TWI537564B - Workpiece measuring device and workpiece measuring method - Google Patents

Workpiece measuring device and workpiece measuring method Download PDF

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TWI537564B
TWI537564B TW102145364A TW102145364A TWI537564B TW I537564 B TWI537564 B TW I537564B TW 102145364 A TW102145364 A TW 102145364A TW 102145364 A TW102145364 A TW 102145364A TW I537564 B TWI537564 B TW I537564B
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Seiji Yoshizawa
Tomoyuki Kojima
Hiroaki Abe
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Tokyo Weld Co Ltd
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Description

工件測定裝置及工件測定方法
本發明係有關一面將晶片形電子零件等工件予以保持並搬運，一面藉由測定手段測定工件的特性之工件測定裝置及工件測定方法，特別是有關能夠容易地確認測定手段的測定精度之工件測定裝置及工件測定方法。
習知有一面將晶片型電子零件(以下記載為工件)予以保持並搬運，一面利用沿著搬運路徑而配置之測定手段來測定工件的特性之工件測定裝置及工件測定方法。
舉例來說，專利文獻1中揭示一種藉由配置成水平而間歇性旋轉的圓形搬運平台來一面搬運工件一面進行測定之工件測定裝置。以下說明這樣的工件測定裝置。
圖67揭示習知技術之工件測定裝置100平面圖。工件測定裝置100具有搬運平台3，其配置成水平其配置成在平台基座200上旋轉自如。搬運平台3藉由未圖示之驅動機構的作用，在中心軸3a的周圍朝箭頭A1方向 間歇性旋轉。在搬運平台3，從其周緣部朝向中心形成有複數個工件收納孔4。工件收納孔4朝向搬運平台3的外側開口，供後述之工件W1個別收納於此而搬運。又，朝向搬運平台3的外緣部，配置有直線形狀的線性進料器(linear feeder)5。線性進料器5藉由未圖示之驅動機構的作用而振動，藉由該振動而具有將工件W1以1列狀態朝箭頭B1方向搬運之功能。
線性進料器5的終端部與搬運平台3的外緣部鄰近，在該處與工件收納孔4的開口部相向。在線性進料器5的終端部與工件收納孔4的開口部相向之位置，配置有分離供給部6，其將線性進料器5上的工件W1逐一分離並個別供給至工件收納孔4。從分離供給部6沿著搬運平台3的間歇性旋轉方向亦即箭頭A1方向，依序配置有：第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c，進行工件W1的各種特性測定；不良工件排出部8，依據測定結果將判定為不良的工件W1從工件收納孔4排出；良品工件排出部9，依據測定結果將判定為良品的工件W1從工件收納孔4排出。又，設置有控制部120，對構成測定裝置100之各部進行控制。另，搬運平台3是間歇性旋轉而搬運工件W1，故在從分離供給部6至良品工件排出部9為止之搬運平台3的外緣部，形成有未圖示之障壁，用來防止當間歇性旋轉時因作用於工件W1的離心力而使得工件W1朝搬運平台3的外側飛出。同樣地，從分離供給部6至良品工件排出部9為止之工件收納孔4的上部， 形成有未圖示之平台外罩，用來防止因間歇性旋轉時的振動而使得工件W1朝搬運平台3的上側飛出。
在此，說明工件W1。圖3揭示工件W1之立體圖，而圖4(a)、(b)、(c)分別揭示由圖3中的箭頭C1、D1、E1方向觀察工件W1時之圖。又，圖5揭示工件W1的電性電路圖。工件W1為發光二極體(LED)。如圖3及圖4所示，工件W1是藉由絕緣體而形成為6面體形狀，在其中1面即面W1f1有被透明樹脂覆蓋之發光面W1L形成為略平面狀，而在與面W1f1鄰接且彼此相向之2面即面W1f2及面W1f3，分別有由導電體所構成之電極W1a、W1b突出。又，電極W1a、W1b與工件W1的電性電路之對應如圖5所示。也就是說，電極W1a為陽極、電極W1b為陰極，從直流電壓源預先對工件W1供給規定之直流電壓，使得電極W1a成為比電極W1b還高的電位，則發光二極體Dx即圖3中的發光面W1L便會發光。
像這樣，電極W1a和電極W1b有方向性，故從外部觀察工件W1時，必須識別其方向。為了此一目的，在面W1f1上接近電極W1b側的角部印刷有陰極標記W1m，以表示電極W1b為陰極。構成工件W1之6面體的各邊長度(圖4中a1、b1、c1)，在市售之製品中，形成有發光面W1L的面W1f1的各邊長度a1、b1為5mm~7mm左右，電極W1a、W1b突出的面W1f2及面W1f3的短邊長度c1為2mm左右。
接著，以下敍述工件測定裝置100的動作。
圖67中，工件W1一齊被投入未圖示之零件進料器。接著，藉由未圖示之方向偵測機構的作用，其方向會被整列成為圖3所示之發光面W1L面向上側，且電極W1b面向工件的行進方向即圖67所示之箭頭B1方向，而在線性進料器5上排成1列。線性進料器5如上所述，藉由未圖示之驅動機構的作用而振動，藉由該振動，工件W1會在整列成上述方向的1列狀態下朝箭頭B1方向被搬運。然後，工件W1到達停止中的搬運平台3上與工件收納孔4的開口部相向的位置之後，藉由分離供給部6中未圖示之分離機構的作用而逐一被分離，個別地收納於工件收納孔4。此時，由於在線性進料器5上如上述般工件W1的方向已預先整列，故電極W1a、W1b會面向平台基座200側，且電極W1b(陰極)會在靠近搬運平台3的中心軸3a之側，在此狀態下，工件W1被收納於工件收納孔4。
