる。
　［３］　［１］又は［２］に記載の脱気装置において、圧力導入路は、直線状に延びていてもよい。この脱気装置では、圧力導入路が直線状に延びていることで、圧力導入路から液体をより一層排出しやすくなる。
　［４］　［１］～［３］の何れか一つに記載の脱気装置において、圧力検出空間側から開口側に向かう圧力導入路の中心軸線は、水平方向よりも下方を向いていてもよい。この脱気装置では、圧力検出空間側から開口側に向かう圧力導入路の中心軸線が水平方向よりも下方を向いていることで、圧力導入路から液体をより一層排出しやすくなる。
　［５］　［１］～［４］の何れか一つに記載の脱気装置において、圧力検出素子は、圧力導入路の延在方向から見て開口と重なる位置に配置されていてもよい。この脱気装置では、圧力検出素子が圧力導入路の延在方向から見て開口と重なる位置に配置されていることで、検出器の小型化を図ることができるとともに、減圧空間の圧力をより効率的に検出することができる。
　［６］　［１］～［５］の何れか一つに記載の脱気装置において、真空配管の少なくとも一部は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であってもよい。この脱気装置では、真空配管の少なくとも一部がポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であることで、耐溶剤性、耐薬品性、及び耐久性に優れるものとすることができる。また、気体透過性を低くすることができるとともに、真空配管の抜けを抑制することができる。
　本発明の一側面によれば、検出器の圧力検出素子に液体が接触することを抑制することができる。
図１は、本発明の一実施形態に係る脱気装置を示す模式的な概略平面図である。 図２は、図１に示す脱気装置の模式的な概略側面図である。 図３は、図１に示す脱気装置に搭載される脱気モジュールの一例を示す概略断面図である。 図４は、図３に示す脱気モジュールのコネクタ部の付近を拡大して示す拡大断面図である。 図５は、図１に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。 図６は、図１に示す検出器の模式的な概略断面図である。 図７は、圧力導入路の開口の向く方向を説明するための図である。 図８は、他の例の検出器の模式的な概略断面図である。 図９は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。 図１０は、図９に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。 図１１は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。
　以下、図面を参照して、実施形態の脱気装置について詳細に説明する。なお、全図中、同一または相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　図１は、一実施形態に係る脱気装置を示す模式的な概略平面図である。図２は、図１に示す脱気装置の模式的な概略側面図である。図１及び図２に示す脱気装置１は、例えば、液体クロマトグラフィ用の脱気装置であり、液体クロマトグラフィの検査対象となる流体に対して脱ガス処理を行う。脱気装置１は、ガスクロマトグラフィー、生化学分析装置、インクジェット充填装置等に用いてももちろんよい。図１及び図２に示すように、脱気装置１は、底板２、前板３及び後板４を有するハウジング５と、脱気モジュール１０，２０，３０と、真空配管４０と、排出装置５０と、大気開放配管６０と、大気開放弁７０と、調整弁７５と、制御部８０と、検出器９０と、を備えている。
　ハウジング５の底板２は、脱気装置１の底部を画定する。ハウジング５の前板３は、底板２から立設されて、脱気装置１の前部を画定する。ハウジング５の後板４は、前板３の後方において前板３と対向するように底板２から立設されて、脱気装置１の後部を画定する。脱気装置１において、脱気装置１が設置された状態における水平方向を水平方向Ｈといい、脱気装置１が設置された状態における上下方向を上下方向ＵＤといい、脱気装置１が設置された状態における上方を上方Ｕといい、脱気装置１が設置された状態における下方を下方Ｄという。水平方向Ｈは、例えば、底板２が延在する方向である。上下方向ＵＤは、例えば、底板２と直交する方向である。上方Ｕは、例えば、底板２に対して前板３及び後板４が立設する方向である。下方Ｄは、例えば、底板２に対して前板３及び後板４が立設する方向とは逆の方向である。
　脱気モジュール１０，２０，３０は、例えば図３に示す構成を有している。図３は、図１に示す脱気装置に搭載される脱気モジュールの一例を示す概略断面図である。図４は、図３に示す脱気モジュールのコネクタ部の付近を拡大して示す拡大断面図である。図３は、一例として、脱気モジュール１０の構成を示しているが、他の脱気モジュール２０及び３０も同様の構成である。図３及び図４に示すように、脱気モジュール１０は、内部に流体流通空間Ｓ１を画定する複数のチューブ１１が両端部において結束されたチューブユニット１２と、チューブユニット１２を収容するハウジング１３と、ハウジング１３の開口部１３ａを気密密封する蓋部１４と、蓋部１４を貫通するチューブユニット１２を接続固定するコネクタ部１５及びコネクタ部１６と、ハウジング１３から突出する排出ノズル部１７及び開放ノズル部１８と、を備えている。排出ノズル部１７には、減圧空間Ｓ２に連通している排出口１７ａが形成されており、開放ノズル部１８には、減圧空間Ｓ２に連通している開放口１８ａが形成されている。
