JP3602887B2 - 脱気装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、分析装置、検査装置、実験装置等、少量の液体を扱うオンライン脱気装置に関し、複数の液体を同時に脱気する場合の各ラインの相互干渉を防止した脱気装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
真空ポンプで減圧コントロールされた真空チャンバー内に透過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に脱気したい液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する方法は分析装置、医療装置等で公知である。
【0003】
従来、この種の脱気装置において複数の液体を同時に脱気する場合、図2または図3に示す方法が採られていた。
図2に示す方法は、真空チャンバー100内に複数組の透過膜チューブ200を設け、真空チャンバー100に接続された1台の真空ポンプ300で真空チャンバー100内を減圧するとともにし、この真空チャンバー100内の気圧を真空センサ400によって検出し、この検出量に基づいてコントローラ500によって真空ポンプ300を作動し、真空チャンバー100内の気圧を減圧コントロールするものである。
【0004】
また、図3に示す方法は、1組の透過膜チューブ201(202)を収めた1つの真空チャンバー101(102)を1台の真空ポンプ301(302)で減圧し、この真空チャンバー101(102)内の気圧を真空センサ401(402)によって検出するとともにコントローラ501(502)によって真空ポンプ301(302)を作動し、真空チャンバー101(102)内の気圧を減圧コントロールする装置を複数台用いて複数の液体の脱気を行うものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、透過膜チューブは気体のみを透過するのが理想であるが、少量の液体も透過するので、図2に示したものは、透過膜チューブ200を透過した液体のガスが別の系の透過膜チューブ200を再透過して流入し、相互干渉を起こすことがある。
また、図3に示したものは、真空チャンバー101,102が別なので、相互干渉は発生しないが、各系ごとに真空ポンプ301,302やコントローラ501,502を持っているので、装置が大型となり、かつ、高価となる。
【0006】
本発明は上記課題を解決し、相互干渉がなく小型で安価な脱気装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するため、真空ポンプで減圧コントロールされる複数の真空チャンバー内にそれぞれ透過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置において、上記複数の真空チャンバーを共通の真空ポンプで減圧コントロールするとともに上記複数の真空チャンバーと真空ポンプとの間に上記複数の真空チャンバーに連通する圧力調整室を設け、上記各真空チャンバーと圧力調整室とを連結する管路に、真空チャンバー内の圧力が圧力調整室の圧力よりも高いときに開放する逆止弁を設けたことにある。
【0008】
【作用】
本発明の脱気装置によると、真空チャンバーの透過膜チューブ内を通過する間に、液体中に含まれる気体は、透過膜チューブ壁面を透過して真空チャンバー内に脱気されて除去される。
このとき、圧力調整室よりも真空チャンバー内の圧力が高い場合、逆止弁が開いて真空チャンバー内の圧力を圧力調整室側に抜く。そして、液体から排出された気体は真空ポンプを通して大気中に排気される。
逆止弁は圧力調整室内の圧力よりも高い真空チャンバーに接続された弁のみ開くので、圧力の高い真空チャンバー内のガスが圧力の低い真空チャンバーに流入して相互干渉を起こすことがない。
【0009】
【実施例】
以下、2台の真空チャンバーに適用した本発明の一実施例を図面を参照しながら詳細に説明する。
【0010】
図1において、1,2は真空チャンバー、3,4はこれら真空チャンバー1,2内にそれぞれ設けられた透過膜チューブであり、これら透過膜チューブ3,4は液体入り口3a,4aから液体を導入し、液体出口3b,4bから液体を排出する間に液体中の気体を壁面を通して透過し除去するものである。
【0011】
5,6は上記真空チャンバー1,2に一端を連結され、他端を圧力調整室7に連結された管路であり、この管路5,6の途中には、それぞれ逆止弁8,9が設けられている。この逆止弁8,9は真空チャンバー1,2の圧力が圧力調整室7より高いときに弁を開放して、真空チャンバー1,2内の圧力を開放するものである。一方、圧力調整室7の圧力が真空チャンバー1,2より高いときは弁は閉じた状態を保持するものである。
【0012】
上記圧力調整室7は上記真空チャンバー1,2内の圧力を設定値に保持するもので、真空ポンプ10によって減圧される。この圧力調整室7の圧力は真空センサ11によって検出され、コントローラ12によって一定圧力になるように真空ポンプ10が制御されるものである。