接著，搬運平台3朝箭頭A1方向間歇性旋轉，工件W1在第1測定部7a停止。然後，與直流電壓源連接之未圖示探針(probe)會從平台基座200內與工件W1的電極W1a、W1b抵接並供給直流電壓，使發光面W1L發光。然後，藉由配置於工件W1上側之未圖示波長計來接受該光，測定其波長。此處，直流電壓源以及波長計為市售之測量儀器。
接著，第2測定部7b中，與如同第1測定部7a般的直流電壓源連接之未圖示探針會與電極W1a、W1b 抵接並供給直流電壓，藉此使發光面W1L發光。然後，藉由配置於工件W1上側之未圖示輝度計來接受該光，測定其輝度。此處，直流電壓源以及輝度計為市售之測量儀器。
又，在第3測定部4c，使未圖示之探針與電極W1a、W1b抵接，藉此從未圖示之稱為電源電錶(source meter)的直流電壓源，將值會變化之直流電壓供給至工件W1而使發光面W1L發光，並藉由未圖示之多通道光譜儀(multichannel spectroscope)來接受該光，進行所謂全光束測定之光譜測定。此處，電源電錶及多通道光譜儀為市售之測量儀器。
以上測定結束後，依據測定結果來進行工件W1為良品或不良之判定。而被判定為不良之工件W1，當藉由搬運平台3的間歇性旋轉而到達不良工件排出部8，便會藉由未圖示之排出機構的作用而從工件收納孔4被排出，被收納於未圖示之不良工件收納箱。又，被判定為良品之工件W1，不會在上述不良工件排出部8被排出，而是當藉由搬運平台3的間歇性旋轉而到達良品工件排出部9，便會藉由未圖示之排出機構的作用而從工件收納孔4被排出，被收納於未圖示之良品工件收納箱。
在良品工件排出部9，所有工件W1都會從工件收納孔4被排出，故從良品工件排出部9至分離供給部6之間的工件收納孔4變為空的。然後，該空的工件收納孔4會藉由搬運平台3的間歇性旋轉而到達分離供給部 6，在該處再次如上述般收納工件W1。以上一連串之作用，皆是依據控制部120之控制而執行。
不過，如上述般，在第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c配置有市售之測量儀器，利用它們來進行工件W1之特性測定。該些測量儀器為了確保測定精度，必須定期地進行測定精度之確認，依其結果不同必須實施校正。此處，所謂測量儀器的校正，係指求出測量儀器所示之值與真值的關係，來實施該測量儀器的刻度或顯示之修正等。具體而言，利用藉由該測量儀器所測定之真值為預先已知的試料來進行測定，將該測量儀器所示之測定值與真值的差值視為誤差，並使該測量儀器顯示扣除該誤差後之值。
另，在第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c，如上述般，均使用複數個測量儀器來實施測定，且在測量儀器與工件W1的電極W1a、W1b之間，係藉由未圖示之纜線及探針而連接。像這樣，當利用藉由複數個測量儀器以及連接測量儀器和工件之構件所構成的測定用系統亦即測定系統，來實施測定的情形下，會確認測定系統全體的測定精度，因應其結果來進行各測量儀器之校正。這樣的測定精度之確認，係利用該測定系統所測定之真值，亦即由校正完畢的測量儀器以及連接測量儀器和工件之構件所構成的測定系統所測定之真值為預先已知之試料來實施。
此處，圖67所示之工件測定裝置100，具有 通常模式和資料取得模式這2種類之動作模式，作業者可從未圖示之操作盤上設定以何種模式來動作。通常模式，如上述測定裝置100的作用之相關說明般，係為將藉由線性進料器5搬運而來的工件W1在分離供給部6收納於工件收納孔4，一面搬運一面實施各種測定，依據測定結果判定工件W1為良品或不良品，再於與判定結果相對應之排出部排出之模式。
另一方面，資料取得模式，係為當實施測定系統的測定精度確認時取得資料之模式，對於在分離供給部6被收納於工件收納孔4之範本工件W1s(參照圖30(a)(b)及圖31(a)(b))，一面搬運一面實施各種測定後，並未依據測定結果從與判定結果相對應之排出部進行排出，而是在該範本工件W1s回到分離供給部6後將測定裝置100的動作停止。此處，範本工件W1s係為與工件W1相同，且藉由第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c而事先測定好特性之工件。該資料取得模式的動作，也如同通常模式般是依據控制部120的控制而進行。使在通常模式下動作之測定裝置100轉移至資料取得模式，以確認測定系統的精度之習知技術之手續，如下所述。
首先，作業者將圖67所示之工件測定裝置100(以通常模式動作中)的電源關閉，使其動作停止。然後，利用鑷子等將搬運平台3的工件收納孔4內的所有工件W1回收。接著，作業者利用鑷子，將1個範本工件 W1s收納於位於分離供給部6的位置之工件收納孔4。然後，開啟工件測定裝置100的電源，從未圖示之操作盤設定資料取得模式之動作。
在此情形下，工件測定裝置100會如上述般進行資料取得模式之動作，然後停止。作業者利用鑷子將位於分離供給部6的位置之工件收納孔4內的範本工件W1s回收。接著，將不同於剛才回收的範本工件W1s，且由校正完畢之測量儀器以及連接測量儀器和工件之構件所構成的測定系統所測定之特性相異的1個範本工件W1s，利用鑷子收納於位於分離供給部6的位置之工件收納孔4。然後，如同剛才般藉由資料取得模式使測定裝置100動作。像這樣，對特性不同的複數個範本工件W1s實施測定，藉此，能使測定系統的測定精度確認之可靠性提升。資料取得模式中，欲測定之複數個範本工件W1s的特性相異程度，及欲測定之範本工件W1s的個數，係考量校正對象之測量儀器的特性或測定項目所要求之測定精度等，而事先決定。
如此，當事先決定好的個數之範本工件W1s的測定結束後，作業者會將藉由工件測定裝置100測定出該些範本工件W1s之資料，與由預先校正完畢的測量儀器以及連接測量儀器和工件之構件所構成之測定系統所測定之資料加以比較。若兩者資料的差異在預先規定之規格值以內，則不會對工件測定裝置100中使用之測量儀器實施校正，而是再次開始通常模式之動作。
另一方面，若兩者資料的差異超出預先規定之規格值，則會對工件測定裝置100中使用之測量儀器實施校正，其後再次開始通常模式之動作。另，使工件測定裝置100以資料取得模式動作之周期，也就是讓通常模式之動作在持續多久之階段後便轉移至資料取得以便確認測定系統的測定精度，這樣的通常模式動作持續時間，如同上述範本工件W1s的特性相異程度或個數般，係考量校正對象之測量儀器的特性或測定項目所要求之測定精度等，而事先決定。然後，預先設計成使控制部120內建進行時間計測之計時器功能，並計測工件測定裝置100的通常模式之運轉時間，當其運轉時間到達事先決定好的上述動作持續時間時，便藉由蜂鳴器等通知作業者。