　脱気モジュール１０は、ガス透過性を有するガス透過膜であるチューブユニット１２により、ハウジング１３内が、チューブユニット１２のチューブ１１のそれぞれの内部空間である流体流通空間Ｓ１と、チューブユニット１２の外側の空間である減圧空間Ｓ２と、に仕切られている。流体流通空間Ｓ１は、液体が供給される領域であり、チューブユニット１２の流入口１２ａから導入された液体を排出口１２ｂまで供給する。減圧空間Ｓ２は、内部の気体が吸気される領域である。そして、脱気モジュール１０では、複数のチューブ１１のそれぞれの内部空間である流体流通空間Ｓ１に液体が供給されるとともに、複数のチューブ１１の外側の減圧空間Ｓ２から吸気されることで、チューブユニット１２に供給された液体を脱気する。
　チューブユニット１２を構成する各チューブ１１は、気体を透過するが液体を透過しないチューブ状の膜（ガス透過膜）である（図４を参照）。チューブ１１の素材、膜形状、膜形態等は、特に制限されない。チューブ１１の素材としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン－エチレン共重合体（エチレン共重合樹脂）（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、アモルファスフロロポリマ（非晶性弗素樹脂；ＡＦ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等のフッ素樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリメチルペンテン（ＰＭＰ）、シリコン、ポリイミド、ポリアミドが挙げられる。アモルファスフロロポリマとしては、例えば、テフロン（登録商標）ＡＦが挙げられる。
　脱気装置１には、このような脱気モジュール１０，２０，３０が３つ配置されているが、１つの脱気モジュールが配置されていてもよいし、２つの脱気モジュールが配置されていてもよいし、４つ以上の脱気モジュールが配置されていてもよい。
　図１及び図２に示すように、真空配管４０は、各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出するための部材である。真空配管４０は、吸引管部４１と、排出管部４２と、を備える。
　吸引管部４１は、脱気モジュール１０，２０，３０と接続されて、脱気モジュール１０，２０，３０の各減圧空間Ｓ２に連通されている。吸引管部４１は、脱気モジュール１０，２０，３０の各排出ノズル部１７に連なる排出配管部４３，４４，４５と、排出配管部４３，４４，４５を集合させる排出集合部４６と、排出集合部４６を排出装置５０に繋げる配管部４７と、排出集合部４６を検出器９０に連通させる検出配管部４８と、を有している。検出器９０は、後述するように、脱気モジュール１０，２０，３０の各減圧空間Ｓ２内の減圧度（圧力）を検出する気圧センサであり、例えば、制御部８０に設けられている。
　排出管部４２は、排出装置５０から送り出された気体を脱気装置１の外部に排出するために、排出装置５０に接続されている。排出管部４２の排出装置５０とは反対側の端部は、前板３に取り付けられて、前板３の前方の脱気装置１の外側に開放されている。
　真空配管４０を構成する吸引管部４１（排出配管部４３，４４，４５、排出集合部４６、配管部４７、及び検出配管部４８）及び排出管部４２の少なくとも一部は、例えば樹脂系のチューブから構成されている。真空配管４０のすべて又は略すべて（例えば連結部分を除く）の構成部材が樹脂系のチューブから構成されていてもよい。つまり、複数のチューブを連結部材等を使って連結して真空配管４０を構成してもよい。このようなチューブは、液体クロマトグラフィの使用溶媒に耐性があり、例えば、そのゴム硬度が好ましくは７０±３０度の範囲内であり、及び、その酸素透過性が６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下である配管から構成される。前記ゴム硬度は、好ましくは７０±３０度の範囲内であるが、連結部分での緩みや外れを防止する適切な可撓性と、チューブの変形、潰れ、閉塞を抑制する適切な耐久性を両立する観点から、その下限値が、５０度以上であることがより好ましく、５５度以上であることがさらに好ましくは、６０度以上であることが特に好ましく、そして、上限値が、９５度以下であることがより好ましく、８０度以下であることがさらに好ましく、７５度以下の範囲であることが特に好ましい。ただし、ゴム硬度はショアＡを表し、例えば、ＪＩＳ　Ｋ７３１２（１９９６）に準拠した方法でデュロメータ（タイプＡ）で測定することができる。また、前記酸素透過性は、耐久性に優れる観点から、好ましくは６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下であるが、より好ましくは３０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下、さらに好ましくは１０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下、特に好ましくは５００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下であり、そして、好ましくは０．１ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以上、より好ましくは１０ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以上であってよい。ただし、酸素透過性は酸素透過速度を意味し、例えば、ＡＳＴＭ　Ｄ　１４３４圧力法に準拠した方法で測定することができる。
