JP2014156295A - ワーク測定装置およびワーク測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】測定手段の測定精度を容易かつ確実に確認する。
【解決手段】ワーク測定装置１はワークＷ１を搬送するワーク収納孔４を有する搬送テーブル３と、分離供給部６と、ワークＷ１を測定する第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃと、ワークＷ１を排出する排出部８、９とを備えている。制御部１２は通常測定モードをとって、分離供給部６から搬送テーブル３のワーク収納孔４に供給されたワークＷ１を測定部７ａ、７ｂ、７ｃで測定した後、排出部８、９から排出する。制御部１２はサンプル測定モードをとって、サンプルテーブル１０ｘから搬送テーブル３のワーク収納孔４に供給されたワークＷ１ｓを測定部７ａ、７ｂ、７ｃで測定した後、サンプルテーブル１０ｘに戻す。
【選択図】図１

Description

本発明は、チップ形電子部品等のワークを保持して搬送しながら、測定手段によりワークの特性を測定するワーク測定装置およびワーク測定方法に係り、とりわけ測定手段の測定精度を容易に確認することができるワーク測定装置およびワーク測定方法に関する。

チップ形電子部品（以下ワークと記載）を保持して搬送しながら、搬送経路に沿って配置された測定手段を用いて、ワークの特性を測定するワーク測定装置およびワーク測定方法が知られている。

例えば特許文献１には、水平に配置されて間歇回転する円形の搬送テーブルによりワークを搬送しながら測定を行うワーク測定装置が開示されている。このようなワーク測定装置について、以下に説明する。

図６７に従来技術によるワーク測定装置１００の平面図を示す。ワーク測定装置１００は、水平に配置されたテーブルベース２００上に回転自在に配置された搬送テーブル３を有する。搬送テーブル３は、図示されない駆動機構の作用により中心軸３ａの周囲に矢印Ａ１の方向に間歇回転する。搬送テーブル３には、その周縁部から中心に向けて複数のワーク収納孔４が形成されている。ワーク収納孔４は搬送テーブル３の外側に向けて開口し、ここに後述のワークＷ１を個別に収納して搬送する。また搬送テーブル３の外周部に向けて直線形状のリニアフィーダ５が配置されている。リニアフィーダ５は図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークＷ１を１列状態で矢印Ｂ１方向に搬送する機能を有する。

リニアフィーダ５の終端部は搬送テーブル３の外周部に近接し、そこにおいてワーク収納孔４の開口部に対向する。リニアフィーダ５の終端部とワーク収納孔４の開口部が対向する位置には、リニアフィーダ５上のワークＷ１を１個ずつ分離して個別にワーク収納孔４に供給する分離供給部６が配置されている。この分離供給部６から搬送テーブル３の間歇回転方向すなわち矢印Ａ１方向に沿って、ワークＷ１の各種特性の測定を行う第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃ、および測定の結果に基づいて不良と判定されたワークＷ１をワーク収納孔４から排出する不良ワーク排出部８、測定の結果に基づいて良品と判定されたワークＷ１をワーク収納孔４から排出する良品ワーク排出部９が、この順に配置されている。そして、測定装置１００を構成する各部の制御を行う制御部１２０が設置されている。なお、搬送テーブル３が間歇回転してワークＷ１を搬送するので、分離供給部６から良品ワーク排出部９までの搬送テーブル３の外周部には、間歇回転の際にワークＷ１に作用する遠心力によりワークＷ１が搬送テーブル３の外側に飛び出すのを防止するための、図示されないガード壁が形成されている。同様に、分離供給部６から良品ワーク排出部９までのワーク収納孔４の上部は、間歇回転時の振動でワークＷ１が搬送テーブル３の上側に飛び出すのを防止するための、図示されないテーブルカバーが形成されている。

ここで、ワークＷ１について説明する。図３にワークＷ１の斜視図を、またワークＷ１を図３における矢印Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１の方向から見た図をそれぞれ図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す。さらに、ワークＷ１の電気回路図を図５に示す。ワークＷ１は発光ダイオード（ＬＥＤ）である。図３および図４に示すように、ワークＷ１は絶縁体により６面体形状に形成され、その１面である面Ｗ１ｆ１に透明な樹脂で覆われた発光面Ｗ１Ｌが略平面状に形成されるとともに、面Ｗ１ｆ１に隣接し、かつ互いに対向する２面である面Ｗ１ｆ２および面Ｗ１ｆ３に、それぞれ導電体からなる電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが突出している。そして、電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂとワークＷ１の電気回路との対応は図５のようになっている。すなわち、電極Ｗ１ａがアノード、電極Ｗ１ｂがカソードであり、直流電圧源から、あらかじめ規定された直流電圧を電極Ｗ１ａが電極Ｗ１ｂよりも高い電位となるようにワークＷ１に対して供給すると、発光ダイオードＤｘすなわち図３における発光面Ｗ１Ｌが発光する。

このように、電極Ｗ１ａと電極Ｗ１ｂには方向性があるので、ワークＷ１を外部から見た時にその方向を識別する必要がある。この目的のために、面Ｗ１ｆ１の電極Ｗ１ｂに近い側の角部に、電極Ｗ１ｂがカソードであることを示すカソードマークＷ１ｍが印刷されている。ワークＷ１を構成する６面体の各辺の長さ（図４におけるａ１、ｂ１、ｃ１）は、発光面Ｗ１Ｌが形成される面Ｗ１ｆ１の各辺の長さａ１、ｂ１が５ｍｍ〜７ｍｍ程度で、電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが突出する面Ｗ１ｆ２および面Ｗ１ｆ３の短辺の長さｃ１が２ｍｍ程度の製品が市販されている。

次にワーク測定装置１００の動作について、以下に述べる。

図６７においてワークＷ１は図示されないパーツフィーダにまとめて投入される。そして、図示されない方向検知機構の作用によって、図３に示す発光面Ｗ１Ｌが上側に向き、かつ電極Ｗ１ｂがワークの進行方向すなわち図６７に示す矢印Ｂ１方向を向くように方向を揃えられて、リニアフィーダ５上に１列に並ぶ。リニアフィーダ５は上述のように、図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークＷ１は上述の方向に揃った１列状態で矢印Ｂ１方向に搬送される。そして、停止している搬送テーブル３のワーク収納孔４の開口部に対向する位置に到達したワークＷ１は、分離供給部６において図示されない分離機構の作用によって１個ずつ分離されて、個別にワーク収納孔４に収納される。このとき、リニアフィーダ５上であらかじめ上述のようにワークＷ１の方向が揃えられているので、電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂがテーブルベース２００側を向き、かつ電極Ｗ１ｂ（カソード）が搬送テーブル３の中心軸３ａに近い側となる状態で、ワークＷ１はワーク収納孔４に収納される。

次に搬送テーブル３は矢印Ａ１の方向に間歇回転し、ワークＷ１は第１測定部７ａにおいて停止する。そして、直流電圧源に接続された図示されないプローブがテーブルベース２００内からワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに当接して直流電圧を供給し、発光面Ｗ１Ｌを発光させる。そして、この光をワークＷ１の上側に配置した図示されない波長計によって受光し、その波長を測定する。ここで、直流電圧源ならびに波長計は、市販の測定器である。

次に第２測定部７ｂにおいては、第１測定部７ａと同様の直流電圧源に接続された図示されないプローブが電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに当接して直流電圧を供給することにより発光面Ｗ１Ｌを発光させる。そして、この光をワークＷ１の上側に配置した図示されない輝度計によって受光し、その輝度を測定する。ここに、直流電圧源および輝度計は、市販の測定器である。

また、第３測定部４ｃにおいては、図示されないプローブを電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに当接させることにより、図示されないソースメータという直流電圧源から値が変化する直流電圧をワークＷ１に供給して発光面Ｗ１Ｌを発光させ、この光を図示されないマルチチャンネル分光器で受光し、全光束測定と呼ばれるスペクトル測定を行う。ここに、ソースメータおよびマルチチャンネル分光器は、市販の測定器である。

以上の測定が終了すると、測定結果に基づいてワークＷ１が良品であるか不良であるかの判定が行われる。そして不良と判定されたワークＷ１は、搬送テーブル３の間歇回転により不良ワーク排出部８に到達すると、図示されない排出機構の作用によりワーク収納孔４から排出されて、図示されない不良ワーク収納箱に収納される。また、良品と判定されたワークＷ１は、上記不良ワーク排出部８においては排出されず、搬送テーブル３の間歇回転により良品ワーク排出部９に到達すると、図示されない排出機構の作用によりワーク収納孔４から排出されて、図示されない良品ワーク収納箱に収納される。

良品ワーク排出部９においてすべてのワークＷ１はワーク収納孔４から排出されるので、良品ワーク排出部９から分離供給部６までの間のワーク収納孔４は空となる。そして、この空のワーク収納孔４は搬送テーブル３の間歇回転により分離供給部６に到達し、そこで再び上述のようにワークＷ１を収納する。以上の一連の作用は、すべて制御部１２０の制御に基づいて実行される。

ところで、上述のように、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃには市販の測定器が配置されており、それらを用いてワークＷ１の特性測定が行われる。これらの測定器は、測定精度を確保するために定期的に測定精度の確認を行い、その結果によっては校正を実施する必要がある。ここに、測定器の校正とは、測定器が示す値と真の値の関係を求め、当該測定器の目盛あるいは表示の補正等を実施することである。具体的には、当該測定器により測定される真の値があらかじめ判っている試料を用いて測定を行い、当該測定器が示した測定値と真の値の差分を誤差とみなして、当該測定器がその誤差を除いた値を示すようにする。

なお、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにおいては、上述のように、いずれも複数の測定器を用いて測定を実施しており、かつ測定器とワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂとの間が、図示されないケーブルおよびプローブにより接続されている。このように、複数の測定器ならびに測定器とワークとを接続する部材により構成される測定用システム、すなわち測定系を用いて測定を実施する場合は、測定系全体の測定精度を確認し、その結果に応じて各測定器の校正を行う。そのような測定精度の確認は、当該測定系により測定される真の値、すなわち校正済みの測定器ならびに測定器とワークとを接続する部材により構成される測定系により測定される真の値があらかじめ判っている試料を用いて実施する。

ここに、図６７に示すワーク測定装置１００は、通常モードとデータ取得モードという２種類の動作モードを有しており、いずれのモードで動作するかについて、作業者が図示されない操作盤上から設定することができる。通常モードは、上記の測定装置１００の作用に関する説明のように、リニアフィーダ５により搬送されてきたワークＷ１を分離供給部６においてワーク収納孔４に収納し、搬送しながら各種測定を実施し、測定結果に基づいてワークＷ１が良品か不良品かを判定して、その判定結果に対応する排出部において排出するモードである。

一方、データ取得モードは測定系の測定精度の確認を実施する際のデータを取得するモードであり、分離供給部６においてワーク収納孔４に収納されたサンプルワークＷ１ｓ（図３０（ａ）（ｂ）および図３１（ａ）（ｂ）参照）に対して、搬送しながら各種測定を実施した後、測定結果に基づく判定結果に対応する排出部からの排出を行うことなく、当該サンプルワークＷ１ｓが分離供給部６に戻ってきたら測定装置１００の動作を停止するものである。ここに、サンプルワークＷ１ｓはワークＷ１と同一であり、かつ第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにより特性があらかじめ測定してあるワークである。このデータ取得モードの動作もまた、通常モードと同様に制御部１２０の制御に基づいて行われる。通常モードで動作している測定装置１００をデータ取得モードに移行させて、測定系の精度を確認する従来技術による手順は、以下のとおりである。

まず、作業者は図６７に示すワーク測定装置１００（通常モードで動作中）の電源を切って、その動作を停止させる。そして、ピンセット等を用いて搬送テーブル３のワーク収納孔４内のすべてのワークＷ１を回収する。次に作業者は、サンプルワークＷ１ｓを、分離供給部６の位置にあるワーク収納孔４にピンセットを用いて１個収納する。そして、ワーク測定装置１００の電源を入れ、図示されない操作盤からデータ取得モードによる動作を設定する。

この場合、ワーク測定装置１００は上述のようにデータ取得モードによる動作を行い、停止する。作業者はピンセットを用いて分離供給部６の位置にあるワーク収納孔４内のサンプルワークＷ１ｓを回収する。次に、今回収したサンプルワークＷ１ｓとは別の、かつ校正済みの測定器ならびに測定器とワークとを接続する部材により構成された測定系により測定した、特性が異なるサンプルワークＷ１ｓを、分離供給部６の位置にあるワーク収納孔４にピンセットを用いて１個収納する。そして、先程と同様にデータ取得モードにより測定装置１００を動作させる。このように、特性にばらつきのある複数のサンプルワークＷ１ｓの測定を実施することにより、測定系の測定精度確認の信頼性を向上させることができる。データ取得モードにおいて、測定する複数のサンプルワークＷ１ｓの特性のばらつき、および測定するサンプルワークＷ１ｓの個数は、校正対象となる測定器の特性や、測定項目に要求される測定精度等を考慮して、あらかじめ決めておく。

このようにして、あらかじめ決められた個数のサンプルワークＷ１ｓの測定が終了すると、作業者は、これらのサンプルワークＷ１ｓをワーク測定装置１００により測定したデータと、あらかじめ校正済みの測定器ならびに測定器とワークとを接続する部材により構成された測定系により測定したデータとを比較する。両者のデータの差異が、あらかじめ規定した規格値以内であれば、ワーク測定装置１００に使用している測定器の校正を実施することなく、再び通常モードによる動作を開始する。

他方、両者のデータの差異が、あらかじめ規定した規格値を超えていた場合には、ワーク測定装置１００に使用している測定器の校正を実施し、その後再び通常モードによる動作を開始する。なお、ワーク測定装置１００をデータ取得モードで動作させる周期、すなわち通常モードによる動作をどのくらい継続した段階で測定系の測定精度を確認するためのデータ取得に移行するかという通常モード動作継続時間は、上記のサンプルワークＷ１ｓの特性のばらつきや個数と同様に、校正対象となる測定器の特性や、測定項目に要求される測定精度等を考慮して、あらかじめ決めておく。そして、制御部１２０に時間計測を行うタイマー機能を内蔵させ、ワーク測定装置１００の通常モードによる稼動時間を計測し、その稼動時間があらかじめ決められた上記動作継続時間に到達した時に、ブザー等により作業者に通知するようにしておく。

以上のような、従来技術による測定系の測定精度確認には、以下のような問題点がある。まず、通常モードにより動作しているワーク測定装置１００の電源を切って、その動作を停止させ、ワーク収納孔４内のすべてのワークＷ１を回収する作業や、サンプルワークＷ１ｓをワーク収納孔４に収納し、ワーク測定装置１００をデータ取得モードにより動作させてから、サンプルワークＷ１ｓを回収する作業のすべてが、作業者の手作業によって行われるので、非常に時間がかかるという点である。特にサンプルワークＷ１ｓは１個ずつ測定を実施しては入れ替えるため、時間のかかる要素を増大させる。このように、データ取得モードの作業時間が増大することにより、ワーク測定装置１００の稼働率が低下する。

次の問題点は、ワークＷ１（サンプルワークＷ１ｓ）が非常に小さいことにより、作業品質が低下しやすいことである。上述のように、ワークＷ１を構成する６面体の各辺の長さは、たかだか２ｍｍ〜７ｍｍである（図４）。このため、作業者がピンセットを用いてサンプルワークＷ１ｓを扱う際に、誤ってピンセットからはずれて落下する、あるいは紛失する等の事故が発生しやすい。また、このようにワークＷ１の外形寸法が非常に小さいために、図４（ａ）に示すカソードマークＷ１ｍが見づらく、サンプルワークＷ１ｓをワーク収納孔４に収納する際に方向を誤りやすい。また、図４（ａ）に示す発光面Ｗ１Ｌは樹脂製のため、ピンセットを用いてワークＷ１あるいはサンプルワークＷ１ｓを扱う際に、発光面Ｗ１Ｌを傷付けるおそれがある。さらに、外観が同一で特性の異なる複数のサンプルワークＷ１ｓの識別を誤り、それが原因となって各サンプルワークのワーク測定装置１００における正しい測定データを把握することができなくなるおそれもある。

