KR20160085198A

KR20160085198A - 워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법

Info

Publication number: KR20160085198A
Application number: KR1020150168195A
Authority: KR
Inventors: 도모유키 고지마; 아키히사 고다이라
Original assignee: 가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority date: 2015-01-07
Filing date: 2015-11-30
Publication date: 2016-07-15
Also published as: CN105785253B; KR101691100B1; TWI580976B; JP2016125965A; JP6435535B2; MY180349A; CN105785253A; TW201637973A

Abstract

본 발명은, 워크의 저경도부에 흠집을 내지 않고 고정해서 워크에 대해 정밀하게 특성 측정을 행하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 워크의 특성 측정 장치(100)는, 반송 테이블(2)의 외주부에 설치되며, 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크(W1)의 특성 측정을 행하는 워크의 특성 검사부(10)를 구비하고 있다. 워크의 특성 검사부(10)는, 워크(W1)에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재(P1a, P1b)와, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3) 중 개구부에 대향하는 내벽(3si, 5s)측을 향해서 고정하는 고정 수단(15)을 갖고 있다. 각 워크 수납 구멍(3)의 내벽(3si, 5s)에 워크(W1)가 내벽(3si, 5s)에 맞닿았을 경우에 워크(W1)의 저경도부를 도피시키는 노치부(3si)가 형성되어 있다.

Description

워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법{DEVICE AND METHOD FOR MEASURING WORKPIECE CHARACTERISTIC}

본 발명은, 반송 테이블에 형성된 복수의 워크 수납 구멍에 전자 부품 등의 워크를 개별적으로 수납해서 반송해, 반송 테이블의 회전 경로에 배치된 워크의 특성 측정부에 의해 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법에 관한 것이며, 특히 압압(押壓)에 의해 흠집이 생기기 쉬운 저경도부를 갖는 워크의 측정 시에, 저경도부를 압압하지 않고 워크를 고정할 수 있는 워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법에 관한 것이다.

종래부터, 회전 가능한 반송 테이블에 형성되는 복수의 워크 수납 구멍에 전자 부품 등의 워크를 개별적으로 수납해서 반송하는 워크 특성 측정 장치가 알려져 있다(특허문헌 1 참조).

특허문헌 1에 기재된 워크 반송 장치의 평면도를 도 28에 나타낸다. 워크 반송 장치(100)는 수평인 테이블 베이스(101) 상에 배치된 회전 가능한 반송 테이블(102)을 갖는다.

반송 테이블(102)의 외주부에는 도 29에 나타내는 칩형 전자 부품 등의 워크(WO)를 개별적으로 수납하는 복수의 워크 수납 구멍(103)이 형성되어 있다. 반송 테이블(102)은 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 중심축(104)의 주위를 시계 방향(화살표(A) 방향)으로 간헐 회전한다. 또한, 후술하는 분리 공급부(107)에 위치하는 워크 수납 구멍(103)을 제외하고, 워크 수납 구멍(103)의 상면은 테이블 커버(105)에 의해 덮여 있다.

워크(WO)의 사시도를 도 29에 나타낸다. 워크(WO)는 발광 다이오드(LED)이며, 상면에 발광면(WOs)을 갖는 직방체 형상의 본체(WOx)와, 본체(WOx)로부터 길이 방향의 앞쪽 및 뒤쪽으로 돌출하는 리드 단자(WOa, WOb)를 갖고 있다.

워크(WO)를 도 29에 있어서의 EO 방향, FO 방향, GO 방향, HO 방향으로부터 본 도면을 각각 도 30의 (a)(b)(c)(d)에 나타낸다. 도 30의 (a)(c)에 나타내는 바와 같이, 리드 단자(WOa, WOb)는 각각 본체(WOx)의 뒤쪽면(WOc), 앞쪽면(WOd)으로부터 돌출하고, 그들의 저면(底面)은 본체(WOx)의 저면에 일치한다. 워크(WO)의 내부 회로를 도 31에 나타낸다. 내부 회로는 발광 다이오드(DO)이며, 리드 단자(WOa)가 애노드, 리드 단자(WOb)가 캐소드이다. 리드 단자(WOa, WOb)의 사이에 WOa가 고전위로 되도록 전압을 인가하면 발광 다이오드(DO)가 발광한다.

이때, 외관상은 도 29에 있어서의 발광면(WOs)이 발광한다. 또, 발광면(WOs)은 도 30의 (b)(c)에 나타내는 바와 같이, 본체(WOx)의 상면(WOt)보다 약간 오목하게 되어 있다. 시판되고 있는 발광 다이오드의 예로서, 도 29에 나타내는 본체(WOx)의 세로(XO)가 3㎜, 가로(YO)가 5㎜, 높이(ZO)가 1㎜, 리드 단자(WOa 및 WOb)의 돌출부의 길이(j)가 0.3㎜, 높이(k)가 0.25㎜인 것이 있다.

도 29에 나타내는 워크(WO)는, 도 28에 나타내는 워크 반송 장치에 있어서 직선 형상의 리니어 피더(106)의 진동의 작용에 의해 일렬로 화살표(B) 방향으로 반송된다. 이때, 도 29에 나타내는 리드 단자(WOb)가 도 28에 나타내는 화살표(B) 방향에 위치하도록 되어 있다. 리니어 피더(106)의 종단부는 반송 테이블(102)의 외주부에 형성된 워크 수납 구멍(103)의 개구부에 대향해 있으며, 거기에는 분리 공급부(107)가 설치되어 있다. 리니어 피더(106) 상에서 일렬 상태로 반송된 워크(WO)는, 분리 공급부(107)에 있어서 분리되어 반송 테이블(102)의 외주부에 형성된 워크 수납 구멍(103)에 개별적으로 수납된다. 그리고, 반송 테이블(102)의 도 28에 있어서의 화살표(A) 방향의 간헐 회전에 의해서 반송된다.

반송 테이블(102)의 외주부에는, 간헐 회전 방향(화살표(A) 방향)을 따라 제1 검사부(108), 제2 검사부(109), 배출부(110)가 이 순서로 설치되어 있다. 제1 검사부(108)에 있어서 워크(WO)의 전기 특성 검사가 행해진다. 그 모습을 도 28의 C-C' 단면도로 해서 도 32 내지 도 34에 나타낸다.

도 32에 있어서, 반송 테이블(102)이 정지해 제1 검사부(108)에 워크(WO)가 위치해 있다. 제1 검사부(108)에 있어서 리드 단자(WOa, WOb)의 바로 아래 위치의 테이블 베이스(101) 내에는 프로브(POa, POb)가 배치되어 있다. 그리고, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 프로브(POa, POb)가 도 33에 나타내는 바와 같이, 리드 단자(WOa, WOb)를 향해서 화살표(K1) 방향으로 진출한다. 그리고, 프로브(POa, POb)는 리드 단자(WOa, WOb)에 맞닿은 상태에서 워크(WO)를 밀어올리고, 워크 수납 구멍(103)의 상면을 덮고 있는 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 워크(WO)의 상면(WOt)이 맞닿은 상태에서 정지한다. 이 상태에서, 프로브(POa, POb)는 도시되지 않은 측정기에 접속되어 워크(WO)의 전기 특성을 측정한다.

그 후, 도 34에 나타내는 바와 같이, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 프로브(POa, POb)가 화살표(K2) 방향으로 퇴출해서 도 32에 나타내는 상태로 되돌아간다. 그리고, 반송 테이블(102)이 간헐 회전해서 워크(WO)가 반송된다. 그 후, 워크(WO)가 제2 검사부(109)에 도달해서 제1 검사부(108)와는 서로 다른 검사 항목에 대해 검사를 실시한다. 그리고, 배출부(110)에 도달해서 도시되지 않은 배출 수단에 의해 워크 수납 구멍(103)으로부터 배출된다.

이상과 같은, 종래기술에 따른 워크 반송 장치(100)에는 이하의 문제점이 있다. 도 33에 나타내는 바와 같이, 워크(WO)의 전기 특성 측정에 있어서, 프로브(POa, POb)는 리드 단자(WOa, WOb)에 맞닿은 상태에서 워크(WO)를 밀어올리고, 워크 수납 구멍(103)의 상면을 덮고 있는 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 워크(WO)의 상면(WOt)이 맞닿은 상태에서 정지한다. 이 상태에서 측정을 실시하는 이유는, 워크(WO)를 고정한 상태에서 프로브(POa, POb)와 리드 단자(WOa, WOb)를 맞닿게 함으로써, 프로브(POa, POb)가 리드 단자(WOa, WOb)에 충분히 큰 압력으로 맞닿아서 접촉 저항이 저감되어 측정 정밀도를 확보할 수 있기 때문이다.

그런데, 도 29에 나타내는 워크(WO)의 본체(WOx)는 압압에 의해 흠집이 생기기 어려운 고경도부인 유전체에 의해 덮여 있다. 이 때문에, 그 상면(WOt)이 도 33에 나타내는 바와 같이 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 맞닿아도, 그 후에 도 34에 나타내는 바와 같이 이간하면, 본체(WOx)의 상면(WOt)에 흠집이 생기지 않는다.

이에 반해, 도 29에 나타내는 발광면(WOs)은, 압압에 의해 흠집이 생기기 쉬운 저경도부인 수지에 의해 형성되어 있어, 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 맞닿았을 경우, 그 후 도 34에 나타내는 바와 같이 이간해도, 도 29에 나타내는 발광면(WOs)에 흠집이 생겨 버린다.

일반적으로 도 29에 나타내는 워크(WO)의 경우에는, 도 30의 (b)(c)에 나타내는 바와 같이, 발광면(WOs)은 본체(WOx)의 상면의 내부에 형성되며, 또한 상면보다 약간 오목하게 되어 있으므로, 발광면(WOs)이 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 맞닿지 않는다.

그러나, 발광 다이오드 중에는, 발광하는 부분(이하 발광부)이 도 29의 워크(WO)에 있어서의 발광면(WOs)과 같은 평면 형상이 아닌, 워크의 상면으로부터 위쪽으로 더 돌출해 있는 입체 형상인 것이 있다. 또한, 발광부가 상면의 주위를 덮어 사방으로 더 돌출해 있는 형상인 것도 있다. 그 경우에는, 측정 시에 워크를 고정할 때에, 도 33에 나타내는 바와 같은 종래기술에 따른 고정 방법을 채용하면 압압되는 것에 의해 발광부에 흠집이 생겨 버린다.