如上述般以習知技術進行測定系統之測定精度確認，會有以下的問題點。首先第一點是，將以通常模式動作中的工件測定裝置100的電源關閉，使其動作停止，並回收工件收納孔4內的所有工件W1之作業，以及將範本工件W1s收納於工件收納孔4，使工件測定裝置100以資料取得模式動作之後，再將範本工件W1s回收之作業，它們全都是藉由作業者的人工作業來進行，故非常花費時間。特別是，範本工件W1s是逐一實施測定後更換，故會增大時間花費之要素。像這樣，由於資料取得模式的作業時間增大，工件測定裝置100的運轉率會降低。
下一個問題點是，由於工件W1(範本工件W1s)非常小，作業品質會降低。如上述般，構成工件 W1之6面體的各邊長度，只不過是2mm~7mm(圖4)。因此，當作業者利用鑷子處理範本工件W1s，容易發生不小心從鑷子脫落而落下，或是遺失等意外。此外，像這樣工件W1的外形尺寸非常小，因此圖4(a)所示之陰極標記W1m不易看清，將範本工件W1s收納於工件收納孔4時容易弄錯方向。此外，圖4(a)所示之發光面W1L為樹脂製，故利用鑷子處理工件W1或範本工件W1s時，可能會損傷發光面W1L。又，也可能在辨識外觀相同而特性相異之複數個範本工件W1s時弄錯，導致無法掌握各範本工件於工件測定裝置100中的正確測定資料。
然後，為了避免這些問題點，不使作業品質降低，作業者得細心注意地進行作業。這會招致作業時間的進一步增大，使裝置的運轉率進一步降低，且結果會使得作業者的生理及心理負擔明顯增大。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2012-20822號公報
本發明係考量這樣的問題點而研發，目的在於提供一種能夠容易且確實地確認測定手段的測定精度之工件測定裝置及工件測定方法。
本發明為一種工件測定裝置，其特徵為，具備：搬運體，設置成旋轉自如，具有保持工件或範本工件的複數個保持部；分離供給手段，將工件個別分離並供給至搬運體的保持部；測定手段，配置於分離供給手段的下游側，測定保持於搬運體的保持部之工件或範本工件的特性；及排出手段，配置於測定手段的下游側，將保持於搬運體的保持部之工件排出；在分離供給手段與測定手段之間設置範本工件供給手段，該範本工件供給手段係將預先訂定好基準特性之範本工件供給至搬運體的保持部，且具有收納範本工件之複數個保管部；設置控制裝置，該控制裝置係控制搬運體、分離供給手段、測定手段、排出手段、範本工件供給手段；當控制裝置採取通常測定模式時，將從分離供給手段被供給至搬運體的保持部之工件藉由測定手段測定後，再從排出手段排出，而當採取範本測定模式時，將從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部之範本工件藉由測定手段測定後，不從排出手段排出而是送回範本工件供給手段的保管部。
本發明為一種工件測定裝置，其中，從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部之範本工件，是藉由測定手段被測定後，被送回範本工件供給手段的原先的保管部。
本發明為一種工件測定裝置，其中，控制裝 置具有：比較部，將藉由測定手段而被測定之範本工件的測定結果，與預先內建之範本工件的基準特性做比較並求出其差異；及警報部，與比較部連接，當測定結果與範本工件的基準特性之差異超出規定值時，發出警報。
本發明為一種工件測定裝置，其中，範本工件供給手段具有：移載偵測手段，分別偵測範本工件已從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部內，及偵測範本工件已被送回範本工件供給手段的保管部。
本發明為一種工件測定裝置，其中，控制裝置具有：自動切換手段，自動地切換通常測定模式與範本測定模式。
本發明為一種工件測定裝置，其中，控制裝置具有：手動切換手段，以手動切換通常測定模式與範本測定模式。
本發明為一種工件測定裝置，其中，手動切換手段具有按鈕開關。
本發明為一種工件測定裝置，其中，搬運體具有圓形的搬運平台。
本發明為一種工件測定裝置，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的外緣，且由朝向外側開口之凹部所構成。
本發明為一種工件測定裝置，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的外緣附近，且由貫穿搬運平台之貫通孔所構成。
本發明為一種工件測定裝置，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的一方之面，且由相對於該一方之面進退之搬運噴嘴所構成。
本發明為一種工件測定方法，係利用了工件測定裝置之工件測定方法，該工件測定裝置具備：搬運體，設置成旋轉自如，具有保持工件或範本工件的複數個保持部；分離供給手段，將工件個別分離並供給至搬運體的保持部；測定手段，配置於分離供給手段的下游側，測定保持於搬運體的保持部之工件或範本工件的特性；及排出手段，配置於測定手段的下游側，將保持於搬運體的保持部之工件排出；在分離供給手段與測定手段之間設置範本工件供給手段，該範本工件供給手段係將預先訂定好基準特性之範本工件供給至搬運體的保持部，且具有收納範本工件之複數個保管部；設置控制裝置，該控制裝置係控制搬運體、分離供給手段、測定手段、排出手段、範本工件供給手段；該工件測定方法，其特徵為，具備：控制裝置採取通常測定模式，將從分離供給手段被供給至搬運體的保持部之工件藉由測定手段測定後，再從排出手段排出之工程；及控制裝置採取範本測定模式，將從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部之範本工件藉由測定手段測定後，不從排出手段排出而是收回範本工件供給手段的保管部之工程。
本發明為一種工件測定方法，其中，從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部之範本工 件，是藉由測定手段被測定後，被送回範本工件供給手段的原先的保管部。