そして、これらの問題点を回避して、作業品質を低下させないようにするために、作業者は細心の注意を払って作業を行うことになる。これは、作業時間の更なる増大を招いて、装置の稼働率を更に低下させるとともに、作業者の肉体的ならびに心理的負担を著しく増大させる結果となる。

特開２０１２−２０８２２号公報

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、測定手段の測定精度を容易かつ確実に確認することができるワーク測定装置およびワーク測定方法を提供することを目的とする。

本発明は、ワークまたはサンプルワークを保持する複数の保持部を有し、回転自在に設けられた搬送体と、搬送体の保持部にワークを個別に分離して供給する分離供給手段と、分離供給手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークまたはサンプルワークの特性を測定する測定手段と、測定手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークを排出する排出手段とを備え、分離供給手段と測定手段との間に、予め基準特性が定められたサンプルワークを搬送体の保持部に供給するとともにサンプルワークが収納される複数の保管部を有するサンプルワーク供給手段を設け、搬送体と、分離供給手段と、測定手段と、排出手段と、サンプルワーク供給手段を制御する制御装置を設け、制御装置は通常測定モードをとるとき、分離供給手段から搬送体の保持部に供給されたワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出し、サンプル測定モードをとるとき、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出することなくサンプルワーク供給手段の保管部に戻すことを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークは、測定手段で測定された後、サンプルワーク供給手段の元の保管部に戻されることを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、制御装置は測定手段により測定されたサンプルワークの測定結果と、予め内蔵されたサンプルワークの基準特性とを比較してその差異を求める比較部と、比較部に接続され測定結果とサンプルワークの基準特性の差異が所定値を越えた際に警報を発する警報部とを有することを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、サンプルワーク供給手段はサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部内に供給されたこと、およびサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部へ戻されたことを各々検知する移載検知手段を有することを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを自動的に切換える自動切換手段を有することを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを手動で切換える手動切換手段を有することを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、手動切換手段は押しボタンスイッチを有することを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、搬送体は円形の搬送テーブルを有することを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、搬送体の保持部は搬送テーブルの外周に設けられ、外側に向けて開口する凹部からなることを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、搬送体の保持部は、搬送テーブルの外周近傍に設けられ、搬送テーブルを貫通する貫通孔からなることを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、搬送体の保持部は搬送テーブルの一方の面に設けられ、この一方の面に対して進退する搬送ノズルからなることを特徴とするワーク測定装置である。

本発明は、ワークまたはサンプルワークを保持する複数の保持部を有し、回転自在に設けられた搬送体と、搬送体の保持部にワークを個別に分離して供給する分離供給手段と、分離供給手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークまたはサンプルワークの特性を測定する測定手段と、測定手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークを排出する排出手段とを備え、分離供給手段と測定手段との間に、予め基準特性が定められたサンプルワークを搬送体の保持部に供給するとともにサンプルワークが収納される複数の保管部を有するサンプルワーク供給手段を設け、搬送体と、分離供給手段と、測定手段と、排出手段と、サンプルワーク供給手段を制御する制御装置を設けたワーク測定装置を用いたワーク測定方法において、制御装置が通常測定モードをとって、分離供給手段から搬送体の保持部に供給されたワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出する工程と、制御装置がサンプル測定モードをとって、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出することなくサンプルワーク供給手段の保管部に戻す工程とを備えたことを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークは、測定手段で測定された後、サンプルワーク供給手段の元の保管部に戻されることを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、制御装置は測定手段により測定されたサンプルワークの測定結果と、予め内蔵されたサンプルワークの基準特性とを比較してその差異を求める比較部と、比較部に接続され測定結果とサンプルワークの基準特性の差異が所定値を越えた際に警報を発する警報部とを有することを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、サンプル供給手段はサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部内に供給されたこと、およびサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部へ戻されたことを各々検知する移載検知手段を有することを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを自動的に切換える自動切換手段を有することを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを手動で切換える手動切換手段を有することを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、手動切換手段は押しボタンスイッチを有することを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、搬送体は円形の搬送テーブルを有することを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、搬送体の保持部は搬送テーブルの外周に設けられ、外側に向けて開口する凹部からなることを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、搬送体の保持部は、搬送テーブルの外周近傍に設けられ、搬送テーブルを貫通する貫通孔からなることを特徴とするワーク測定方法である。

本発明は、搬送体の保持部は搬送テーブルの一方の面に設けられ、この一方の面に対して進退する搬送ノズルからなることを特徴とするワーク測定方法である。

以上のように本発明によれば、測定手段の測定精度を容易かつ確実に確認することができる。

図１は本発明の第１の実施形態であるワーク測定装置を示す平面図。 図２は図１における領域Ｐ１の拡大図。 図３はワークを示す斜視図。 図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は各々、図３における矢印Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１方向から見た図。 図５はワークの電気回路図。 図６は分離供給部におけるワーク収納孔を示す斜視図。 図７は分離供給部においてワークを収納したワーク収納孔を示す斜視図。 図８（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における位置認識機能の説明図。 図９は図２における移載部の拡大斜視図。 図１０は図９において、ワーク収納孔にサンプルワークが収納されている状態を示す斜視図。 図１１（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図１２（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図１３（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図１５（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図１７（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図１８（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図１９（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２０（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２１（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２２（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２３（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２４（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２５（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２６（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２７（ａ）（ｂ）（ｃ）はワーク測定装置における各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示す図。 図２８（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図２９（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図３０（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図３１（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図３２（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図３３（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図３４（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図３５（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図３６は本発明の第２の実施形態であるワーク測定装置を示す正面図。 図３７は図３６における矢印Ｍ方向からワーク測定装置を見た図。 図３８は図３６における領域Ｐ２の拡大図。 図３９はワークを示す斜視図。 図４０（ａ）（ｂ）（ｃ）は、各々図３９における矢印Ｃ２、Ｄ２、Ｅ２方向から見た図。 図４１はワークの電気回路図。 図４２は分離供給部におけるワーク収納孔を示す斜視図。 図４３は分離供給部においてワークを収納したワーク収納孔を示す斜視図。 図４４（ａ）（ｂ）（ｃ）は測定装置における位置認識機能の説明図。 図４５は図３８における移載部を矢印Ｋ２方向から見た透視図。 図４６は移載部を示す拡大斜視図。 図４７は図４６において、ワーク収納孔にサンプルワークが収納されている状態を示す斜視図。 図４８（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図４９（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図５０（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図５１（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図５２は本発明の第３の実施形態によるワーク測定装置を示す平面図。 図５３は図５２における矢印Ｎ方向からワーク測定装置を見た正面図。 図５４はワークを示す斜視図。 図５５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、各々図５４における矢印Ｃ３、Ｄ３、Ｅ３方向から見た図。 図５６はワーク測定装置における位置認識機能の説明図。 図５７はワークに搬送ノズルが当接した状態の説明図。 図５８はワーク収納孔にサンプルワークが収納されている斜視図。 図５９（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図６０（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図６１（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図６２（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図６３（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図６４（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図６５（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図６６（ａ）（ｂ）はワーク測定装置におけるサンプルワーク移載手順と移載完了確認方法の説明図。 図６７は従来技術によるワーク測定装置を示す平面図。

発明の実施の形態

第１の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。

まず本発明によるワーク測定装置およびワーク測定方法により測定されるワークについて説明する。

図３にワークＷ１の斜視図を、またワークＷ１を図３における矢印Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１の方向から見た図をそれぞれ図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す。さらに、ワークＷ１の電気回路図を図５に示す。ワークＷ１は発光ダイオード（ＬＥＤ）である。図３および図４に示すように、ワークＷ１は絶縁体により６面体形状に形成され、その１面である面Ｗ１ｆ１に透明な樹脂で覆われた発光面Ｗ１Ｌが略平面状に形成されるとともに、面Ｗ１ｆ１に隣接し、かつ互いに対向する２面である面Ｗ１ｆ２および面Ｗ１ｆ３に、それぞれ導電体からなる電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが突出している。そして、電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂとワークＷ１の電気回路との対応は図５のようになっている。すなわち、電極Ｗ１ａがアノード、電極Ｗ１ｂがカソードであり、直流電圧源から、あらかじめ規定された直流電圧を電極Ｗ１ａが電極Ｗ１ｂよりも高い電位となるようにワークＷ１に対して供給すると、発光ダイオードＤｘすなわち図３における発光面Ｗ１Ｌが発光する。

このように、電極Ｗ１ａと電極Ｗ１ｂには方向性があるので、ワークＷ１を外部から見た時にその方向を識別する必要がある。この目的のために、面Ｗ１ｆ１の電極Ｗ１ｂに近い側の角部に、電極Ｗ１ｂがカソードであることを示すカソードマークＷ１ｍが印刷されている。ワークＷ１を構成する６面体の各辺の長さ（図４におけるａ１、ｂ１、ｃ１）は、発光面Ｗ１Ｌが形成される面Ｗ１ｆ１の各辺の長さａ１、ｂ１が５ｍｍ〜７ｍｍ程度で、電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが突出する面Ｗ１ｆ２および面Ｗ１ｆ３の短辺の長さｃ１が２ｍｍ程度の製品が市販されている。

次にワーク測定装置について、図１乃至図３５により述べる。

ワーク測定装置１は、ワークＷ１またはサンプルワークＷ１ｓを保持する複数のワーク収納孔（保持部）４を有し、水平に配置されたテーブルベース２上に回転自在に設けられた円形の搬送テーブル（搬送体）３と、搬送テーブル３のワーク収納孔４にワークＷ１を個別に分離して供給する分離供給部（分離供給手段）６と、分離供給部６の下流側に設けられ搬送テーブル３のワーク収納孔４に保持されたワークＷ１またはサンプルワークＷ１ｓの特性を測定する第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃと、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃの下流側に配置され、搬送テーブル３のワーク収納孔４に保持されたワークＷ１を排出する不良ワーク排出部８および良品ワーク排出部９とを備えている。

このうち、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにより測定手段が構成され、不良ワーク排出部８および良品ワーク排出部９により排出手段が構成される。

また搬送テーブル３は、図示されない駆動機構の作用により中心軸３ａの周囲に矢印Ａ１の方向に間歇回転する。また各ワーク収納孔４は搬送テーブル３の外周部に、中心に向けて形成され、これらワーク収納孔４は搬送テーブル３の外側に向けて開口する凹部からなり、ここに図３および図４に示す被測定ワークとしてのワークＷ１およびサンプルワークＷ１ｓを個別に収納して搬送する。

さらに搬送テーブル３の外周部に向けて直線形状のリニアフィーダ５が配置されている。リニアフィーダ５は図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークＷ１を１列状態で矢印Ｂ１方向に搬送する機能を有する。リニアフィーダ５の終端部は搬送テーブル３の外周部に近接し、そこにおいてワーク収納孔４の開口部に対向する。リニアフィーダ５の終端部とワーク収納孔４の開口部が対向する位置には、上述のようにリニアフィーダ５上のワークＷを１個ずつ分離して個別にワーク収納孔４に供給する分離供給手段としての分離供給部６が配置されている。この分離供給部６から搬送テーブル３の間歇回転方向すなわち矢印Ａ１方向に沿って、上述のようにワークＷ１の各種特性の測定を行う測定手段としての第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃ、および測定の結果に基づいて不良と判定されたワークＷ１をワーク収納孔４から排出する排出手段としての不良ワーク排出部８、測定の結果に基づいて良品と判定されたワークＷ１をワーク収納孔４から排出する排出手段としての良品ワーク排出部９が、この順に配置されている。

また搬送テーブル３の間歇回転方向すなわち矢印Ａ１方向に沿って、分離供給部６と第１測定部７ａの間に、サンプルワーク供給手段としてのサンプルテーブル１０ｘが配置され、かつサンプルテーブル１０ｘと搬送テーブル３との間にサンプルワークＷ１ｓの移載を行う移載部１０ｔが配置されている。

このサンプルテーブル１０ｘと移載部１０ｔとにより、測定系確認部１０が構成されている。サンプルテーブル１０ｘの形状は搬送テーブル３と同様に円形をなし、図示されない駆動機構の作用により、中心軸１０ｘａの周囲に矢印Ｘ１方向に間歇回転する。サンプルテーブル１０ｘの外周部には、搬送テーブル３と同様に保管部としての複数のワーク収納孔１１が外側に向けて開口して形成され、ワーク収納孔１１にはサンプルワークＷ１ｓが保管される。

そして、ワーク測定装置１を構成する搬送テーブル３、分離供給部６、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃ、不良ワーク排出部８、良品ワーク排出部９、サンプルテーブル１０ｘ、および移載部１０ｔの制御を行うため制御部（制御装置）１２が設置されている。

なお、搬送テーブル３が間歇回転してワークＷ１を搬送するので、分離供給部６から良品ワーク排出部９までの搬送テーブル３の外周部には、間歇回転の際にワークＷ１に作用する遠心力によりワークＷ１が搬送テーブル３の外側に飛び出すのを防止するため、図示しないガード壁が形成されている。

同様に、分離供給部６から良品ワーク排出部９までのワーク収納孔４の上部には、間歇回転時の振動でワークＷ１が搬送テーブル３の上側に飛び出すのを防止するため、図示しないテーブルカバーが形成されている。

同様に、サンプルテーブル１０ｘが間歇回転してサンプルワークＷ１ｓを搬送するので、サンプルテーブル１０ｘの外周部には、間歇回転の際にサンプルワークＷ１ｓに作用する遠心力によりサンプルワークＷ１ｓがサンプルテーブル１０ｘの外側に飛び出すのを防止するため、図示しないガード壁が形成されている。同様に、サンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１の上部には、間歇回転時の振動でサンプルワークＷ１ｓがサンプルテーブル１０ｘの上側に飛び出すのを防止するための、図示しないテーブルカバーが形成されている。

図１における測定系確認部１０付近、すなわち一点鎖線領域Ｐ１の拡大図を、図２に示す。搬送テーブル３のワーク収納孔４とサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１は、いずれもテーブルの外側に向けて開口しており、移載位置において移載部１０ｔ側にそれぞれの開口部が対向する。この開口部が対向した状態のワーク収納孔４とワーク収納孔１１を、図２においてはワーク収納孔４ｔおよびワーク収納孔１１ｔと記載している。ワーク収納孔４およびワーク収納孔１１には、図３および図４に示す形状のワークＷ１およびサンプルワークＷ１ｓが収納される。ここに、サンプルワークＷ１ｓは、ワークＷ１と同一であり、かつその特性すなわち図１に示す第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにおけるそれぞれの測定結果が既知であるワークである。

具体的には、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにおいて使用される測定器と同一かつ校正済みの測定器を用いて、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにおける測定項目と同一の測定をサンプルワークＷ１ｓに対してあらかじめ実施し、その測定結果（基準特性）を制御部１２内の記憶手段としての記憶部１２ａに記憶させておく。このワンプルワークＷ１ｓの基準特性は、制御部１２の制御によって記憶部１２ａから読み出すことが可能になっている。また制御部１２はサンプル測定モードをとったとき、サンプルワークＷ１ｓの基準特性とワークＷ１の測定結果とを比較する比較部１２ｂと、比較部１２ｂにより比較した結果、両者の差異が所定値を越えた際、警報を発する警報部１２ｃとを有している。また制御部１２は通常測定モードをとったとき、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃによる測定結果に基づいてワークＷ１が良品か不良品かの判定を行なう判定部１２ｄを有している。

