JPH0985012A - 脱気装置の性能判定システム - Google Patents
脱気装置の性能判定システムInfo
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- JPH0985012A JPH0985012A JP27655695A JP27655695A JPH0985012A JP H0985012 A JPH0985012 A JP H0985012A JP 27655695 A JP27655695 A JP 27655695A JP 27655695 A JP27655695 A JP 27655695A JP H0985012 A JPH0985012 A JP H0985012A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 脱気装置の性能判定システムを提供する。
【解決手段】 液体供給部１と脱気液処理部２との間の
液体供給ライン３に脱気装置４を挿入し、この脱気装置
４と脱気液処理部２との間に液体中の溶存気体濃度を検
出するセンサ５を設け、このセンサ５が検出する溶存気
体濃度が規定値を超えたとき警報を出す警報装置６を設
けた構成。
液体供給ライン３に脱気装置４を挿入し、この脱気装置
４と脱気液処理部２との間に液体中の溶存気体濃度を検
出するセンサ５を設け、このセンサ５が検出する溶存気
体濃度が規定値を超えたとき警報を出す警報装置６を設
けた構成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、脱気装置の技術
分野に属するもので、詳しくは脱気装置の性能判定シス
テムに関するものである。
分野に属するもので、詳しくは脱気装置の性能判定シス
テムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、液体中に溶存する溶存気
体を除去する脱気装置として、図３に示すように、液体
供給ライン２１に脱気モジュール２２を挿入し、この脱
気モジュール２２に真空吸引ライン２３を介して真空ポ
ンプ２４を接続した構成のものがある。
体を除去する脱気装置として、図３に示すように、液体
供給ライン２１に脱気モジュール２２を挿入し、この脱
気モジュール２２に真空吸引ライン２３を介して真空ポ
ンプ２４を接続した構成のものがある。
【０００３】前記脱気モジュール２２は、図４に示すよ
うに、ケーシング本体２５内に樹脂製の中空糸２６を多
数挿入し、前記液体供給ライン２１から流入する被脱気
液が前記中空糸２６内を通過する過程で、中空糸２６の
外側を真空ポンプ２４で真空吸引して液体中の溶存気体
を吸引除去するものである。しかしながら、長期間の使
用により前記中空糸２６を形成する気体分離膜が劣化
し、液体中の溶存気体を真空吸引するときに液体を同時
に吸引するようになる。このように中空糸２６が劣化し
液体漏れが発生する状態では液体中の溶存気体を除去す
る真空吸引レベルが低下し、処理液中の溶存気体濃度が
高くなり不具合が発生する。たとえば、半導体製造のデ
ベロッパーにおいて、半導体に塗布する現像液中に溶存
する溶存気体（たとえば酸素，窒素等）を脱気装置で除
去するが、脱気処理した現像液中の溶存気体濃度が設定
値以上に高くなると、半導体に現像液を塗布するときに
気泡が発生し、この結果現像液が塗布不良となり、半導
体の製造歩留りが大幅に低下し問題となる。
うに、ケーシング本体２５内に樹脂製の中空糸２６を多
数挿入し、前記液体供給ライン２１から流入する被脱気
液が前記中空糸２６内を通過する過程で、中空糸２６の
外側を真空ポンプ２４で真空吸引して液体中の溶存気体
を吸引除去するものである。しかしながら、長期間の使
用により前記中空糸２６を形成する気体分離膜が劣化
し、液体中の溶存気体を真空吸引するときに液体を同時
に吸引するようになる。このように中空糸２６が劣化し
液体漏れが発生する状態では液体中の溶存気体を除去す
る真空吸引レベルが低下し、処理液中の溶存気体濃度が
高くなり不具合が発生する。たとえば、半導体製造のデ
ベロッパーにおいて、半導体に塗布する現像液中に溶存
する溶存気体（たとえば酸素，窒素等）を脱気装置で除
去するが、脱気処理した現像液中の溶存気体濃度が設定
値以上に高くなると、半導体に現像液を塗布するときに
気泡が発生し、この結果現像液が塗布不良となり、半導
体の製造歩留りが大幅に低下し問題となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記問題
点に鑑み、脱気装置の脱気性能を判定するシステムを提
供することを目的とするものである。
点に鑑み、脱気装置の脱気性能を判定するシステムを提
供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたものであって、請求項１に記載
