JP4669188B2 - 基板のための装着装置における電気的な構成部品を検査するための方法および装置 - Google Patents

Description

【０００１】
本発明は、基板のための実装装置もしくは装着装置における電気的な構成部品を検査するための方法であって、
前記構成部品を装着装置の、１つの作業平面内で移動させられる装着ヘッドによってハンドリングし、
該装着ヘッドに設けられた、前記構成部品のためのグリッパを前記作業平面に対して垂直に昇降駆動装置によって搬送位置と機能位置との間で移動させ、
前記構成部品を前記グリッパの下面に吸着させ、
前記構成部品を前記グリッパによりピックアップ位置から搬送位置にまで持ち上げ、そして装着位置への装着ヘッドの移動後に基板へ向かって機能位置にまで降下させ、
前記構成部品と前記グリッパとの間の位置関係を、装着ヘッドに設けられた光学的なプローブ装置により検査する
形式の方法に関する。
【０００２】
さらに、本発明はこのような形式の方法を実施するための装置に関する。
【０００３】
本明細書中、「位置関係」とはグリッパにおける構成部品の相対位置を意味するだけでなく、グリッパにおける構成部品の存在または不在、つまり構成部品の有無をも意味する。
【０００４】
このような装置は、米国特許第５６６０５１９号明細書に基づき公知である。この公知の装置では、装着ヘッドに設けられたプローブ装置が、それぞれ一連の送光ダイオードと受光ダイオードとから成っている。これらのダイオードは、搬送位置に位置する構成部品の高さで、昇降方向に対して垂直なプローブ平面を形成している。装着ヘッドが基板上の装着個所にまで移動する間、昇降軸線を中心とした吸着グリッパの回動により構成部品の側方輪郭をプローブすることができる。このことから、グリッパ軸線からの構成部品中心の位置偏差を求めることができる。グリッパにおける構成部品の有無は、構成部品のピックアップ時もしくは装着時にピペットにおける吸込み圧を検出することによって検知される。もちろん、光学的な測定の場合でも構成部品の有無を検出することができる。
【０００５】
さらに、特開平１１−１５４７９７号公報に基づき、ステップバイステップ式に回転する定位置のターンテーブルを備えた装着装置が公知である。このターンテーブルの下では、プリント配線板が２つの座標方向で移動可能である。タレット式のターンテーブルは構成部品のための多数のグリッパを備えている。これらのグリッパはステップバイステップ式に種々のステーションを通過し、そしてピックアップ位置から反対の側の装着位置にまで構成部品を搬送する。ピックアップの前にグリッパの自由端部はライトバリヤ式の光学的な送光ダイオードと受光ダイオードとの垂直な列を備えたコントロールステーションを通過する。これにより、グリッパ下面の高さ位置を求めることができる。構成部品のピックアップ後に、グリッパ端部は構成部品と共に、垂直なダイオード列を備えた別の光学的なコントロールステーションを通過する。これにより、構成部品下面の高さ位置を求め、ひいては構成部品の構成高さを求めることができる。２つの座標方向で移動可能な装着ヘッドでは、相応する測定を実施できるようにするために、グリッパが構成部品のピックアップ前とピックアップ後とに位置固定のコントロールステーションを通過しなければならない。このことは、通常、ピックアップ位置と装着位置との間での許容不可能な回り道を生ぜしめる。
【０００６】
さらに、たとえば米国特許第４８７５２８５号明細書に基づき、装着ヘッドをタレット式に形成し、ロータに周期的に配置された多数の吸着グリッパを装備させることが知られている。この場合、ステータはグリッパの回転軌道に沿って配置された、構成部品のための複数の処理ステーションを有している。たとえば上記米国特許明細書の第２欄、第６５行以降の記載によれば、構成部品はこれらのステーションでセンタリングされ、コンタクティングされ、かつ電気的、光学的または機械的に測定される。現在、一般に汎用されている手段は、グリッパにおける構成部品の位置測定をＣＣＤカメラによって実施することである。ＣＣＤカメラは構成部品の装着側、特にコンタクト面の位置を反射光で測定する。構成部品の角度位置は後続の回転ステーションで補正することができる。ｘ−ｙずれは、装着ヘッドの目標座標の相応する補正により考慮される。
【０００７】