本發明為一種工件測定方法，其中，控制裝置具有：比較部，將藉由測定手段而被測定之範本工件的測定結果，與預先內建之範本工件的基準特性做比較並求出其差異；及警報部，與比較部連接，當測定結果與範本工件的基準特性之差異超出規定值時，發出警報。
本發明為一種工件測定方法，其中，範本工件供給手段具有：移載偵測手段，分別偵測範本工件已從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部內，及偵測範本工件已被送回範本工件供給手段的保管部。
本發明為一種工件測定方法，其中，控制裝置具有：自動切換手段，自動地切換通常測定模式與範本測定模式。
本發明為一種工件測定方法，其中，控制裝置具有：手動切換手段，以手動切換通常測定模式與範本測定模式。
本發明為一種工件測定方法，其中，手動切換手段具有按鈕開關。
本發明為一種工件測定方法，其中，搬運體具有圓形的搬運平台。
本發明為一種工件測定方法，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的外緣，且由朝向外側開口之凹部所構成。
本發明為一種工件測定方法，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的外緣附近，且由貫穿搬運平台之貫通孔所構成。
本發明為一種工件測定方法，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的一方之面，且由相對於該一方之面進退之搬運噴嘴所構成。
如上述般，按照本發明，便能容易且確實地確認測定手段的測定精度。
1‧‧‧工件測定裝置
2、22、42‧‧‧平台基座
3、23、43‧‧‧搬運平台
4、24、44‧‧‧工件收納孔
4La‧‧‧光感測器光源
4Lb‧‧‧光感測器
5、25‧‧‧線性進料器
6、26、46‧‧‧分離供給部
7a、27a、47a‧‧‧第1測定部
7b、27b、47b‧‧‧第2測定部
7c、47c‧‧‧第3測定部
8、28、48‧‧‧不良工件排出部
9、29、49‧‧‧良品工件排出部
10x、30x‧‧‧範本平台
11、31‧‧‧工件收納孔
11La‧‧‧光感測器光源
11Lb‧‧‧光感測器
12、32、52‧‧‧控制部
12a、32a、52a‧‧‧記憶部
12b、32b、52b‧‧‧比較部
12c、32c、52c‧‧‧警報部
12d、32d、52d‧‧‧判定部
12e、32e、52e‧‧‧計時器
12f、32f、52f‧‧‧自動切換手段
13‧‧‧真空發生源
14a、14b‧‧‧切換閥
15‧‧‧壓縮空氣發生源
W1、W2、W3‧‧‧工件
W1s、W2s、W3s‧‧‧範本工件
[圖1]圖1為本發明第1實施形態之工件測定裝置示意平面圖。
[圖2]圖2為圖1中區域P1之放大圖。
[圖3]圖3為工件示意立體圖。
[圖4]圖4(a)(b)(c)分別為從圖3中箭頭C1、D1、E1方向觀察時之圖。
[圖5]圖5為工件之電性電路圖。
[圖6]圖6為分離供給部中的工件收納孔示意立體圖。
[圖7]圖7為分離供給部中收納著工件的工件收納孔示意立體圖。
[圖8]圖8(a)(b)(c)為工件測定裝置中的位置辨識功能說明圖。
[圖9]圖9為圖2中的移載部放大立體圖。
[圖10]圖10為圖9中，範本工件收納於工件收納孔之狀態示意立體圖。
[圖11]圖11(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖12]圖12(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖13]圖13(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖14]圖14(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖15]圖15(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖16]圖16(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖17]圖17(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖18]圖18(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖19]圖19(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖20]圖20(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收 納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖21]圖21(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖22]圖22(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖23]圖23(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖24]圖24(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖25]圖25(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖26]圖26(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖27]圖27(a)(b)(c)為工件測定裝置中的各工件收納孔內的工件移動樣形示意圖。