　真空配管４０を構成するチューブの材質は、上述した性質を有するものであれば特に限定されないが、例えば、塩化ビニル、シリコーンゴム；ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１１、ナイロン１２などのポリアミド（ナイロン）；ポリウレタン；低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレンなどのポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン；ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＰＴＦＥなどのフッ素樹脂；ポリエステル系熱可塑性エラストマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマーなどの熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いることができる。真空配管４０を構成するチューブの材質としては、上述した材質のうち、ポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物がより好ましいものとして挙げられ、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物がさらに好ましいものとして挙げられる。
　真空配管４０は、上述したポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物で構成されることで、耐溶剤性に優れるだけでなく、気体透過性を低くすることができる。また、真空配管４０は、上述したポリオレフィン及び熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物で構成されることで、適切な可撓性を有しており、脱気動作時の排出集合部４６の連結部分での緩みや外れを防止しつつ、またチューブの変形、潰れ、閉塞を抑制することもできることから、耐久性にも優れる。さらに、本実施形態に係る脱気装置１は、複数の脱気モジュールを備え、真空配管４０と脱気モジュール１０，２０，３０との連結部や排出集合部４６の他の部分との連結部など多くの連結構成を備えているが、かかる可撓性や耐久性を備えるチューブから構成されることで、脱気装置としての長期信頼性を向上することもできる。
　なお、真空配管４０に用いられるスチレン系熱可塑性エラストマーとは、少なくとも１つのスチレンブロック（ハードセグメント）と少なくとも１つのエラストマーブロックとを有する共重合体である。エラストマーブロックとしては、ビニル－ポリジエン、ポリイソプレン、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリクロロプレンまたはポリ２，３－ジメチルブタジエンなどを好ましくは用いることができる。エラストマーブロックは、水素添加したものを用いることもできる。エラストマーブロックが水素添加されていると、耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより良好となる傾向があり好ましい。スチレン系熱可塑性エラストマーの具体例としては、スチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン－イソブチレンジブロック共重合体（ＳＩＢ）、スチレン－ブタジエン－スチレントリブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン－エチレン・ブテン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレン－エチレン・プロピレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＰＳ）、スチレン－エチレン・エチレン・プロピレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＥＥＰＳ）、スチレン－ブタジエン・ブチレン－スチレントリブロック共重合体（ＳＢＢＳ）などが挙げられる。スチレン系熱可塑性エラストマーは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。なかでも耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより優れることから、スチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体を用いることが好ましい。このようなスチレン－ビニルイソプレン－スチレントリブロック共重合体の好適な例としては、クレイトン社製の「ＦＧ１９０１　Ｇ　Ｐｏｌｙｍｅｒ」、「ＦＧ１９２４　Ｇ　Ｐｏｌｙｍｅｒ」、（株）クラレ製のハイブラー５１２７などが挙げられる。また、ビニルイソプレンブロックを水素添加した、（株）クラレ製のハイブラー７３１１も好適に使用することができる。