の発明は、液体供給部と脱気液処理部との間の液体供給
ラインに脱気装置を挿入し、この脱気装置と脱気液処理
部との間に液体中の溶存気体濃度を検出するセンサを設
け、このセンサが検出する溶存気体濃度が規定値を超え
たとき警報を出す警報装置を設けたことを特徴としてお
り、また請求項２の発明は、液体供給部と脱気液処理部
との間の液体供給ラインに脱気装置を挿入し、この脱気
装置と脱気液処理部との間に第１自動弁を設け、この第
１自動弁の上流側に性能判定ラインを接続し、この性能
判定ラインに第２自動弁および液体中の溶存気体濃度を
検出するセンサを設け、このセンサが検出する溶存気体
濃度が規定値を超えたとき警報を出す警報装置を設けた
ことを特徴としている。
解決するためになされたものであって、請求項１に記載
の発明は、液体供給部と脱気液処理部との間の液体供給
ラインに脱気装置を挿入し、この脱気装置と脱気液処理
部との間に液体中の溶存気体濃度を検出するセンサを設
け、このセンサが検出する溶存気体濃度が規定値を超え
たとき警報を出す警報装置を設けたことを特徴としてお
り、また請求項２の発明は、液体供給部と脱気液処理部
との間の液体供給ラインに脱気装置を挿入し、この脱気
装置と脱気液処理部との間に第１自動弁を設け、この第
１自動弁の上流側に性能判定ラインを接続し、この性能
判定ラインに第２自動弁および液体中の溶存気体濃度を
検出するセンサを設け、このセンサが検出する溶存気体
濃度が規定値を超えたとき警報を出す警報装置を設けた
ことを特徴としている。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を液
体供給ラインに脱気装置を挿入したものについて説明す
る。液体供給ラインに挿入した脱気装置は、液体中の溶
存気体を除去する脱気モジュールと、この溶存気体を真
空吸引する真空ポンプとを真空吸引ラインで接続した構
成のものである。この脱気装置の性能判定システムは、
前記脱気モジュールの出口側の液体供給ラインに、脱気
処理した液体中の溶存気体濃度を検出するセンサ（たと
えば、窒素ガスセンサ）を設け、このセンサが検出する
溶存気体濃度が予め設定した規定値を超えたとき警報を
出す警報装置を設け、この警報装置と前記センサを信号
線で接続した構成となっている。この脱気装置の性能判
定システムによれば、前記液体供給ラインから脱気モジ
ュール内に流入する被脱気液の通水過程において、前記
脱気モジュールに接続した真空吸引ラインを介して真空
ポンプで溶存気体を吸引脱気し、被脱気液中の溶存気体
濃度を規定値以下にしているが、前記脱気モジュール内
に異常（中空糸の破損等）が発生し、前記被脱気液中の
溶存気体濃度が規定値以上に高くなれば前記センサが検
知し、検知信号を信号線を介して警報装置へ通報する。
警報装置は、センサからの信号に基づきブザー等で脱気
モジュールの異常を通報する。したがって、被脱気液中
の溶存気体濃度が規定値以上になれば、直ちに対処でき
るので、溶存気体濃度が規定値以上の脱気液を脱気液処
理部へ供給することはない。また、このシステムにより
脱気装置のメンテナンスが容易になる。
体供給ラインに脱気装置を挿入したものについて説明す
る。液体供給ラインに挿入した脱気装置は、液体中の溶
存気体を除去する脱気モジュールと、この溶存気体を真
空吸引する真空ポンプとを真空吸引ラインで接続した構
成のものである。この脱気装置の性能判定システムは、
前記脱気モジュールの出口側の液体供給ラインに、脱気
処理した液体中の溶存気体濃度を検出するセンサ（たと
えば、窒素ガスセンサ）を設け、このセンサが検出する
溶存気体濃度が予め設定した規定値を超えたとき警報を
出す警報装置を設け、この警報装置と前記センサを信号
線で接続した構成となっている。この脱気装置の性能判
定システムによれば、前記液体供給ラインから脱気モジ
ュール内に流入する被脱気液の通水過程において、前記
脱気モジュールに接続した真空吸引ラインを介して真空
ポンプで溶存気体を吸引脱気し、被脱気液中の溶存気体
濃度を規定値以下にしているが、前記脱気モジュール内
に異常（中空糸の破損等）が発生し、前記被脱気液中の
溶存気体濃度が規定値以上に高くなれば前記センサが検
知し、検知信号を信号線を介して警報装置へ通報する。
警報装置は、センサからの信号に基づきブザー等で脱気
モジュールの異常を通報する。したがって、被脱気液中
の溶存気体濃度が規定値以上になれば、直ちに対処でき
るので、溶存気体濃度が規定値以上の脱気液を脱気液処
理部へ供給することはない。また、このシステムにより
脱気装置のメンテナンスが容易になる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は、この発明を実施した液体供給ラ
インに脱気装置を挿入した第１実施例の構成を示す説明
図であり、図４は、脱気モジュールを破断して示す説明