한편, 이 상태를 회피하기 위해 워크를 워크 수납 구멍(103) 내에 둔채로 고정하지 않는 상태에서 프로브를 워크의 단자에 맞닿게 하면, 프로브를 워크의 단자에 충분히 큰 압력에 의해 맞닿게 할 수 없어진다. 이 때문에, 프로브와 워크의 단자 사이의 접촉 저항이 커져 측정 정밀도를 확보할 수 없어진다. 또한, 저경도부인 발광부를 어디에도 맞닿게 하지 않고 고경도부인 본체만을 워크 수납 구멍(103)의 주위의 어딘가에 맞닿게 해서 고정하는 것은 어려우며, 또한 맞닿게 할 수 있는 범위가 좁아진다. 또한, 이와 같이 고정할 때에 워크의 고경도부만을 압압하면, 압압력이 좁은 범위에 인가되기 때문에 워크의 자세가 기울어지는 등의 이상이 생겨 올바른 측정을 할 수 없어질 우려가 있다.

일본국 특개2012-20822호 공보

본 발명의 목적은 이와 같은 점을 고려해서 이루어진 것이며, 발광 다이오드 등과 같이 압압에 의해 흠집이 생기기 어려운 고경도부와, 압압에 의해 흠집이 생기기 쉬운 저경도부를 갖는 워크의 전기적 특성 등을 측정할 때에, 고경도부만을 압압함으로써 저경도부에 흠집이 생기지 않고 워크를 고정할 수 있는 워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 고경도부와 저경도부를 갖는 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 장치에 있어서, 테이블 베이스와, 상기 테이블 베이스 상에 회전 가능하게 배치되며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부를 가짐과 함께 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍이 외주연(外周緣)을 따라 설치된 반송 테이블과, 상기 반송 테이블의 외주부에 설치되며, 상기 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크의 특성 측정을 행하는 워크의 특성 검사부를 구비하고, 상기 워크의 특성 검사부는, 워크에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재와, 워크 수납 구멍 내의 워크를 워크 수납 구멍 중 개구부에 대향하는 내벽측을 향해서 고정하는 고정 수단을 갖고, 각 워크 수납 구멍의 내벽에 워크가 내벽에 맞닿았을 경우에 워크의 저경도부를 도피시키는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치이다.

본 발명은, 상기 고정 수단은 개구부로부터 내벽측을 향해서 워크의 고경도부를 압압하는 푸셔로 이루어지고, 상기 워크의 특성 검사부는 푸셔의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 수단과, 거리 계측 수단에 의해 계측된 이동 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에, 제어부에 의해 작동해서 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 수단을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치이다.

본 발명은, 상기 워크의 특성 검사부는, 테이블 베이스에 설치되어 테이블 베이스를 향해서 워크를 흡인하는 흡인 통로와, 흡인 통로 내의 진공도를 계측하는 진공도 계측 수단과, 진공도 계측 수단에 의해 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부에 의해 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 수단을 더 갖는 것을 특징으로 하는 특성 측정 장치이다.

본 발명은, 상기 강제 배출 수단은, 워크 수납 구멍 내의 워크가 배출된 것을 검출하는 배출 검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치이다.

본 발명은, 고경도부와 저경도부를 갖는 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 방법에 있어서, 테이블 베이스 상에 회전 가능하게 배치되며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부를 가짐과 함께 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍이 외주연을 따라 설치된 반송 테이블에 의해서 워크를 반송하는 반송 공정과, 상기 반송 테이블의 외주부에 설치되며, 상기 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크의 특성 검사를 워크의 특성 검사부에 의해서 행하는 워크의 특성 검사 공정을 구비하고, 상기 워크의 특성 검사 공정은, 워크 수납 구멍 내의 워크를 워크 수납 구멍 중 개구부에 대향하는 내벽측을 향해서 고정 수단에 의해 고정하는 워크의 고정 공정과, 워크에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재에 의해 워크의 특성 검사를 행하는 검사 공정을 갖고, 각 워크 수납 구멍의 내벽에 워크가 내벽에 맞닿았을 경우에 워크의 저경도부를 도피시키는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법이다.

본 발명은, 상기 고정 수단은 개구부로부터 내벽측을 향해서 워크의 고경도부를 압압하는 푸셔로 이루어지고, 상기 워크의 특성 측정 공정은 푸셔의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 공정과, 거리 계측 공정에 의해 계측된 이동 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에, 제어부에 의해 작동해서 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법이다.

본 발명은, 상기 워크의 특성 측정 공정은, 테이블 베이스에 설치된 흡인 통로에 의해 테이블 베이스를 향해서 워크를 흡인하는 흡인 공정과, 흡인 통로 내의 진공도를 계측하는 진공도 계측 공정과, 진공도 계측 공정에 의해 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부에 의해 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법이다.

본 발명은, 상기 강제 배출 공정은, 워크 수납 구멍 내의 워크가 배출된 것을 검출하는 배출 검출 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법이다.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 워크의 저경도부에 흠집을 내지 않고 워크를 고정해서 워크에 대해 정밀도가 좋은 특성 측정을 행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 워크 특성 측정 장치를 나타내는 평면도.
도 2는 워크를 나타내는 사시도.
도 3의 (a)(b)(c)(d)는 각각 워크를 도 2에 있어서의 E1 방향, F1 방향, G1 방향, H1 방향으로부터 본 도면.
도 4는 워크의 내부 회로를 나타내는 도면.
도 5는 워크 수납 구멍을 나타내는 사시도.
도 6은 워크 수납 구멍 근방의 반송 테이블을 나타내는 평면도.
도 7의 (a)는 워크 수납 구멍이 도 1에 있어서의 위치(N)에 있을 때의 도 6에 있어서의 R1 단면도, 도 7의 (b)(c)는 워크 수납 구멍이 도 1에 있어서의 불량품 배출부 및 양품 배출부에 있을 때의 도 6에 있어서의 R1 단면도, 도 7의 (d)는 도 6에 있어서의 R2 단면도.
도 8은 도 5에 나타내는 워크 수납 구멍에 워크가 수납되어 있는 모습을 나타내는 사시도.
도 9는 도 8을 화살표(U1) 방향으로부터 본 투시도.
도 10은 워크 수납 구멍이 도 1에 나타내는 광전기 특성 검사부에 정지해 있는 모습을 나타내는 사시도.
도 11은 프로브 통로를 도 10에 있어서의 화살표(U2) 방향으로부터 본 투시도.
도 12는 워크가 광전기 특성 검사부에 도달했을 때의 모습을 도 10에 있어서의 화살표(U2) 방향으로부터 본 투시도.
도 13은 워크가 광전기 특성 검사부에 있어서 고정되어 검사되는 모습을 나타내는 도면.
도 14는 워크가 광전기 특성 검사부에 있어서 고정되어 검사되는 모습을 나타내는 도면.
도 15는 워크가 광전기 특성 검사부에 있어서 고정되어 검사되는 모습을 나타내는 도면.
도 16의 (a)(b)(c)는 도 13에 있어서, 푸셔가 화살표(M1) 방향으로 진출해서 맞닿음부의 선단면이 워크의 본체의 면에 맞닿을 때에, 워크가 워크 수납 구멍 내에서 경사지는 일례의 설명도.
도 17은 도 16의 (c)의 상태에서, 프로브를 도 14에 있어서의 화살표(K1) 방향으로 상승시킨 모습을 나타내는 도면.
도 18은 푸셔를 나타내는 평면도.
도 19의 (a)(b)는 도 18에 있어서의 검출 블록 및 근접 센서의 작용에 대한 설명을 위한 영역(V1)의 확대도.
도 20의 (a)(b)는 워크의 본체의 제조 편차에 기인해서, 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크 수납 구멍 내의 워크의 자세가 경사지는 다른 요인의 설명도.
도 21의 (a)(b)는 반송 테이블의 회전 방향의 뒤쪽만이 고정된 워크에 대해서, 도 11에 나타내는 프로브가 화살표(K1) 방향으로 상승했을 때의 모습을 반송 테이블의 중심축측으로부터 본 투시도.
도 22는 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 23은 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 24는 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 25는 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 26은 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 27은 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 28은 종래기술에 따른 워크 반송 장치의 평면도.
도 29는 워크를 나타내는 사시도.
도 30의 (a)(b)(c)(d)는 각각 워크를 도 29에 있어서의 EO 방향, FO 방향, GO 방향, HO 방향으로부터 본 도면.
도 31은 워크의 내부 회로를 나타내는 도면.
도 32는 종래기술에 따른 워크의 전기 특성 검사를 나타내는 설명도.
도 33은 종래기술에 따른 워크의 전기 특성 검사를 나타내는 설명도.
도 34는 종래기술에 따른 워크의 전기 특성 검사를 나타내는 설명도.

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태에 대해 기술한다.

최초에 본 발명에 따른 워크 특성 측정 장치에 의해 측정되는 워크(W1)에 대해 기술한다. 우선 워크(W1)의 사시도를 도 2에 나타낸다. 워크(W1)는 발광 다이오드(LED)이며, 본체(W1x)와, 본체(W1x)의 하면에 형성되는 전극(W1a, W1b)과, 발광체(W1p)로 이루어진다. 워크(W1)를 도 2에 있어서의 E1 방향, F1 방향, G1 방향, H1 방향으로부터 본 도면을, 각각 도 3의 (a)(b)(c)(d)에 나타낸다. 도 3의 (a)(b)(c)에 나타내는 바와 같이, 발광체(W1p)는 본체(W1x)의 상면을 덮으며, 또한 당해 상면보다 위쪽으로 돌출한 형상을 지닌다.

그리고, 발광체(W1p)는 본체(W1x)와의 경계 부분에 있어서 본체(W1x)의 주위로 약간 돌출하는 가장자리부(W1e)를 갖는다. 또한, 도 3의 (c)(d)에 나타내는 바와 같이, 본체(W1x)의 하면에는 극히 얇은 전극(W1a, W1b)이 형성되어 있다. 본체(W1x)는 압압에 의해 흠집이 생기기 어려운 고경도부인 유전체에 의해 덮여 있으며, 이에 따라 본체(W1x)는 고경도부(W1x)를 구성한다. 이에 반해 발광부(W1p)는 압압에 의해 흠집이 생기기 쉬운 저경도부인 수지에 의해 형성되어 있다. 이에 따라 발광부(W1p)는 저경도부(W1p)를 구성한다.