次に搬送テーブル３のワーク収納孔４について、図６および図７を用いて説明する。図６はワーク収納孔４が図１における分離供給部６に停止している状態の斜視図である。ワーク収納孔４はテーブルベース２上に水平に配置された搬送テーブル３の外側に向けて開口しており、図１に示すリニアフィーダ５の終端部がこの開口部に対向して位置するが、図６においては図示されていない。この開口部の反対側すなわち搬送テーブル３の中心軸３ａ（図１）側にあるワーク収納孔４の壁面４ｗには、エア制御孔４ａが形成されている。エア制御孔４ａは分離供給部６において、テーブルベース２に形成されたエア通路６ｖを経由して、テーブルベース２内に設置された真空発生源１３に連通している。そして、この真空発生源１３からの矢印Ｆ６方向の真空吸引によって、ワーク収納孔４の内部には壁面４ｗに向けて吸引力が作用する。また、搬送テーブル３においてはワーク収納孔４の上面は開放されているが、分離供給部６においてワーク収納孔４の上面およびリニアフィーダ５の終端部の上面は、図示されないカバーにより覆われている。このカバーの存在により、ワーク収納孔４の内部は略密閉状態となり、上記吸引力が効率良く作用する。

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用、すなわちワーク測定方法について説明する。

図１において、ワークＷ１は図示されないパーツフィーダにまとめて投入される。そして、図示されない方向検知機構の作用によって、図３に示す発光面Ｗ１Ｌが上側に向き、かつ電極Ｗ１ｂがワークの進行方向すなわち図１に示す矢印Ｂ１方向を向くように方向を揃えられて、リニアフィーダ５上に１列に並ぶ。リニアフィーダ５は上述のように、図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークＷ１は上述の方向に揃った１列状態で矢印Ｂ１方向に搬送される。そして、停止している搬送テーブル３のワーク収納孔４の開口部に対向する位置に到達したワークＷ１は、分離供給部６において図示されない分離機構の作用によって１個ずつ分離されて、図６に示す矢印Ｆ６方向の真空吸引により、個別にワーク収納孔４に収納される。

このようにして、ワーク収納孔４にワークＷ１が収納された様子を、斜視図として図７に示す。このとき、リニアフィーダ５上であらかじめ上述のようにワークＷ１の方向が揃えられているので、ワークＷ１は発光面Ｗ１Ｌが上側を向き、かつ電極Ｗ１ｂ（カソードマークＷ１ｍ）が搬送テーブル３の回転軸３ａ（図１）に近い側となる状態で、ワーク収納孔４に収納される。

次に搬送テーブル３が図１に示す矢印Ａ１の方向に間歇回転し、分離供給部６においてワーク収納孔４に収納されたワークＷ１は移載部１０ｔを通過して、第１測定部７ａで停止する。そして、図示されない直流電源および波長計を使用して、ワークＷ１の波長測定を実施する。次に、搬送テーブル３の間歇回転により、第２測定部７ｂに到達して停止したワークＷ１は、図示されない直流電源および輝度計を使用して、ワークＷ１の輝度測定を実施する。そして、搬送テーブル３の間歇回転により、第３測定部７ｃに到達して停止したワークＷ１は、図示されないソースメータおよびマルチチャンネル分光器を使用して、ワークＷ１の全光束測定を実施する。

以上の測定が終了すると、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂおよび第３測定部７ｃからの測定結果に基づいて、制御部１２は判定部１２ｄによりワークＷ１が良品か不良品かを判定する。そして、その判定結果に対応して、搬送テーブル３の間歇回転により、不良ワーク排出部８あるいは良品ワーク排出部９においてワーク収納孔４内のワークＷ１を排出する。良品ワーク排出部９においてすべてのワーク収納孔４が空になり、搬送テーブル３の間歇回転により分離供給部６に到達した空のワーク収納孔４に再びワークＷ１が収納され、上記と同様の作用が繰り返される。以上の一連の作用は通常測定モードと呼ばれ、すべて制御部１２の制御に基づいて実行される。

ここで、制御部１２には時間計数機能を有するタイマー１２ｅが内蔵され、上記通常測定モードの動作時間を計数している。そして動作時間があらかじめ決められた時間に到達すると、自動切換手段１２ｆにより通常測定モードを中断して、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃに配置されている測定器を含む測定系の測定精度の確認を行うサンプル測定モードに移行させる（切換える）。

サンプル測定モードにおいて、サンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１にあらかじめ収納されているサンプルワークＷ１ｓを、移載部１０ｔから搬送テーブル３のワーク収納孔４に移載し、分離供給部６からワーク収納孔４に供給されたワークＷ１と同様に搬送テーブル３の間歇回転によって搬送しながら、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにおいて測定を実施し、測定結果をデータとして取得する。ただし、測定結果に基づいて不良ワーク排出部８あるいは良品ワーク排出部９においてワーク収納孔４内からサンプルワークＷ１ｓを排出することはなく、搬送テーブル３の間歇回転によってサンプルワークＷ１ｓが再び移載部１０ｔに到達したら、搬送テーブル３のワーク収納孔４に収納されているサンプルワークＷ１ｓを、移載部１０ｔにおいてサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１のうち、当該サンプルワークＷ１ｓがあらかじめ収納されていたワーク収納孔１１に再度収納する。すなわち、本実施形態においては、測定器の校正のためにサンプルワークＷ１ｓのデータ取得を行うべきタイミングは、ワーク測定装置１を動作させるプログラムにより自動設定されている。

ここで、測定装置１がサンプル測定モードで動作する際の前提条件である、搬送テーブル３のワーク収納孔４およびサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１の位置認識機能について、図８（ａ）（ｂ）（ｃ）を用いて説明する。

図８（ａ）は、図１に示す搬送テーブル３に形成された全部で１６個のワーク収納孔４と、サンプルテーブル１０ｘに形成された全部で８個のワーク収納孔１１の模式図である。ただし、図を見やすくするために、図１に示す各部のうち、図８（ａ）には搬送テーブル３とサンプルテーブル１０ｘおよびリニアフィーダ５と移載部１０ｔのみを表記している。また、図１においては、搬送テーブル３とサンプルテーブル１０ｘは移載部１０ｔにおいて極めて近接して配置されているが、図８（ａ）においては表記の都合上、移載部１０ｔにおいて両テーブルを離間させて配置している。

まず、図８（ａ）において各ワーク収納孔に付与されている番号について説明する。搬送テーブル３のワーク収納孔４は、上記のように全部で１６個が形成されている。各ワーク収納孔４における搬送テーブル３の中心軸３ａ側に記載された番号<1>〜<16>は、当該ワーク収納孔４が存在する位置すなわち搬送テーブル３の間歇回転に無関係な固定位置を示す。リニアフィーダ５の終端部に対向する位置が<1>であり、図３に示すワークＷ１は、位置<1>においてリニアフィーダ５から分離供給部６（図１）の作用により、矢印Ｇ１方向にワーク収納孔４に収納される。以下搬送テーブル３の間歇回転方向すなわち矢印Ａ１方向に<1,2,・・・>内の番号が１ずつ増加し、最大値<16>の次に<1>に戻る。例えば、移載部１０ｔの位置は<3>で表わされる。

これに対して、各ワーク収納孔４における搬送テーブル３の外側に記載された番号(1)〜(16)は、当該ワーク収納孔４に個別に付与された孔番号である。すなわち、孔番号は搬送テーブル３の間歇回転に対応して位置が変化するもので、時計回りに増加するように付与される。位置と孔番号の具体例は以下のとおりである。

図８（ａ）において、孔番号(1)を付与されたワーク収納孔４は位置<1>に存在している。この状態から搬送テーブル３が矢印Ａ１方向に１回間歇回転して停止すると、孔番号(1)を付与されたワーク収納孔４は位置<2>に移動し、同時に位置<1>には図８（ａ）において孔番号(16)を付与されたワーク収納孔４が移動する。

上述の位置と孔番号の付与規則は、サンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１についても同様である。サンプルテーブル１０ｘにおいては、位置を１〜８で表記し、孔番号を[1]〜[8]で表記している。位置１〜８はサンプルテーブル１０ｘの間歇回転方向すなわち矢印Ｘ１方向に１，２，・・・の数字が増加し、孔番号[1]〜[8]は時計回りに増加している。そして、位置１は移載部１０ｔにおけるワーク収納孔１１の位置であり、そこには孔番号[8]のワーク収納孔１１がある。すなわち、移載部１０ｔにおいて、搬送テーブル３における位置<3>のワーク収納孔４とサンプルテーブル１０ｘにおける位置１のワーク収納孔１１が対向している。そして後述のように、ワーク測定装置１がサンプル測定モードで動作する際には、位置１のワーク収納孔１１から位置<3>のワーク収納孔４に向けて矢印Ｈ１方向にサンプルワークＷ１ｓが移載され、位置<3>のワーク収納孔４から位置１のワーク収納孔１１に向けて矢印Ｊ１方向にサンプルワークＷ１ｓが移載される。なお、位置および孔番号が記載されていない図２ならびに図２を引用する文章においては、上記の移載部１０ｔにおいて対向する搬送テーブル３のワーク収納孔４とサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１について、それぞれワーク収納孔４ｔおよび１１ｔと表記している。

ここに、ワーク収納孔４およびワーク収納孔１１の位置と孔番号が図８（ａ）に示すように対応して搬送テーブル３およびサンプルテーブル１０ｘが停止している状態を初期状態と呼ぶ。そして、ワーク測定装置１の電源を入れると必ず初期状態となるように、図１に示す制御部１２が制御を行う。

以上の説明から、動作中のワーク測定装置１において、すべてのワーク収納孔４およびワーク収納孔１１は、孔番号により個々に識別可能であり、かつその位置を識別することが可能であることがわかる。すなわち、ワーク収納孔４およびワーク収納孔１１にそれぞれ収納されているワークＷ１あるいはサンプルワークＷ１ｓを制御部１２が個々に識別することができる。その識別情報に基づいて、制御部１２は各種制御を実行する。

図８（ａ）すなわち初期状態におけるワーク収納孔４およびワーク収納孔１１の位置と孔番号の対応を示す表を、図８（ｂ）、（ｃ）に示す。図８（ｂ）がワーク収納孔４を示し、図８（ｃ）がワーク収納孔１１を示す。図８（ｂ）（ｃ）に示す各表のデータ欄には、当該の孔番号を付与されたワーク収納孔４、１１に収納されているワークＷ１（サンプルワークＷｓ１）を個別に識別して記載する。ここでは便宜上、すべてのデータ欄に当該ワーク収納孔が空であることを示す「−」が記載されている。また、図８（ｂ）の位置<1>および位置<3>と図８（ｃ）の位置１には、図８（ａ）における矢印Ｇ１、Ｈ１、Ｊ１に対応する矢印が記載されている。

図２における移載部１０ｔの拡大斜視図を図９に示す。ここに、図９における搬送テーブル３の方向は図６と同一にしてある。移載部１０ｔにおいて、搬送テーブル３のワーク収納孔４ｔとサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１ｔは、それぞれの開口部が極めてわずかな間隙を有して対向している。搬送テーブル３の中心軸３ａ（図１）側にあるワーク収納孔４ｔの壁面４ｗに形成されたエア制御孔４ａは、移載部１０ｔにおいてテーブルベース２に形成されたエア通路１０ｐ２を経由して、切替弁１４ａに連通している。切替弁１４ａは３通りの切替モードｘ１、ｘ２、ｘ３を選択する機能を有する。

切替モードｘ１はテーブルベース２内に設置された真空発生源１３を選択するもので、このときエア通路１０ｐ２は真空発生源１３に連通し、エア制御孔４ａからワーク収納孔４ｔ内が矢印Ｖ１０２の方向に真空吸引される。また、切替モードｘ２はテーブルベース２内に設置された圧縮エア発生源１５を選択するもので、このときエア通路１０ｐ２は圧縮エア発生源１５に連通し、エア制御孔４ａからワーク収納孔４ｔ内に矢印Ｃ１０２の方向に圧縮エアが噴出する。また、切替モードｘ３は何も選択しないので、エア通路１０ｐ２はどこにも連通することがなく、ワーク収納孔４ｔ内は大気圧の状態を保つ。

また、移載部１０ｔにおいて、ワーク収納孔４ｔが位置するテーブルベース２にはセンサ通路１０ｓ２が形成されている。センサ通路１０ｓ２の下方となるテーブルベース２内には、図９においては図示されていないが、後述する光センサ光源４Ｌａ（図２８乃至図３５）が配置されており、ワーク収納孔４ｔ内に向けて上向きの光を送出する。

以上のワーク収納孔４ｔに関わる構成と作用は、移載部１０ｔにおいてワーク収納孔４ｔに対向するワーク収納孔１１ｔについても同様である。

サンプルテーブル１０ｘの中心軸１０ｘａ（図１）側にあるワーク収納孔１１ｔの壁面１１ｗに形成されたエア制御孔１１ａは、移載部１０ｔにおいてテーブルベース２に形成されたエア通路１０ｐ１を経由して、切替弁１４ｂに連通している。そして、切替弁１４ｂが切替モードｘ１、ｘ２、ｘ３を選択することによって、ワーク収納孔４ｔと同様に、ワーク収納孔１１ｔ内が矢印Ｖ１０１の方向に真空吸引され、またワーク収納孔１１ｔ内に矢印Ｃ１０１の方向に圧縮エアが噴出し、またワーク収納孔１１ｔ内が大気圧の状態を保つ。

また、移載部１０ｔにおいて、ワーク収納孔１１ｔが位置するテーブルベース２にはセンサ通路１０ｓ１が形成されている。センサ通路１０ｓ１の下方となるテーブルベース２内には、図９においては図示されていないが、後述する光センサ光源１１Ｌａ（図２８乃至図３５）が配置されており、光センサ光源４Ｌａ（図２８乃至図３５）と同様に光の送出を行う。

図９に示す移載部１０ｔにおいて、ワーク収納孔１１ｔにサンプルワークＷ１ｓが収納されている斜視図を図１０に示す。切替弁１４ａは切替モードｘ３を選択し、切替弁１４ｂは切替モードｘ１を選択している。このため、サンプルワークＷ１ｓは矢印Ｖ１０１の方向に真空吸引されて、ワーク収納孔１１ｔに保持されている。また、このときのサンプルワークＷ１ｓは、発光面Ｗ１Ｌを上側に向け、電極Ｗ１ａ（アノード）を壁面１１ｗ側に向けた状態となっている。この状態から、ワーク収納孔１１ｔに対向するワーク収納孔４ｔに移載されると、サンプルワークＷ１ｓの向きは図７に示すワークＷ１の向きに一致する。

移載部１０ｔにおけるサンプルワークＷ１ｓの移載について、図１１乃至図３５を用いて詳細に説明する。

図１１（ａ）（ｂ）（ｃ）乃至図２７（ａ）（ｂ）（ｃ）は、図１における一点鎖線領域Ｐ１の拡大図である図２に、図８に示す位置ならびに孔番号を対応させ、各ワーク収納孔内のワークの移動の様子を示した模式図である。

ここに、図１１（ａ）（ｂ）（ｃ）乃至図２７（ａ）（ｂ）（ｃ）および対応する説明においては、搬送テーブル３の全１６個のワーク収納孔４を孔番号によりワーク収納孔(1)、ワーク収納孔(2)、・・・のように記載して個々に区別する。同様に、サンプルテーブル１０ｘの全８個のワーク収納孔１１を孔番号によりワーク収納孔[1] 、ワーク収納孔[2]、・・・のように記載して個々に区別する。また、リニアフィーダ５により搬送されて、通常測定モードにおいて搬送テーブル３により搬送されるワークＷ１（図７）については1,2,・・・のような表記で個々に区別する。そして同様に、通常測定モードにおいてサンプルテーブル１０ｘに保管され、サンプル測定モードにおいて搬送テーブル３により搬送されるサンプルワークＷ１ｓ（図１０）についてはa,b,・・・のような表記で個々に区別する。