[圖28]圖28(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖29]圖29(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖30]圖30(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖31]圖31(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖32]圖32(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移 載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖33]圖33(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖34]圖34(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖35]圖35(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖36]圖36為本發明第2實施形態之工件測定裝置示意正面圖。
[圖37]圖37為從圖36中箭頭M方向觀察工件測定裝置時之圖。
[圖38]圖38為圖36中區域P2之放大圖。
[圖39]圖39為工件示意立體圖。
[圖40]圖40(a)(b)(c)分別為從圖39中箭頭C2、D2、E2方向觀察時之圖。
[圖41]圖41為工件之電性電路圖。
[圖42]圖42為分離供給部中的工件收納孔示意立體圖。
[圖43]圖43為分離供給部中收納著工件的工件收納孔示意立體圖。
[圖44]圖44(a)(b)(c)為測定裝置中的位置辨識功能說明圖。
[圖45]圖45為從箭頭K2方向觀察圖38中的移載部時之透視圖。
[圖46]圖46為移載部示意放大立體圖。
[圖47]圖47為圖46中，範本工件收納於工件收納孔之狀態示意立體圖。
[圖48]圖48(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖49]圖49(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖50]圖50(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖51]圖51(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖52]圖52為本發明第3實施形態之工件測定裝置示意平面圖。
[圖53]圖53為從圖52中箭頭N方向觀察工件測定裝置時之正面圖。
[圖54]圖54為工件示意立體圖。
[圖55]圖55(a)(b)(c)分別為從圖54中箭頭C3、D3、E3方向觀察時之圖。
[圖56]圖56為工件測定裝置中的位置辨識功能說明圖。
[圖57]圖57搬運噴嘴抵接至工件之狀態說明圖。
[圖58]圖58為範本工件收納於工件收納孔之立體圖。
[圖59]圖59(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移 載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖60]圖60(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖61]圖61(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖62]圖62(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖63]圖63(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖64]圖64(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖65]圖65(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖66]圖66(a)(b)為工件測定裝置中的範本工件移載手續與移載完畢確認方法說明圖。
[圖67]圖67為習知技術之工件測定裝置示意平面圖。
第1實施形態
以下參照圖面，說明本發明之第1實施形態。
首先，說明藉由本發明之工件測定裝置及工件測定方法而被測定之工件。
圖3揭示工件W1之立體圖，而圖4(a)、(b)、(c)分別揭示由圖3中的箭頭C1、D1、E1方向觀察工件W1時之圖。又，圖5揭示工件W1的電性電路圖。工件W1為發光二極體(LED)。如圖3及圖4所示，工件W1是藉由絕緣體而形成為6面體形狀，在其中1面即面W1f1有被透明樹脂覆蓋之發光面W1L形成為略平面狀，而在與面W1f1鄰接且彼此相向之2面即面W1f2及面W1f3，分別有由導電體所構成之電極W1a、W1b突出。又，電極W1a、W1b與工件W1的電性電路之對應如圖5所示。也就是說，電極W1a為陽極、電極W1b為陰極，從直流電壓源對工件W1供給預先規定之直流電壓，使得電極W1a成為比電極W1b還高的電位，則發光二極體Dx即圖3中的發光面W1L便會發光。
像這樣，電極W1a和電極W1b有方向性，故從外部觀察工件W1時，必須識別其方向。為了此一目的，在面W1f1上接近電極W1b側的角部印刷有陰極標記W1m，以表示電極W1b為陰極。構成工件W1之6面體的各邊長度(圖4中a1、b1、c1)，在市售之製品中，形成有發光面W1L的面W1f1的各邊長度a1、b1為5mm~7mm左右，電極W1a、W1b突出的面W1f2及面W1f3的短邊長度c1為2mm左右。
接著，利用圖1至圖35，敍述工件測定裝置。
工件測定裝置1具備：圓形的搬運平台(搬 運體)3，具有保持工件W1或範本工件W1s的複數個工件收納孔(保持部)4，且設置成在配置為水平的平台基座2上旋轉自如；分離供給部(分離供給手段)6，將工件W1個別分離並供給至搬運平台3的工件收納孔4；第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c，設於分離供給部6的下游側，測定搬運平台3的工件收納孔4中保持之工件W1或範本工件W1s的特性；不良工件排出部8及良品工件排出部9，配置於第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c的下游側，排出搬運平台3的工件收納孔4中保持之工件W1。
