KR840001775A - 정전 처크 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

정전 처크

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 정전 처크상에 설치된 반도체 웨이퍼를 제2도의 선 Ⅰ-Ⅰ상에서 절취한 횡단면도.

제2도는 제1도의 반도체 웨이퍼 및 처크를 위와 같이 절취하고 반도체 웨이퍼를 부분적으로 절단한 평면도.

제3도는 본 발명에 따른 다른 정전처크상의 반도체 웨이퍼에 대한 횡단면도.

Claims (16)

1. 처크에 대한 고정면에 반도체 웨이퍼를 유지하기 위한 것으로, 상기 고정면으로부터 유전체층으로 분리된 전기 전도부재와 웨이퍼를 전기적으로 접촉하기 위한 수단과 상기 고정면에 웨이퍼를 유지하기 위한 수단을 구비한 정면 처크에 있어서 상기 처크가 또한 웨이퍼와 접촉하기 위한 열전도부를 구비하며, 전기 전도부재가 상기 열전도부를 사이에서 측방향으로 연장하는 부분을 가지며, 유전층이 최소한 상기 부분상에서 연장하도록 구성한 것을 특징으로 하는 정전처크.
2. 제1항에 있어서, 열전도부가 웨이퍼와 접촉하기 위한 수단을 형성하는 것을 특징으로 하는 정전처크.
3. 제1항 또는 2항에 있어서, 처크가 열전도부와 열접촉을 이루는 주변부를 가지는 열전도 지지제를 구비한 것을 특징으로 하는 정전처크.
4. 제3항에 있어서, 열전도 주변부가 고정면과 일치한 주표면을 가지는 것을 특징으로 하는 정전처크.
5. 전술한 어느 한 항에 있어서, 열전도부가 전기전도하고 웨이퍼에 대한 전기접촉 수단을 구성하며, 상기 열전도부가 전기전도 부재로부터 절연되는 것을 특징으로 하는 정전처크.
6. 제5항에 있어서, 열 전도부가 유전체층에 의해 전기 전도부재로부터 절연되는 것을 특징으로 하는 정전처크.
7. 전술한 어느 한 항에 있어서, 유전체가 투명한 것을 특징으로 하는 정전처크.
8. 전술한 어느 한 항에 있어서, 열전도부가 유전체가 상기 고정면으로부터 간격이 띄워지도록 유전층으로 둘러싸이는 것을 특징으로 하는 정전처크.
9. 전술한 어느 한 항에 있어서, 열전도부가 고정면 내에 있는 평평한 종단면을 가진 기둥인 것을 특징으로 하는 정전처크.
10. 제9항에 있어서, 전기 전도부재가 그리드의 메슈를 통해 연장하는 것을 특징으로 하는 정전처크.
11. 제9 또는 10항 중 어느 한 항에 따른 정전 처크에 있어서, 지지제가 주변부보다 더 얇은 구멍뚫린 중심부를 가지며, 열전도기둥이 이 구멍속에 고정되는 것을 특징으로 하는 정전처크.
12. 제1 내지 8항중 어느 한 항에 따른 정전 처크에 있어서, 열전도부가 열전도 그리드에 의해 구성되고 열전도 부재가 상기 그리드의 메슈를 사이에서 연장하는 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 정전처크.
13. 제12항에 있어서, 열전도 부재가 그리드의 메슈들 사이에서 연장하는 상기 부분들과 일체로된 판을 포함한 것을 특징으로 하는 정전처크.
14. 제12 또는 13항에 있어서, 열정도 그리드가 지지재의 중심부를 형성하고 상기 지지재의 주변부와 일체로 된 것을 특징으로 하는 정전처크.
15. 본 명세서에서 설명하고 첨부된 도면 제1 및 2도 또는 제3도에 예시된 바와 정전처크.
16. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.