図であり、また図５は、脱気モジュールの脱気メカニズ
ムを示す説明図である。
細に説明する。図１は、この発明を実施した液体供給ラ
インに脱気装置を挿入した第１実施例の構成を示す説明
図であり、図４は、脱気モジュールを破断して示す説明
図であり、また図５は、脱気モジュールの脱気メカニズ
ムを示す説明図である。
【０００８】図１において、この発明の脱気装置の性能
判定システムは、液体供給部１と脱気液処理部２を液体
供給ライン３で接続し、この液体供給ライン３に脱気装
置４を挿入し、この脱気装置４と前記脱気液処理部２と
の間に液体中の溶存気体濃度を検出するセンサ５（たと
えば窒素ガスセンサ）を設け、このセンサ５が検出する
溶存気体濃度が予め設定してある規定値を超えたとき警
報を出す警報装置６を設け、この警報装置６と前記セン
サ５を信号線７で接続した構成となっている。前記脱気
装置４は、前記液体供給ライン３に挿入する脱気モジュ
ール８と、この脱気モジュール８に接続した真空吸引ラ
イン９と真空ポンプ１０および排気ライン１１で構成し
ている。
判定システムは、液体供給部１と脱気液処理部２を液体
供給ライン３で接続し、この液体供給ライン３に脱気装
置４を挿入し、この脱気装置４と前記脱気液処理部２と
の間に液体中の溶存気体濃度を検出するセンサ５（たと
えば窒素ガスセンサ）を設け、このセンサ５が検出する
溶存気体濃度が予め設定してある規定値を超えたとき警
報を出す警報装置６を設け、この警報装置６と前記セン
サ５を信号線７で接続した構成となっている。前記脱気
装置４は、前記液体供給ライン３に挿入する脱気モジュ
ール８と、この脱気モジュール８に接続した真空吸引ラ
イン９と真空ポンプ１０および排気ライン１１で構成し
ている。
【０００９】前記脱気モジュール８は、図４に示すよう
に、ケーシング本体２５内に樹脂製の中空糸２６を多数
挿入し、液体供給部１から流入する被脱気液が前記各中
空糸２６内を通過する過程において、図５の脱気メカニ
ズムに示すように、中空糸２６の気体分離膜２７（中空
糸膜）の外側を真空ポンプ１０で真空吸引することによ
り、中空糸２６の内外に気体の分圧差をつくり、それを
駆動力として中空糸２６内を通る被脱気液から溶存気体
分子２８を吸引除去するものである。
に、ケーシング本体２５内に樹脂製の中空糸２６を多数
挿入し、液体供給部１から流入する被脱気液が前記各中
空糸２６内を通過する過程において、図５の脱気メカニ
ズムに示すように、中空糸２６の気体分離膜２７（中空
糸膜）の外側を真空ポンプ１０で真空吸引することによ
り、中空糸２６の内外に気体の分圧差をつくり、それを
駆動力として中空糸２６内を通る被脱気液から溶存気体
分子２８を吸引除去するものである。
【００１０】ところで、前記中空糸２６を形成する気体
分離膜２７が長期間の使用により劣化し、前記気体分離
膜２７にピンホール等が発生し、真空ポンプ１０で真空
吸引するときに気体分子２８と水分子２９を吸引する。
このように気体分離膜２７にピンホールができると、前
記中空糸２６の内外の気体分圧差がなくなり、被脱気液
中に溶存する溶存気体を真空吸引する能力が低下し、処
理液中の溶存気体濃度が高くなり不具合が発生する。
分離膜２７が長期間の使用により劣化し、前記気体分離
膜２７にピンホール等が発生し、真空ポンプ１０で真空
吸引するときに気体分子２８と水分子２９を吸引する。
このように気体分離膜２７にピンホールができると、前
記中空糸２６の内外の気体分圧差がなくなり、被脱気液
中に溶存する溶存気体を真空吸引する能力が低下し、処
理液中の溶存気体濃度が高くなり不具合が発生する。
【００１１】そこで、この発明の脱気装置の性能判定シ
ステムは、前記脱気モジュール８で脱気処理した脱気液
中の溶存気体濃度を検出するセンサ５を、前記脱気モジ
ュール８の出口側の液体供給ライン３に挿入し、脱気処
理した脱気液中の溶存気体濃度を検出する。そして、検
出した溶存気体濃度が予め設定した規定値を超えたとき
は、前記脱気モジュール８に異常が発生したと判定し、
信号線７を介して警報装置６に通報する。警報装置６
は、ブザー等の報知手段で構成されており、前記脱気モ
ジュール８の異常発生を通報する。
ステムは、前記脱気モジュール８で脱気処理した脱気液
中の溶存気体濃度を検出するセンサ５を、前記脱気モジ
ュール８の出口側の液体供給ライン３に挿入し、脱気処
理した脱気液中の溶存気体濃度を検出する。そして、検
出した溶存気体濃度が予め設定した規定値を超えたとき
は、前記脱気モジュール８に異常が発生したと判定し、
信号線７を介して警報装置６に通報する。警報装置６
は、ブザー等の報知手段で構成されており、前記脱気モ
ジュール８の異常発生を通報する。
【００１２】以上説明したように、この脱気装置の性能
判定システムを脱気液処理部２の手前側に設けることに
より、脱気液処理部２に溶存気体濃度が規定値を超えた