構成部品がますます小型化されつつある傾向、たとえば０．２５ｍｍの辺長さにまでの小型化傾向により、グリッパには極めて狭い吸着通路が設けられていることが必要となる。この狭い吸着通路は特に汚染が生じた場合に真空質問を困難にする。さらに、ピックアップ時の姿勢が不正確となることに基づいて、構成部品が吸着通路を十分に覆わなくなる恐れがあり、そしてこの漏れにより真空質問の結果の信頼性が失われる。そうすると、たとえばタレットヘッドの場合では事情によっては光学系ステーションで装着段階にならないと、構成部品のエラーが気付かれない。代替構成部品のピックアップはかなりの付加的な時間手間を必要とする。
【０００８】
本発明の課題は、構成部品の検査時における信頼性向上を達成することである。
【０００９】
この課題は、本発明によれば請求項１の特徴部に記載の特徴により解決される。たとえば、プローブビームはグリッパの持ち上げられた状態でグリッパの下面よりも少しだけ下方に配置されていてよい。これにより、ピックアップしたい構成部品へのグリッパの降下前にグリッパの下面を検査することが可能となる。通常の場合では、ライトバリヤ（光学式通過センサ）の光路は遮断されていない。その後に、グリッパはピックアップしたい構成部品にまで降下させられる。次いで、この構成部品が吸着されて持ち上げられる。その直後に、新たなプローブパルスによって、構成部品がグリッパにより把持されたかどうかを確実にチェックすることができる。構成部品は汎用の形式でテープポケットに装入された状態で供給される。テープが送られると、構成部品が振動に基づき、ポケットから飛び出すか、またはその位置（姿勢）を変化させてしまう恐れがある。あるいはまた、前で述べた公差に基づき、グリッパが構成部品を把持できないことも起こり得る。直接に続いて行われるプロービングにより、直ちに新たなピックアップ過程を導入することができる。この新たなピックアップ過程では、テープがさらに１ポケットピッチ分だけ引っ張られるので、グリッパは別の構成部品を把持することができる。このことは、装着ヘッドを引き続き移動運動させることなしに行なわれ、つまり僅かな時間遅延を伴うだけで行われる。基板への構成部品の装着の直前に、もう一度プロービングを実施することができる。これにより、構成部品がグリッパにまだ存在しているかどうかをチェックすることができる。このことは、構成部品が、たとえば装着ヘッドの振動、加速もしくは減速に基づいて装着前に紛失してしまう場合を考慮すると有利である。この場合には、グリッパの装着行程が中止される。このことは、さもないとグリッパ下面が、プリント配線板上に存在するろう接ペーストに載置されてしまい、これにより下面が著しく汚染されて、吸着開口が著しく狭められてしまうか、またはそれどころか閉塞されてしまうことを考慮すると重要である。構成部品が存在していると、この構成部品は基板に装着されて、圧縮空気衝撃によって下面から剥離される。しかし、極めて小さな構成部品の場合には、汚染された下面の接着作用が極めて大きいので、構成部品がグリッパに付着してしまう恐れがある。このことは、グリッパの持上げ直後にプロービングによってチェックされるので、グリッパは、装着ヘッドが装着位置から進出する前にもう一度、構成部品を基板に装着することを試みることができる。こうして、高い程度のピックアップ確実性および装着確実性が達成される。
【００１０】
請求項２に記載の本発明の有利な改良形では、ピペット下面の十分な監視が全ての運転段階において達成される。
【００１１】
請求項３に記載の改良形では、構成部品の存在を検査するだけでなく、構成部品の高さをも求めることが可能となる。これにより、構成部品の種類に関する付加的な情報を取得することができる。たとえば、テープポケット内に装入されている構成部品が片側で吸着され、これにより構成部品がグリッパによって縦の姿勢で把持されてしまう恐れがある。したがって、このことは既にピックアップ時にピックアップエラーとして検知され得る。このような構成部品は規定の位置で放出されるので、このような構成部品が無秩序に基板にまで到達することはない。請求項４に記載の装置は、請求項１に記載の方法と同様に、本発明の根底を成す課題を解決するものである。この場合にも、グリッパ下面における状況を完全に監視することができるので、装着確実性は相応して高められる。
【００１２】
請求項５に記載の装置は、請求項３に記載の方法と同様に昇降方向における構成部品高さの、より正確な検査を可能にする。このことから、構成部品の種類または組込み位置に関する、より正確な情報を引き出すことができる。
【００１３】
請求項６に記載の装置により、プローブ装置を１つの構造にまとめることが可能となる。これにより、各機能部分の間の正確なジオメトリ関係（幾何学的関係）を形成することができる。下面近傍の変向手段は、たとえばプリズムにより形成され得る。この場合、このプリズムはプローブビームを斜め上方に向かって送光ダイオードへ変向させる。