【0013】
上記構成による脱気装置によると、装置の作動によって真空ポンプ10がオンすると圧力調整室7は減圧される。圧力調整室7の圧力は真空センサ11によって検出され、その検出信号がコントローラ12に入力される。コントローラ12では、たとえば真空センサ11から入力された検出信号と予め設定された設定値とを比較し、その補正値に基づき真空ポンプ10を作動する。
これによって、圧力調整室7は常時設定された真空度になるように制御される。
【0014】
一方、上記真空チャンバー1,2の透過膜チューブ3,4には液体入り口3a,4aから液体が導入され、液体出口3b,4bから液体が排出される。この液体入り口3a,4aから導入されて、液体出口3b,4bに達する間に、液体中に含まれる気体は透過膜チューブ3,4壁面を透過して真空チャンバー1,2内に脱気されて除去される。透過膜チューブ3,4は内圧と外圧の差によって、液体中の気体を真空チャンバー1,2内に透過する。
このとき、圧力調整室7よりも真空チャンバー1,2内の圧力が高い場合、逆止弁8、9が開いて真空チャンバー1,2内の圧力を圧力調整室7側に抜く。そして、液体から脱気された気体は真空ポンプ10を通して排気される。
【0015】
逆止弁8,9は圧力調整室7内の圧力よりも高い真空チャンバー1,2に接続された弁のみ開くので、圧力の高い真空チャンバー1,2内のガスが圧力の低い真空チャンバー1,2に流入して相互干渉を起こすことがない。
たとえば、真空チャンバー1の圧力が圧力調整室7よりも高くて、真空チャンバー2の圧力が圧力調整室7よりも低い場合、逆止弁8は開放して、逆止弁9は閉じている。こうして、真空チャンバー1の圧力は圧力調整室7側に作用するが、圧力調整室7の圧力が真空チャンバー2側に作用することはない。
【0016】
上記実施例によると、逆止弁8、9は圧力調整室7内の圧力よりも高い真空チャンバー1,2に接続された弁のみ開くので、圧力の高い真空チャンバー1,2内のガスが圧力の低い真空チャンバー1,2に流入して相互干渉を起こすことがない。また、複数の真空チャンバー1,2に各々1台の真空ポンプ10、真空センサ11、およびコントローラ12を共用できるので、装置の小型化および低廉化を図ることができる。
なお、上記実施例では、2台の真空チャンバー1,2を用いた場合について説明したが3台以上の真空チャンバーに対しても適用できることは言うまでもない。
【0017】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明による脱気装置によれば、以下のような効果を奏する。
【0018】
真空ポンプで減圧コントロールされる複数の真空チャンバー内にそれぞれ透過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置において、上記複数の真空チャンバーを共通の真空ポンプで減圧コントロールするとともに上記複数の真空チャンバーと真空ポンプとの間に上記複数の真空チャンバーに連通する圧力調整室を設け、上記各真空チャンバーと圧力調整室とを連結する管路に、真空チャンバー内の圧力が圧力調整室の圧力よりも高いときに開放する逆止弁を設けたので、圧力の高い真空チャンバー内のガスが圧力の低い真空チャンバーに流入して相互干渉を起こすことがない。また、複数の真空チャンバーに各々1台の真空ポンプ、真空センサ、およびコントローラを共用できるので、装置の小型化および低廉化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る脱気装置の一実施例を示す概念図である。
【図2】従来の脱気装置を示す概念図である。
【図3】従来の脱気装置を示す概念図である。
【符号の説明】
1 真空チャンバー
2 真空チャンバー
3 透過膜チューブ
4 透過膜チューブ
5 管路
6 管路
7 圧力調整室
8 逆止弁
9 逆止弁
10 真空ポンプ
11 真空センサ
12 コントローラ
Claims (1)
- 真空ポンプで減圧コントロールされる複数の真空チャンバー内にそれぞれ透過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置において、上記複数の真空チャンバーを共通の真空ポンプで減圧コントロールするとともに上記複数の真空チャンバーと真空ポンプとの間に上記複数の真空チャンバーに連通する圧力調整室を設け、上記各真空チャンバーと圧力調整室とを連結する管路に、真空チャンバー内の圧力が圧力調整室の圧力よりも高いときに開放する逆止弁を設けたことを特徴とする脱気装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP14276895A JP3602887B2 (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | 脱気装置 |
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