워크(W1)의 내부 회로를 도 4에 나타낸다. 내부 회로는 발광 다이오드(D1)이며, 전극(W1a)이 애노드, 전극(W1b)이 캐소드이다. 전극(W1a, W1b)의 사이에 W1a가 고전위로 되도록 전압을 인가하면 발광 다이오드(D1)가 발광한다. 이때, 외관상은 도 2에 있어서의 발광체(W1p)가 발광한다. 또한, 도 3의 (d)에 나타내는 바와 같이, 전극(W1a)에는 애노드인 것을 나타내는 애노드 마크(W1ar)가 반원형의 노치로서 형성되어 있다.

시판되고 있는 발광 다이오드의 예로서, 도 2에 나타내는 본체(W1x)의 폭(X1)이 1.5㎜∼2.0㎜, 길이(Y1)가 2.0㎜∼2.5㎜, 높이(Z1)가 0.7∼1.0㎜, 도 3의 (b)에 나타내는 본체 폭(X1a)이 1.5㎜∼1.7㎜, 본체 높이(Z1a)가 0.2∼0.4㎜, 전극의 두께(Z1e)가 0.05㎜ 정도, 도 3의 (c)에 나타내는 본체 길이(Y1a)가 2.0㎜ 정도인 것이 있다.

다음으로 도면을 참조해서 본 발명에 따른 워크의 특성 측정 장치(100)에 대해 기술한다.

도 1 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 워크의 특성 측정 장치(100)는 고경도부(W1x)와 저경도부(W1p)를 갖는 워크(W1)의 특성을 측정하는 것이며, 테이블 베이스(1)와, 테이블 베이스(1) 상에 회전 가능하게 설치된 반송 테이블(2)을 구비하고 있다. 또한 반송 테이블(2)의 외주연을 따라 복수의 워크 수납 구멍(3)이 설치되어 있다. 또한 각 워크 수납 구멍(3)은 워크(W1)를 수납하는 것이며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부(30)와, 개구부(30)에 대향하는 내면벽(3si)과, 워크 수납 구멍(3)의 양 측면으로 되는 좌벽면(3sf1) 및 우벽면(3sf2)을 갖고 있다.

또 후술과 같이 워크 수납 구멍(3)의 내면벽(3si)은 후술하는 테이블 팁(5)의 압압면(5s)과 함께 워크 수납 구멍(3)의 내벽을 구성한다.

또한 반송 테이블(2)은 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 중심축(4)의 주위를 시계 방향(화살표(A) 방향)으로 간헐 회전한다. 그리고, 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3)이 형성된 위치에 있어서의 테이블 베이스(1)측의 면에는, 각 워크 수납 구멍(3)으로부터 보았을 때 중심축(4)의 측에 인접하는 위치에 반송 테이블(2)에 조립된 테이블 팁(5)이 형성되어 있다.

또한 도 1에 있어서, 반송 테이블(2)을 향해서 직선 형상의 리니어 피더(6)가 배치되어 있다. 리니어 피더(6)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 진동해 워크(W1)를 일렬 상태로 반송 테이블(2)을 향해서 화살표(B) 방향으로 반송한다. 리니어 피더(6)의 종단부는 반송 테이블(2)의 외주연에 형성된 워크 수납 구멍(3)의 개구부에 대향하며, 거기에 분리 공급부(7)가 배치되어 있다. 분리 공급부(7)는 리니어 피더(6)에 의해 반송된 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)에 개별적으로 공급하는 기능을 갖는다.

또한 도 1에 나타내는 바와 같이, 반송 테이블(2)의 외주부에 분리 공급부(7)로부터 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)을 따라, 워크(W1)의 상면을 촬상(撮像)해서 외관 검사를 행하는 제1 화상 검사부(8), 워크(W1)의 하면을 촬상해서 외관 검사를 행하는 제2 화상 검사부(9), 워크(W1)의 광 특성 및 전기 특성의 검사를 행하는 측정 수단으로서의 광전기 특성 검사부(10), 상기 각 검사의 결과가 불량이었던 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 불량품 배출부(11), 상기 각 검사의 결과가 양품이었던 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 양품 배출부(12)가, 이 순서로 배치되어 있다.

또, 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3)의 상면 및 반송 테이블(2)의 외측은, 상기한 분리 공급부(7), 제1 화상 검사부(8), 제2 화상 검사부(9), 광전기 특성 검사부(10), 불량품 배출부(11), 양품 배출부(12)를 제외하고, 각각 테이블 커버(13) 및 테이블 가이드(14)에 의해 덮여 있다.

광전기 특성 검사부(특성 검사부)(10)에 있어서의 반송 테이블(2)의 외측에는, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 워크 수납 구멍(3)의 개구부를 향해서, 화살표(M1 및 M2) 방향으로 진퇴 가능한 푸셔(15)가 배치되어 있다. 푸셔(15)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)의 검사를 행할 때에 워크(W1)를 압압하는 워크 고정 수단으로서의 기능을 갖는다.

또한, 반송 테이블(2)의 상측이며 광전기 특성 검사부(10)의 근방에는, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 도 1에 나타내는 대기 위치와 광전기 특성 검사부(10) 바로 위 위치 사이에서 화살표(L1 및 L2) 방향으로 진퇴하는 자세 불량 워크 배출부(강제 배출 수단)(16)가 배치되어 있다. 자세 불량 워크 배출부(16)는, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서, 후술과 같이 자세 불량으로 판단된 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 강제 배출 수단으로서의 기능을 갖는다. 그리고, 이 자세 불량 워크 배출부(16)는 워크(W1)를 흡인하는 배출 헤드(16a)와, 흡인한 워크(W1)를 후술하는 수납 상자(25)로 유도하는 배출 파이프(16b)를 갖는다. 또한, 전술한 각 부의 동작에 대해 제어를 행하는 제어부(17)가 배치되어 있다.

다음으로 워크 수납부(3)에 대해 기술한다. 도 5는 워크 수납 구멍(3)의 사시도이며, 도 1에 있어서의 반송 테이블(2)의 회전 방향인 화살표(A)가 도 5에 나타나 있다. 워크 수납 구멍(3)은 반송 테이블(2)의 외측을 향해서 개구되어 있다. 전술과 같이, 워크 수납 구멍(3)은 대향하는 좌벽면(3sf1) 및 우벽면(3sf2)과 내벽면(3si)에 의해 3방향이 둘러싸여 있으며 나머지 1면이 개구부(30)로 된다.

상기 3개의 벽면 중 내벽면(3si)이 도 1에 나타내는 중심축(4)측에 위치해 있다. 또한, 전술과 같이, 반송 테이블(2) 중 워크 수납 구멍(3)이 형성된 위치에 있어서의 테이블 베이스(1)측의 면에는, 각 워크 수납 구멍(3)으로부터 보았을 때 중심축(4)의 측에 인접하는 위치에 테이블 팁(5)이 조립되어 있다. 그리고, 반송 테이블(2)의 외측을 향한 테이블 팁(5)의 압압면(5s)은 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)보다 길이(δ1)만큼 반송 테이블(2)의 외측, 즉 워크 수납 구멍(3) 내로 돌출해 있다.

이와 같이 구성된 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)과 압압면(5s)에 의해 개구부(30)에 대향하는 내벽이 구성되어 있다. 또한, 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에는, 워크 수납 구멍(3)의 좌벽면(3sf1) 및 우벽면(3sf2)에 접하는 위치에, 제1 테이블 팁 진공 통로(51v) 및 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)가 형성되어 있다. 제1 테이블 팁 진공 통로(51v) 및 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)는 후술과 같이 진공 발생원(18)에 연통해 화살표(S1 및 S2) 방향으로 상시 흡인되어 있다.

또한, 반송 테이블(2)에는, 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)의 중앙부이며 테이블 팁(5)의 바로 위 위치에, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)가 형성되어 있다. 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)는 후술하는 배출부 전환 밸브(19)의 작용에 의해 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다.

워크 수납 구멍(3) 근방의 반송 테이블(2)의 평면도를 도 6에 나타낸다. 도 6에는 도 1에 있어서의 반송 테이블(2)의 회전 방향인 화살표(A)가 나타나 있다. 또한, 도 6에 있어서의 워크 수납 구멍(3)이 도 1에 있어서의 위치(N)에 있을 때의, 도 6에 나타내는 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)의 R1 단면도를 도 7의 (a)에, 또한 제1 테이블 팁 진공 통로(51v)의 R2 단면도를 도 7의 (d)에 각각 나타낸다.

도 5에 있어서, 반송 테이블(2) 중 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)으로부터 수평 방향으로 형성된 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)는, 도 6에 나타내는 바와 같이 회전축(4)(도 1)의 방향 즉 도 6에 있어서의 오른쪽 방향에 있어서 약간 넓어지며, 또한 도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이, 90° 방향을 바꿔 테이블 팁(5)을 관통해서 테이블 베이스(1)의 상면에 이른다.

한편, 도 5에 나타내는 바와 같이, 테이블 팁(5)의 압압면(5s)으로부터 테이블 팁(5)에 수평 방향으로 형성된 제1 테이블 팁 진공 통로(51v)는, 도 7의 (d)에 나타내는 바와 같이 회전축(4)(도 1)의 방향 즉 도 6에 있어서의 오른쪽 방향에 있어서 90° 방향을 바꿔 반송 테이블(2)에 이르고, 그 후, 90° 더 방향을 바꿔 테이블 팁(5)의 바로 위에 위치하는 반송 테이블(2)의 하면에 있어서, 제1 반송 테이블 진공 통로(31v)로 된다.

또한 도 6에 나타내는 바와 같이, 테이블 팁(5)에 형성된 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)는 제1 테이블 팁 진공 통로(51v)와 마찬가지의 경로로 반송 테이블(2)의 하면에 있어서 제2 반송 테이블 진공 통로(32v)로 되고, 제1 반송 테이블 진공 통로(31v)와 제2 반송 테이블 진공 통로(32v)는 도 6에 나타내는 바와 같이 합체되어 반송 테이블 기간(基幹) 진공 통로(3v)로 된다.

그리고, 도 7의 (d)에 나타내는 바와 같이, 이 반송 테이블 기간 진공 통로(3v)는 90° 방향을 바꿔 테이블 팁(5)을 관통해 테이블 베이스(1) 내에 이른다. 그리고, 테이블 베이스(1) 내에 설치된 진공 발생원(18)에 연통하며, 이에 따라, 제1 테이블 팁 진공 통로(51v) 및 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)는 화살표(S1 및 S2) 방향으로 상시 흡인되어 있다. 즉, 워크 수납 구멍(3) 내는 상시 진공 흡인되어 있다. 또, 반송 테이블 기간 진공 통로(3v)는 도 7의 (a)에도 나타나 있다.