【００１４】
請求項７に記載のタレット式装着ヘッドは、たとえば１２個の吸着グリッパを有している。これらの吸着グリッパは周期的な回転軌道に沿って放射状に配置されている。ロータはステップバイステップ式に駆動されるので、吸着グリッパを順次にピックアップステーションにまで回転させることができ、これにより直接連続して構成部品を収容することができる。しかしこのことは、構成部品が光学的に検査され得る前に構成部品が少なくとも複数のステーションを通過し、その後に光学系ステーションへ到達することを意味する。この時間に、構成部品を光学的に検査することは本発明によるプローブ装置なしでは不可能である。構成部品の一部は装着段階になって初めて光学系ステーションの傍らを通って案内されかつ検査される。これにより、真空質問により検知することのできないピックアップエラーは、あとの段階になった後でしか検知されず、こうして相応する時間損失を招いてしまう。本発明によれば、全ての吸着グリッパを直接にピックアップ過程と関連して監視することが可能となるので、ピックアップエラーが発生した場合にグリッパは、ロータが送り回転され得ることなしに新たなピックアップを試みることができる。構成部品の位置を測定するための光学的なステーションを装着ステーションの手前に複数個配置し、そしてグリッパを後続のステーションで所望の組込み位置にまで回転させることが普通である。ロータおよびグリッパの回転時には、光学的な測定の後になお構成部品損失が生じる恐れがある。このことは、装着ステーションに設けられたプローブ装置なしではもはや検知され得ない。したがって、装着時の光学的なプロービングは監視確実性を著しく向上させる。
【００１５】
請求項８に記載の改良形により、フォーク形ライトバリヤをステータ側から構成部品の移動路内へ一体に侵入させることが可能となる。
【００１６】
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【００１７】
図１に示したように、水平な作業平面ｘ−ｙの座標方向ｘおよびｙで移動可能な装着ヘッド１はグリッパ２を備えている。このグリッパ２は対応する昇降駆動装置３によって作業平面に対して垂直に移動可能である。グリッパ２の、下方へ向けられた先端部は、把持したいワークのための吸着開口４を備えている。昇降駆動装置３はストローク測定装置５を有している。このストローク測定装置５を用いて、グリッパ２のその都度の行程位置を検出することができる。ストローク測定装置５はデータ線路を介して装着装置の制御装置６に接続されている。グリッパ２の下面の範囲では、装着ヘッド１にプローブ装置７が取り付けられている。このプローブ装置７はフォーク形ライトバリヤ、つまりフォーク形の光学式通過センサの形に形成されていて、送光ダイオード８と受光ダイオード９とを備えている。これらのダイオードは、両ダイオードの間に延びる、鮮鋭に集束されたプローブビーム２２がグリッパ軸線に直角に交差するように配置されかつ互いに位置調整されている。プローブ装置７は別のデータ線路を介して、同じく制御装置６に接続されている。
【００１８】
図示の搬送位置では、グリッパ２が最上位の行程位置に位置している。この最上位の行程位置では、グリッパ２の下面が、ダイオードにより規定されたプローブ高さよりも上方に位置している。制御装置６はストローク測定装置５のストローク測定値を受信する。プローブ装置７はグリッパ２の昇降段階の間、活性化される、つまり動作可能な状態にもたらされる。受光ダイオードにより受信された信号は、やはり制御装置６に伝送される。受光ダイオード９の受信された明るさ値が所定の閾値を超過した瞬間、まさにこのときに測定されたグリッパ２のストロークが別の使用のために記憶される。
【００１９】
図２には、プローブ装置７の平面図が示されている。この場合、グリッパ２の先端部の位置と、グリッパ２に保持したい電気的な構成部品１０の位置とが破線で示されている。
【００２０】
図３〜図９には、プローブ装置７に関する装着サイクルの各段階が順次に図示されている。
【００２１】
図３に示した状態では、装着ヘッドのグリッパ２が、ピックアップしたい構成部品１０の真上に位置している。この場合、装着ヘッドは図１に示した出発位置から既に、グリッパ２の空の下面がプローブ装置７のプローブビーム２２に交差する程度にまで降下されている。対応するグリッパ位置が制御装置６により記憶される。このようなプロービングを各グリッパ交換後にその都度実施し、こうして求められた標準値を空のグリッパの降下時に各測定値と比較することが可能である。その場合、著しい偏差はグリッパ先端部に欠陥があることを示唆している場合がある。このような欠陥により、不純物または付着した構成部品を推量することができる。