其中，藉由第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c而構成測定手段，藉由不良工件排出部8及良品工件排出部9而構成排出手段。
又，搬運平台3藉由未圖示之驅動機構的作用，在中心軸3a的周圍朝箭頭A1方向間歇性旋轉。又，各工件收納孔4是形成於搬運平台3的外緣部而朝向中心，該些工件收納孔4是由朝向搬運平台3的外側開口之凹部所構成，供圖3及圖4所示之作為被測定工件的工件W1及範本工件W1s個別收納並搬運至此。
另，朝向搬運平台3的外緣部，配置有直線形狀的線性進料器5。線性進料器5藉由未圖示之驅動機構的作用而振動，藉由該振動而具有將工件W1以1列狀態朝箭頭B1方向搬運之功能。線性進料器5的終端部與搬運平台3的外緣部鄰近，在該處與工件收納孔4的開口 部相向。在線性進料器5的終端部與工件收納孔4的開口部相向之位置，如上述般配置有分離供給部6以作為分離供給手段，其將線性進料器5上的工件W逐一分離並個別供給至工件收納孔4。從該分離供給部6沿著搬運平台3的間歇性旋轉方向亦即箭頭A1方向，如上述般依序配置有：作為測定手段之第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c，進行工件W1的各種特性測定；作為排出手段之不良工件排出部8，依據測定結果將判定為不良的工件W1從工件收納孔4排出；作為排出手段之良品工件排出部9，依據測定結果將判定為良品的工件W1從工件收納孔4排出。
又，沿著搬運平台3的間歇性旋轉方向亦即箭頭A1方向，在分離供給部6與第1測定部7a之間，配置有範本平台10x以作為範本工件供給手段，且在範本平台10x與搬運平台3之間，配置有移載部10t以進行範本工件W1s之移載。
藉由該範本平台10x與移載部10t，構成測定系統確認部10。範本平台10x的形狀如同搬運平台3般呈圓形，藉由未圖示之驅動機構的作用，在中心軸10xa的周圍朝箭頭X1方向間歇性旋轉。在範本平台10x的外緣部，如同搬運平台3般，複數個工件收納孔11形成為朝向外側開口以作為保管部，工件收納孔11中保管著範本工件W1s。
然後，設置有控制部(控制裝置)12，用來 對構成工件測定裝置1之搬運平台3、分離供給部6、第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c、不良工件排出部8、良品工件排出部9、範本平台10x、及移載部10t進行控制。
另，搬運平台3是間歇性旋轉而搬運工件W1，故在從分離供給部6至良品工件排出部9為止之搬運平台3的外緣部，形成有未圖示之障壁，用來防止當間歇性旋轉時因作用於工件W1的離心力而使得工件W1朝搬運平台3的外側飛出。
同樣地，從分離供給部6至良品工件排出部9為止之工件收納孔4的上部，形成有未圖示之平台外罩，用來防止因間歇性旋轉時的振動而使得工件W1朝搬運平台3的上側飛出。
同樣地，範本平台10x是間歇性旋轉而搬運範本工件W1s，故在範本平台10x的外緣部，形成有未圖示之障壁，用來防止當間歇性旋轉時因作用於範本工件W1s的離心力而使得範本工件W1s朝範本平台10x的外側飛出。同樣地，在範本平台10x的工件收納孔11的上部，形成有未圖示之平台外罩，用來防止因間歇性旋轉時的振動而使得範本工件W1s朝範本平台10x的上側飛出。
圖1中的測定系統確認部10附近，亦即單點鏈線區域P1之放大圖如圖2所示。搬運平台3的工件收納孔4與範本平台10x的工件收納孔11，均朝向平台的 外側開口，在移載位置，於移載部10t側彼此之開口部相向。該開口部相向之狀態下的工件收納孔4與工件收納孔11，於圖2中記載為工件收納孔4t及工件收納孔11t。在工件收納孔4及工件收納孔11，收納著圖3及圖4所示之形狀的工件W1及範本工件W1s。此處，範本工件W1s係為與工件W1相同，且其特性亦即圖1所示之第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c的各自之測定結果為已知之工件。
具體而言，是利用與第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c中所使用之測量儀器相同且校正完畢之測量儀器，對範本工件W1s預先實施與第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c的測定項目相同之測定，並將其測定結果(基準特性)預先記憶於控制部12內作為記憶手段之記憶部12a。該範本工件W1s的基準特性，可藉由控制部12之控制而從記憶部12a讀出。又，控制部12具有：比較部12b，當採取範本測定模式時，將範本工件W1s的基準特性與工件W1的測定結果予以比較；及警報部12c，藉由比較部12b比較之結果，當兩者之差異超出規定值時，發出警報。又，控制部12具有：判定部12d，當採取通常測定模式時，依據第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c之測定結果，進行工件W1為良品或不良品之判定。
接著利用圖6及圖7，說明搬運平台3的工件收納孔4。圖6為工件收納孔4停止於圖1中的分離供給 部6之狀態立體圖。工件收納孔4係朝向水平配置於平台基座2上的搬運平台3之外側開口，圖1所示之線性進料器5的終端部位於與該開口部相向之處，但在圖6中未圖示。位於該開口部的相反側亦即搬運平台3的中心軸3a(圖1)側之工件收納孔4的壁面4w上，形成有空氣控制孔4a。空氣控制孔4a在分離供給部6中，經由形成於平台基座2的空氣通路6v，而與設置於平台基座2內之真空發生源13連通。然後，藉由來自該真空發生源13的箭頭F6方向的真空吸引，在工件收納孔4的內部，吸引力會朝向壁面4w而作用。此外，搬運平台3中，工件收納孔4的上面係開放，但分離供給部6中工件收納孔4的上面及線性進料器5的終端部的上面，係被未圖示之外罩覆蓋。藉由此一外罩的存在，工件收納孔4的內部成為略密閉狀態，上述吸引力會效率良地好作用。
接著，說明由這樣的構成所成之本實施形態的作用，亦即工件測定方法。