또한, 도 6에 있어서의 워크 수납 구멍(3)이 도 1에 있어서의 불량품 배출부(11) 및 양품 배출부(12)에 위치하는 경우에 있어서의, 도 6에 나타내는 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)의 R1 단면도를 도 7의 (b)(c)에 나타낸다. 도 7의 (b)(c)와 도 7의 (a)가 서로 다른 점은, 도 7의 (a)에 있어서 테이블 베이스(1)의 상면이 종단(終端)으로 되어 있던 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)가, 도 7의 (b)(c)에 있어서는 테이블 베이스(1) 내에 통해 있는 것이다.

그리고, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)는 테이블 베이스(1) 내에 배치된 배출부 전환 밸브(19)에 접속되어 있다. 배출부 전환 밸브(19)는, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)의 연통처를 대기압 및 압축 에어원(20)으로부터 선택하는 작용을 갖는다. 도 7의 (b)는 배출부 전환 밸브(19)가 n측 즉 대기압을 선택하고 있는 모습을 나타낸다. 이때, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a) 내는 대기압을 유지한다. 또한, 도 7의 (c)는 배출부 전환 밸브(19)가 a측 즉 압축 에어원(20)을 선택하고 있는 모습을 나타낸다. 이때, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a) 내에는 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 이와 같이, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)가 테이블 베이스(1) 내에 통해서 배출부 전환 밸브(19)에 접속되는 것은, 도 1에 있어서의 불량품 배출부(11) 및 양품 배출부(12)에 있을 때뿐이다.

그 이유는, 전술과 같이, 불량품 배출부(11) 및 양품 배출부(12)는 각각 검사 결과가 불량이었던 워크 및 양품이었던 워크를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 기능을 갖고 있기 때문이다. 즉, 워크(W1)를 수납한 워크 수납 구멍(3)이 불량품 배출부(11) 및 양품 배출부(12)에 정지하면, 도 1의 제어부(17)의 제어에 의해, 최초에는 도 7의 (b)와 같이 배출부 전환 밸브(19)가 n측 즉 대기압을 선택한다. 이때, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a) 내는 대기압을 유지한다. 다음으로, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가 당해 배출부에 있어서 배출되어야 할 워크인 경우에는, 도 1의 제어부(17)의 제어에 의해, 도 7의 (c)와 같이 배출부 전환 밸브(19)가 a측 즉 압축 에어원(20)을 선택한다. 이때, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a) 내에는 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 이때 도 5에 있어서, 워크 수납 구멍(3) 내에 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 이 압축 에어의 작용에 의해, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 외주측을 향해 튀어나가, 도시되지 않은 배출 파이프로 유도되어 도시되지 않은 수납 상자에 수납된다. 또, 전술과 같이, 워크 수납 구멍(3) 내는 상시 진공 흡인되어 있지만, 화살표(J1) 방향의 압축 에어의 분사 압력은 진공 흡인력에 이겨낼 수 있는 크기로 설정되어 있기 때문에, 워크 수납 구멍(3)으로부터의 워크의 배출은 원활하게 행해진다.

도 5에 나타내는 워크 수납 구멍(3)에 워크(W1)가 수납되어 있는 모습을 사시도로 해서 도 8에 나타낸다. 여기에, 도 8에 있어서는, 도 1에 나타내는 테이블 커버(13) 및 테이블 가이드(14)는 생략하고 있다. 또한, 도 8을 화살표(U1) 방향으로부터 본 투시도를 도 9에 나타낸다. 단, 도 9에 있어서는 간단하게 하기 위해 제1 테이블 팁 진공 통로(51v)만 나타내고 있다.

도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 워크(W1)는 저경도부인 발광체(W1p)를 워크 수납 구멍(3)의 상측을 향해, 고경도부인 본체(W1x)의 일면(W1s2)을 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 맞닿게 해서 워크 수납 구멍(3)에 수납되어 있다. 그리고, 고경도부인 본체(W1x)와 저경도부인 발광체(W1p)의 양쪽이 워크 수납 구멍(3)의 개구부(30) 및 그것에 대향하는 내벽(내벽면(3si)과 압압면(5s))에 면해 있다.

이때, 전술과 같이, 제1 테이블 팁 진공 통로(51v) 및 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)는 화살표(S1 및 S2) 방향으로 상시 흡인되어 있다. 이 흡인의 작용에 의해 워크(W1)는 도 8 및 도 9의 자세를 유지한다. 또한, 전술과 같이, 워크(W1)의 발광체(W1p)는 본체(W1x)와의 경계 부분에 있어서, 본체(W1x)의 주위로 약간 돌출하는 가장자리부(W1e)를 갖는다. 그 돌출 길이를 도 9에 있어서 δ2로 나타낸다. 한편, 전술과 같이, 반송 테이블(2)의 외측을 향한 테이블 팁(5)의 압압면(5s)은, 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)보다 길이(δ1)만큼 워크 수납 구멍(3) 내로 돌출해 있다(도 5). 이 돌출 길이(δ1)를 δ1>δ2의 관계를 만족하도록 설정함으로써, 도 9에 나타내는 바와 같이, 내벽면(3si)과 압압면(5s)으로 이루어지는 워크 수납 구멍(3)의 내벽에는, 저경도부인 가장자리부(W1e)의 외주가 맞닿는 범위에 벽면이 형성되지 않도록 하고 있다. 즉, 고경도부인 본체(W1x)의 일면(W1s2)이 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 맞닿아서 화살표(S1) 방향의 흡인에 의해 압압되어도 저경도부인 가장자리부(W1e)는 어디에도 맞닿지 않는다. 이에 따라, 압압에 의해 가장자리부(W1e)에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다.

도 9에 있어서, 워크 수납 구멍(3)의 내벽을 구성하는 내벽면(3si)은, 발광체(저경도부)(W1p)와 맞닿지 않으며, 마찬가지로 내벽을 구성하는 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 대해서, 발광체(W1p)를 도피시키는 노치부로서 기능한다.

다음으로, 워크 수납 구멍(3)이 도 1에 나타내는 광전기 특성 검사부(10)에 정지해 있는 모습을 사시도로 해서 도 10에 나타낸다. 광전기 특성 검사부(10)의 테이블 베이스(1)에는 흡인 분사 통로(10a)가 형성되어 있다. 흡인 분사 통로(10a)는 후술하는 검사부 전환 밸브(21)의 작용에 의해 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인되며, 혹은 화살표(J2) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 또한, 흡인 분사 통로(10a)를 반송 테이블(2)의 직경 방향으로 사이에 두는 형태로 프로브 통로(10b, 10c)가 형성되어 있다.

프로브 통로(10b, 10c)를 도 10에 있어서의 화살표(U2) 방향으로부터 본 투시도로 해서 도 11에 나타낸다. 테이블 베이스(1) 내의 프로브 통로(10b, 10c)에는 각각 프로브(P1a, P1b)가 배치되어 있으며, 그들은 테이블 베이스 내에 있어서 도시되지 않은 측정기에 접속되어 있다. 그리고, 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)와 맞닿아서 워크(W1)의 특성 검사를 행하는 검사 부재로서 기능하며, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 K1 방향 및 K2 방향으로 승강 가능하게 되어 있다.

워크 수납 구멍(3)이 광전기 특성 검사부(10)에 위치할 때에는, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)은 프로브 통로(10b, 10c)의 바로 위에 위치한다. 이 때문에, K1 방향으로 상승한 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 맞닿는다. 또한, 도 10에 나타내는 바와 같이, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 반송 테이블(2)의 외측에는, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 워크 수납 구멍(3)의 개구부(30)를 향해서 화살표(M1 및 M2) 방향으로 진퇴 가능한 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)가 배치되어 있다.

다음으로 이와 같은 구성으로 이루어지는 본 실시형태의 작용에 대해 설명한다.

도 1에 있어서, 워크(W1)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 진동하는 리니어 피더(6)에 의해 일렬 상태로 화살표(B) 방향으로 반송된다. 그때, 워크(W1)의 도 2에 나타내는 전극(W1a, W1b)이 도 1에 있어서의 화살표(B) 방향을 따르도록 반송된다. 이때 전극(W1a, W1b) 중 무엇이 화살표(B) 방향의 전후에 위치하는지는 정해져 있지 않다.

리니어 피더(6)에 의해 반송된 워크(W1)는, 도 1에 나타내는 분리 공급부(7)에 있어서, 도시되지 않은 분리 기구의 작용에 의해 개별적으로 분리되어 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3)에 수납된다. 그리고, 워크 수납 구멍(3) 내에 수납된 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 화살표(A) 방향의 간헐 회전에 의해 반송되어 최초에 제1 화상 검사부(8)에 도달한다. 그리고, 도시되지 않은 촬상 수단에 의해 워크(W1)의 상면을 촬상해서 외관 검사를 행한다. 다음으로 워크(W1)가 제2 화상 검사부(9)에 도달해서 도시되지 않은 촬상 수단에 의해 워크(W1)의 하면을 촬상해서 외관 검사를 행한다. 그리고, 이 촬상 화상을 화상 처리 프로그램에 의해 처리해서, 도 3의 (d)에 나타내는 애노드 마크(W1ar)를 검출해 당해 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)의 위치를 판별한다. 그 정보는 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신된다.

반송 테이블(2)이 더 회전해서 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 광전기 특성 검사부(10)에 도달한다. 그리고 전술과 같이, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)은 도 11에 있어서의 프로브 통로(10b, 10c)의 바로 위에 위치한다. 이때의 모습을 도 10에 있어서의 화살표(U2) 방향으로부터 본 투시도로 해서 도 12에 나타낸다.

도 12에 있어서, 흡인 분사 통로(10a)는 테이블 베이스(1) 내에 있어서 검사부 전환 밸브(21)에 접속되어 있다. 검사부 전환 밸브(21)는, 흡인 분사 통로(10a)의 연통처를 진공 발생원(22) 및 압축 에어원(23)으로부터 선택하는 작용을 갖는다. 도 12는 검사부 전환 밸브(21)가 v측 즉 진공 발생원(22)측을 선택하고 있는 모습을 나타낸다. 이때, 검사부 전환 밸브(21)와 진공 발생원(22)에 의해 워크(W1)의 테이블 베이스측의 면을 진공 흡인함과 함께, 흡인 분사 통로(10a)는 흡인 통로로서 작용한다.