【００２２】
図４に示した状態では、グリッパ２の下面が既に、テープ１２に設けられたポケット１１内に装入された構成部品１０に載置されていて、この構成部品１０を吸着している。
【００２３】
図５に示した状態では、グリッパ２が持ち上げられていて、この場合、グリッパ２の下面はプローブビーム２２よりも上方に位置していて、吸着された構成部品１０がプローブビーム２２を遮っている。既にこの瞬間に、記憶された値につき、把持したい構成部品がグリッパ２に存在していることを確認することができる。
【００２４】
図６に示した状態では、グリッパ２が、吸着された構成部品１０と共にさらに持ち上げられており、この場合、グリッパ２は、ちょうど構成部品１０の下面がプローブビーム２２を解放するところにまで、つまりプローブビーム２２の遮断を解除するところにまで、持ち上げられている。この状態変化は制御装置６（図１）により検知され、ストローク測定装置５の対応するプローブ値と共に記憶される。この瞬間に、既に、それ以前に記憶された値を目下の値と比較することができる。この場合、行程位置における高さ差は、構成部品１０の高さを知るための目安となる。両プローブ値が不変のままである場合、このことは、構成部品１０が十分に吸着されて持ち上げられなかったことを意味する。制御装置６には、さらに構成部品ライブラリからの構成部品データが知らされている。高さ値に偏差が生じた場合、このことは、間違ったタイプの構成部品が準備されてしまったことを意味するか、または構成部品が誤った位置もしくは姿勢で吸着されてしまったことを意味する。このような構成部品は放出部を介して除去され得る。このような誤った試みが成された場合、グリッパがピックアップ位置から離れる前に、新たなピックアップ過程をリリースすることができる。
【００２５】
図７に示した状態では、グリッパ２が上側の搬送位置にまで持ち上げられており、この搬送位置では、構成部品１０がプローブ高さよりも上方に位置している。装着ヘッド１は次いで構成部品１０のための装着位置にまで移動することができる。
【００２６】
図８に示した状態では、グリッパ２が構成部品１０と共に正確に基板１３上のこの装着位置に位置していて、降下段階にある。このとき、図５に示した状態に相応して、構成部品１０がまだグリッパ２に存在しているかどうかを検査することができる。新たな高さ測定と相まって行われてもよい、このような検査により、構成部品１０の有無に関して説得力のある確実な情報の提供が可能となる。構成部品１０が搬送途中で紛失してしまった場合には、グリッパ２がそれ以上降下させられなくなるので、グリッパ２の先端部が基板１３に存在するろう接ペーストによって汚染される危険は生じない。
【００２７】
図９に示した状態では、構成部品１０が既に基板１３に装着されていて、グリッパ２の空の下面がプローブレベルを超えて上方へ持ち上げられている。この過程の間、受光ダイオード９の状態が連続的に監視されるので、構成部品１０が実際にグリッパ２から離脱したかどうかを確認することができる。
【００２８】
図１０および図１１に示した実施例では、別の装着ヘッド１４がタレット式もしくはロータリヘッド式に形成されていて、作業平面内で両座標方向ｘおよびｙに移動可能である。この装着ヘッド１４はステータ１５を有しており、このステータ１５にはロータ１６がステップバイステップ式に回転可能に支承されている。ロータ１６には、複数の変えられたグリッパ１７が放射状に突出しかつ周期的に回転するように配置されている。こうして、装着ヘッド１４が基板１３の真上へ移動する前に、１回のピックアップサイクルの間に、全てのグリッパ１７を順次に構成部品で満たすことができる。グリッパ１７の回転軌道に沿ってプローブ光学系１８が位置している。このプローブ光学系１８を用いて、構成部品１０の下面を正確に測定することができる。このことは、プローブ装置なしでは構成部品１０の有無や、構成部品１０のタイプがこの段階にならないと確実に検査され得ないことを意味する。したがって、誤ピックアップは次のピックアップサイクルにならないと補正され得えない。
【００２９】