圖1中，工件W1一齊被投入未圖示之零件進料器。接著，藉由未圖示之方向偵測機構的作用，其方向會被整列成為圖3所示之發光面W1L面向上側，且電極W1b面向工件的行進方向即圖1所示之箭頭B1方向，而在線性進料器5上排成1列。線性進料器5如上所述，藉由未圖示之驅動機構的作用而振動，藉由該振動，工件W1會在整列成上述方向的1列狀態下朝箭頭B1方向被搬運。然後，工件W1到達停止中的搬運平台3上與工件 收納孔4的開口部相向的位置之後，藉由分離供給部6中未圖示之分離機構的作用而逐一被分離，藉由圖6所示箭頭F6方向的真空吸引，個別地收納於工件收納孔4。
像這樣，工件W1收納於工件收納孔4之情形，以立體圖揭示於圖7。此時，由於在線性進料器5上如上述般工件W1的方向已預先整列，故工件W1係其發光面W1L會面向上側，且電極W1b(陰極標記W1m)會在靠近搬運平台3的旋轉軸3a(圖1)之側，在此狀態下被收納於工件收納孔4。
接著，搬運平台3朝圖1所示之箭頭A1方向間歇性旋轉，在分離供給部6被收納於工件收納孔4的工件W1會通過移載部10t，而在第1測定部7a停止。然後，使用未圖示之直流電源及波長計，實施工件W1之波長測定。接著，藉由搬運平台3的間歇性旋轉，到達並停止於第2測定部7b之工件W1，係使用未圖示之直流電源及輝度計，實施工件W1之輝度測定。然後，藉由搬運平台3的間歇性旋轉，到達並停止於第3測定部7c之工件W1，係使用未圖示之電源電錶及多通道光譜儀，實施工件W1之全光束測定。
以上測定結束後，依據來自第1測定部7a、第2測定部7b及第3測定部7c的測定結果，控制部12會藉由判定部12d來判定工件W1為良品或不良品。然後，因應其判定結果，會藉由搬運平台3的間歇性旋轉，在不良工件排出部8或良品工件排出部9將工件收納孔4 內的工件W1排出。在良品工件排出部9，所有的工件收納孔4都變為空的，藉由搬運平台3的間歇性旋轉而到達分離供給部6之空的工件收納孔4中，會再次收納工件W1，反覆上述相同之作用。以上一連串之作用稱為通常測定模式，皆是依據控制部12之控制而執行。
此處，控制部12係內建具有時間計數功能之計時器12e，以計數上述通常測定模式的動作時間。然後，當動作時間到達事先決定好的時間，便藉由自動切換手段12f將通常測定模式中斷，轉移(切換)至範本測定模式，對包括第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c中配置之測量儀器在內的測定系統進行測定精度之確認。
範本測定模式中，會將預先收納於範本平台10x的工件收納孔11之範本工件W1s，從移載部10t移載至搬運平台3的工件收納孔4，如同從分離供給部6供給至工件收納孔4的工件W1般，藉由搬運平台3的間歇性旋轉一面搬運，一面在第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c實施測定，並取得測定結果以作為資料。但，並未依據測定結果而在不良工件排出部8或良品工件排出部9將範本工件W1s從工件收納孔4內排出，而是藉由搬運平台3的間歇性旋轉使範本工件W1s再次到達移載部10t後，將收納於搬運平台3的工件收納孔4之範本工件W1s，再度收納至移載部10t中範本平台10x的工件收納孔11當中預先收納著該範本工件W1s之工件收納 孔11。也就是說，本實施形態中，為校正測量儀器而應進行範本工件W1s的資料取得之時間點，係藉由使工件測定裝置1動作之程式來自動設定。
此處，利用圖8(a)(b)(c)，說明測定裝置1以範本測定模式動作時之前提條件，即搬運平台3的工件收納孔4及範本平台10x的工件收納孔11之位置辨識功能。
圖8(a)為形成於圖1所示之搬運平台3上的總共16個工件收納孔4，及形成於範本平台10x上的總共8個工件收納孔11之模型圖。但，為便於看清圖面，圖1所示之各部當中，於圖8(a)中僅表記了搬運平台3與範本平台10x及線性進料器5與移載部10t。此外，圖1中，搬運平台3與範本平台10x是在移載部10t配置成極為鄰近，但圖8(a)中為了表記方便，係在移載部10t使兩平台遠離配置。
首先，說明圖8(a)中對各工件收納孔賦予之編號。搬運平台3的工件收納孔4，如上述般總共形成有16個。各工件收納孔4中記載於搬運平台3的中心軸3a側之編號<1>~<16>，表示該工件收納孔4存在之位置，亦即與搬運平台3的間歇性旋轉無關之固定位置。與線性進料器5的終端部相向之位置為<1>，圖3所示之工件W1，在位置<1>藉由分離供給部6(圖1)的作用，而從線性進料器5朝箭頭G1方向被收納至工件收納孔4。以下，朝搬運平台3的間歇性旋轉方向亦即箭頭A1方向， <1,2,‧‧‧>內的編號逐一增加，於最大值<16>後回到<1>。舉例來說，移載部10t的位置是以<3>表示。
相對於此，各工件收納孔4中記載於搬運平台3的外側之編號(1)~(16)，表示對該工件收納孔4個別賦予之孔編號。也就是說，孔編號係對應於搬運平台3的間歇性旋轉而位置會變化，其被賦予成隨順時針而增加。位置與孔編號的具體例如下。
圖8(a)中，被賦予孔編號(1)之工件收納孔4係存在於位置<1>。自該狀態起，當搬運平台3朝箭頭A1方向間歇性旋轉1次而停止，則被賦予孔編號(1)之工件收納孔4會移動至位置<2>，同時，圖8(a)中被賦予孔編號(16)之工件收納孔4會移動至位置<1>。
上述位置與孔編號之賦予規則，對於範本平台10x的工件收納孔11亦同。範本平台10x中，位置以1~8表記，孔編號以[1]~[8]表記。位置1~8係朝範本平台10x的間歇性旋轉方向亦即箭頭X1方向而1，2，‧‧‧之數字增加，孔編號[1]~[8]係隨順時針而增加。然後，位置1為移載部10t中的工件收納孔11的位置，在該處有孔編號[8]之工件收納孔11。也就是說，移載部10t中，搬運平台3中的位置<3>的工件收納孔4與範本平台10x中的位置1的工件收納孔11係相向。而如後所述，當工件測定裝置1以範本測定模式動作時，從位置1的工件收納孔11朝向位置<3>的工件收納孔4，範本工件W1s會於箭頭H1方向被移載；從位置<3>的工件收納孔4朝 向位置1的工件收納孔11，範本工件W1s會於箭頭J1方向被移載。另，在未記載位置及孔編號之圖2以及引用圖2之文章中，針對上述移載部10t中相向之搬運平台3的工件收納孔4與範本平台10x的工件收納孔11，係分別表記成工件收納孔4t及11t。
此處，工件收納孔4及工件收納孔11的位置與孔編號如圖8(a)所示般相對應，且搬運平台3及範本平台10x停止之狀態，稱為初始狀態。然後，圖1所示之控制部12會進行控制，使得當開啟工件測定裝置1的電源時必定會成為初始狀態。