また、本実施形態においてはサンプルワークＷ１ｓの数を４個とする。図１１は図８に示す初期状態である。すなわち、位置<1>にはワーク収納孔(1)が停止している。このとき、搬送テーブル３のワーク収納孔(1)乃至(16)はすべて空であり、この状態を図１１（ｂ）において、孔番号(1)から(16)までのすべてのデータ欄に当該ワーク収納孔が空であることを示す「−」を記載することにより表わしている。

また、サンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔[1]にはサンプルワークaが収納され、同様にワーク収納孔[2]、[3]、[4]にはそれぞれサンプルワークb,c,dが収納されている。この状態を図１１（ｃ）において、孔番号[1]、[2]、[3]、[4]のデータ欄にそれぞれa,b,c,dと記載することにより表わしている。

なお、サンプルテーブル１０ｘについても、空のワーク収納孔に対応するデータは「−」を記載する。また、図１１（ａ）において、リニアフィーダ５上には、搬送テーブル３に近い側から順にワーク1,2,3が順に並んでいる。そして、図示されていないが、ワーク3の左側には、さらにワーク4,5,・・・のように多数のワークＷ１が一列に並んでおり、リニアフィーダ５によって図１の矢印Ｂ１方向に搬送されている。

次に、図１２（ａ）に示すように、リニアフィーダ５上のワーク1が、図１における分離供給部６の作用により分離された後、図７における矢印Ｆ６方向の真空吸引によって、図１２（ａ）に矢印Ｇ１で示す方向に移動し、搬送テーブル３のワーク収納孔(1)に収納される。この状態を、図１２（ｂ）において、位置<1>および孔番号(1)に対応する行の左側に矢印Ｇ１を表記し、併せてデータを1とすることで表わしている。

この状態から通常測定モードが開始され、搬送テーブル３は図１における矢印Ａ１方向に間歇回転し、ワーク1を搬送する。そして、搬送テーブル３が停止すると、空のワーク収納孔(16)が位置<1>に停止して、そこにワーク2が収納される。そして、同様に搬送テーブル３が図１における矢印Ａ１方向に間歇回転し、空のワーク収納孔(15)が位置<1>に停止して、そこにワーク3が収納される。このときの様子を図１３（ａ）に示す。

位置<1>にはワーク収納孔(15)が停止して、矢印Ｇ１方向にワーク３が収納されている。今までワーク1、2が収納されたワーク収納孔(1)、(16)は、それぞれ位置<3>、<2>まで移動している。このとき、ワーク収納孔(1)は位置<3>、すなわち移載部１０ｔに停止しているが、通常測定モードであるため、ワーク収納孔(1)に対する移載部１０ｔの作用はない。

図１３の状態の後は、搬送テーブル３の空のワーク収納孔にリニアフィーダ５から位置<1>においてワークＷ１が次々と収納される。そして、ワークＷ１は搬送テーブル３の間歇回転により搬送されて、上述のように各種測定を実施した後、搬送テーブル３から排出される。そして排出により再び空になったワーク収納孔は位置<1>に到達し、同様の動作が繰り返される。これらはすべて図１に示す制御部１２の制御によって実施される。

ところで、上述のように、ワーク測定装置１において、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃの測定精度を確認するためにサンプルワークＷ１ｓのデータ取得を行うべきタイミングは、ワーク測定装置１を動作させるプログラムによる自動設定になっている。

このため、以上のような通常測定モードがあらかじめ規定された時間だけ継続したことをタイマー１２ｅが時間計数によって検知すると、制御部１２は上記タイミングが到来したものと判断する。そして、サンプルワークＷ１ｓのデータ取得を行うサンプル測定モードに移行するように制御を行う。その動作を以下に詳述する。

まず、上記タイミングにおいて、図１に示す分離供給部６の動作を停止する。これにより、搬送テーブル３のワーク収納孔４には、ワークＷ１が新たに収納されなくなる。そして、上記タイミング以前に搬送テーブル３のワーク収納孔４に収納されたワークＷ１は、搬送テーブル３の間歇回転によって、図１に示す第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃに順次停止して、それぞれ所定の測定が実施される。そして、それらの測定結果に基づいて、不良ワーク排出部８或いは良品ワーク排出部９においてワーク収納孔４から排出される。

この時点で、搬送テーブル３のすべてのワーク収納孔４は空になる。そして、搬送テーブル３は初期状態で停止する。この様子を図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。図１４（ａ）においてワーク収納孔(1)は位置<1>に停止しており、リニアフィーダ５上には搬送テーブル３のワーク収納孔４に収納されないワークＷ１が並んでいる。その先頭ワークには番号が付されているが、これは一例であり、この番号に限定されるものではない。また、ワーク収納孔(1)乃至(16)は、図１４（ｂ）に示すように、すべて空である。

ここまでで、通常測定モードからサンプル測定モードへの移行が完了する。ここから、サンプル測定モードが開始する。まず搬送テーブル３が間歇回転し、ワーク収納孔(1)が位置<3>に到達する。この様子を図１５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。次にサンプルテーブル１０ｘが図１における矢印Ｘ１方向に間歇回転し、サンプルワークａが収納されているワーク収納孔[1]が位置１に到達して停止する。この様子を図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。

図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、位置<3>と位置１が対向する位置は移載部１０ｔであり、図１６（ａ）から判るように、移載部１０ｔにおいて、ワークが収納されていない搬送テーブル３のワーク収納孔(1)とサンプルワークaが収納されているサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔[1]が対向している。

この状態からサンプルワークaが移載される手順と移載完了の確認方法について、移載部１０ｔを図１６（ａ）の矢印Ｋ１方向から見た透視図である図２８（ａ）（ｂ）乃至図３１（ａ）（ｂ）を用いて説明する。図２８（ａ）は図１６（ａ）に対応する透視図であり、図１０がその斜視図である。図１０において、切替弁１４ａは切替モードｘ３を選択し、切替弁１４ｂは切替モードｘ１を選択している。このため、ワーク収納孔４ｔ内は大気圧に保たれ、ワーク収納孔１１ｔ内は矢印Ｖ１０１の方向に真空吸引される。

すなわち図２８（ａ）においてサンプルワークＷ１ｓ（a）はワーク収納孔１１ｔ内に収納され、ワーク収納孔１１ｔ直下のテーブルベース２内に形成されたセンサ通路１０ｓ１の直上に位置している。

なお、図２８（ａ）（ｂ）乃至図３１（ａ）（ｂ）においてサンプルワークＷ１ｓ(a)の表記を用いているが、これは、図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）におけるサンプルワーク(a)と対応させるためのものである。ここで、センサ通路１０ｓ１の下方のテーブルベース２内には、光センサ光源１１Ｌａが配置されており、ワーク収納孔１１ｔ内に向けて上向きの検出光Ｌ１１を送出している。一方、ワーク収納孔１１ｔの上方かつ光センサ光源１１Ｌａに対向する位置には光センサ１１Ｌｂが配置されている。

この場合、検出光Ｌ１１はワーク収納孔１１ｔ内に収納されているサンプルワークＷ１ｓ(a)により遮断されて、光センサ１１Ｌｂにより検出されない。一方、移載部１０ｔにおいてワーク収納孔１１ｔに対向するワーク収納孔４ｔ直下のテーブルベース２内に形成されたセンサ通路１０ｓ２の下方のテーブルベース２内には、光センサ光源４Ｌａが配置されており、ワーク収納孔４ｔ内に向けて上向きの検出光Ｌ４を送出している。一方、ワーク収納孔４ｔの上方かつ光センサ光源４Ｌａに対向する位置には光センサ４Ｌｂが配置されている。

この場合、検出光Ｌ４はワーク収納孔４ｔ内にサンプルワークＷ１ｓ(a)が収納されていないため、光センサ４Ｌｂにより検出される。このように、光センサ１１Ｌｂにより検出光Ｌ１１が検出されず、光センサ４Ｌｂにより検出光Ｌ４が検出された場合には、サンプルワークＷ１ｓ(a)がサンプルテーブル１０ｘに収納されていることが判る。

この関係を図２８（ｂ）に示す。上述の光センサ光源１１Ｌａ、光センサ１１Ｌｂ、光センサ光源４Ｌａ、光センサ４Ｌｂにより、移載検出手段が構成されている。

図２８（ａ）の状態からサンプルワークＷ１ｓ(a)をサンプルテーブル１０ｘから搬送テーブル３に移載する様子を図２９（ａ）（ｂ）乃至図３１（ａ）（ｂ）に示す。まず、図２９（ａ）（ｂ）において、切替弁１４ｂが切替モードｘ２を選択し、エア通路１０ｐ１が圧縮エア発生源１５に連通して矢印Ｃ１０１の方向に圧縮エアが噴出する。同時に、切替弁１４ａが切替モードｘ１を選択し、エア通路１０ｐ２が真空発生源１３に連通して矢印Ｖ１０２の方向に真空吸引が行われる。このため、サンプルワークＷ１ｓ(a)は矢印Ｈ１の方向に移動を開始する。これを検出光Ｌ１１および検出光Ｌ４の検出状態と対応させたものを、図２９（ｂ）に示す。

図２９（ｂ）に示すように、サンプルワークＷ１ｓ(a)は移動中であり、検出光Ｌ１１および検出光Ｌ４の検出状態は図２８（ｂ）と同一である。図２９（ａ）の状態から少し時間が経過したときの様子を図３０（ａ）に示す。サンプルワークＷ１ｓ(a)は矢印Ｈ１の方向に移動を続けて、ワーク収納孔１１ｔとワーク収納孔４ｔの略中間地点に到達する。このとき、サンプルワークＷ１ｓ(a)がセンサ通路１０ｓ１の直上位置から離間し、検出光Ｌ１１が光センサ１１Ｌｂにより検出されるようになる。この関係を図３０（ｂ）に示す。

この後、サンプルワークＷ１ｓ(a)はワーク収納孔４ｔ内に収納され、図３１（ａ）のようにセンサ通路１０ｓ２上に位置する。このため、センサ通路１０ｓ２の下方のテーブルベース２内に配置された光センサ光源４Ｌａからワーク収納孔４ｔ内に向けて照射される検出光Ｌ４は、サンプルワークＷ１ｓ(a)により遮断されて、光センサ４Ｌｂにより検出されなくなる。この関係を図３１（ｂ）に示す。このように、移載部１０ｔにおいて、検出光Ｌ１１および検出光Ｌ４が光センサ１１Ｌｂおよび光センサ４Ｌｂにより検出されるか非検出であるかの情報を図１に示す制御部１２に送信しておけば、それらの情報が図２８（ｂ）から図２９（ｂ）、図３０（ｂ）を経て図３１（ｂ）の状態に変化したときに、制御部１２はサンプルワークＷ１ｓ(a)がサンプルテーブル１０ｘから搬送テーブル３に移載されたと判断することができる。

ここで、図３１（ａ）（ｂ）に対応する模式図を図１７（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。すなわち、図１７（ａ）を矢印Ｋ１方向から見た透視図が図３１（ａ）である。

図１７（ａ）（ｂ）（ｃ）において、移載部１０ｔに示す矢印Ｈ１方向にサンプルワークaが移動して、サンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔[1]から搬送テーブル３のワーク収納孔(1)に移載されている。この移載の様子を、図１７（ｃ）の位置１（孔番号[1]）から図１７（ｂ）の位置<3>（孔番号(1)）に向かう矢印Ｈ１で示している。このようにサンプルワークaの移載が完了すると、搬送テーブル３およびサンプルテーブル１０ｘはいずれも間歇回転する。そして、図１８（ａ）に示すように、移載部１０ｔには空のワーク収納孔(16)とサンプルワークbを収納したワーク収納孔[2]がそれぞれ到達して対向する。そして、上述のサンプルワークaのときと同様にして、サンプルワークbがサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔[2]から搬送テーブル３のワーク収納孔(16)に移載される。移載が終了したときの様子を図１９（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。

以後は、同様にして搬送テーブル３およびサンプルテーブル１０ｘが間歇回転して、移載部１０ｔにおいてサンプルワークcおよびdが順次移載される。サンプルワークdの移載が完了したときの様子を、図２０（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。図２０（ａ）（ｂ）（ｃ）において、すべてのサンプルワークa〜dがサンプルテーブル１０ｘから搬送テーブル３に移載されている。次に、搬送テーブル３が間歇回転して、これらのサンプルワークa〜dはその順に、図１に示す第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃに順次到達して停止する。そして、それぞれの測定部においては、被測定ワークとしてのワークＷ１に対するのと同一の波長測定、輝度測定、全光束測定を、各サンプルワークa〜dに対して実施する。

その際、図８（ａ）を用いて説明したように、各サンプルワークa〜dがそれぞれ搬送テーブル３のワーク収納孔(1)、(16)、(15)、(14)に収納されていることを制御部１２が認識している。このため、各サンプルワークa〜dに関する第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにおける測定結果は、制御部１２により個別に認識することが可能である。

このように各種測定を実施されたサンプルワークa〜dは、搬送テーブル３の間歇回転によって、不良ワーク排出部８および良品ワーク排出部９を通過して、再び移載部１０ｔに到達する。そして、制御部１２の制御により、サンプルワークa〜dは移載部１０ｔにおいて、搬送テーブル３のワーク収納孔(1)、(16)、(15)、(14)から、各サンプルワークa〜dがあらかじめ収納されていたサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔[1]、[2]、[3]、[4]に再度収納される。その様子を図２１（ａ）（ｂ）（ｃ）乃至図２７（ａ）（ｂ）（ｃ）を用いて説明する。

図２１（ａ）（ｂ）（ｃ）は、搬送テーブル３のワーク収納孔(1)に収納されて各種測定を実施されたサンプルワークaが、搬送テーブル３の間歇回転によって移載部１０ｔに到達したときの様子を示したものである。移載部１０ｔにおいて搬送テーブル３のワーク収納孔(1)と対向するサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔の孔番号は[4]であり、これはサンプルワークdがサンプルテーブル１０ｘから搬送テーブル３に移載を完了した状態を示す図２０（ａ）（ｂ）（ｃ）と一致している。

次に、サンプルテーブル１０ｘが図１における矢印Ｘ１方向に間歇回転して、図２２（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、孔番号[1]のワーク収納孔が移載部１０ｔにおいて搬送テーブル３のワーク収納孔(1)と対向する。

この状態からサンプルワークaが移載される手順と移載完了の確認方法について、移載部１０ｔを図２２の矢印Ｋ１方向から見た透視図である図３２（ａ）（ｂ）乃至図３５（ａ）（ｂ）を用いて説明する。なお、図３２（ａ）（ｂ）乃至図３５（ａ）（ｂ）に示す各部の機能については、既に図２８（ａ）（ｂ）乃至図３１（ａ）（ｂ）の説明において記載しているので、省略する。

図３２（ａ）は図２２に対応する透視図である。図３２（ａ）において、切替弁１４ａは切替モードｘ１を選択し、切替弁１４ｂは切替モードｘ３を選択している。このため、ワーク収納孔４ｔ内は矢印Ｖ１０２の方向に真空吸引され、ワーク収納孔１１ｔ内は大気圧に保たれる。サンプルワークＷ１ｓ(a)はワーク収納孔４ｔ内に収納されているため、光センサ光源４Ｌａが送出する上向きの検出光Ｌ４は、サンプルワークＷ１ｓ(a)により遮断されて、光センサ４Ｌｂにより検出されない。

一方、移載部１０ｔにおいてワーク収納孔４ｔに対向するワーク収納孔１１ｔにはサンプルワークＷ１ｓ(a)が収納されていないため、光センサ光源１１Ｌａが送出する上向きの検出光Ｌ１１は、光センサ１１Ｌｂにより検出される。このため、サンプルワークＷ１ｓ(a)が搬送テーブル３に収納されていることが判る。この関係を図３２（ｂ）に示す。