　スチレン系熱可塑性エラストマー中のスチレンブロックの含有率（スチレン含有率）の範囲は、その下限値が、スチレンブロックとエラストマーブロックの合計に対し、好ましくは１質量％であり、より好ましくは５質量％であり、さらに好ましくは１０質量％であり、当該範囲で、より良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。一方、その上限値は、スチレンブロックとエラストマーブロックの合計に対し、好ましくは３０質量％であり、より好ましくは２０質量％であり、当該範囲で、耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能がより優れる傾向がある。
　ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物におけるスチレン系熱可塑性エラストマーの含有量の範囲は、その下限値が、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーの合計に対し、好ましくは３質量％であり、より好ましくは５質量％であり、さらに好ましくは１０質量％であり、当該範囲で良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。一方、その上限値は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーの合計に対し、好ましくは３０質量％であり、より好ましくは２５質量％であり、さらに好ましくは２０質量％であり、当該範囲で、良好な耐溶剤（耐溶媒）、耐薬品性能が得られる傾向がある。
　なお、排出集合部４６において、各チューブを相互に連結する連結部分は、硬質プラスチック（ポリプロピレン）等から構成されていてもよい。
　排出装置５０は、真空配管４０の吸引管部４１と排出管部４２とに接続されており、吸引管部４１から排出管部４２に気体を送り出すように構成されている。排出装置５０は、吸引管部４１を介して脱気モジュール１０，２０，３０の各減圧空間Ｓ２に連通されており、制御部８０からの制御指示に基づいて、各減圧空間Ｓ２内の気体を排出管部４２から外部に排出する。排出装置５０は、例えば、ポンプ５１、ポンプ５１が固定された固定板５２等を含んで構成されている。ポンプ５１は、固定板５２の上面５２ａ（底板２とは反対側の面）に固定されている。このため、固定板５２の下面５２ｂ（底板２側の面）が、排出装置５０の最下面（最も底板２側の面）となっている。ポンプ５１は、各減圧空間Ｓ２内の気体を外部に排出するためのモータ５３と、各減圧空間Ｓ２内の気体を吸い込むために吸引管部４１の配管部４７が接続された吸気口５４と、吸い込んだ気体を脱気装置１の外部に排出するために排出管部４２が接続された排気口５５と、を備える。そして、ポンプ５１は、制御部８０からの制御指示に基づいてモータ５３が回転駆動することで、各減圧空間Ｓ２内の気体を配管部４７から排出管部４２に送り出して排出管部４２から外部に排出する。ポンプ５１としては、例えば、ダイアフラム型ドライ真空ポンプ等のダイヤフラムポンプが用いられる。ダイヤフラムポンプは、モータを回転駆動することにより隔膜（ダイアフラム）を上下動させ、この隔膜の上下動により吸気口から排気口に気体を移動させる真空ポンプである。固定板５２としては、例えば、矩形の金属プレート等が用いられる。
　図１及び図２に示すように、排出装置５０は、４つの防振部材１０１を介してハウジング５の底板２に支持されている。４つの防振部材１０１は、同じ構成であるため、特に分けて説明する場合を除き、防振部材１０１として纏めて説明する。防振部材１０１は、振動を減衰して振動が伝達されるのを抑制するための部材である。防振部材１０１は、底板２と排出装置５０（固定板５２）との間に介在して、底板２に対して排出装置５０を支持している。４つの防振部材１０１は、平面視における固定板５２の四隅に配置されて、固定板５２の四隅において排出装置５０（固定板５２）を支持している。排出装置５０は、防振部材１０１により、底板２の上面２ａ（排出装置５０側の面）から所定の高さに配置されている。
　防振部材１０１は、例えば図５に示す構成を有している。図５は、図１に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。図５に示すように、防振部材１０１は、底板２と固定板５２との間に介在して、底板２に対して固定板５２を支持している。防振部材１０１は、固定板５２の貫通穴５２ｃに挿入された首部１０１ａと、首部１０１ａから固定板５２の上面５２ａ側に延びて拡径された上拡径部１０１ｂと、首部１０１ａから固定板５２の下面５２ｂ側に延びて拡径された下拡径部１０１ｃと、首部１０１ａ、上拡径部１０１ｂ、及び下拡径部１０１ｃを貫通する貫通穴１０１ｄと、を有する。上拡径部１０１ｂ及び下拡径部１０１ｃは、固定板５２の貫通穴５２ｃを通過しないように、固定板５２の貫通穴５２ｃの穴径よりも大径となっている。そして、ネジ１０２が、固定板５２の上面５２ａ側から防振部材１０１の貫通穴１０１ｄに挿入されて、底板２のネジ穴２ｃにねじ込まれている。これにより、上拡径部１０１ｂ及び下拡径部１０１ｃが上面５２ａ側及び下面５２ｂ側から固定板５２を挟み込んで、下拡径部１０１ｃが底板２に押圧された状態となって、排出装置５０が防振部材１０１を介して底板２に支持された状態となっている。なお、下拡径部１０１ｃが固定板５２と底板２との間のスペーサーとなることで、固定板５２が底板２から所定高さとなるように配置されている。