즉, 흡인 분사 통로(10a) 내가 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인되어, 워크(W1)의 테이블 베이스측의 저면은 테이블 베이스(1)의 상면에 흡착된다.

또, 검사부 전환 밸브(21)와 진공 발생원(22) 사이의 흡인 통로(22x)에는 진공도를 계측하기 위한 진공도 계측 수단으로서의 진공압계(眞空壓計)(24)가 접속되어 있다. 또한, 도 12에 있어서, 프로브 통로(10b, 10c) 내의 프로브(P1a, P1b)는 테이블 베이스(1) 내의 대기 위치에 있다. 또한, 워크 수납 구멍(3)으로부터 보았을 때 반송 테이블(2)의 외측에 위치해 있는 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)는, 그 선단면(15as)이 테이블 가이드(14)의 반송 테이블(2)측의 면(14s)과 대략 한 면으로 되는 대기 위치에 있다.

이 상태에서 제어부(17)의 제어에 의해 워크(W1)가 광전기 특성 검사부(10)에 있어서 고정되어 검사된다. 워크(W1)에 대한 고정 및 검사의 작용을 도 13 내지 도 15를 이용해서 설명한다.

우선 도 13에 나타내는 바와 같이, 푸셔(15)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 워크 수납 구멍(3) 내에 화살표(M1) 방향을 향해서 진출한다. 그리고, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)에 맞닿는다. 다음으로 도시되지 않은 가압 수단이 푸셔(15)를 화살표(M1) 방향으로 가압해 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s2)은 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 압압된다. 이때 워크(W1)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서, 흡인 분사 통로(10a)에 있어서의 화살표(S3) 방향의 진공 흡인의 작용에 의해 테이블 베이스(1)의 상면에 흡착됨과 함께, 푸셔(15)의 작용에 의해 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 압압되어 고정된다.

다음으로, 제어부(17)에 의해 제어되는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 프로브(P1a, P1b)는 도 14에 있어서의 화살표(K1) 방향으로 상승해서 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 맞닿는다. 그런데 전술과 같이, 제2 화상 검사부(9)에 있어서, 도 3의 (d)에 나타내는 애노드 마크(W1ar)를 검출해서 당해 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)의 위치를 판별한 정보가 제어부(17)로 송신되어 있다. 이 정보에 의거해서, 제어부(17)의 제어에 의해, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서 워크(W1)의 전기 회로(도 4)인 발광 다이오드(D1)의 애노드(전극(W1a))와 캐소드(전극(W1b))에 대해서, 도시되지 않은 측정기가 올바르게 접속되도록 당해 측정기가 프로브(P1a, P1b)에 접속된다. 또, 도 14에 있어서는, 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)은 각각 반송 테이블(2)의 외주측 및 중심축(4)(도 1)측에 위치해 있다. 워크 수납 구멍(3) 내의 모든 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)이 도 14와 동일한 위치에 있다고는 할 수 없지만, 본 명세서의 도면에 있어서는 간단하게 하기 위해 모든 도면에 있어서 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)의 위치는 도 14와 동일하게 기재하고 있다.

도 14에 있어서 프로브(P1a, P1b)가 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 맞닿으면, 이번에는 도시되지 않은 압압 수단이 프로브(P1a, P1b)를 화살표(K1) 방향으로 압압해 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 압압된다.

이때, 상기와 같이, 워크(W1)는 흡인 분사 통로(10a)에 있어서의 화살표(S3) 방향의 진공 흡인의 작용 및 푸셔(15)의 압압 작용에 의해 고정되어 있다. 이 때문에, 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)과 충분히 큰 압력에 의해 맞닿을 수 있다. 즉, 프로브(P1a, P1b)와 워크의 전극(W1a, W1b) 사이의 접촉 저항이 작아져 측정 정밀도를 확보할 수 있다.

또한, 푸셔(15)의 작용에 의해, 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s2)이 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 의해 강한 힘으로 압압될 때, 고경도부인 본체(W1x)만이 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 맞닿고, 저경도부인 가장자리부(W1e)는 내면벽(3si)에 맞닿지 않는다. 그 이유는 전술과 같이, 도 9에 있어서 테이블 팁(5)의 압압면(5s)이 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)으로부터 돌출하는 돌출 길이(δ1)와, 워크(W1)의 발광체(W1p)가 본체(W1x)와의 경계 부분에 있어서 돌출하는 가장자리부(W1e)의 돌출 길이(δ2) 사이에 δ1>δ2의 관계가 있기 때문이다. 즉, 이 관계를 만족함으로써, 내벽면(3si)과 압압면(5s)으로 이루어지는 워크 수납 구멍(3)의 내벽에는, 저경도부인 가장자리부(W1e)의 외주가 맞닿는 범위에 벽면이 형성되지 않도록 하고 있는 것이다.

이와 같이 해서, 도 14에 있어서 워크(W1)는 고정되고, 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)과 충분히 큰 압력에 의해 맞닿아, 도시되지 않은 측정기와 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)이 접속된다. 그리고, 측정기로부터 전극(W1a, W1b)에 소정의 전압이 인가되어 발광체(W1p)가 발광한다.

광전기 특성 검사부(10)에 있어서는, 워크 수납 구멍(3)의 상측에는 테이블 커버(13)가 설치되어 있지 않고 개방되어 있다. 이 때문에, 이 발광체(W1p)의 광을 워크(W1)의 상측에 배치된 도시되지 않은 측정기에 의해 수광해 광의 파장이나 휘도 등의 광 특성 검사가 행해진다. 또한, 프로브(P1a, P1b)에 접속된 도시되지 않은 측정기에 의해, 상기 소정의 전압을 인가했을 때에 워크(W1)에서 흐르는 전류 등의 전기 특성 검사가 행해진다. 이들 광 특성 검사 및 전기 특성 검사의 결과는 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신된다.

이상의 검사를 종료하면, 제어부(17)의 제어에 의한 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 프로브(P1a, P1b)가 도 15에 있어서의 화살표(K2) 방향으로 하강해서 도 12와 마찬가지의 대기 위치로 되돌아간다.

다음으로, 푸셔(15)는 도 15에 있어서의 M2 방향으로 퇴출해 도 12와 마찬가지의 대기 위치로 되돌아간다. 그리고, 반송 테이블(2)이 회전해서 검사를 종료한 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 도 1에 나타내는 불량품 배출부(11)로 반송된다. 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가 불량품 배출부(11)에 도달하면, 제어부(17)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 당해 워크(W1)의 검사 결과가 불량인지의 여부를 판단해 불량인 것으로 판단되었을 경우, 제어부(17)가 배출부 전환 밸브(19)를 작동시켜, 도 5에 나타내는 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)로부터 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 그리고, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 외주측을 향해 튀어나가, 도시되지 않은 배출 파이프로 유도되어 도시되지 않은 수납 상자에 수납된다. 한편, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 당해 워크(W1)의 검사 결과가 양품인 것으로 판단되었을 경우에는, 불량품 배출부(11)에 있어서 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 배출되지 않고 양품 배출부(12)로 반송된다.

양품 배출부(12)에 도달한 양품 워크(W1)는 불량품 배출부(11)와 마찬가지로, 도 5에 나타내는 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)로부터 분사되는 압축 에어의 작용에 의해, 반송 테이블(2)의 외주측을 향해 튀어나가, 도시되지 않은 배출 파이프로 유도되어 도시되지 않은 수납 상자에 수납된다.

그 동안, 도 13에 나타내는 바와 같이, 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 진출해서, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)에 맞닿을 때에, 워크(W1)가 워크 수납 구멍(3) 내에서 경사져 버리는 경우가 있다. 그 일례를 도 13의 워크(W1) 근방의 확대도로 해서 도 16의 (a)(b)(c)에 나타낸다. 도 16의 (a)는, 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 진출해서, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)에 맞닿았을 때의 모습을 나타낸다.

도 16의 (a)(b)(c)에 나타내는 바와 같이, 본체(W1x)의 면(W1s1)은, 이것에 맞닿는 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 대해서 완전하게 평행은 아니다. 이것은, 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 기인하는 것이다.

워크(W1)의 각 부의 치수는 전술과 같이 고작 1∼3㎜이기 때문에 그 제조 오차를 저감하는 것은 극히 곤란하다. 그런데, 이들 평행이 아닌 2면이 맞닿으면, 그 면들의 한쪽의 끝으로부터 다른 쪽의 끝을 향할수록 간격이 벌어지는 대략 V자형의 극간(隙間)이 생긴다. 도 16의 (a)의 경우에는, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 본체(W1x)의 면(W1s1)의 발광체(W1p)에 가까운 위치에 맞닿고, 거기에 화살표(M1) 방향으로의 진출에 의해 생기는 진출력(FX1)이 집중해서 인가된다. 그리고, 푸셔(15)의 선단면(15as)과 워크(W1)의 면(W1s1) 사이에는, 전극(W1a)이 형성되어 있는 본체(W1x)의 저면을 향할수록 간격이 α로 되도록 벌어지는 대략 V자형의 극간이 생겨 있다.

그런데, 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)는 지면(紙面)에 평행 방향으로 얇고 지면에 수직 방향으로 두껍게 형성되어 있으며, 또한 그 선단면(15as)과 면(W1s1)의 2면간에는 상기 얇게 형성된 방향을 따라 대략 V자형의 극간이 형성되어 있다.

이 때문에 도 16의 (a)의 상태에서 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 더 진출하면, 진출력(FX1)의 작용에 의해, 이들 2면(15as, W1s1)간에 미끄러짐을 일으킨다. 그리고, 도 16의 (b)에 나타내는 바와 같이, 힘(FX1)이 인가되는 위치가 당해 극간의 간격이 벌어지는 측, 즉 전극(W1a)이 형성되어 있는 본체(W1x)의 저면측으로 이동한다. 이 때문에, 본체(W1x)의 저면의 전극(W1a)이 형성되어 있는 측이 테이블 베이스(1)의 상면으로부터 떠올라 워크(W1)의 자세가 워크 수납 구멍(3) 내에서 경사진다. 이 상태에서 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 더 진출하면, 도 16의 (c)에 나타내는 바와 같이, 워크(W1)의 경사가 더 커져, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 하측으로 침입해서 정지한다. 맞닿음부(15a)가 도 16의 (c)에 나타내는 위치까지 진출해서 정지하는 이유는, 이 위치가 워크 수납 구멍(3) 내에 워크(W1)가 존재하지 않을 때에 푸셔(15)를 정지시키는 위치에 상당하기 때문이다.