図３２（ａ）の状態からサンプルワークＷ１ｓ(a)を搬送テーブル３からサンプルテーブル１０ｘに移載する様子を図３３（ａ）（ｂ）乃至図３５（ａ）（ｂ）に示す。まず、図３３（ａ）において、切替弁１４ａが切替モードｘ２を選択し、エア通路１０ｐ２が圧縮エア発生源１５に連通して矢印Ｃ１０２の方向に圧縮エアが噴出する。同時に、切替弁１４ｂが切替モードｘ１を選択し、エア通路１０ｐ１が真空発生源１３に連通して矢印Ｖ１０１の方向に真空吸引が行われる。このため、サンプルワークＷ１ｓ(a)は矢印Ｊ１の方向に移動を開始する。

この状態を検出光Ｌ４および検出光Ｌ１１の検出状態と対応させたものが、図３３（ｂ）に示されている。サンプルワークＷ１ｓ(a)は移動中であり、検出光Ｌ４および検出光Ｌ１１の検出状態は図３２（ｂ）と同一である。図３３（ａ）の状態から少し時間が経過したときの様子を図３４（ａ）に示す。

図３４（ａ）に示すように、サンプルワークＷ１ｓ(a)は矢印Ｊ１の方向に移動を続けて、ワーク収納孔４ｔとワーク収納孔１１ｔの略中間地点に到達する。このとき、サンプルワークＷ１ｓ(a)がセンサ通路１０ｓ２の直上位置から離間し、検出光Ｌ４が光センサ４Ｌｂにより検出されるようになる。この関係を図３４（ｂ）に示す。

その後、サンプルワークＷ１ｓ(a)はワーク収納孔１１ｔ内に収納され、図３５（ａ）のようにセンサ通路１０ｓ１上に位置する。このため、光センサ光源１１Ｌａからワーク収納孔１１ｔ内に向けて照射される検出光１１はサンプルワークＷ１ｓ(a)により遮断されて、光センサ１１Ｌｂにより検出されなくなる。この関係を図３５（ｂ）に示す。

移載部１０ｔにおいて、検出光Ｌ４および検出光Ｌ１１が光センサ４Ｌｂおよび光センサ１１Ｌｂにより検出されるか非検出であるかの情報は図１に示す制御部１２に送信される。それらの情報が図３２（ｂ）から図３３（ｂ）、図３４（ｂ）を経て図３５（ｂ）の状態に変化したときに、制御部１２はサンプルワークＷ１ｓ(a)が搬送テーブル３からサンプルテーブル１０ｘに移載されたと判断することができる。

ここで、図３５（ａ）（ｂ）に対応する模式図を図２３（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。すなわち、図２３（ａ）を矢印Ｋ１方向から見た透視図が図３５（ａ）である。図２３（ａ）において、移載部１０ｔに示す矢印Ｊ１方向にサンプルワークaが移動して、搬送テーブル３のワーク収納孔(1)からサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔[1]に移載されている。この移載の様子を、図２３（ｂ）の位置<3>（孔番号(1)）から図２３（ｃ）の位置１（孔番号[1]）に向かう矢印Ｊ１で示している。

このようにサンプルワークaの移載が完了すると、搬送テーブル３およびサンプルテーブル１０ｘはいずれも間歇回転する。そして、図２４（ａ）に示すように、移載部１０ｔにはサンプルワークbを収納したワーク収納孔(16)と空のワーク収納孔[2]がそれぞれ到達して対向する。そして、上述のサンプルワークaのときと同様にして、サンプルワークbが搬送テーブル３のワーク収納孔(16)からサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔[2]に移載される。移載が終了したときの様子を図２５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。

以後は、同様にして搬送テーブル３およびサンプルテーブル１０ｘが間歇回転して、移載部１０ｔにおいてサンプルワークcおよびdが順次移載される。サンプルワークdの移載が完了したときの様子を、図２６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。

図２６（ａ）（ｂ）（ｃ）において、すべてのサンプルワークa〜dが搬送テーブル３からサンプルテーブル１０ｘに移載されている。そして各サンプルワークa〜dのサンプルテーブル１０ｘにおける移載先は、あらかじめそれらが収納されていたワーク収納孔に一致している。

以上のように、すべてのサンプルワークがサンプルテーブル１０ｘに移載されると、制御部１２により、図１に示す第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにおいて測定した各サンプルワークＷ１の測定結果と、あらかじめ制御部１２内の記憶部１２ａに記憶されている各サンプルワークＷ１ｓの既知の測定結果（基準特性）とが比較部１２ｂにおいて比較される。そして、両方の測定結果の差異があらかじめ規定された規格値（所定値）を外れていた測定部については、警報部１２ｃから警報を表示し、あるいは警報音を発し、当該の測定部に配置されている測定器を校正するように、作業者に通知する。

以上でサンプル測定モードは終了し、ワーク測定装置１は動作を停止する。作業者は上記の通知があればワーク測定装置１の電源を切り、校正すべき測定器を校正した後、再度電源を入れてワーク測定装置１を起動する。起動されたワーク測定装置１は通常測定モードで動作を再開する。

また、上記の通知がなく、測定器の校正の必要がないのであれば、作業者はワーク測定装置１の電源を一度切り、その後すぐに電源を入れてワーク測定装置１を起動する。或いは、電源を入れたままで起動用の押しボタンスイッチを押下することによってワーク測定装置１を起動してもよい。いずれの場合にも、起動されたワーク測定装置１は通常測定モードで動作を再開する。

以上のように本実施の形態によれば、第１測定部７ａ、第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃの測定精度を容易かつ簡単に確認することができる。

第２の実施の形態
次に本発明の第２の実施形態を図３６乃至図５１により説明する。

図３６は本発明を適用したワーク測定装置２１を示す正面図である。ワーク測定装置２１は、垂直に配置されたテーブルベース２２に隣接して回転自在に配置された搬送体としての円形の搬送テーブル２３を有し、搬送テーブル２３は、図示されない駆動機構の作用により中心軸２３ａの周囲に矢印Ａ２の方向に間歇回転する。

搬送テーブル２３の外周近傍には保持部としての複数のワーク収納孔２４が搬送テーブル２３の両面を貫通して形成されている。すなわち、ワーク収納孔２４は搬送テーブル２３の一面および他面に開口し、ここに後述する被測定ワークとしてのワークＷ２およびこのワークＷ２と同一形状のサンプルワークＷ２ｓが個別に収納されて搬送される。

また、図３７に示すように、搬送テーブル２３の一面に向けて直線形状のリニアフィーダ２５が水平に配置されている。リニアフィーダ２５は図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークＷ２を１列状態で搬送テーブル２３の一面に向けて搬送する機能を有する。リニアフィーダ２５の終端部は搬送テーブル２３の一面に近接し、そこにおいてワーク収納孔２４の開口部に対向する。リニアフィーダ２５の終端部とワーク収納孔２４の開口部が対向する位置には、リニアフィーダ２５上のワークＷ２を１個ずつ分離して個別にワーク収納孔２４に供給する分離供給手段としての分離供給部２６が配置されている。この分離供給部２６から搬送テーブル２３の間歇回転方向すなわち矢印Ａ２方向に沿って、ワークＷ２の各種特性の測定を行う測定手段としての第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂ、および測定の結果に基づいて不良と判定されたワークＷ２をワーク収納孔２４から排出する排出手段としての不良ワーク排出部２８、測定の結果に基づいて良品と判定されたワークＷ２をワーク収納孔２４から排出する排出手段としての良品ワーク排出部２９が、この順に配置されている。

また、搬送テーブル２３の間歇回転方向すなわち矢印Ａ２方向に沿って、分離供給部２６と第１測定部２７ａの間に、サンプルワーク供給手段としてのサンプルテーブル３０ｘが配置され、かつサンプルテーブル３０ｘと搬送テーブル２３との間にサンプルワークＷ２ｓの移載を行う移載部３０ｔが配置されている。

このサンプルテーブル３０ｘと移載部３０ｔとにより、測定系確認部３０が構成されている。サンプルテーブル３０ｘの形状は搬送テーブル２３と同様に円形をなし、図示されない駆動機構の作用により、中心軸３０ｘａの周囲に矢印Ｘ２方向に間歇回転する。サンプルテーブル３０ｘの外周に近い部分には、搬送テーブル２３と同様の形状を有する保管部としての複数のワーク収納孔３１が形成され、ワーク収納孔３１にはサンプルワークＷ２ｓが保管される。

そして、ワーク測定装置２１を構成する搬送テーブル３、分離供給部２６、第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂ、不良ワーク排出部２８、良品ワーク排出部２９、サンプルテーブル３０ｘ、および移載部３０ｔの制御を行う制御部３２が設置されている。

なお、搬送テーブル２３が間歇回転してワークＷ２を搬送するので、分離供給部２６から良品ワーク排出部２９までの搬送テーブル２３の一面側には、間歇回転の際にワークＷ２に作用する振動によりワークＷ２が搬送テーブル２３の外側に飛び出すのを防止するため、図示しないテーブルカバーが形成されている。

図３６における矢印Ｍ方向からワーク測定装置２１を見た平面図を図３７に示す。ただし、簡単のため、図３７においては第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂ、不良ワーク排出部２８、良品ワーク排出部２９は記載していない。上述のリニアフィーダ２５が振動によりワークＷ２を１列状態で搬送テーブル２３の一面に向けて搬送する方向は、図３７において矢印Ｂ２の方向である。

また、測定系確認部３０におけるサンプルテーブル３０ｘは、搬送テーブル２３の一面側に位置しており、図３６に示すように移載部３０ｔにおいて搬送テーブル２３と重なっている。そして、後述のようにワーク収納孔２４とワーク収納孔３１のそれぞれの開口部が移載部３０ｔにおいて対向している。また、測定系確認部３０において、サンプルテーブル３０ｘの搬送テーブル２３と反対側には、移載部３０ｔの機能を内蔵するとともにサンプルテーブル３０ｘの間歇回転に伴う振動によりサンプルワークＷ２ｓがサンプルテーブル３０ｘから飛び出すのを防止するため、テーブルカバー３０ｂが配置されている。

図３６における測定系確認部３０付近、すなわち一点鎖線領域Ｐ２の拡大図を、図３８に示す。ただし、簡単のため、図３８においてテーブルカバー３０ｂは記載していない。

搬送テーブル２３のワーク収納孔２４とサンプルテーブル３０ｘのワーク収納孔３１は、移載部１０ｔにおいてそれぞれの開口部が対向している。この開口部が対向した状態のワーク収納孔２４とワーク収納孔３１を、図３８においてはワーク収納孔２４ｔおよびワーク収納孔３１ｔと記載している。ワーク収納孔２４およびワーク収納孔３１には、図３９および図４０に示す形状のワークＷ２およびサンプルワークＷ２ｓが収納される。ここに、サンプルワークＷ２ｓは、ワークＷ２と同一であり、かつその特性すなわち図３６に示す第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂにおけるそれぞれの測定結果が既知であるワークである。

具体的には、第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂにおいて使用される測定器と同一かつ校正済みの測定器を用いて、第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂにおける測定項目と同一の測定を、サンプルワークＷ２ｓに対してあらかじめ実施し、その測定結果（基準特性）を制御部３２内の記憶部３２ａに記憶させておく。このサンプルワークＷ２ｓの基準特性は、制御部３２の制御によって記憶部３２ａから読み出すことが可能になっている。

また制御部３２はサンプル測定モードをとったとき、サンプルワークＷ２ｓの基準特性とワークＷ２との測定結果とを比較する比較部３２ｂと、比較部３２ｂにより比較した結果、両者の差異が所定値を越えた際、警報を発する警報部３２ｃとを有している。また制御部３２は通常測定モードをとったとき、第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂによる測定結果に基づいてワークＷ２が良品か不良品かの判定を行なう判定部３２ｄと、制御部３２のモードを切替える自動切替手段３２ｆとを有している。

ここで、図３９乃至図４１を用いて、ワークＷ２について説明する。図３９にワークＷ２の斜視図を、またワークＷ２を図３９における矢印Ｃ２、Ｄ２、Ｅ２の方向から見た図をそれぞれ図４０（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。さらに、ワークＷ２の電気回路図を図４１に示す。ワークＷ２はインダクタである。

図３９および図４０（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、ワークＷ２は絶縁体により６面体形状に形成された基体Ｗ２ｘと、その長手方向両端に導電体により形成される電極Ｗ２ａ、Ｗ２ｂとからなる。そして、電極Ｗ２ａ、Ｗ２ｂとワークＷ２の電気回路との対応は図４１のようになっている。すなわち、電極Ｗ２ａ、Ｗ２ｂの間にインダクタＬ０が形成されており、その周囲を絶縁体で覆って基体Ｗ２ｘとしている。ワークＷ２を構成する６面体の各辺の長さ（図４０におけるａ２、ｂ２、ｃ２）は、長手方向の長さａ２が２ｍｍ〜３ｍｍ程度で、電極Ｗ２ａおよびＷ２ｂの各辺の長さｂ２およびｃ２がそれぞれ１ｍｍ〜２ｍｍ程度の製品が市販されている。

次に搬送テーブル２３のワーク収納孔２４について、図４２および図４３を用いて説明する。図４２はワーク収納孔２４が図３６および図３７における分離供給部２６に停止している状態の斜視図である。

ワーク収納孔２４はテーブルベース２２に隣接して配置された搬送テーブル２３の両面に開口しており、図３６および図３７に示すリニアフィーダ２５の終端部がこの開口部に対向して位置するが、図４２においては図示されていない。この開口部に対向するテーブルベース２２内には、その壁面２４ｗに開口部２４ｂを有するエア通路２６ｖが形成されている。エア通路２６ｖはテーブルベース２２内に設置された真空発生源１３２に連通している。そして、この真空発生源１３２からの矢印Ｆ２６方向の真空吸引によって、ワーク収納孔２４の内部には壁面２４ｗに向けて吸引力が作用する。また、搬送テーブル２３はテーブルベース２２と極めて近接して配置されているため、分離供給部２６においてワーク収納孔２４の内部は略密閉状態となり、上記吸引力が効率良く作用する。

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用、すなわちワーク測定方法について説明する。

図３６において、ワークＷ２は図示されないパーツフィーダにまとめて投入される。そして、電極Ｗ２ａおよびＷ２ｂがワークの進行方向すなわち図３７に示す矢印Ｂ２方向を向くように方向を揃えられて、リニアフィーダ２５上に１列に並ぶ。リニアフィーダ２５は上述のように、図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークＷ２は上述の方向に揃った１列状態で矢印Ｂ２方向に搬送される。そして、停止している搬送テーブル２３のワーク収納孔２４の開口部に対向する位置に到達したワークＷ２は、分離供給部２６において図示されない分離機構の作用によって１個ずつ分離されて、図４２に示す矢印Ｆ２６方向の真空吸引により、個別にワーク収納孔２４に収納される。

このようにして、ワーク収納孔２４にワークＷ２が収納された様子を、斜視図として図４３に示す。このとき、リニアフィーダ２５上であらかじめ上述のようにワークＷ２の方向が揃えられているので、ワークＷ２はワーク収納孔２４に収納された状態において、電極Ｗ２ａおよびＷ２ｂが搬送テーブル２３の両面に露出している。なお、図４３に示すワークＷ２は電極Ｗ２ｂがテーブルベース２２側に面しているが、電極Ｗ２ａがテーブルベース２２側に面するように収納されるワークＷ２もある。

次に搬送テーブル２３が図３６に示す矢印Ａ２の方向に間歇回転し、分離供給部２６においてワーク収納孔２４に収納されたワークＷ２は移載部３０ｔを通過して、第１測定部２７ａで停止する。そして、測定器としてのＬＣＲメータに接続された図示されないプローブが搬送テーブル２３の両面に露出しているワークＷ２の電極Ｗ２ａおよびＷ２ｂに当接して、ワークＷ２のインダクタンス値測定およびＱ値測定を実施する。次に、搬送テーブル２３の間歇回転により、ワークＷ２は第２測定部２７ｂに到達して停止する。そして、第１測定部２７ａと同様に、測定器としての直流抵抗計に接続された図示されないプローブが搬送テーブル２３の両面に露出しているワークＷ２の電極Ｗ２ａおよびＷ２ｂに当接して、ワークＷ２の直流抵抗値測定を実施する。