　図１及び図２に示すように、大気開放配管６０は、脱気モジュール１０，２０，３０の各減圧空間Ｓ２に連通され、各減圧空間Ｓ２を大気開放弁７０に繋げるための部材である。大気開放配管６０は、脱気モジュール１０，２０，３０の各開放口１８ａに連なる開放配管部６１，６２，６３と、開放配管部６１，６２，６３を集合させる開放集合部６４と、開放集合部６４を大気開放弁７０に繋げる配管６５と、を有している。大気開放配管６０の開放集合部６４の配管６５と逆側の端部６６は閉じられている。大気開放配管６０は、真空配管４０と同様の材料、例えば、樹脂系のチューブから構成されている。より具体的には、大気開放配管６０を構成する開放配管部６１，６２，６３、開放集合部６４及び配管６５の少なくとも一部は、例えば上述したような樹脂系のチューブから構成されている。大気開放配管６０のすべて又は略すべて（例えば連結部分を除く）の構成部材が樹脂系のチューブから構成されていてもよい。つまり、複数の樹脂チューブを連結部材等を使って連結して大気開放配管６０を構成してもよい。このような樹脂チューブは、液体クロマトグラフィの使用溶媒に耐性があり、そのゴム硬度が７０±３０度の範囲であり、且つ、その酸素透過性が６０００ｃｃ（ＳＴＰ）ｃｍ／ｃｍ２／ｓｅｃ／ｃｍＨｇ×１０－１０以下である配管から構成されている。なお、開放集合部６４の連結部分は、排出集合部４６の連結部分と同様に、硬質プラスチック（例えば、ポリプロピレン）等から構成されていてもよい。
　大気開放弁７０は、大気開放配管６０の一端に連通され、制御部８０からの制御指示に基づいて、大気開放配管６０を介して脱気モジュール１０，２０，３０の各減圧空間Ｓ２に一気に大気を導入可能な電磁弁である。大気開放弁７０は、例えば、脱気モジュール１０，２０，３０での脱ガス処理が終了すると、制御部８０からの制御指示に基づいて、電磁弁を５秒以内で閉状態（ＣＬＯＳＥ）から開状態（ＯＰＥＮ）に開放し、各減圧空間Ｓ２(例えば１Ｌの容器)を１分以内に大気開放する。
　調整弁７５は、脱気モジュール１０，２０，３０と排出装置５０との間に配置され、減圧空間Ｓ２の減圧度を調整するための電磁弁である。調整弁７５は、排出装置５０による減圧空間Ｓ２の減圧処理を行っている場合には弁を開放し、一方、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲内となった場合に、制御部８０からの制御指示に基づいて弁を閉める。この際、排出装置５０は、その排出動作を停止することができる。その後、一方、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲外となった場合に、制御部８０からの制御指示に基づいて弁を開ける。大気開放弁７０及び調整弁７５のいずれも複数の脚部７１及び複数の脚部７６により、ハウジング５の底板２から所定の高さとなるように嵩上げされている。
　制御部８０は、排出装置５０のポンプ５１の作動及び作動の停止を制御する。また、制御部８０は、制御部８０は、減圧空間Ｓ２の減圧度を検出する検出器９０を有し、検出した減圧度に基づいて、排出装置５０及び調整弁７５の動作を制御する。この制御では、検出器９０で検出される減圧度が所定の値となるように排出装置５０による大気の排出を行うと共に、減圧空間Ｓ２の減圧度が所定の範囲内になった場合には、調整弁７５を閉めると共に排出装置５０の動作を停止する。調整弁７５を閉めた後に検出器９０で検出した減圧度が所定の範囲外となった場合には、制御部８０は、排出装置５０を再度、可動させて排出処理を行う。
　一方、制御部８０は、脱気モジュール１０，２０，３０により脱ガス処理が終了すると、外部等からの停止指示に基づいて、排出装置５０及び大気開放弁７０の動作を制御する。この制御では、脱気処理を終了した後に大気開放弁７０を開放して各減圧空間Ｓ２を一気に大気開放する。脱気処理を終了した後に、排出装置５０による気体の排出動作を所定時間（例えば数秒）継続させつつ、大気開放弁７０を開放して各減圧空間Ｓ２を一気に大気開放するように制御してもよい。
　図６は、図１に示す検出器の模式的な概略断面図である。図６に示すように、検出器９０は、真空配管４０の検出配管部４８と接続される接続ノズル部９１と、接続ノズル部９１の先端部に開口９２ａが形成されて真空配管４０に連通される圧力導入路９２と、圧力導入路９２に連通される圧力検出空間９３と、圧力検出空間９３に配置される圧力検出素子９４と、を有する。
　接続ノズル部９１は、検出配管部４８に圧入されることで、検出配管部４８と接続される。接続ノズル部９１は、円柱状、円錐状等の、検出配管部４８に圧入しやすく検出配管部４８との間を気密に保持しやすい形状に形成されている。
　圧力導入路９２は、真空配管４０を圧力検出空間８３に連通させて、圧力を真空配管４０から圧力検出空間９３に伝える空間である。圧力導入路９２は、開口９２ａにより真空配管４０側に開放されている。圧力導入路９２は、接続ノズル部９１の先端部に形成された開口９２ａから、接続ノズル部９１に沿って直線状に延びている。圧力導入路９２が延びる方向を延在方向Ｅという。圧力導入路９２の延在方向Ｅは、例えば、接続ノズル部９１の延在方向と同じである。圧力導入路９２の内径は、圧力導入路９２の延在方向Ｅで異なっていてもよいが、圧力を真空配管４０から圧力検出空間９３に効率的に伝えるとともに容易に製造することができる観点から、圧力導入路９２の延在方向Ｅにおける全域において同じであることが好ましい。