ストローク測定装置５を備えた別の昇降駆動装置１９が昇降ステーション２０に対応配置されている。この昇降駆動装置１９は対応するグリッパ１７と一時的に係合した状態にある。ステータ１５には別のプローブ装置２１が設けられており、このプローブ装置２１は、プローブビーム２２が構成部品１０の回転軌道に対して僅かに上方で接線方向に向けられるように取り付けられている。このような配置形式により、プローブ装置を同じく、一体のＵ字形の支持体を備えたフォーク形ライトバリヤとして形成することが可能となる。その場合、この支持体の基部は回転軌道の片側でステータ１５に固定されている。この装着ヘッド１４の場合でも、図３〜図９に相応するプローブステップを実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 吸着グリッパと制御装置とを備えた装着ヘッドの断面図である。
【図２】 図１に示した装着ヘッドの一部を示す平面図である。
【図３】 装着ヘッドの一部と構成部品テープと電気的な構成部品とを、ピックアップ段階の開始時の状態で示す図である。
【図４】 図３に示した各構成部分を後続の段階で示す図である。
【図５】 図４に示した各構成部分を、構成部品テープなしで、引き続き行われる段階で示す図である。
【図６】 図５に示した各構成部分をピックアップ段階の終了時の状態で示す図である。
【図７】 図６に示した各構成部分をピックアップ段階の終了後の状態で示す図である。
【図８】 図７に示した各構成部分を、基板への構成部品の装着段階で示す図である。
【図９】 図８に示した各構成部分を、構成部品の装着後の状態で示す図である。
【図１０】 複数の構成部品と１つの基板とを備えたタレット式の別の装着ヘッドを示す側面図である。
【図１１】 図１０に示した各構成部分を側方から見た図である。

Claims (8)

1. 基板（１３）のための装着装置における電気的な構成部品（１０）を検査するための方法であって、
   前記構成部品（１０）を装着装置の、１つの作業平面（ｘ−ｙ）内で移動させられる装着ヘッド（１）によってハンドリングし、
   該装着ヘッド（１）に設けられた、前記構成部品（１０）のためのグリッパ（２）を前記作業平面（ｘ−ｙ）に対して垂直に昇降駆動装置（３）によって搬送位置と機能位置との間で移動させ、
   前記構成部品（１０）を前記グリッパ（２）の下面に吸着させ、
   前記構成部品（１０）を前記グリッパ（２）によりピックアップ位置から搬送位置にまで持ち上げ、そして基板（１３）に対する装着位置への装着ヘッド（１）の移動後に機能位置にまで降下させ、
   前記構成部品（１０）と前記グリッパ（２）との間の位置関係を、装着ヘッド（１）に設けられた光学的なプローブ装置（７）により検査し、
   前記構成部品（１０）を前記グリッパ（２）の昇降運動により、前記プローブ装置（７）の、昇降方向に対して直交する横方向に向けられた少なくとも１つのプローブビーム（２２）の作用範囲に進入させ、
   前記グリッパ（２）の下面を搬送位置で前記プローブビーム（２２）よりも上方に位置させ、
   装着ヘッド（１）に制御装置（６）を装備し、該制御装置（６）により前記グリッパ（２）の行程位置をコントロールする
   形式の方法において、
   前記プローブ装置（７）を前記制御装置（６）に接続し、
   前記プローブ装置（７）を前記構成部品（１０）の吸着前の段階と、吸着後の段階とで作動させ、
   前記制御装置（６）により、前記グリッパ（２）における前記構成部品（１０）の有無を前記プローブ装置（７）のプローブ値から検知し、
   前記制御装置（６）により、前記両段階の間に不変のままとなるプローブ値を運転エラーとして判定する
   ことを特徴とする、基板のための装着装置における電気的な構成部品を検査するための方法。
2. 前記プローブ装置（７）を前記構成部品（１０）のピックアップ時および前記構成部品（１０）の装着時に作動させる、請求項１記載の方法。
3. 前記構成部品（１０）の下面を搬送位置で、集束されたプローブビーム（２２）の高さレベルよりも上へ持ち上げ、
   前記グリッパ（２）の下面を機能位置でプローブビーム（２２）の高さレベルよりも下へ移動させ、
   昇降駆動装置（３）に前記グリッパ（２）の行程位置を測定するためのストローク測定装置（５）を設け、
   該ストローク測定装置（５）を前記制御装置（６）に接続し、
   前記構成部品（１０）の持上げ時および降下時に昇降駆動装置を作動させ、
   前記制御装置（６）により、前記構成部品（１０）の下面の高さ位置もしくは前記グリッパ（２）の下面の高さ位置を、前記構成部品（１０）の下面もしくは前記グリッパ（２）の下面との交差時におけるプローブ値の変化と、前記グリッパ（２）のその都度の行程位置とにつき求める、