脱気液が供給されることを防止する。したがって、たと
えば半導体製造のデベロッパーにおいて、現像液の脱気
処理が常に正常に行われ、半導体に現像液を塗布すると
きに気泡が発生することがなく、歩留りが向上する。
判定システムを脱気液処理部２の手前側に設けることに
より、脱気液処理部２に溶存気体濃度が規定値を超えた
脱気液が供給されることを防止する。したがって、たと
えば半導体製造のデベロッパーにおいて、現像液の脱気
処理が常に正常に行われ、半導体に現像液を塗布すると
きに気泡が発生することがなく、歩留りが向上する。
【００１３】つぎに、この発明の第２実施例を図２に基
づいて説明する。図２は、図１と同様、この発明を実施
した液体供給ラインに脱気装置を挿入した構成を示す説
明図である。尚、前記第１実施例と同一部材には同一符
号を付し、重複する説明は省略する。
づいて説明する。図２は、図１と同様、この発明を実施
した液体供給ラインに脱気装置を挿入した構成を示す説
明図である。尚、前記第１実施例と同一部材には同一符
号を付し、重複する説明は省略する。
【００１４】この第２実施例は、図２に示すように、脱
気装置４と脱気液処理部２との間の液体供給ライン３に
空気弁や電磁弁等の第１自動弁１２を設け、この第１自
動弁１２の上流側に性能判定ライン１３を接続し、この
性能判定ライン１３に空気弁や電磁弁等の第２自動弁１
４および液体中の溶存気体濃度を検出するセンサ５を設
け、このセンサ５が検出する溶存気体濃度が規定値を超
えたとき警報を出す警報装置６を設け、この警報装置６
と前記センサ５を信号線７で接続した構成となってい
る。この実施例においては、前記性能判定ライン１３に
容器１５を設け、この容器１５内に前記センサ５を挿入
して溶存気体濃度を検出する構成としている。尚、前記
性能判定ライン１３にセンサ５を直接挿入して溶存気体
濃度を検出することも実施に応じて好適である。
気装置４と脱気液処理部２との間の液体供給ライン３に
空気弁や電磁弁等の第１自動弁１２を設け、この第１自
動弁１２の上流側に性能判定ライン１３を接続し、この
性能判定ライン１３に空気弁や電磁弁等の第２自動弁１
４および液体中の溶存気体濃度を検出するセンサ５を設
け、このセンサ５が検出する溶存気体濃度が規定値を超
えたとき警報を出す警報装置６を設け、この警報装置６
と前記センサ５を信号線７で接続した構成となってい
る。この実施例においては、前記性能判定ライン１３に
容器１５を設け、この容器１５内に前記センサ５を挿入
して溶存気体濃度を検出する構成としている。尚、前記
性能判定ライン１３にセンサ５を直接挿入して溶存気体
濃度を検出することも実施に応じて好適である。
【００１５】この第２実施例にあっては、別途設けた制
御器（図示省略）からの出力信号により、第１自動弁１
２を閉じるとともに第２自動弁１４を開いて脱気液を性
能判定ライン１３に流入させ、この性能判定ライン１３
に挿入したセンサ５で溶存気体濃度を検出し、この検出
値が規定値内であれば前記センサ５から前記制御器へ通
報し、制御器は前記第２自動弁１４を閉じるとともに第
１自動弁１２を開いて脱気液を脱気液処理部２へ供給す
る。前記制御器からの出力信号は、例えば所定時間毎に
一定の間隔をおいて出力するものである。また、溶存気
体濃度が規定値を超えているときは、前記第１実施例と
同様に警報装置６は異常発生を通報する。
御器（図示省略）からの出力信号により、第１自動弁１
２を閉じるとともに第２自動弁１４を開いて脱気液を性
能判定ライン１３に流入させ、この性能判定ライン１３
に挿入したセンサ５で溶存気体濃度を検出し、この検出
値が規定値内であれば前記センサ５から前記制御器へ通
報し、制御器は前記第２自動弁１４を閉じるとともに第
１自動弁１２を開いて脱気液を脱気液処理部２へ供給す
る。前記制御器からの出力信号は、例えば所定時間毎に
一定の間隔をおいて出力するものである。また、溶存気
体濃度が規定値を超えているときは、前記第１実施例と
同様に警報装置６は異常発生を通報する。
【００１６】このように、図２の第２実施例によれば、
脱気液の溶存気体濃度をよりシビアに管理する場合に好
適であり、被脱気液の溶存気体濃度が正確に所定濃度に
維持される。
脱気液の溶存気体濃度をよりシビアに管理する場合に好
適であり、被脱気液の溶存気体濃度が正確に所定濃度に
維持される。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、液体供給ラインに挿入した脱気装置と脱気液処理部
との間に、液体中の溶存気体濃度を検出するセンサを設
け、このセンサが検出する溶存気体濃度が規定値を超え
たとき警報を出す警報装置を設けたので、前記脱気装置
に異常が発生し脱気性能が低下した場合、前記センサが
脱気液中の溶存気体濃度を検出し規定値を超えれば異常
を通報するので、脱気液処理部に対し規定値以上の脱気