　圧力検出空間９３は、圧力導入路９２の開口９２ａとは反対側に隣接される空間である。圧力検出空間９３は、圧力導入路９２の開口９２ａとは反対側に隣接されていれば、圧力導入路９２と明確に区別されていなくてもよく、また、如何なる形状であってもよい。例えば、検出器９０に、接続ノズル部９１の先端部に形成された開口９２ａから円柱状に延びる円柱空間が形成されている場合、この円柱空間のうちの開口９２ａから続く一部の空間が圧力導入路９２であり、この円柱空間のうちの残りの空間が圧力検出空間９３であってもよい。また、検出器９０に、接続ノズル部９１の先端部に形成された開口９２ａから円柱状に延びる円柱空間が形成され、この円柱空間の開口９２ａとは反対側に延在方向Ｅと直交する方向に広がる拡径空間が形成されている場合、この円柱空間が圧力導入路９２であり、この拡径空間が圧力検出空間９３であってもよい。なお、圧力検出空間９３は、圧力検出素子９４が配置されるため、検出器９０の接続ノズル部９１以外の広い部分に形成されていることが好ましいが、圧力検出素子９４が小形であれば、接続ノズル部９１に形成されていてもよい。
　圧力検出素子９４は、ダイアフラム等の圧力を検出するための素子である。圧力検出素子９４は、例えば、ダイアフラムの受圧面が圧力検出空間９３に露出されるように配置されている。そして、圧力検出素子９４は、ダイアフラムの歪み量を電気的に検出することで、圧力検出空間９３の圧力、即ち、圧力検出空間９３に連通される脱気モジュール１０，２０，３０の各減圧空間Ｓ２の減圧度を検出する。圧力検出素子９４は、例えば、圧力導入路９２の延在方向Ｅから見て開口９２ａと重なる位置に配置されている。つまり、圧力検出素子９４は、開口９２ａから見える位置に配置されている。圧力検出素子９４には、圧力検出素子９４の検出値を圧力情報に変換して制御部８０に出力する出力装置９５が接続されている。
　ところで、脱気装置１の設置環境によっては、検出器９０及び真空配管４０の内外に温度差が生じて、圧力導入路９２及び真空配管４０内が結露することがある。圧力導入路９２が結露すると、圧力導入路９２で生じた結露水が圧力導入路９２から圧力検出空間９３に入る可能性がある。真空配管４０が結露すると、真空配管４０で生じた結露水が、圧力導入路９２に流れて行き、圧力導入路９２から圧力検出空間９３に入る可能性がある。また、チューブユニットの劣化等によりチューブユニットから減圧空間に液体が漏出すると、排出装置の作動により、漏出した液体である漏出液体が真空配管４０から圧力導入路９２に流れて行き、圧力導入路９２から圧力検出空間９３に入る可能性がある。
　そこで、このような結露水及び漏出液体等の液体が圧力導入路９２から圧力検出空間９３に入るのを抑制するために、圧力導入路９２の開口９２ａは、水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いている。つまり、検出器９０は、圧力導入路９２の開口９２ａが水平方向Ｈよりも下方Ｄを向くように、脱気装置１において配置されている。圧力導入路９２の開口９２ａが水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いているとは、圧力導入路９２の開口９２ａが、水平方向Ｈを向いておらず、かつ、水平方向Ｈよりも上方Ｕを向いていないことをいう。また、圧力導入路９２の開口９２ａが水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いているとは、例えば、圧力検出空間９３側から開口９２ａ側に向かう圧力導入路９２の中心軸線Ｌが、水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いていることをいう。圧力導入路９２が水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いていることで、つまり、圧力検出空間９３側から開口９２ａ側に向かう圧力導入路９２の中心軸線Ｌが、水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いていることで、圧力導入路９２にある液体は、重力により、圧力導入路９２を伝って開口９２ａから圧力導入路９２の外部に排出される。
　図７は、圧力導入路９２の開口９２ａの向く方向を説明するための図である。図６及び図７に示すように、圧力導入路９２の開口９２ａの向く方向を方向Ｆとし、方向Ｆの水平方向Ｈに対する下方Ｄ側の傾斜角度を角度θとする。方向Ｆは、例えば、圧力検出空間９３側から開口９２ａ側に向かう圧力導入路９２の中心軸線Ｌが向く方向である。この場合、角度θは、０°より大きい。角度θが０°より大きいとは、例えば、圧力検出空間９３側から開口９２ａ側に向かう圧力導入路９２の中心軸線Ｌが、水平方向Ｈに対して０°より大きい角度で下方Ｄを向いていることをいう。角度θが０°より大きいことで、圧力導入路９２にある液体は、重力により、圧力導入路９２を伝って開口９２ａから圧力導入路９２の外部に排出される。