以上の測定が終了すると、第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂからの測定結果に基づいて制御部３２は判定部３２ｄによりワークＷ２が良品か不良品かを判定する。そして、その判定結果に対応して、搬送テーブル２３の間歇回転により、不良ワーク排出部２８あるいは良品ワーク排出部２９においてワーク収納孔２４内のワークＷ２を排出する。良品ワーク排出部２９においてすべてのワーク収納孔２４が空になり、搬送テーブル２３の間歇回転により分離供給部２６に到達した空のワーク収納孔２４に再びワークＷ２が収納され、上記と同様の作用が繰り返される。以上がワーク測定装置２１における通常測定モードである。

ワーク測定装置２１におけるサンプル測定モードの動作は、ワーク測定装置１におけるサンプル測定モードと同一である。すなわち、図３８において、サンプルテーブル３０ｘのワーク収納孔３１にあらかじめ収納してあるサンプルワークＷ２ｓを移載部３０ｔにおいて搬送テーブル２３のワーク収納孔２４に移載して、図３６に示す第１測定部２７ａ、第２測定部２７ｂにおいて測定を実施した後で、再度移載部３０ｔにおいてサンプルテーブル３０ｘのワーク収納孔３１に移載するものである。また、通常測定モードからサンプル測定モードへの移行も、ワーク測定装置１と同様にプログラムによる自動設定となっている。

ワーク測定装置２１はワーク測定装置１と同様に、搬送テーブル２３のワーク収納孔２４およびサンプルテーブル３０ｘのワーク収納孔３１の位置認識機能を有している。搬送テーブル２３には全部で１６個のワーク収納孔２４が形成され、サンプルテーブル３０ｘには全部で８個のワーク収納孔３１が形成されている。これらのワーク収納孔の数はワーク測定装置１と同じである。各ワーク収納孔について、ワーク測定装置１と同様に固定位置と孔番号を記した模式図を図４４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。

図４４（ａ）（ｂ）（ｃ）において、固定位置と孔番号の表記方法はワーク測定装置１の説明において引用した図８（ａ）（ｂ）（ｃ）と同一なので、詳細な説明は省略する。

ここに、搬送テーブル２３の固定位置<1>は図３６において分離供給部２６に対向するワーク収納孔の位置に付与されており、移載部３０ｔの固定位置は、搬送テーブル２３が(3)、サンプルテーブル３０ｘが[8]である。

これらの付与方法は、ワーク測定装置１と同一である。また、搬送テーブル２３の間歇回転方向Ａ２およびサンプルテーブル３０ｘの間歇回転方向Ｘ２は、図４４（ａ）（ｂ）（ｃ）と図８（ａ）（ｂ）（ｃ）を比較すれば明らかなように、やはりワーク測定装置１と同一である。さらに、図４４（ｃ）に示すように、サンプルワークa〜dがあらかじめ収納されるサンプルテーブル３０ｘのワーク収納孔３１の孔番号もまた、ワーク測定装置１と同一である。すなわち、ワーク測定装置２１において、通常測定モードの動作およびサンプル測定モードにおけるサンプルワークＷ２ｓをサンプルテーブル３０ｘと搬送テーブル２３との間で移載する手順は、各テーブルにおけるワーク収納孔の形状が異なる以外は、ワーク測定装置１における図１１（ａ）（ｂ）（ｃ）乃至図２７（ａ）（ｂ）（ｃ）と全く同じである。よって、詳細な説明は省略する。

移載部３０ｔを図３８の矢印Ｋ２方向から見た透視図を図４５に示す。図４５において、移載部３０ｔは、テーブルベース２２、搬送テーブル２３、サンプルテーブル３０ｘ、テーブルカバー３０ｂが、この順にいずれも互いにわずかな間隙を有して右から左に並んで配置されている。搬送テーブル２３のワーク収納孔２４ｔとサンプルテーブル３０ｘのワーク収納孔３１ｔは、上述のようにそれぞれの開口部が対向している。

また、テーブルベース２２内には、ワーク収納孔２４ｔの開口部に対向して開口するエア通路３０ｐ２が形成されている。同様に、テーブルカバー３０ｂ内には、ワーク収納孔３１ｔの開口部に対向して開口するエア通路３０ｐ１が形成されている。さらに、テーブルベース２２内には、ワーク収納孔２４ｔの開口部に対向して開口するセンサ通路３０ｓ２が形成されている。

センサ通路３０ｓ２の右方となるテーブルベース２２内には、ワーク収納孔２４ｔ内に向けて光を送出し、反射光を検出するか否かによってワーク収納孔２４ｔ内にサンプルワークＷ２ｓが移載されたか否かを検知する機能を有する光センサ２４Ｌが配置されている。

この光センサ２４Ｌは、第１の実施形態における図２８（ａ）（ｂ）乃至図３５（ａ）（ｂ）に示す光センサ光源４Ｌａと光センサ４Ｌｂとを一つにまとめた機能を有し、反射型フォトセンサ或いはフォトリフレクタ等の名称で市販されている。同様に、テーブルカバー３０ｂ内には、ワーク収納孔３１ｔの開口部に対向して開口するセンサ通路３０ｓ１が形成されている。

センサ通路３０ｓ１の左方となるテーブルカバー３０ｂ内には、ワーク収納孔３１ｔ内に向けて光を送出し、反射光を検出するか否かによってワーク収納孔３１ｔ内にサンプルワークＷ２ｓが移載されたか否かを検知する機能を有する光センサ３１Ｌが配置されている。

この光センサ３１Ｌは、第１の実施形態における図２８（ａ）（ｂ）乃至図３５（ａ）（ｂ）に示す光センサ光源１１Ｌａと光センサ１１Ｌｂとを一つにまとめた機能を有している。これらの光センサ２４Ｌおよび光センサ３１Ｌによって、移載検知手段が構成されている。移載部３０ｔの拡大斜視図を図４６に示す。

図４６に示すように、移載部３０ｔにおいてテーブルベース２２に形成されたエア通路３０ｐ２は切替弁１４２ａに連通している。切替弁１４２ａは３通りの切替モードｘ１、ｘ２、ｘ３を選択する機能を有する。切替モードｘ１はテーブルベース２２内に設置された真空発生源１３２を選択するもので、このときエア通３０ｐ２は真空発生源１３２に連通し、ワーク収納孔２４ｔ内が矢印Ｖ３０２の方向に真空吸引される。また、切替モードｘ２はテーブルベース２２内に設置された圧縮エア発生源１５２を選択するもので、このときエア通路３０ｐ２は圧縮エア発生源１５２に連通し、ワーク収納孔２４ｔ内に矢印Ｃ３０２の方向に圧縮エアが噴出する。また、切替モードｘ３は何も選択しないので、エア通路３０ｐ２はどこにも連通することがなく、ワーク収納孔２４ｔ内は大気圧の状態を保つ。

同様に、移載部１０ｔにおいてテーブルカバー３０ｂに形成されたエア通路３０ｐ１は切替弁１４２ｂに連通している。そして、切替弁１４２ｂが切替モードｘ１、ｘ２、ｘ３を選択することによって、ワーク収納孔２４ｔと同様に、ワーク収納孔３１ｔ内が矢印Ｖ３０１の方向に真空吸引され、またワーク収納孔３１ｔ内に矢印Ｃ３０１の方向に圧縮エアが噴出し、またワーク収納孔３１ｔ内が大気圧の状態を保つ。

移載部３０ｔにおいて、ワーク収納孔３１ｔにサンプルワークＷ２ｓが収納されている様子を図４７に示す。切替弁１４２ａは切替モードｘ３を選択し、切替弁１４２ｂは切替モードｘ１を選択している。このため、サンプルワークＷ２ｓは矢印Ｖ３０１の方向に真空吸引されて、ワーク収納孔３１ｔに保持されている。この状態から、サンプルワークＷ２ｓがワーク収納孔３１ｔに対向するワーク収納孔２４ｔに移載されると、サンプルワークＷ２ｓの向きは図４３に示すワークＷ２の向きに一致する。

移載部３０ｔにおけるサンプルワークＷ２ｓが移載される手順および移載完了の確認方法について、図４８（ａ）（ｂ）乃至図５１（ａ）（ｂ）を用いて説明する。その原理はワーク測定装置１における図２８（ａ）（ｂ）乃至図３５（ａ）（ｂ）と同一であるため、説明は大幅に簡略化して行う。図４８（ａ）は図４５に対応する透視図であり、図４７はその斜視図である。図４８（ａ）において、切替弁１４２ａは切替モードｘ３を選択し、切替弁１４２ｂは切替モードｘ１を選択している。

図４８（ａ）に示すように、ワーク収納孔２４ｔ内は大気圧に保たれ、ワーク収納孔３１ｔ内は矢印Ｖ３０１の方向に真空吸引される。すなわち図４８（ａ）においてサンプルワークＷ２ｓはワーク収納孔３１ｔ内に収納され、ワーク収納孔３１ｔに対向するテーブルカバー３０ｂ内に形成されたセンサ通路３０ｓ１の直近に位置している。このため、光センサ３１Ｌからセンサ通路３０ｓ１を通してワーク収納孔３１ｔ内に向けて送出された光はサンプルワークＷ２ｓによって反射し、その反射光Ｌ３１がセンサ通路３０ｓ１を通って光センサ３１Ｌに到達して検出される。

他方、テーブルベース２２内に配置された光センサ２４Ｌからセンサ通路３０ｓ２を通してワーク収納孔３１ｔ内に向けて送出された光は、サンプルワークＷ２ｓがセンサ通路３０ｓ２から離間しているため、サンプルワークＷ２ｓに到達する前に減衰してしまう。よって、サンプルワークＷ２ｓによって反射する光はなく、光センサ２４Ｌは何も検出しない。この場合は、サンプルワークＷ２ｓがサンプルテーブル３０ｘに収納されていることが判る。この関係を図４８（ｂ）に示す。

図４８（ａ）（ｂ）の状態からサンプルワークＷ２ｓをサンプルテーブル３０ｘから搬送テーブル２３に移載する様子を図４９（ａ）（ｂ）に示す。

図４９（ａ）において、切替弁１４２ａが切替モードｘ１を選択し、エア通路３０ｐ２が真空発生源１３２に連通して矢印Ｖ３０２の方向に真空吸引が行われる。同時に、切替弁１４２ｂが切替モードｘ２を選択し、エア通路３０ｐ１が圧縮エア発生源１５２に連通して矢印Ｃ３０１の方向に圧縮エアが噴出する。このため、サンプルワークＷ２ｓは矢印Ｈ２の方向に移動を開始し、図４９（ａ）においてはサンプルテーブル３０ｘから搬送テーブル２３に移動中の状態である。

図４９（ａ）に示すように、サンプルワークＷ２ｓはセンサ通路３０ｓ１および３０ｓ２のいずれからも離間しているため、光センサ３１Ｌからセンサ通路３０ｓ１を通してワーク収納孔３１ｔ内に向けて送出された光および光センサ２４Ｌからセンサ通路３０ｓ２を通してワーク収納孔２４ｔ内に向けて送出された光は、いずれもサンプルワークＷ２ｓに到達する前に減衰してしまう。このためサンプルワークＷ２ｓによって反射する光はなく、光センサ３１Ｌおよび２４Ｌは何も検出しない。この関係を図４９（ｂ）に示す。この状態からさらに時間が経過して、サンプルワークＷ２ｓが搬送テーブル２３に移載された状態を図５０（ａ）に示す。

図５０（ａ）に示すように、サンプルワークＷ２ｓはワーク収納孔２４ｔ内に収納され、ワーク収納孔２４ｔに対向するテーブルベース２２内に形成されたセンサ通路３０ｓ２の直近に位置している。よって、光センサ３１Ｌおよび２４Ｌによる検出状況は図４８（ｂ）の場合と逆転して、図５０（ｂ）のようになる。

すなわち、移載部３０ｔにおいて、光センサ３１Ｌおよび２４Ｌが反射光を検出するか非検出であるかの情報を図３６に示す制御部３２に送信しておけば、それらの情報が図４８（ｂ）から図４９（ｂ）を経て図５０（ｂ）の状態に変化したときに、制御部３２はサンプルワークＷ２ｓがサンプルテーブル３０ｘから搬送テーブル２３に移載されたと判断することができる。同様に、サンプルワークＷ２ｓを搬送テーブル２３からサンプルテーブル３０ｘに移載する際には、図５０（ａ）（ｂ）の状態から図５１（ａ）（ｂ）の状態を経て図４８（ａ）（ｂ）の状態に変化する。

図５１（ａ）において、切替弁１４２ａが切替モードｘ２を選択し、エア通路３０ｐ２が圧縮エア発生源１５２に連通して矢印Ｃ３０２の方向に圧縮エアが噴出する。同時に、切替弁１４２ｂが切替モードｘ１を選択し、エア通路３０ｐ１が真空発生源１３２に連通して矢印Ｖ３０１の方向に真空吸引が行われる。このため、サンプルワークＷ２ｓは矢印Ｊ２の方向に移動を開始し、図５１（ａ）においては搬送テーブル２３からサンプルテーブル３０ｘに移動中の状態である。このとき、光センサ３１Ｌおよび２４Ｌに対するサンプルワークＷ２ｓの位置は図４９（ａ）（ｂ）に示す状態と同様であるため、各光センサの反射光検出は図５１（ｂ）のようになる。

すなわち、移載部３０ｔにおいて、光センサ３１Ｌおよび２４Ｌが反射光を検出するか非検出であるかの情報を図３６に示す制御部３２に送信しておけば、それらの情報が図５０（ｂ）から図５１（ｂ）を経て図４８（ｂ）の状態に変化したときに、制御部３２はサンプルワークＷ２ｓが搬送テーブル２３からサンプルテーブル３０ｘに移載されたと判断することができる。

以上のように、図３６に示すワーク測定装置２１においても、図１に示すワーク測定装置１と同様にサンプル測定モードによる動作が可能であり、その測定結果とあらかじめ制御部３２内の記憶部に記憶されている各サンプルワークの既知の測定結果を比較する。そして、両方の測定結果の差異があらかじめ定めた規格値を外れていた測定部については、上述のワーク測定装置１と同様に警報を発して作業者に通知する。

第３の実施の形態
次に本発明の第３の実施形態を図５２乃至図６６を用いて説明する。

本発明を適用したワーク測定装置４１の平面図を図５２に示す。また、図５２を矢印Ｎ方向から見た正面図を図５３に示す。

ただし、簡単のために、図５３においては図５２の主要部分以外は表記していない。ワーク測定装置４１は、搬送体としての水平な搬送テーブル４３を有し、搬送テーブル４３の一面側に搬送テーブル４３に対して進退自在の搬送ノズル４４が保持部として設けられている。図５２および図５３において、水平に配置されたテーブルベース４２の上方に離間して、搬送体としての円形の搬送テーブル４３が中心軸である支柱４３ａに支持されて回転自在に配置されている。

搬送テーブル４３は、図示されない駆動機構の作用によって支柱４３ａの周囲に図５２に示す矢印Ａ３の方向に間歇回転する。搬送テーブル４３の外周部に近接して、テーブルベース４２に面した一面側に複数の搬送ノズル４４が配置されている。図５３に示すように、搬送ノズル４４は図示されない駆動機構の作用により、搬送テーブル４３の一面に対して矢印Ｑおよび矢印Ｒの方向に進退自在である。図５３はすべての搬送ノズル４４が上限位置にある状態を示す。搬送テーブル４３は搬送ノズル４４がこの上限位置にある状態で間歇回転する。搬送ノズル４４の下端には、被測定ワークとしての後述するワークＷ３およびワークＷ３と同一のサンプルワークＷ３ｓが個別に保持されて搬送される。