이상의 설명에 있어서는, 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 맞닿는 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)이 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 대해서 완전하게 평행은 아니기 때문에, 워크(W1)의 자세가 경사지는 경우에 대해 설명했다. 이 밖에, 도 16의 (a)에 있어서, 테이블 팁(5)의 압압면(5s)과, 압압면(5s)에 맞닿는 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s2)이 완전하게 평행이 아닌 경우에도, 마찬가지로 압압면(5s)과 면(W1s2)의 사이에 미끄러짐을 일으켜 워크(W1)의 자세가 경사진다.

도 16의 (c)의 상태에서, 프로브(P1a, P1b)를 도 14에 있어서의 화살표(K1) 방향으로 상승시킨 모습을 도 17에 나타낸다. 도 17에 있어서, 프로브(P1a, P1b)는 워크 수납 구멍(3) 내에 침입해서 정지해 있다. 이때의 프로브(P1a, P1b)의 위치는 워크 수납 구멍(3) 내에 워크(W1)가 존재하지 않을 때에 프로브(P1a, P1b)를 정지시키는 위치에 대응한다. 도 17에 있어서, 전극(W1a)과 프로브(P1a)는 맞닿아 있지 않으므로 올바른 측정을 할 수 없다.

도 17의 상태를 정상으로 하기 위해, 도 15와 같이 프로브(P1a, P1b)를 화살표(K2) 방향으로 하강시켜서 대기 위치로 되돌리고, 푸셔(15)를 화살표(M2) 방향으로 퇴출시켜서 대기 위치로 되돌리고, 다시 푸셔(15)를 도 14와 같이 화살표(M1) 방향으로 진출시켜서 워크(W1)의 본체(W1x)에 맞닿게 하는 것이 필요하다. 그러나, 도 17의 상태로 되는 원인이 상기와 같은 워크(W1)의 형상에 따른 것이면, 다시 동일한 상태로 될 가능성이 극히 높다. 이 때문에, 도 17의 상태를 검출해서 워크(W1)를 배출하고, 후속의 신규 워크(W1)를 광전기 특성 검사부(10)에 도달시켜, 그 워크(W1)에 푸셔(15)를 맞닿게 해서 고정해 검사하는 것이 바람직하다.

도 17의 상태를 검출하기 위해, 워크(W1)를 압압할 때의 푸셔(15)의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 수단이 설치되어 있다. 이것에 대해 도 18 내지 도 19의 (a)(b)를 이용해서 설명한다. 도 18은 푸셔(15)의 평면도이다. 푸셔(15)는 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)에 비해서 훨씬 크므로, 길이 방향의 도중을 생략한 표기로 하고 있다. 푸셔(15)는, 워크(W1)와 대략 동일한 폭을 갖는 맞닿음부(15a)와, 이 맞닿음부(15a)에 일체적으로 연결되며 테이블 가이드(14)의 간극에 들어가는 폭을 갖는 중앙부(15b)를 갖는다.

또한 중앙부(15b)에 이어서, 도시되지 않은 구동 기구에 접속되는 기부(基部)(15c)가 일체적으로 연결되어 있다. 기부(15c)에는, 푸셔(15)가 대기 위치(도 12)로부터 워크(W1)의 본체(W1x)(도 12)에 맞닿을 때까지의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 수단으로서의 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e)가 설치되어 있다. 검출 블록(15d)은 푸셔(15)의 위치를 나타내는 표지(標識)로서 기능하며, 후술과 같이 근접 센서(15e)에 의해 그 위치가 검출된다. 근접 센서(15e)는 기부(15c)로부터 이간하며 또한 검출 블록(15d)에 대향하는 위치에 배치되어 있다. 근접 센서(15e)는 검출 대상물의 존재 정보를 전기 신호로 변환해서 대상물이 접근했는지의 여부를 검출하는 기능을 갖는다. 근접 센서(15e)에는, 검출 블록(15d)의 접근을 검출한 경보를 도 1에 나타내는 제어부(17)에 송신하기 위한 케이블(15f)이 접속되어 있다.

도 18에 있어서의 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e)의 작용에 대해, 영역(V1)의 확대도인 도 19의 (a)(b)를 이용해서 설명한다. 도 19의 (a) 및 도 19의 (b)에 있어서, 일점 쇄선으로 표시되는 경보 경계선(15x)보다 오른쪽에 근접 센서(15e)의 검출 물체인 검출 블록(15d)이 있을 경우, 근접 센서(15e) 내의 경보 송출부(15e1)에 의해 검출 블록(15d)의 접근을 검출한 경보(PALM)(도 19의 (b))가 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신된다. 이 경우, 도 19의 (a)에 있어서는 근접 센서(15e)와 검출 물체인 검출 블록(15d)의 간극(15G)이 크다. 즉 검출면(15ds)이 일점 쇄선으로 표시되는 경보 경계선(15x)보다 왼쪽에 있기 때문에, 근접 센서(15e)는 검출 블록(15d)을 검출하지 않는다.

이에 반해, 도 19의 (b)에 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 진출해 검출면(15ds)이 경보 경계선(15x)보다 오른쪽까지 도달한 모습을 나타낸다. 이 경우, 간극(15G)이 작아져 근접 센서(15e)는 검출 물체인 검출 블록(15d)을 검출한다. 그리고, 근접 센서(15e)로부터는 푸셔 경보(PALM)가 내보내져 도 18에 나타내는 케이블(15f)에 의해 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신된다.

다음으로, 도 19의 (a)(b)에 있어서의 경보 경계선(15x)의 설정예에 대해 기술한다. 예로서 이하의 조건을 생각할 수 있다.

조건 1 : 워크 수납 구멍(3)에 워크(W1)가 수납되어 있지 않은 상태이며 푸셔(15)의 이동 거리는 0.4㎜임.

조건 2 : 워크(W1)의 치수 편차 및 푸셔(15)의 제조 편차를 제외하고, 도 13에 나타내는 바와 같이 푸셔(15)가 워크(W1)를 올바르게 고정한 경우의 푸셔(15)의 이동 거리는 0.2㎜임

조건 3 : 도 17에 나타내는 바와 같이 푸셔(15)가 워크(W1)를 올바르게 고정할 수 없었던 경우의 푸셔(15)의 이동 거리는 0.2㎜를 넘고 0.4㎜ 이하임.

조건 4 : 조건 1에 있어서 푸셔(15)를 0.4㎜ 이동시킨 상태에서, 도 19의 (a)(b)에 나타내는 근접 센서(15e)와 검출 블록(15d)의 간극(15G)이 0.1㎜로 되도록 조정함.

여기에, 도 19의 (a)와 같이 푸셔(15)의 진출 방향(M1)의 이동 거리가 작은, 즉 간극(15G)이 클 경우에는 도 13과 같이 올바르게 고정할 수 있었던 것으로 판단할 수 있는 것을 알 수 있다. 또한, 도 19의 (b)와 같이 당해 이동 거리가 큰, 즉 간극(15G)이 작은 경우에는 도 17과 같이 올바르게 고정할 수 없었던 것으로 판단할 수 있는 것을 알 수 있다. 따라서, 올바르게 고정할 수 있었던 경우의 간극(15G)은 조건 3, 4에 따라 0.1㎜에 0.2㎜를 가산한 0.3㎜ 이상으로 된다. 이 점에서, 도 19의 (a)(b)에 있어서의 경보 경계선(15x)은 근접 센서(15e)로부터 0.3㎜로 되도록 근접 센서(15e)에 내장된 도시되지 않은 조정 기구를 이용해서 설정하면 된다.

이상과 같이, 도 18에 나타내는 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e)에 의해, 푸셔(15)가 대기 위치(도 12)로부터 워크(W1)의 본체(W1x)(도 12)에 맞닿을 때까지의 이동 거리를 계측해서, 제어부(17)는 계측된 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크(W1)의 자세가 경사진 것을 검출할 수 있다.

전술한 바와 같은 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 기인해서, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)의 자세가 경사지는 요인은 그 밖에도 있다. 그것에 대해 도 20 내지 도 22를 이용해서 설명한다. 도 20의 (a)는 도 13의 워크(W1) 근방의 확대 평면도이다. 단, 간단하게 하기 위해 워크(W1)의 발광체(W1p)는 기재하고 있지 않다. 도 20의 (a)는, 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 진출해서, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)에 맞닿았을 때의 모습을 나타낸다. 여기에, 본체(W1x)의 면(W1s1)은, 전술한 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 의해, 이것에 맞닿는 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 대해 완전하게 평행은 아니다. 그리고, 이들 평행이 아닌 2면(W1s1, 15as)이 맞닿으면, 그 면들의 한쪽의 끝으로부터 다른 쪽의 끝을 향할수록 간격이 벌어지는 대략 V자형의 극간이 생긴다. 도 20의 (a)의 경우에는, 본체(W1x)의 면(W1s1)에 있어서의 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽에 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 맞닿고, 거기에 푸셔(15)의 화살표(M1) 방향으로의 진출에 의해 생기는 진출력(FX2)이 집중해서 인가된다. 그리고, 선단면(15as)과 면(W1s1) 사이에는 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)을 향할수록 간격이 β1로 되도록 벌어지는 대략 V자형의 극간이 생겨 있다.

그런데, 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)는 지면에 평행 방향으로 두껍고 지면에 수직 방향으로 얇게 형성되어 있으며, 또한 그 선단면(15as)과 면(W1s1)의 2면간에는 전술과 같이 두껍게 형성된 방향을 따라 대략 V자형의 극간이 형성되어 있다. 따라서, 도 20의 (a)에 있어서, 선단면(15as)과 면(W1s1)이 맞닿는 영역(V2)은 진출력(FX2)에 의해 압압되지만, 맞닿지 않는 영역(V3)은 전혀 압압되지 않는다. 즉, 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽만이 고정된다.

또한, 도 20의 (b)는, 본체(W1x)의 면(W1s2)이, 이것에 맞닿는 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 대해서 완전하게 평행이 아닌 경우를 나타낸다. 도 20의 (b)에 있어서는, 압압면(5s)과 면(W1s2) 사이에 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)을 향할수록 간격이 β2로 되도록 벌어지는 대략 V자형의 극간이 생겨 있다. 그리고, 도 20의 (a)와 마찬가지의 이유에 의해, 압압면(5s)과 면(W1s2)이 맞닿는 영역(V4)은 진출력(FX3)에 의해 압압되지만, 맞닿지 않는 영역(V5)은 전혀 압압되지 않는다. 그리고, 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽만이 고정된다.