　圧力導入路９２内の液体を開口９２ａからより一層排出することができる観点から、圧力導入路９２の開口９２ａは、水平方向Ｈに対して１０°以上下方Ｄを向いていることが好ましく、水平方向Ｈに対して４５°以上下方Ｄを向いていることがより好ましく、水平方向Ｈに対して８０°以上下方Ｄを向いていることが更に好ましく、水平方向Ｈに対して８９°以上下方Ｄを向いていることが特に好ましい。また、圧力検出空間９３側から開口９２ａ側に向かう圧力導入路９２の中心軸線Ｌは、水平方向Ｈに対して１０°以上下方Ｄを向いていることが好ましく、水平方向Ｈに対して４５°以上下方Ｄを向いていることがより好ましく、水平方向Ｈに対して８０°以上下方Ｄを向いていることが更に好ましく、水平方向Ｈに対して８９°以上下方Ｄを向いていることが特に好ましい。また、角度θは、１０°以上であることが好ましく、４５°以上であることがより好ましく、８０°以上であることが更に好ましく、８９°以上であることが特に好ましい。なお、図６では、一例として、圧力導入路９２の開口９２ａが上下方向ＵＤ（鉛直方向）における下方Ｄを向いている場合であって、角度θが９０°である場合を示している。
　以上、本実施形態に係る脱気装置１では、検出器９０の圧力検出素子９４が、圧力導入路９２を介して真空配管４０に連通される圧力検出空間９３に配置されているため、減圧空間Ｓ２の減圧度を検出することができる。そして、圧力導入路９２の開口９２ａが水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いているため、圧力導入路９２で結露水が生じたり、真空配管４０内で生じた結露水が圧力導入路９２に流れてきたりしても、これらの結露水は、重力により開口９２ａから圧力導入路９２の外部に排出されやすくなる。これにより、圧力検出素子９４に結露水が接触することを抑制することができる。また、チューブユニット１２から減圧空間Ｓに漏出した漏出液体が、排出装置５０の作動により真空配管４０を伝って圧力導入路９２に流れてきても、この漏出液体は、重力により開口９２ａから圧力導入路９２の外部に排出されやすくなる。これにより、圧力検出素子９４に漏出液体が接触することを抑制することができる。仮に、圧力導入路９２から圧力検出空間９３に液体が入ったり、圧力検出空間９３が結露したりしても、圧力導入路９２の開口９２ａが水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いていることで、圧力検出空間９３にある液体は、重力により圧力導入路９２を伝って開口９２ａから排出されやすくなる。これにより、圧力検出素子９４に液体が接触することを抑制することができる。
　また、この脱気装置１では、圧力導入路９２の開口９２ａが水平方向Ｈに対して、好ましくは１０°以上、より好ましくは４５°以上、更に好ましくは８０°以上、特に好ましくは８９°以上下方Ｄに向いていることで、圧力導入路９２から液体をより一層排出しやすくなる。
　また、この脱気装置１では、圧力導入路９２が直線状に延びていることで、圧力導入路９２から液体をより一層排出しやすくなる。
　また、この脱気装置１では、圧力検出空間９３側から開口９２ａ側に向かう圧力導入路９２の中心軸線Ｌが水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いていることで、圧力導入路９２から液体をより一層排出しやすくなる。
　また、この脱気装置１では、圧力検出素子９４が圧力導入路９２の延在方向Ｅから見て開口９２ａと重なる位置に配置されていることで、検出器９０の小型化を図ることができるとともに、減圧空間Ｓ２の減圧度をより効率的に検出することができる。
　また、この脱気装置１では、真空配管４０の少なくとも一部がポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物であることで、耐溶剤性、耐薬品性、及び耐久性に優れるものとすることができる。また、気体透過性を低くすることができるとともに、真空配管４０の抜けを抑制することができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜、変更または修正することが可能である。
　例えば、図８に示す検出器９０Ａのように、圧力検出素子は、圧力導入路の延在方向から見て開口と重ならない位置に配置されていてもよい。図８は、他の例の検出器の模式的な概略断面図である。図８に示す検出器９０Ａは、接続ノズル部９１Ａと、接続ノズル部９１Ａの先端部に開口９２Ａａが形成されて真空配管４０に連通される圧力導入路９２Ａと、圧力導入路９２Ａに連通される圧力検出空間９３Ａと、圧力検出空間９３Ａに配置される圧力検出素子９４Ａと、を有する。圧力検出空間９３Ａは、圧力導入路９２Ａの延在方向Ｅと直交する方向に長く延びており、圧力検出素子９４Ａは、圧力検出空間９３Ａの、圧力導入路９２Ａの延在方向Ｅから見て開口９２Ａａと重ならない位置に配置されている。このような場合であっても、圧力導入路９２Ａの開口９２Ａａが水平方向Ｈよりも下方Ｄを向いていることで、液体が開口９２Ａａから圧力検出空間の外部に排出されやすくなるため、圧力検出素子９４Ａに液体が接触することを抑制することができる。