図５２に示すように、テーブルベース４２上には、搬送テーブル４３の外周部直下に向けて直線形状のリニアフィーダ５が配置されている。リニアフィーダ５は図示されない駆動機構の作用により振動し、この振動によりワークＷ３を１列状態で矢印Ｂ３方向に搬送する機能を有する。リニアフィーダ５の終端部は搬送テーブル４３の外周部直下において、テーブルベース４２の上面に位置する。そして、その位置からわずかに搬送テーブル４３の支柱４３ａに近く、かつ搬送ノズル４４の直下となる位置には、リニアフィーダ５上のワークＷ３を１個ずつ分離して個別に搬送ノズル４４に供給する分離供給手段としての分離供給台４６が配置されている。

この分離供給台４６から搬送テーブル４３の間歇回転方向すなわち矢印Ａ３方向に沿って、ワーク測定装置１と同様に、ワークＷ３の各種特性の測定を行う測定手段としての第１測定部４７ａ、第２測定部４７ｂ、第３測定部４７ｃ、および測定の結果に基づいて不良と判定されたワークＷ３を搬送ノズル４４から排出する排出手段としての不良ワーク排出部４８、測定の結果に基づいて良品と判定されたワークＷ３を搬送ノズル４４から排出する排出手段としての良品ワーク排出部４９が、この順に配置されている。

また、搬送テーブル４３の間歇回転方向すなわち矢印Ａ３方向に沿って、分離供給台４６と第１測定部４７ａの間となるテーブルベース４２の上面に、サンプルワーク供給手段としてのサンプルテーブル１０ｘが配置され、かつサンプルテーブル１０ｘと搬送テーブル４３との間でサンプルワークＷ３ｓの移載を行う移載位置としての移載部５０ｔが配置されている。サンプルテーブル１０ｘは第１の実施形態において説明したものと同一の形状である。また、移載部５０ｔは、サンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１が搬送ノズル４４の直下となる位置に配置されている。また、ワーク測定装置４１を構成する搬送テーブル４３、分離供給部４６、第１測定部４７ａ、第２測定部４７ｂ、第３測定部４７ｃ、不良ワーク排出部４８、良品ワーク排出部４９、サンプルテーブル１０ｘおよび移載部５０ｔの動作を制御するための制御部５２が配置されている。

また、制御部５２はサンプル測定モードをとったとき、サンプルワークＷ３ｓの基準特性とワークＷ３との測定結果とを比較する比較部５２ｂと、比較部５２ｂにより比較した結果、両者の差異が所定値を越えた際、警報を発する警報部５２ｃとを有している。また制御部５２は通常測定モードをとったとき、第１測定部４７ａ、第２測定部４７ｂ、第３測定部４７ｃによる測定結果に基づいてワークＷ３が良品か不良品かの判定を行なう判定部５２ｄと、制御部５２のモードを切替える自動切替手段５２ｆとを有している。

ここで、ワークＷ３について説明する。図５４にワークＷ３の斜視図を、またワークＷ３を図５４における矢印Ｃ３、Ｄ３、Ｅ３の方向から見た図をそれぞれ図５５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す。ワークＷ３は発光ダイオード（ＬＥＤ）である。図５４および図５５に示すように、ワークＷ３は図３および図４に示すワークＷ１と類似した形状を有している。すなわち、ワークＷ３は絶縁体により６面体形状に形成され、その１面である面Ｗ３ｆ４に透明な樹脂で覆われた発光面Ｗ３Ｌが略平面状に形成されるとともに、面Ｗ３ｆ４に隣接し、かつ互いに対向する２面である面Ｗ３ｆ２および面Ｗ３ｆ３に、それぞれ導電体からなる電極Ｗ３ａ、Ｗ３ｂが突出している。そして、電極Ｗ３ａ、Ｗ３ｂとワークＷ３の電気回路との対応は図５と同様である。

すなわち、電極Ｗ３ａがアノード、電極Ｗ３ｂがカソードであり、直流電圧源から、あらかじめ規定された直流電圧を電極Ｗ３ａが電極Ｗ３ｂよりも高い電位となるようにワークＷ３に対して供給すると、発光面Ｗ３Ｌが発光する。このように、電極Ｗ３ａと電極Ｗ３ｂには方向性があるので、ワークＷ３を外部から見た時にその方向を識別する必要がある。この目的のために、面Ｗ３ｆ１の電極Ｗ３ｂに近い側の角部に、電極Ｗ３ｂがカソードであることを示すカソードマークＷ３ｍが印刷されている。ワークＷ３を構成する６面体の各辺の長さ（図５５におけるａ３、ｂ３、ｃ３）は、カソードマークＷ３ｍが印刷されている面Ｗ３ｆ１の各辺の長さａ３、ｂ３が５ｍｍ〜７ｍｍ程度で、電極Ｗ３ａ、Ｗ３ｂが突出する面Ｗ３ｆ２および面Ｗ３ｆ３の短辺の長さｃ３が２ｍｍ程度の製品が市販されている。

図５４および図５５に示すように、ワークＷ３は図３および図４に示すワークＷ１とは異なり、それを構成する６面の中で最も面積の広い面Ｗ３ｆ１に発光面を有していないため、後述のように、面Ｗ３ｆ１を搬送ノズル４４によって吸着して搬送することができる。

ワーク測定装置４１はワーク測定装置１と同様に、搬送テーブル４３の搬送ノズル４４およびサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１の位置認識機能を有している。ここに、搬送テーブル４３はワーク測定装置１における搬送テーブル３のワーク収納孔４に代えて搬送ノズル４４を配置しているので、搬送テーブル３の説明で用いた孔番号をノズル番号と言い換えて説明する。搬送テーブル４３には全部で１６個の搬送ノズル４４が配置され、サンプルテーブル１０ｘには全部で８個のワーク収納孔１１が形成されている。これらの搬送ノズルおよびワーク収納孔の数はワーク測定装置１と同じである。各搬送ノズルおよびワーク収納孔について、ワーク測定装置１と同様に固定位置とノズル番号或いは孔番号を記した模式図を図５６に示す。固定位置とノズル番号或いは孔番号の表記方法は、ワーク測定装置１の説明において引用した図８と同一なので、詳細な説明は省略する。

ここに、搬送テーブル４３の固定位置<1>は図５２において分離供給台４６の直上に配置された搬送ノズルの位置に付与されており、移載部５０ｔの固定位置は、搬送テーブル４３が(3)、サンプルテーブル１０ｘが[8]である。これらの付与方法は、ワーク測定装置１と同一である。

また、搬送テーブル４３の間歇回転方向Ａ３およびサンプルテーブル１０ｘの間歇回転方向Ｘ３は、図５６と図８を比較すれば明らかなように、やはりワーク測定装置１と同一である。さらに、サンプルワークa〜dがあらかじめ収納されるサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１の孔番号もまた、ワーク測定装置１と同一である。すなわち、ワーク測定装置４１において、通常測定モードの動作およびサンプル測定モードにおけるサンプルワークＷ３ｓをサンプルテーブル１０ｘと搬送テーブル４３との間で移載する手順は、搬送テーブル４３がワーク収納孔に代えて搬送ノズルを有する以外は、ワーク測定装置１における図１１乃至図２７と全く同じである。よって、詳細な説明は省略する。

次にこのような構成を有するワーク測定装置４１の作用、すなわちワーク測定方法について、以下に説明する。図５２において、ワークＷ３は図示されないパーツフィーダにまとめて投入される。

そして、図示されない方向検知機構の作用によって、図５４に示す発光面Ｗ３Ｌがワークの進行方向すなわち図５２に示す矢印Ｂ３方向と逆方向となるように方向を揃えられて、リニアフィーダ５上に１列に並ぶ。図５２においてリニアフィーダ５の作用により矢印Ｂ３方向に一列状態で搬送されたワークＷ３は、その終端部に到達すると、図示されない分離供給機構の作用により、図５６における矢印Ｇ３方向に分離供給台４６に向けて個別に移載される。分離供給台４６の上にワークＷ３が移載されると、図５３において分離供給台４６の直上の上限位置に停止している、下端にワークＷ３を保持していない搬送ノズル４４が矢印Ｑ方向に下降する。そして、図５７に示すように、搬送ノズル４４の下端が分離供給台４６に載置されたワークＷ３の面Ｗ３ｆ１に当接した状態で停止する。

この場合、搬送ノズル４４の内部にはエア通路４４ａが形成され、搬送ノズル４４の下端に開口部４４ｂが開口している。そして、エア通路４４ａは図５３に示す搬送テーブル４３および中心軸４３ａを経由してテーブルベース４２内に到達し、そこに配置された切替弁１６ａに連通している。

切替弁１６ａは２通りの切替モードｙ１、ｙ３を選択する機能を有する。切替モードｙ１はテーブルベース４２内に設置された真空発生源１３３ａを選択するもので、このときエア通路４４ｂは真空発生源１３３ａに連通し、矢印Ｆ４４の方向に真空吸引される。

一方、切替モードｙ３は何も選択しないので、エア通路４４ｂはどこにも連通することがなく、大気圧の状態を保つ。搬送ノズル４４が図５３において分離供給台４６の直上の上限位置に停止している状態から矢印Ｑの方向に下降して、図５７に示すように、その下端がワークＷ３の面Ｗ３ｆ１に当接するまでの間は、切替弁１６ａは切替モードｙ３を選択する。

すなわち、エア通路４４ｂは大気圧の状態である。そして、搬送ノズル４４の下端がワークＷ３の面Ｗ３ｆ１に当接して停止すると、切替弁１６ａは切替モードｙ１を選択する。このときエア通路４４ｂは真空発生源１３３ａに連通し、矢印Ｆ４４の方向に真空吸引されるので、ワークＷ３は搬送ノズル４４の下端に吸着されて保持される。このとき、図５７に示すワークＷ３は、上述のようにリニアフィーダ５上で方向が揃っているため、矢印Ｓ方向が図５６における矢印Ｇ３方向に一致する。すなわち、ワークＷ３は発光面Ｗ３Ｌが搬送テーブル４３の外側に向くように搬送ノズル４４に保持される。

次に、搬送ノズル４４はワークＷ３を保持したまま、図５３の矢印Ｒ方向に上昇して上限位置で停止する。そして、搬送テーブル４３が図５２の矢印Ａ３方向に間歇回転し、ワークＷ３を搬送する。

そして、ワークＷ３は移載部５０ｔを通過して、第１測定部４７ａで停止する。そして、搬送ノズル４４は図５３に示す矢印Ｑ方向に下降し、ワークＷ３はテーブルベース４２上に配置された、図示されない測定台上に載置される。そして、ワーク測定装置１の第１測定部７ａと同様に、図示されない直流電源および波長計を使用して、ワークＷ３の波長測定を実施する。この測定の間、ワークＷ３は搬送ノズル４４に吸着保持された状態を維持する。測定が終了すると、搬送ノズル４４はワークＷ３を保持したまま、図５３の矢印Ｒ方向に上昇して上限位置で停止する。そして、搬送テーブル４３が図５２の矢印Ａ３方向に間歇回転し、ワークＷ３を搬送する。そして、ワークＷ３は第１測定部４７ａと同様に、第２測定部４７ｂ、第３測定部４７ｃに順次停止し、搬送ノズル４４の下降、各測定部における測定項目の測定、搬送ノズル４４の上昇を繰り返す。

ここに、第２測定部４７ｂ、第３測定部４７ｃに対応する測定項目は、第１の実施形態におけるワーク測定装置１の第２測定部７ｂ、第３測定部７ｃにおける測定項目と同一である。よって、詳細な説明は省略する。

以上の測定が終了すると、第１測定部４７ａ、第２測定部４７ｂ、第３測定部４７ｃからの測定結果に基づいて制御部５２は判定部５２ｄによりワークＷ３が良品か不良品かを判定する。そして、その判定結果に対応して、搬送テーブル４３の間歇回転により、不良ワーク排出部４８あるいは良品ワーク排出部４９において搬送ノズル４４に吸着保持されたワークＷ３を排出する。

排出の際には、各ワーク排出部４８、４９において、図５７に示す切替弁１６ａが切替モードｙ３を選択し、エア通路４４ａを大気圧とすることによって、ワークＷ３を搬送ノズル４４の下端から重力による自然落下で、図示されない排出口へと導く。

図５２において、良品ワーク排出部４９以降はすべての搬送ノズル４４の下端が何も保持しない状態になり、搬送テーブル４３の間歇回転により分離供給台４６の直上位置に到達した搬送ノズル４４には、再びワークＷ３が吸着保持され、上記と同様の作用が繰り返される。以上の一連の作用が通常測定モードであり、すべて制御部５２の制御に基づいて実行される。

次に、サンプル測定モードについて説明する。上述のように、ワーク測定装置４１において、搬送テーブル４３の搬送ノズル４４およびサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１の位置認識機能はワーク測定装置１と同様である。

また、サンプル測定モードにおけるサンプルワークＷ３ｓをサンプルテーブル１０ｘと搬送テーブル４３との間で移載する手順もまた、ワーク測定装置１と同様である。よって、ここでは、移載部５０ｔにおける移載方法と移載検知手段についてのみ説明する。

図５８に、サンプルワークＷ３ｓがサンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１に収納されている様子を斜視図として示す。移載部５０ｔにおけるワーク収納孔１１の上側は開放されている。また、サンプルワークＷ３ｓは、発光面Ｗ３Ｌがサンプルテーブル１０ｘの外周側に向くように、かつ面Ｗ３ｆ１が上側を向くようにして、ワーク収納孔１１内に収納されている。

すなわち、図５２において、移載部５０ｔにおけるサンプルワークＷ３ｓの発光面Ｗ３Ｌは、矢印Ｔ方向に面している。移載部５０ｔにおいて、ワーク収納孔１１内は、図１０に示すワーク測定装置１におけるサンプルテーブル１０ｘの場合と同様に、エア通路５０ｖを経由して切替弁１６ｂに連通している。切替弁１６ｂは２通りの切替モードｙ１、ｙ３を選択する機能を有する。

このうち切替モードｙ１はテーブルベース４２内に設置された真空発生源１３３ｂを選択するもので、このときエア通路５０ｖは真空発生源１３３ｂに連通し、ワーク収納孔１１内が矢印Ｆ５０の方向に真空吸引される。他方、切替モードｙ３は何も選択しないので、エア通路５０ｖはどこにも連通することがなく、ワーク収納孔１１内は大気圧の状態を保つ。

サンプル測定モードにおいて、サンプルワークＷ３ｓをワーク収納孔１１と搬送ノズル４４との間で移載する方法と移載完了を確認する方法について、移載部５０ｔの模式図である図５９（ａ）（ｂ）乃至図６６（ａ）（ｂ）を用いて説明する。図５９（ａ）は、サンプルワークＷ３ｓを収納したワーク収納孔１１の直上の上限位置に、搬送ノズル４４が停止している状態を示す。

図５９（ａ）に示すように、切替弁１６ａは切替モードｙ３を選択し、搬送ノズル４４のエア通路４４ａは大気圧となっている。ここに、エア通路４４ａには、切替弁１６ａに至る途中に、エア通路本体４４ｘから分岐するエア通路分岐部４４ｙが形成されている。そして、エア通路分岐部４４ｙの終端部には真空センサ４４ｓ２が配置されている。真空センサ４４ｓ２は、エア通路４４ａ内が真空となったことを検出する機能を有する。図５９（ａ）（ｂ）においては、エア通路４４ａは大気圧であるため、真空センサ４４ｓ２は非検出状態である。ここで、搬送ノズル４４の上昇および下降を実現するための機構について、簡単に説明する。