이와 같이, 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽만이 고정된 워크(W1)에 대해서, 도 11에 나타내는 프로브(P1a, P1b)가 화살표(K1) 방향으로 상승했을 때의 모습을, 반송 테이블(2)의 중심축(4)(도 1)측으로부터 본 투시도로 해서 도 21의 (a)(b)에 나타낸다. 도 21의 (a)는, 도 20의 상태에서, 프로브 통로(10c) 내의 프로브(P1b)가 테이블 베이스(1) 내의 대기 위치에 있는 모습을 나타낸다. 이때, 프로브 통로(10b) 내의 프로브(P1a)는 프로브 통로(10c) 및 프로브(P1b)에 가려서 보이지 않지만 프로브(P1b)와 마찬가지로 대기 위치에 있다.

마찬가지로, 워크(W1)의 전극(W1a)은 전극(W1b)에 가려서 보이지 않는다.

또한, 검사부 전환 밸브(21)는 v측 즉 진공 발생원(22)측을 선택해 흡인 분사 통로(10a) 내는 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인된다. 이 화살표(S3) 방향의 진공 흡인의 작용에 의해 워크(W1)는 테이블 베이스(1)의 상면에 흡착된다. 이때, 진공압계(24)는 흡인 통로(22x)의 진공도를 계측하고 있지만, 그 계측값은 상기한 흡착의 작용에 의해 충분히 높은 진공도를 나타내는 값이다.

다음으로, 이 상태에서 프로브(P1a, P1b)는 도 21의 (b)에 있어서의 화살표(K1) 방향으로 상승해서 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 맞닿는다. 이때, 전술과 같이, 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽만이 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)에 의해 고정되어 있다. 이 때문에, 프로브(P1b)가 상승해서 워크(W1)의 전극(W1b)에 맞닿으면, 워크(W1)의 고정되어 있지 않은 측, 즉 도 21의 (b)에 있어서의 화살표(A)의 앞쪽편이 위쪽으로 이동한다. 이때, 도 17과 마찬가지로 프로브(P1a, P1b)는 워크 수납 구멍(3) 내에 침입해서 정지해 있다. 도 21의 (b)에 있어서, 전극(W1b)과 프로브(P1b)는 올바르게 맞닿아 있지 않으며, 마찬가지로 도시되지 않은 전극(W1a)과 프로브(P1a)도 올바르게 맞닿아 있지 않다. 이 때문에, 올바른 측정을 할 수 없다.

이와 같은 도 21의 (b)의 상태를 검출하기 위해 진공압계(24)가 배치되어 있다. 전술과 같이, 도 21의 (a)에 있어서는 화살표(S3) 방향의 진공 흡인의 작용에 의해 워크(W1)가 테이블 베이스(1)의 상면에 흡착되어 있다. 이 때문에, 진공압계(24)에 의한 흡인 통로(22x)의 진공도의 계측값은 충분히 높다. 이에 반해 도 21의 (b)에 있어서는, 워크(W1)의 저면이 테이블 베이스(1)의 상면으로부터 이간해 있다. 이 때문에, 흡인 분사 통로(10a)로부터 검사부 전환 밸브(21)를 경유해서 흡인 통로(22x)로 대기가 침입한다. 그리고, 진공압계(24)에 의한 흡인 통로(22x)의 진공도의 계측값은 낮아진다. 이 계측값이 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에 진공압계(24)는 진공 경보(VALM)를 내보내고, 그것을 도 1에 나타내는 제어부(17)에 송출한다.

이상과 같이, 도 12에 나타내는 진공압계(24)에 의해 흡인 통로(22x)의 진공도를 계측해서, 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부(17)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크(W1)의 자세가 경사진 것을 검출한다.

또, 상기한 설명에 있어서는, 도 20의 (a)(b)와 같이, 워크(W1)의 면(W1s1) 혹은 면(W1s2)에 있어서, 각 면의 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽(도 20의 (a)에 있어서의 영역(V2) 및 도 20의 (b)에 있어서의 영역(V4))만이 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)에 의해 고정되는 것으로 했다.

그러나, 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 따라서는, 도 20의 (a)(b)에 나타내는 대략 V자형의 극간이 β1 혹은 β2로 벌어지는 측이, 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽(도 20의 (a)에 있어서의 영역(V2)측 및 도 20의 (b)에 있어서의 영역(V4)측)으로 되는 경우도 있다. 그 경우는, 면(W1s1) 혹은 면(W1s2)에 있어서, 각 면의 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 앞쪽(도 20의 (a)에 있어서의 영역(V3) 및 도 20의 (b)에 있어서의 영역(V5))만이 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)에 의해 고정된다. 그리고, 그 상태에서 도 21의 (b)와 같이 프로브(P1b)가 상승해서 워크(W1)의 전극(W1b)에 맞닿으면, 워크(W1)는 도 21의 (b)에 있어서의 화살표(A)의 뒤쪽편이 위쪽으로 이동한다. 그 경우도, 도 12에 나타내는 진공압계(24)에 의해 흡인 통로(22x)의 진공도를 계측하면, 전술한 이유에 의해, 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부(17)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크(W1)의 자세가 경사진 것을 검출한다.

이상과 같이, 본 발명에 따른 워크의 특성 측정 장치(100)는, 워크(W1)가 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 푸셔(15)의 작용에 의해 고정될 때에, 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 기인해서 워크 수납 구멍(3) 내에서 자세가 경사진 것을, 푸셔(15)의 이동 거리의 계측 및 흡인 통로(22x)의 진공도의 계측이라는 2종류의 계측에 의해 검출하고 있다. 이 때문에, 워크(W1)의 워크 수납 구멍(3) 내에 있어서의 자세의 경사를 확실하게 검출할 수 있다.

전술과 같이 도 18에 나타내는 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e), 혹은 도 12에 나타내는 진공압계(24)에 의해, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크(W1)의 자세가 경사진 것을 검출하면, 각각 푸셔 경보(PALM) 혹은 진공 경보(VALM)가 내보내져 제어부(17)로 송신된다. 이러한 경보를 제어부(17)가 수신하면 제어부(17)의 제어에 의해 당해 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출한다. 그 작용에 대해 도 22 내지 도 27을 이용해서 설명한다.

도 22의 (a)는, 도 16의 (a)(b)(c)를 이용해서 설명한 바와 같이, 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)이, 이것에 맞닿는 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 대해 완전하게 평행이 아닌 것에 기인해서, 워크 수납 구멍(3) 내에서 경사져 있는 모습을 나타낸다. 또한, 도 22의 (b)는 도 21의 (a)를 반송 테이블(2)의 중심축(4)(도 1)측으로부터 본 도면이다.

도 22의 (a)(b)에 있어서, 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 하측으로 침입해서 정지해 있다. 또한, 프로브(P1a, P1b)가 화살표(K1) 방향으로 상승해 워크 수납 구멍(3) 내에 침입해서 정지해 있다. 그리고, 워크(W1)는 워크 수납 구멍(3) 내에서 자세가 경사져 있다. 도 22의 (a)의 하부에는, 이때의 도 18에 있어서의 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e) 근방(영역(V1))의 확대도를 아울러서 기재하고 있다. 이 도면은 도 19의 (b)와 동일하며 근접 센서(15e) 내의 경보 송출부(15e1)는 푸셔 경보(PALM)를 내보내고 있다. 또한, 도 22의 (b)에는, 흡인 분사 통로(10a)가 검사부 전환 밸브(21)의 작용에 의해 진공 발생원(22)에 연통해서, 흡인 분사 통로(10a) 내가 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인되어 있는 모습을 아울러서 나타낸다.

이 상태에서, 푸셔 경보(PALM)를 수신한 제어부(17)(도 1)의 제어에 의해 도 23의 (a)(b)의 상태로 된다. 즉, 푸셔(15)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 화살표(M2) 방향으로 퇴출해서 대기 위치에 정지한다. 그리고, 프로브(P1a, P1b)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 화살표(K2) 방향으로 하강해서 대기 위치에 정지한다. 이때, 푸셔(15)가 대기 위치까지 퇴출하므로, 상기 근접 센서(15e) 내의 경보 송출부(15e1)는 푸셔 경보(PALM)의 내보내기를 정지한다. 이 모습을 도 23의 (a)의 하부에 아울러서 나타낸다. 이 도면은 도 19의 (a)와 동일하다.

이상과 같이, 푸셔(15)와 프로브(P1a, P1b)가 모두 대기 위치에 정지함으로써, 도 23의 (a)(b)에 나타내는 바와 같이, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 그 저면에 형성된 전극(W1a, W1b)이 테이블 베이스(1) 상면에 재치(載置)된다.

다음으로, 도 1에 나타내는 제어부(17)의 제어에 의해, 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에 위치하는 도시되지 않은 측정기가, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 상승해서 도시되지 않은 퇴피 위치에 정지한다.

그리고, 도 1에 나타내는 강제 배출 수단으로서의 자세 불량 워크 배출부(16)가, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 도 1에 나타내는 대기 위치로부터 화살표(L1) 방향으로 진출해서, 지금까지 당해 측정기가 위치해 있던 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에 정지한다. 이 모습을 도 24에 나타낸다.

여기에, 도 24 내지 도 27은, 도 23의 (b)와 마찬가지로, 광전기 특성 검사부(10)를 반송 테이블(2)의 중심축(4)(도 1)측으로부터 본 도면이다. 도 24에 있어서, 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에는 워크(W1)를 흡인하는 자세 불량 워크 배출부(16)의 배출 헤드(16a)가 위치해 있다. 배출 헤드(16a)의 배출 통로(16ap)는 배출 파이프(16b)에 접속되며, 배출 파이프(16b)의 종단부에는 수납 상자(25)가 접속되어 있다. 배출 파이프(16b)가 수납 상자(25)에 접속되는 위치에는, 배출되는 워크(W1)가 수납 상자(25)에 수납된 것을 검출하는 배출 검출 수단으로서의 통과 센서(26)가 배치되어 있다.