　また、例えば、防振部材は、ハウジング及び排出装置に直接的に取り付けられるものではなく、他の部材を介してハウジング及び排出装置に取り付けられるものであってもよい。図９は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。図１０は、図９に示す脱気装置の防振部材の付近を拡大して示す拡大断面図である。図９及び図１０に示す脱気装置１Ｂでは、防振部材１０３は、円柱、角柱等の柱状に形成されている。防振部材１０３の一方側の先端である上端には、ネジ溝１０４ａが形成された上部プレート１０４が接続されており、防振部材１０３の他方側の先端である下端には、ネジ溝１０５ａが形成された下部プレート１０５が接続されている。そして、固定板５２の貫通穴５２ｄに挿入されたネジ１０６が上部プレート１０４のネジ溝１０４ａにねじ込まれることで、固定板５２に上部プレート１０４が固定されており、底板２の貫通穴２ｄに挿入されたネジ１０７が下部プレート１０５のネジ溝１０５ａにねじ込まれることで、底板２に下部プレート１０５が固定されている。これにより、防振部材１０３は、ハウジング５の底板２と排出装置５０の固定板５２との間に介在して、ハウジング５の底板２に対して排出装置５０を支持した状態となっている。
　また、例えば、防振部材は、排出装置の固定板に取り付けられるのではなく、排出装置のポンプに取り付けられるものであってもよい。図１１は、他の例の脱気装置を示す模式的な概略側面図である。図１１に示す脱気装置１Ｃでは、排出装置５６は、上記実施形態と同様のポンプ５１を有するが、上記実施形態の固定板に対応する構成を有しない。そして、防振部材１０９は、直接的又は間接的にポンプ５１と底板２とに取り付けられている。防振部材１０９の形状、及びポンプ５１及び底板２に対する防振部材１０９の取付構造は、例えば、図５に示す防振部材１０１の形状、及び固定板５２及び底板２に対する防振部材１０１の取付構造、図１０に示す防振部材１０３の形状、及び固定板５２及び底板２に対する防振部材１０３の取付構造等と同様とすることができる。
　本発明は、液体クロマトグラフィ、ガスクロマトグラフィー、生化学分析装置、インクジェット充填装置等に用いる脱気装置として利用可能である。
　１，１Ｂ，１Ｃ…脱気装置、２…底板、２ａ…上面、２ｃ…ネジ穴、２ｄ…貫通穴、３…前板、４…後板、５…ハウジング、１０，２０，３０…脱気モジュール、１１…チューブ、１２…チューブユニット、１２ａ…流入口、１２ｂ…排出口、１３…ハウジング、１３ａ…開口部、１４…蓋部、１５…コネクタ部、１６…コネクタ部、１７…排出ノズル部、１７ａ…排出口、１８…開放ノズル部、１８ａ…開放口、４０…真空配管、４１…吸引管部、４２…排出管部、４３，４４，４５…排出配管部、４６…排出集合部、４７…配管部、４８…検出配管部、５０…排出装置、５１…ポンプ、５２…固定板、５２ａ…上面、５２ｂ…下面、５２ｃ…貫通穴、５２ｄ…貫通穴、５３…モータ、５４…吸気口、５５…排気口、５６…排出装置、６０…大気開放配管、６１，６２，６３…開放配管部、６４…開放集合部、６５…配管、６６…端部、７０…大気開放弁、７１…脚部、７５…調整弁、７６…脚部、８０…制御部、８３…圧力検出空間、９０，９０Ａ…検出器、９１…接続ノズル部、９２…圧力導入路、９２ａ…開口、９３，９３Ａ…圧力検出空間、９４，９４Ａ…圧力検出素子、９５…出力装置、１０１…防振部材、１０１ａ…首部、１０１ｂ…上拡径部、１０１ｃ…下拡径部、１０１ｄ…貫通穴、１０２…ネジ、１０３…防振部材、１０４…上部プレート、１０４ａ…ネジ溝、１０５…下部プレート、１０５ａ…ネジ溝、１０６…ネジ、１０７…ネジ、１０９…防振部材、Ｓ１…流体流通空間、Ｓ２…減圧空間、ＵＤ…上下方向、Ｕ…上方、Ｄ…下方、Ｈ…水平方向、Ｅ…延在方向、Ｆ…方向、Ｌ…中心軸線、θ…角度。

Claims (6)

  1. 　流体流通空間と減圧空間との間を仕切るガス透過性を有するチューブユニットを有する脱気モジュールと、
    　前記脱気モジュールに接続されて前記脱気モジュールの前記減圧空間に連通される真空配管と、
    　前記真空配管に接続されて前記減圧空間内の気体を外部に排出するように構成された排出装置と、
    　前記真空配管に接続されて圧力を検出する検出器と、を備え、
    　前記検出器は、
    　　前記真空配管に接続される接続ノズル部と、
    　　前記接続ノズル部の先端部に形成された開口から延びて前記真空配管に連通される圧力導入路と、
    　　前記圧力導入路に連通される圧力検出空間と、
    　　前記圧力検出空間に配置される圧力検出素子と、を有し、
    　前記圧力導入路の前記開口は、水平方向よりも下方を向いている、
    脱気装置。
  2. 　前記圧力導入路の前記開口は、前記水平方向に対して１０°以上下方に向いている、
    請求項１に記載の脱気装置。
  3. 　前記圧力導入路は、直線状に延びている、
    請求項１又は２に記載の脱気装置。
  4. 　前記圧力検出空間側から前記開口側に向かう前記圧力導入路の中心軸線は、前記水平方向よりも下方を向いている、
    請求項１～３の何れか一項に記載の脱気装置。
  5. 　前記圧力検出素子は、前記圧力導入路の延在方向から見て前記開口と重なる位置に配置されている、
    請求項１～４の何れか一項に記載の脱気装置。
  6. 　前記真空配管の少なくとも一部は、ポリオレフィン及びスチレン系熱可塑性エラストマーを含む樹脂組成物である、
    請求項１～５の何れか一項に記載の脱気装置。
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