KR930003290A - 메탈콘택 형성방법 및 그 구조 - Google Patents
메탈콘택 형성방법 및 그 구조 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 메탈콘택의 구조,
제3도는 본 발명의 메탈 콘택 형성 방법을 설명하기 위한 도면.
Claims (2)
- 바이폴라 반도체 제품의 메탈콘택형성 방법에 있어서, 반도체 소자와 반도체소자위의 산화막을 형성하고 이 산화막(2)위에 PSG층을 형성하는 단계와; 상기 PSG층을 식각하여 오버사이즈 콘택(6)을 형성하는 단계와; 상기 PSG층과 상기 콘(6)위에 CVD산화막(4)을 형성하는 단계와; 상기 CVD 산화막과 상기 반도체 소자위의 산화막(2)을 식각하여 콘택홀을 형성하고 메탄콘택을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 메탈콘택형성 방법.
- 반도체소자의 소정부분에 메탈콘택을 형성하고 기타부분은 산화막과 PSG막으로 덮은 구조의 메탈콘택 구조에 있어서, 상기 PSG막(3)은 산화막(2)과 산화막(4) 사이에 존재하면서 메탈전극(5)과는 직접적으로 접촉하지 아니하도록 배치한 것이 특징인 메탈콘택구조.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910011730A KR930003290A (ko) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 메탈콘택 형성방법 및 그 구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910011730A KR930003290A (ko) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 메탈콘택 형성방법 및 그 구조 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930003290A true KR930003290A (ko) | 1993-02-24 |
Family
ID=67440894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910011730A KR930003290A (ko) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 메탈콘택 형성방법 및 그 구조 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR930003290A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100928387B1 (ko) * | 2008-07-08 | 2009-11-23 | 베스너 주식회사 | 마이크로 드릴 및 그의 제조 방법 |
-
1991
- 1991-07-17 KR KR1019910011730A patent/KR930003290A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100928387B1 (ko) * | 2008-07-08 | 2009-11-23 | 베스너 주식회사 | 마이크로 드릴 및 그의 제조 방법 |
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