JP4105716B2 - 脱気装置及び脱気方法 - Google Patents
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このような脱気装置の例としては、例えば、図3に示すものが存在する。
この脱気装置の構成は、フッ素樹脂製の気体透過性チューブからなる脱気エレメント(A)を接合部材(B)により真空チャンバー(C)内部に接続固定してなるものであり、脱気処理される液は継ぎ手(D)を介して脱気装置に接続されたフッ素樹脂製チューブから供給される。
このような脱気装置の運転方法としては、吸引口(E)に接続された真空ポンプ等の減圧装置により真空チャンバー(C)内を減圧した状態で、フッ素樹脂製チューブ内に処理液を加圧送液する方法が一般的である。
一方、処理液の供給量が多い場合でも高い脱気効率を得ることができる脱気装置として、図4に示すような複数の嵌合部を有する接合部材(B)を真空チャンバー(C)に固定し、複数の脱気エレメント(A)を各嵌合部にそれぞれ取り付けた脱気装置も使用されている。
この脱気装置によれば、1台の装置で多量の処理液を効率良く脱気処理することができるものの、以下に述べるような課題が存在していた。
また、高粘度の液体を脱気処理する場合には、チューブ径を太くしたり、チューブ長さを短くしたり、チューブ本数を増やしたりする必要があるが、これらの変更を柔軟且つ容易に行うことができなかった。
請求項2に係る発明は、単独の液入口と並列に接続された液入口に供給する処理液が異なった種類のものであることを特徴とする請求項1記載の脱気装置に関する。
図1は本発明に係る脱気装置の基本構成を説明するための参考例を示す断面図である。
図1に示した参考例の脱気装置(1)は、1つの真空チャンバー(2)と該真空チャンバー(2)内に配設される2つ以上の脱気エレメント(3)から構成される。
本発明に係る脱気装置(1)においては、真空チャンバー(2)の材質は特に限定されるものではなく、金属、プラスチック、ガラス等、適宜任意の素材を用いることができるが、耐久性や耐薬品性の点から、金属材料を用いる場合はステンレス鋼を、プラスチック材料を用いる場合はポリテトラフルオロエチレン(PTFE)やテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)等のフッ素樹脂、ポリプロピレン樹脂(PP)、ポリエチレン樹脂(PE)等を用いることが好ましい。
また真空チャンバー(2)の形状及び大きさについても、真空ポンプ等の減圧手段と接続可能な吸引口(21)と脱気エレメント(3)に処理液を通過させるための入液口及び出液口を有し且つ所要数の脱気エレメント(3)をその内部に収めることが可能な大きさであれば特に限定されない。
気体透過性チューブの材質の具体例としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体(ETFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)等が例示できるが、これらに限定されるものではない。
また、熱融着性を有するフッ素樹脂粉末についても特に限定されるものではないが、具体的には、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体(ETFE)等の粉末を好適な例として例示することができる。
脱気装置(1)内に処理液を送り込むためのチューブ(図示せず)接続用の継手(9)は接合部材(5)に螺着され、継手(9)と接合部材(5)の間には図示の如くOリングが介装される。このとき、接合部材(5)の膨らみを防止するために接合部材(5)の外周には筒状の膨らみ防止具(4)が嵌着される。
図2は、3つの脱気エレメントの液入口を単独のものと並列に接続されているものとし、液入口が並列に接続されているものの液出口も同様に並列に接続され、液入口が単独のものの液出口を同様に単独であるようにした場合であり、この場合処理量の多い液と、処理量の少ない別の種類の液を同時に且つ混合させることなく脱気処理することができる。
尚、上記例においては、脱気エレメントの数を3つとした例を示したが、本発明においては脱気エレメントの数は限定されず3以上であればいくつであってもよい。また、脱気エレメント同士の接続方法についても何ら限定されず、配管用チューブやLタイプ、Tタイプ等の各種継手などを接続方法に応じて適宜使用すればよい。
(実施例)
内径0.9mm、外径1.2mm、長さ3.5mのフッ素樹脂製気体透過性チューブを130本結束し、両端をPFA粉末を介して380℃で熱熔着して接合一体化したものを2つ製作し、それぞれを第1脱気エレメント、第2脱気エレメントとし、これらの脱気エレメントを真空チャンバーに取り付けて図1に示すような脱気装置を得た。
そして、図1の装置において、脱気エレメントの数を3つに増やして脱気装置を構成し以下aに示す方法で脱気装置に処理液(純水)を供給したところ、良好に脱気処理を行うことができた。
a.配管用チューブと継手Lタイプ及びTタイプを用いて脱気エレメントの入口側の2本を並列に接続し残りの1本を単独とし、入口側が並列に接続されているものの出口側を同様に並列に接続し、入口側が単独のものの出口側を同様に単独として処理液を供給した。(図2の接続形態)
2 真空チャンバー
3 脱気エレメント
5 接合部材
9 継手
Claims (3)
- 1つの真空チャンバー内に、両端部に継手が接続された接合部材が設けられてなる1本又は2本以上の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが3つ以上配設された脱気装置であって、3つ以上の脱気エレメントの液入口が単独のものと並列に接続されているものが設けられ、前記液入口が並列に接続されているものの液出口も同様に並列に接続され、前記液入口が単独のものの液出口が同様に単独であることを特徴とする脱気装置。
- 単独の液入口と並列に接続された液入口に供給する処理液が異なった種類のものであることを特徴とする請求項1記載の脱気装置。
- 請求項1記載の脱気装置を使用し、単独の液入口と並列に接続された液入口とで異なった種類の処理液を供給して脱気処理を行うことを特徴とする脱気方法。
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