   請求項１または２記載の方法。
4. 特に請求項１から３までのいずれか１項記載の方法により、基板（１３）のための装着装置における電気的な構成部品（１０）を検査するための装置であって、
   装着装置が、前記構成部品（１０）をハンドリングするための、１つの作業平面（ｘ−ｙ）内で移動可能な装着ヘッド（１）を有しており、
   該装着ヘッド（１）に設けられた、前記構成部品（１０）のためのグリッパ（２）が、前記作業平面（ｘ−ｙ）に対して垂直に昇降駆動装置（３）によって搬送位置と機能位置との間で移動可能に支承されており、
   前記構成部品（１０）が前記グリッパ（２）の下面に吸着可能であり、
   前記構成部品（１０）が前記グリッパ（２）によってピックアップ位置から搬送位置にまで持上げ可能であって、かつ基板（１３）に対する装着位置への装着ヘッド（１）の移動後に機能位置にまで降下可能であり、
   装着ヘッド（１）が、前記グリッパ（２）における前記構成部品（１０）の検査のための光学的なプローブ装置（７）を有しており、
   該プローブ装置（７）が、昇降方向に対して直交する横方向に向けられた、昇降方向で小幅の少なくとも１つのプローブビーム（２２）を受光するようになっており、
   前記グリッパ（２）の下面が搬送位置で前記プローブビーム（２２）よりも上方に位置しており、
   装着ヘッド（１）が、前記グリッパ（２）の昇降運動をコントロールするための制御装置（６）を有している
   形式のものにおいて、
   前記プローブ装置（７）が前記制御装置（６）に接続されており、
   前記プローブ装置（７）が前記構成部品（１０）の吸着前の段階と吸着後の段階とで作動可能であり、
   前記制御装置（６）が前記グリッパ（２）における前記構成部品（１０）の有無を前記プローブ装置（７）のプローブ値から検知するようになっており、
   前記制御装置（６）が、前記両段階の間で不変のままとなったプローブ値を運転エラーとして判定するようになっている
   ことを特徴とする、基板のための装着装置における電気的な構成部品を検査するための装置。
5. 前記プローブビーム（２２）が前記構成部品（１０）の搬送位置で該構成部品（１０）の下面よりも下方に配置されており、
   前記グリッパ（２）の下面が該グリッパ（２）の機能位置で、集束された前記プローブビーム（２２）よりも下方に位置しており、
   前記昇降駆動装置（３）が、前記グリッパ（２）の行程位置を測定するためのストローク測定装置（５）を有しており、
   該ストローク測定装置（５）が前記制御装置（６）に接続されており、
   昇降駆動装置が、前記構成部品（１０）の持上げ時および下降時に作動可能であり、
   前記制御装置（６）が前記構成部品（１０）の下面の高さ位置もしくは前記グリッパ（２）の下面の高さ位置を、前記構成部品（１０）の下面もしくは前記グリッパ（２）の下面との交差時におけるプローブ値の変化と、前記グリッパ（２）のその都度の行程位置とにつき求め、そしてこの高さ位置から前記構成部品（１０）の高さを算出するようになっている、
   請求項４記載の装置。
6. 前記プローブ装置（７）が、光学的な機能部分（８，９）のためのＵ字形の支持体を備えたフォーク形ライトバリヤとして形成されており、
   前記プローブビーム（２２）が変向手段によって、前記プローブ装置（７）の、基板（１３）寄りの下面の近くに配置されている、
   請求項５記載の装置。
7. タレット式に形成された装着ヘッド（１４）がステータ（１５）を有しており、該ステータ（１５）にロータ（１６）がステップバイステップ式に回転可能に支承されており、
   前記ロータ（１６）が、周期的に分配された多数のグリッパ（１７）を備えており、
   該グリッパ（１７）が、前記昇降駆動装置（１９）によって装着ヘッド（１４）の昇降ステーション（２０）で昇降可能であり、
   前記ステータ（１５）に取り付けられたプローブ装置（２１）が前記昇降ステーション（２０）に対応配置されており、
   装着ヘッド（１４）の前記ステータ（１５）が、昇降ステーション（２０）以外に前記プローブ装置（７）に対して付加的に、前記グリッパ（２）における前記構成部品（１０）の位置検出のための光学系ステーション（１８）を備えている、
   請求項４、５または６記載の装置。
8. 前記プローブビーム（２２）が前記構成部品（１０）の回転方向に向けられている、請求項７記載の装置。

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