液を供給することが防止できる。また、このシステムに
より脱気装置のメンテナンスを容易にすることができ
る。
ば、液体供給ラインに挿入した脱気装置と脱気液処理部
との間に、液体中の溶存気体濃度を検出するセンサを設
け、このセンサが検出する溶存気体濃度が規定値を超え
たとき警報を出す警報装置を設けたので、前記脱気装置
に異常が発生し脱気性能が低下した場合、前記センサが
脱気液中の溶存気体濃度を検出し規定値を超えれば異常
を通報するので、脱気液処理部に対し規定値以上の脱気
液を供給することが防止できる。また、このシステムに
より脱気装置のメンテナンスを容易にすることができ
る。
【図１】この発明を実施した液体供給ラインに脱気装置
を挿入した第１実施例の構成を示す説明図である。
を挿入した第１実施例の構成を示す説明図である。
【図２】この発明を実施した液体供給ラインに脱気装置
を挿入した第２実施例の構成を示す説明図である。
を挿入した第２実施例の構成を示す説明図である。
【図３】従来の脱気装置の概略説明図である。
【図４】脱気モジュールを破断して示す説明図である。
【図５】脱気モジュールの脱気メカニズムを示す説明図
である。
である。
１ 液体供給部 ２ 脱気液処理部 ３ 液体供給ライン ４ 脱気装置 ５ センサ ６ 警報装置 １２ 第１自動弁 １３ 性能判定ライン １４ 第２自動弁
Claims (2)
- 【請求項１】 液体供給部１と脱気液処理部２との間の
液体供給ライン３に脱気装置４を挿入し、この脱気装置
４と脱気液処理部２との間に液体中の溶存気体濃度を検
出するセンサ５を設け、このセンサ５が検出する溶存気
体濃度が規定値を超えたとき警報を出す警報装置６を設
けたことを特徴とする脱気装置の性能判定システム。 - 【請求項２】 液体供給部１と脱気液処理部２との間の
液体供給ライン３に脱気装置４を挿入し、この脱気装置
４と脱気液処理部２との間に第１自動弁１２を設け、こ
の第１自動弁１２の上流側に性能判定ライン１３を接続
し、この性能判定ライン１３に第２自動弁１４および液
体中の溶存気体濃度を検出するセンサ５を設け、このセ
ンサ５が検出する溶存気体濃度が規定値を超えたとき警
報を出す警報装置６を設けたことを特徴とする脱気装置
の性能判定システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27655695A JPH0985012A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 脱気装置の性能判定システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27655695A JPH0985012A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 脱気装置の性能判定システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0985012A true JPH0985012A (ja) | 1997-03-31 |
Family
ID=17571141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27655695A Pending JPH0985012A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 脱気装置の性能判定システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0985012A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110257845A1 (en) * | 2009-01-13 | 2011-10-20 | Keitaro Niki | Steering control apparatus for vehicle |
-
1995
- 1995-09-28 JP JP27655695A patent/JPH0985012A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110257845A1 (en) * | 2009-01-13 | 2011-10-20 | Keitaro Niki | Steering control apparatus for vehicle |
| US8738230B2 (en) * | 2009-01-13 | 2014-05-27 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Steering control apparatus for vehicle |
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