다음으로, 도 24의 상태에서 제어부(17)의 제어에 의해, 도 25에 나타내는 바와 같이, 검사부 전환 밸브(21)가 a측 즉 압축 에어원(23)측을 선택한다. 이에 따라, 흡인 분사 통로(10a)의 연통처가 압축 에어원(23)으로 되어 흡인 분사 통로(10a)에는 화살표(J2) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 또한 동시에, 자세 불량 워크 배출부(16) 내에 배치된 도시되지 않은 진공 흡인 기구의 작용에 의해, 배출 통로(16ap)로부터 배출 파이프(16b)를 경유해서 수납 상자(25)에 이르는 경로가 수납 상자(25)를 향해서 화살표(S4) 방향으로 진공 흡인된다. 이 화살표(J2) 방향의 압축 에어의 분사와 화살표(S4) 방향의 진공 흡인이 동시에 작용해서 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가 배출 헤드(16a)의 배출 통로(16ap)에 들어간다. 그리고, 도 26에 나타내는 바와 같이, 배출 파이프(16b)에 들어가 도 27에 나타내는 바와 같이 수납 상자(25)에 수납된다.

도 27에 있어서, 워크(W1)가 수납 상자(25)에 수납된 것을 통과 센서(26)가 검출해서 수납 정보(DIS)를 내보낸다. 수납 정보(DIS)는 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신되며, 제어부(17)의 제어에 의해 검사부 전환 밸브(21)가 v측 즉 진공 발생원(22)측을 선택한다.

이에 따라, 흡인 분사 통로(10a)의 연통처가 진공 발생원(22)으로 되어 흡인 분사 통로(10a)는 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인된다. 그리고, 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에 위치해 있던 자세 불량 워크 배출부(16)가 화살표(L2) 방향으로 퇴출해서 도 1의 대기 위치에 정지한다. 그리고, 도시되지 않은 퇴피 위치에 정지해 있던 도시되지 않은 측정기가, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 하강해서 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에 정지한다. 다음으로, 제어부(17)의 제어에 의해 반송 테이블(2)이 화살표(A) 방향으로 회전해 워크(W1)를 수납한 다음번의 워크 수납 구멍(3)이 광전기 특성 검사부(10)에 도달한다. 그리고, 이 워크(W1)에 대해 전술한 전기 특성 및 광 특성의 측정이 행해진다.

상기한 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 자세 불량 워크 배출부(16)에 의한 워크(W1)의 배출에 관한 설명은, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가, 도 16의 (a)(b)(c)의 과정을 거쳐 도 17과 같이 자세가 경사졌을 경우에 대해 행했다. 한편, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가, 도 20의 (a) 또는 도 20의 (b)로부터 도 21의 (a)의 과정을 거쳐 도 21의 (b)와 같이 자세가 경사졌을 경우에는, 도 21의 (b)의 상태로부터 도 23의 (a)(b)와 같이 푸셔(15) 및 프로브(P1a, P1b)를 퇴출시켜 각각의 대기 위치로 되돌림으로써, 마찬가지로 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 그 저면에 형성된 전극(W1a, W1b)이 테이블 베이스(1) 상면에 재치된다.

이상과 같이, 워크 특성 측정 장치(100)는, 워크(W1)가 광전기 특성 검사부(10)에 설치된 푸셔(15)의 작용에 의해 고정될 때에, 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 기인해서 워크 수납 구멍(3) 내에서 자세가 경사진 것을 검출하면, 당해 워크(W1)를 자세 불량 워크로서 배출한 후에, 다음으로 광전기 특성 검사부(10)에 도달한 워크(W1)를 검사할 수 있다. 이 때문에, 자세 불량 워크를 신속하게 배출해서 정상인 워크를 검사하는 것이 가능하다. 또한, 불량 워크를 작업자가 수동으로 배출할 필요도 없다. 따라서, 검사 효율 및 검사 정밀도의 향상 및 작업원의 가동 시간 저감을 실현하는 것이 가능하다.

이상의 설명에 있어서는, 워크(W1)의 검사를 행하는 특성 검사부로서 광전기 특성 검사부(10)의 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며 특성 검사부로서 제1 화상 검사부(8) 및 제2 화상 검사부(9)를 이용해도 된다.

또한, 이상의 설명에 있어서는, 검사를 종료한 워크(W1)를 배출하는 배출부로서, 각 검사의 결과가 불량이었던 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 불량품 배출부(11)와, 상기 각 검사의 결과가 양품이었던 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 양품 배출부(12)의 2개를 설치한 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며 양품 배출부(12) 대신에, 검사 결과에 의거해 워크(W1)를 복수의 등급으로 분류해서, 각 등급에 대응하는 수납 상자에 배출하는 분류 배출부를 배치해도 된다.

또한, 이상의 설명에 있어서는, 반송 테이블(2)이 수평으로 설치되어 있는 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며, 본 발명은 반송 테이블(2)이 수직으로 설치되어 있는 경우 및 경사져서 설치되어 있는 경우에도 적용할 수 있다.

또한, 이상의 설명에 있어서는, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서 워크(W1)의 전극(W1a 및 W1b)에 대해 각각 1개의 프로브(P1a 및 P1b)를 맞닿게 하는 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며, 본 발명은 전극(W1a 및 W1b)에 대해 각각 2개의 프로브를 맞닿게 하는 4단자 측정의 경우에도 적용할 수 있다.

이상과 같이 본 실시형태에 따르면, 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3)의 위치에 있어서, 중심측의 테이블 베이스(1)측에 워크 수납 구멍(3)에 인접해서 테이블 팁(5)을 형성하며, 테이블 팁(5)을 워크 수납 구멍(3) 내로 돌출시킨 압압면(5s)에 워크(W1)의 고경도부를 반송 테이블(2)의 외측으로부터 푸셔(15)에 의해 압압해 특성 측정 시에 고정하고 있다. 이 때문에, 워크(W1)의 저경도부인 발광체는 고정 시에 어디에도 맞닿지 않아 압압에 의해 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다. 또한, 압압 시에 워크(W1)의 제조 편차에 기인해서 생기는 워크(W1)의 자세 경사를, 푸셔(15)의 이동 거리 계측 및 흡인 통로(22x) 내의 진공도 계측으로 이루어지는 2종류의 계측에 의해 확실하게 검출할 수 있다. 또한, 자세 경사를 검출한 워크(W1)를 자세 불량 워크 배출부(16)에 의해 배출해서 다음의 워크를 검사하므로, 검사 효율 및 검사 정밀도의 향상 및 작업원의 가동 시간 저감을 실현할 수 있다.

1 : 테이블 베이스 2 : 반송 테이블
3 : 워크 수납 구멍 4 : 중심축
5 : 테이블 팁 5s : 압압면
6 : 리니어 피더 7 : 분리 공급부
8 : 제1 화상 검사부 9 : 제2 화상 검사부
10 : 광전기 특성 검사부 10a : 흡인 분사 통로
11 : 불량품 배출부 12 : 양품 배출부
13 : 테이블 커버 14 : 테이블 가이드
15 : 푸셔 15a : 맞닿음부
15d : 검출 블록 15e : 근접 센서
16 : 자세 불량 워크 배출부 16a : 배출 헤드
16b : 배출 파이프 17 : 제어부
18 : 진공 발생원 19 : 배출부 전환 밸브
20 : 압축 에어원 21 : 검사부 전환 밸브
22 : 진공 발생원 23 : 압축 에어원
24 : 진공압계 25 : 수납 상자
26 : 통과 센서 P1a, P1b : 프로브
W1 : 워크 W1x : 본체
W1p : 발광체 W1a, W1b : 전극

Claims

고경도부와 저경도부를 갖는 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 장치에 있어서,
테이블 베이스와,
상기 테이블 베이스 상에 회전 가능하게 배치되며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부를 가짐과 함께 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍이 외주연(外周緣)을 따라 설치된 반송 테이블과,
상기 반송 테이블의 외주부에 설치되며, 상기 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크의 특성 측정을 행하는 워크의 특성 검사부를 구비하고,
상기 워크의 특성 검사부는, 워크에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재와, 워크 수납 구멍 내의 워크를 워크 수납 구멍 중 개구부에 대향하는 내벽측을 향해서 고정하는 고정 수단을 갖고,
각 워크 수납 구멍의 내벽에 워크가 내벽에 맞닿았을 경우에 워크의 저경도부를 도피시키는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치.
제1항에 있어서,
상기 고정 수단은 개구부로부터 내벽측을 향해서 워크의 고경도부를 압압(押壓)하는 푸셔로 이루어지고,
상기 워크의 특성 검사부는 푸셔의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 수단과, 거리 계측 수단에 의해 계측된 이동 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에, 제어부에 의해 작동해서 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 수단을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치.
제1항에 있어서,
상기 워크의 특성 검사부는, 테이블 베이스에 설치되어 테이블 베이스를 향해서 워크를 흡인하는 흡인 통로와, 흡인 통로 내의 진공도를 계측하는 진공도 계측 수단과, 진공도 계측 수단에 의해 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부에 의해 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 수단을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 강제 배출 수단은, 워크 수납 구멍 내의 워크가 배출된 것을 검출하는 배출 검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치.
고경도부와 저경도부를 갖는 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 방법에 있어서,
테이블 베이스 상에 회전 가능하게 배치되며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부를 가짐과 함께 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍이 외주연을 따라 설치된 반송 테이블에 의해서 워크를 반송하는 반송 공정과,
상기 반송 테이블의 외주부에 설치되며, 상기 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크의 특성 검사를 워크의 특성 검사부에 의해서 행하는 워크의 특성 검사 공정을 구비하고,
상기 워크의 특성 검사 공정은, 워크 수납 구멍 내의 워크를 워크 수납 구멍 중 개구부에 대향하는 내벽측을 향해서 고정 수단에 의해 고정하는 워크의 고정 공정과, 워크에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재에 의해 워크의 특성 검사를 행하는 검사 공정을 갖고,
각 워크 수납 구멍의 내벽에 워크가 내벽에 맞닿았을 경우에 워크의 저경도부를 도피시키는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법.
제5항에 있어서,
상기 고정 수단은 개구부로부터 내벽측을 향해서 워크의 고경도부를 압압하는 푸셔로 이루어지고,
상기 워크의 특성 측정 공정은 푸셔의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 공정과, 거리 계측 공정에 의해 계측된 이동 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에, 제어부에 의해 작동해서 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법.
제5항에 있어서,
상기 워크의 특성 측정 공정은, 테이블 베이스에 설치된 흡인 통로에 의해 테이블 베이스를 향해서 워크를 흡인하는 흡인 공정과, 흡인 통로 내의 진공도를 계측하는 진공도 계측 공정과, 진공도 계측 공정에 의해 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부에 의해 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법.
제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 강제 배출 공정은, 워크 수납 구멍 내의 워크가 배출된 것을 검출하는 배출 검출 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법.