図５９（ａ）（ｂ）乃至図６６（ａ）（ｂ）に記載のエアシリンダ４４ｃは、図示されないエア源からシリンダチューブ４４ｔ内にエアを出し入れすることにより、ピストン４４ｐをシリンダチューブ４４ｔ内で往復動させて、ピストン４４ｐに接続されたピストンロッド４４ｒの作用により、搬送ノズルの上昇および下降を行う機構である。図５９（ａ）（ｂ）乃至図６６（ａ）（ｂ）においては簡単のため、ピストンロッド４４ｒの移動方向と搬送ノズル４４の移動方向が同一になるように記載している。また、エアシリンダ４４ｃには、ピストン４４ｐの位置を検出するシリンダセンサ４４ｓ１が配置されている。シリンダセンサ４４ｓ１は、搬送ノズル４４が図５３に示す上限位置にある場合に対応するピストン４４ｐの位置を検出すると、上限検出信号ＮＵを発出する。図５７に示すように、搬送ノズル４４がサンプルワークＷ３ｓの面Ｗ３ｆ１に当接する位置にある場合に対応するピストン４４の位置を検出すると、下限検出信号ＮＤを発出する。シリンダセンサ４４ｓ１と真空センサ４４ｓ２とにより、移載検知手段が構成されている。

なお、図５９（ａ）においては搬送ノズル４４が上限位置にあるため、シリンダセンサ４４ｓ１は上限検出信号ＮＵを発出している。このときの各センサの状態とサンプルワークの位置を図５９（ｂ）に示す。また、図５９（ａ）において、切替弁１６ｂは切替モードｙ１を選択している。これにより、サンプルワークＷｓ３は上述の真空吸引の作用によりワーク収納孔１１内に保持される。

次に、図６０（ａ）に示すように、シリンダチューブ４４ｔ内にエアが注入されて、ピストン４４ｐが矢印Ｑ０の方向に移動する。これによって、搬送ノズル４４は矢印Ｑの方向（図５３における矢印Ｑに対応）に下降する。このとき、シリンダセンサ４４ｓ１は非検出状態となる。そして、真空センサ４４ｓ２も非検出状態を継続する。この関係を図６０（ｂ）に示す。

この状態からしばらく経過すると、図６１（ａ）に示すように搬送ノズル４４はサンプルワークＷ３ｓの面Ｗ３ｆ１に当接し、シリンダセンサ４４ｓ１は下限検出信号ＮＤを発出する。この関係を図６１（ｂ）に示す。

次に、図６２（ａ）に示すように切替弁１６ａが切替モードｙ１を選択し、エア通路４４ａは真空発生源１３３ａに連通して矢印Ｆ４４の方向に真空吸引されるので、ワークＷ３は搬送ノズル４４の下端に吸着されて保持される。このため、エア通路４４ａ内は真空となり、真空センサ４４ｓ２が真空を検出する。この関係を図６２（ｂ）に示す。次に、図６３（ａ）に示すように、シリンダチューブ４４ｔ内のエアが排出されて、ピストン４４ｐが矢印Ｒ０の方向に移動する。これによって、搬送ノズル４４はサンプルワークＷ３ｓを吸着保持した状態で矢印Ｒの方向（図５３における矢印Ｒに対応）に上昇する。このとき、シリンダセンサ４４ｓ１は非検出状態となる。そして、真空センサ４４ｓ２は検出状態を継続する。この関係を図６３（ｂ）に示す。この状態からしばらく経過すると、図６４（ａ）に示すように搬送ノズル４４は上限位置に到達し、、シリンダセンサ４４ｓ１は上限検出信号ＮＵを発出する。この関係を図６４（ｂ）に示す。

この状態において、サンプルワークＷ３ｓがサンプルテーブル１０ｘから搬送テーブル４３に移載されたことになる。すなわち、移載部５０ｔにおいて、シリンダセンサ４４ｓ１が上限検出信号ＮＵあるいは下限検出信号ＮＤを検出するかについて、および真空センサ４４ｓ２が真空を検出するか非検出であるかについての情報を図５２に示す制御部５２に送信しておけば、それらの情報が図５９（ｂ）から図６０（ｂ）乃至図６３（ｂ）を経て図６４（ｂ）の状態に変化したときに、制御部５２はサンプルワークＷ３ｓがサンプルテーブル１０ｘから搬送テーブル４３に移載されたと判断することができる。

なお、上述のように、図５２において、移載部５０ｔにおけるサンプルワークＷ３ｓの発光面Ｗ３Ｌは矢印Ｔ方向に面しているので、搬送テーブル４３に移載されたサンプルワークＷ３ｓの各面の方向は、被測定ワークとしてのワークＷ３と同じになる。

以上の手順により、サンプルワークa〜dが搬送ノズル４４に保持されると、これらのサンプルワークは図５２に示す第１測定部４７ａ、第２測定部４７ｂ、第３測定部４７ｃに順次到達して停止する。そして、それぞれの測定部においては、被測定ワークとしてのワークＷ３に対するのと同一の波長測定、輝度測定、全光束測定を、各サンプルワークa〜dに対して実施する。その後、各サンプルワークは移載部５０ｔにおいて搬送テーブル４３からサンプルテーブル１０ｘに移載される。測定を終了したサンプルワークＷ３ｓが移載部５０ｔに到達したときの様子を図６４に示す。

この状態から、図６５（ａ）に示すように、シリンダチューブ４４ｔ内にエアが注入されて、ピストン４４ｐが矢印Ｑ０の方向に移動する。これによって、搬送ノズル４４は矢印Ｑの方向（図５３における矢印Ｑに対応）に下降する。このとき、シリンダセンサ４４ｓ１は非検出状態となる。そして、真空センサ４４ｓ２は検出状態を継続する。この関係を図６５（ｂ）に示す。

この状態からしばらく経過すると、図６２（ａ）に示すように搬送ノズル４４に保持されたサンプルワークＷ３ｓは、サンプルテーブル１０ｘのワーク収納孔１１内に載置される。そして、シリンダセンサ４４ｓ１は下限検出信号ＮＤを発出する。この関係を図６２（ｂ）に示す。

次に、図６１（ａ）に示すように切替弁１６ａが切替モードｙ３を選択し、エア通路４４ｂはどこにも連通しなくなるので、ワークＷ３ｓは搬送ノズル４４の下端に吸着されなくなる。このとき、エア通路４４ａ内は大気圧となり、真空センサ４４ｓ２が非検出となる。この関係を図６１（ｂ）に示す。

次に、図６６（ａ）に示すように、シリンダチューブ４４ｔ内のエアが排出されて、ピストン４４ｐが矢印Ｒ０の方向に移動する。これによって、搬送ノズル４４はサンプルワークＷ３ｓから離間して矢印Ｒの方向（図５３における矢印Ｒに対応）に上昇する。このとき、シリンダセンサ４４ｓ１は非検出状態となる。そして、真空センサ４４ｓ２は非検出状態を継続する。この関係を図６６（ｂ）に示す。

その後、搬送ノズルは図５３に示す上限位置に到達して停止する。その様子を、上述の図５９（ａ）に示す。そして、図５９（ｂ）に示すように、シリンダセンサ４４ｓ１は上限検出信号ＮＵを発出し、真空センサ４４ｓ２は非検出である。すなわち、移載部５０ｔにおいて、シリンダセンサ４４ｓ１および真空センサ４４ｓ２の検出情報を図５２に示す制御部５２に送信しておけば、それらの情報が図６４（ｂ）、図６５（ｂ）、図６２（ｂ）、図６１（ｂ）、図６６（ｂ）、図５９（ｂ）の順に変化したときに、制御部５２はサンプルワークＷ３ｓが搬送テーブル４３からサンプルテーブル１０ｘに移載されたと判断することができる。

以上のように、図５２に示すワーク測定装置４１においても、図１に示すワーク測定装置１と同様にサンプル測定モードによる動作が可能であり、その測定結果とあらかじめ制御部５２内の記憶部に記憶されている各サンプルワークの既知の測定結果を比較する。そして、両方の測定結果の差異があらかじめ定めた規格値を外れていた測定部については、上述のワーク測定装置１と同様に警報を発して作業者に通知する。

なお、各実施の形態において、測定部の数を３箇所或いは２箇所とした例を示したが、測定部の数はこれらに限定されるものではない。また、各測定部における測定項目についても、以上の説明における項目に限定されるものではない。

さらにまた、上記各実施の形態において、搬送テーブルは水平或いは垂直に設置されているが、これに限らず搬送テーブルを傾斜して設置してもよい。

また、上記各実施の形態において、測定精度確認のためにサンプルワークのデータ取得を行うべきタイミング、すなわちモード切換えをプログラムによる自動切換手段により実行した例を示したが、これに限らず作業者の手動操作、例えば押しボタンスイッチなどの手動切換手段を用いて、サンプルワークのデータ取得を行うべきタイミング、すなわちモード切換えを実行してもよい。

また、上記各実施形態は、いずれも搬送体として中心軸の周囲に間歇回転する円形の搬送テーブルを用いたものであるが、搬送体の形状は、このような搬送テーブルに限定されるものではない。例えば、搬送体として、ワークを個別に収納する複数の凹部を長手方向に配置した無端の搬送ベルトを、間歇移動により該長手方向に周回させてもよい。

また、上記各実施形態は、いずれも中心軸の周囲に間歇回転する円形のサンプルテーブルをサンプルワーク供給手段として用いたものであるが、サンプルワーク供給手段の形状は、搬送体との間でサンプルワークを互いに移載することができ、かつ移載検知手段を設けることができるものであれば、このような円形のテーブルに限定されるものではない。

１ ワーク測定装置
２、２２、４２ テーブルベース
３、２３、４３ 搬送テーブル
４、２４、４４ ワーク収納孔
４Ｌａ 光センサ光源
４Ｌｂ 光センサ
５、２５ リニアフィーダ
６、２６、４６ 分離供給部
７ａ、２７ａ、４７ａ 第１測定部
７ｂ、２７ｂ、４７ｂ 第２測定部
７ｃ、４７ｃ 第３測定部
８、２８、４８ 不良ワーク排出部
９、２９、４９ 良品ワーク排出部
１０ｘ、３０ｘ サンプルテーブル
１１、３１ ワーク収納孔
１１Ｌａ 光センサ光源
１１Ｌｂ 光センサ
１２、３２、５２ 制御部
１２ａ、３２ａ、５２ａ 記憶部
１２ｂ、３２ｂ、５２ｂ 比較部
１２ｃ、３２ｃ、５２ｃ 警報部
１２ｄ、３２ｄ、５２ｄ 判定部
１２ｅ、３２ｅ、５２ｅ タイマ
１２ｆ、３２ｆ、５２ｆ 自動切換手段
１３ 真空発生源
１４ａ、１４ｂ 切替弁
１５ 圧縮エア発生源
Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３ ワーク
Ｗ１ｓ、Ｗ２ｓ、Ｗ３ｓ サンプルワーク

Claims (22)

1. ワークまたはサンプルワークを保持する複数の保持部を有し、回転自在に設けられた搬送体と、
   搬送体の保持部にワークを個別に分離して供給する分離供給手段と、
   分離供給手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークまたはサンプルワークの特性を測定する測定手段と、
   測定手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークを排出する排出手段とを備え、
   分離供給手段と測定手段との間に、予め基準特性が定められたサンプルワークを搬送体の保持部に供給するとともにサンプルワークが収納される複数の保管部を有するサンプルワーク供給手段を設け、
   搬送体と、分離供給手段と、測定手段と、排出手段と、サンプルワーク供給手段を制御する制御装置を設け、
   制御装置は通常測定モードをとるとき、分離供給手段から搬送体の保持部に供給されたワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出し、サンプル測定モードをとるとき、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出することなくサンプルワーク供給手段の保管部に戻すことを特徴とするワーク測定装置。
2. サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークは、測定手段で測定された後、サンプルワーク供給手段の元の保管部に戻されることを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
3. 制御装置は測定手段により測定されたサンプルワークの測定結果と、予め内蔵されたサンプルワークの基準特性とを比較してその差異を求める比較部と、比較部に接続され測定結果とサンプルワークの基準特性の差異が所定値を越えた際に警報を発する警報部とを有することを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
4. サンプルワーク供給手段はサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部内に供給されたこと、およびサンプルワークがサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部へ戻されたことを各々検知する移載検知手段を有することを特徴とする請求項１乃至３記載のワーク測定装置。
5. 制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを自動的に切換える自動切換手段を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載のワーク測定装置。
6. 制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを手動で切換える手動切換手段を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載のワーク測定装置。
7. 手動切換手段は押しボタンスイッチを有することを特徴とする請求項６記載のワーク測定装置。
8. 搬送体は円形の搬送テーブルを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか記載のワーク測定装置。
9. 搬送体の保持部は搬送テーブルの外周に設けられ、外側に向けて開口する凹部からなることを特徴とする請求項８記載のワーク測定装置。
10. 搬送体の保持部は、搬送テーブルの外周近傍に設けられ、搬送テーブルを貫通する貫通孔からなることを特徴とする請求項８記載のワーク測定装置。
11. 搬送体の保持部は搬送テーブルの一方の面に設けられ、この一方の面に対して進退する搬送ノズルからなることを特徴とする請求項８記載のワーク測定装置。
12. ワークまたはサンプルワークを保持する複数の保持部を有し、回転自在に設けられた搬送体と、
    搬送体の保持部にワークを個別に分離して供給する分離供給手段と、
    分離供給手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークまたはサンプルワークの特性を測定する測定手段と、
    測定手段の下流側に配置され、搬送体の保持部に保持されたワークを排出する排出手段とを備え、
    分離供給手段と測定手段との間に、予め基準特性が定められたサンプルワークを搬送体の保持部に供給するとともにサンプルワークが収納される複数の保管部を有するサンプルワーク供給手段を設け、
    搬送体と、分離供給手段と、測定手段と、排出手段と、サンプルワーク供給手段を制御する制御装置を設けたワーク測定装置を用いたワーク測定方法において、
    制御装置が通常測定モードをとって、分離供給手段から搬送体の保持部に供給されたワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出する工程と、
    制御装置がサンプル測定モードをとって、サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークを測定手段で測定した後、排出手段から排出することなくサンプルワーク供給手段の保管部に戻す工程とを備えたことを特徴とするワーク測定方法。
13. サンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部に供給されたサンプルワークは、測定手段で測定された後、サンプルワーク供給手段の元の保管部に戻されることを特徴とする請求項１２記載のワーク測定方法。
14. 制御装置は測定手段により測定されたサンプルワークの測定結果と、予め内蔵されたサンプルワークの基準特性とを比較してその差異を求める比較部と、比較部に接続され測定結果とサンプルワークの基準特性の差異が所定値を越えた際に警報を発する警報部とを有することを特徴とする請求項１２記載のワーク測定方法。
15. サンプル供給手段はサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部から搬送体の保持部内に供給されたこと、およびサンプルワークがサンプルワーク供給手段の保管部へ戻されたことを各々検知する移載検知手段を有することを特徴とする請求項１３または１４のいずれか記載のワーク測定方法。
16. 制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを自動的に切換える自動切換手段を有することを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか記載のワーク測定方法。
17. 制御装置は通常測定モードとサンプル測定モードとを手動で切換える手動切換手段を有することを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか記載のワーク測定方法。
18. 手動切換手段は押しボタンスイッチを有することを特徴とする請求項１７記載のワーク測定方法。
19. 搬送体は円形の搬送テーブルを有することを特徴とする請求項１２乃至１８のいずれか記載のワーク測定方法。
20. 搬送体の保持部は搬送テーブルの外周に設けられ、外側に向けて開口する凹部からなることを特徴とする請求項１７記載のワーク測定方法。
21. 搬送体の保持部は、搬送テーブルの外周近傍に設けられ、搬送テーブルを貫通する貫通孔からなることを特徴とする請求項１９記載のワーク測定方法。
22. 搬送体の保持部は搬送テーブルの一方の面に設けられ、この一方の面に対して進退する搬送ノズルからなることを特徴とする請求項１９記載のワーク測定方法。

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