由以上說明可知，在動作中的工件測定裝置1中，所有工件收納孔4及工件收納孔11均可藉由孔編號來個別識別，且可識別其位置。也就是說，控制部12能夠個別識別工件收納孔4及工件收納孔11中分別收納之工件W1或範本工件W1s。依據該識別資訊，控制部12會執行各種控制。
圖8(a)亦即初始狀態中，工件收納孔4及工件收納孔11的位置與孔編號之對應示意表，如圖8(b)、(c)所示。圖8(b)表示工件收納孔4、圖8(c)表示工件收納孔11。在圖8(b)(c)所示各表之資料欄中，會個別識別並記載該被賦予孔編號之工件收納孔4、11中所收納之工件W1(範本工件W1s)。此處為求簡便，於所有資料欄中記載「-」以表示該工件收納孔為空的。此外，在圖8(b)的位置<1>及位置<3>與圖8(c)的位置1，記載有與圖8(a) 中的箭頭G1、H1、J1相對應之箭頭。
圖2中的移載部10t的放大立體圖如圖9所示。此處，預先使圖9中的搬運平台3的方向與圖6相同。移載部10t中，搬運平台3的工件收納孔4t與範本平台10x的工件收納孔11t，其各自之開口部係具有極小的間隙而相向。位於搬運平台3的中心軸3a(圖1)側之工件收納孔4t的壁面4w上形成之空氣控制孔4a，於移載部10t會經由形成於平台基座2的空氣通路10p2，而與切換閥14a連通。切換閥14a具有選擇3種切換模式x1、x2、x3之功能。
切換模式x1係選擇設置於平台基座2內的真空發生源13，此時空氣通路10p2與真空發生源13連通，工件收納孔4t內從空氣控制孔4a朝箭頭V102方向被真空吸引。又，切換模式x2係選擇設置於平台基座2內的壓縮空氣發生源15，此時空氣通路10p2與壓縮空氣發生源15連通，壓縮空氣從空氣控制孔4a朝箭頭C102方向噴出至工件收納孔4t內。又，切換模式x3什麼也不選擇，空氣通路10p2不與任何處連通，工件收納孔4t內會保持大氣壓狀態。
此外，移載部10t中，在工件收納孔4t所位於的平台基座2，形成有感測器通路10s2。在感測器通路10s2的下方即平台基座2內，於圖9中雖未圖示，但配置有後述之光感測器光源4La(圖28至圖35)，朝向工件收納孔4t內送出向上的光。
以上有關工件收納孔4t之構成與作用，對於移載部10t中與工件收納孔4t相向之工件收納孔11t亦同。
位於範本平台10x的中心軸10xa(圖1)側之工件收納孔11t的壁面11w上形成之空氣控制孔11a，於移載部10t會經由形成於平台基座2的空氣通路10p1，而與切換閥14b連通。然後，切換閥14b選擇切換模式x1、x2、x3，藉此，如同工件收納孔4t般，工件收納孔11t內會朝箭頭V101方向被真空吸引、或是壓縮空氣朝箭頭C101方向噴出至工件收納孔11t內、或是工件收納孔11t內保持大氣壓狀態。
此外，移載部10t中，在工件收納孔11t所位於的平台基座2，形成有感測器通路10s1。在感測器通路10s1的下方即平台基座2內，於圖9中雖未圖示，但配置有後述之光感測器光源11La(圖28至圖35)，如同光感測器光源4La(圖28至圖35)般進行光的送出。
圖9所示之移載部10t中，範本工件W1s被收納於工件收納孔11t時之立體圖如圖10所示。切換閥14a選擇切換模式x3、切換閥14b選擇切換模式x1。因此，範本工件W1s朝箭頭V101方向被真空吸引，保持於工件收納孔11t。又，此時的範本工件W1s，其狀態為發光面W1L面向上側，電極W1a(陽極)面向壁面11w側。在此狀態下，移載至與工件收納孔11t相向之工件收納孔4t，則範本工件W1s的方向便會與圖7所示之工件 W1的方向一致。
利用圖11至圖35，詳細說明移載部10t中的範本工件W1s之移載。
圖11(a)(b)(c)至圖27(a)(b)(c)，係為在圖1的單點鏈線區域P1之放大圖即圖2中，對應於圖8所示位置以及孔編號，且表示各工件收納孔內的工件移動情形之模型圖。
此處，圖11(a)(b)(c)至圖27(a)(b)(c)及相對應之說明中，係將搬運平台3的共16個工件收納孔4藉由孔編號而記載為工件收納孔(1)、工件收納孔(2)、‧‧‧，以便個別區別。同樣地，將範本平台10x的共8個工件收納孔11藉由孔編號而記載為工件收納孔[1]、工件收納孔[2]、‧‧‧，以便個別區別。此外，針對被線性進料器5搬運，於通常測定模式中被搬運平台3搬運之工件W1(圖7)，則表記成1,2,‧‧‧，以便個別區別。而同樣地，針對於通常測定模式中被保管在範本平台10x，於範本測定模式中被搬運平台3搬運之範本工件W1s(圖10)，則表記成a,b,‧‧‧，以便個別區別。
此外，本實施形態中，範本工件W1s的數量訂為4個。圖11為圖8所示之初始狀態。也就是說，工件收納孔(1)停止於位置<1>。此時，搬運平台3的工件收納孔(1)至(16)均是空的，在圖11(b)中於孔編號(1)至(16)之所有資料欄均記載著「-」表示該工件收納孔為空的，以便表現此一狀態。
此外，範本工件a被收納於範本平台10x的工件收納孔[1]，同樣地範本工件b,c,d分別被收納於工件收納孔[2]、[3]、[4]。在圖11(c)中，於孔編號[1]、[2]、[3]、[4]的資料欄分別記載a,b,c,d，以便表現此一狀態。
另，針對範本平台10x，同樣是將與空的工件收納孔相對應之資料記載為「-」。此外，圖11(a)中，在線性進料器5上，從靠近搬運平台3之側起算依序並排工件1,2,3。然後，雖未圖示，但在工件3的左側還有工件4,5,‧‧‧這樣多數個工件W1並排成一列，藉由線性進料器5朝圖1之箭頭B1方向搬運。
接著，如圖12(a)所示，線性進料器5上的工件1，藉由圖1中分離供給部6的作用而被分離後，藉由圖7中箭頭F6方向的真空吸引，而在圖12(a)中朝箭頭G1所示方向移動，被收納於搬運平台3的工件收納孔(1)。在圖12(b)中，在與位置<1>及孔編號(1)相對應之列的左側表記箭頭G1，且一併將資料記為1，以便表現此一狀態。
在此一狀態下，開始通常測定模式，搬運平台3會朝圖1中箭頭A1方向間歇性旋轉，搬運工件1。然後，當搬運平台3停止，空的工件收納孔(16)會停止在位置<1>，工件2被收納於該處。然後，同樣地搬運平台3會朝圖1中箭頭A1方向間歇性旋轉，空的工件收納孔(15)會停止在位置<1>，工件3被收納於該處。此時的情形如圖13(a)所示。
工件收納孔(15)停止在位置<1>，工件3朝箭頭G1方向被收納。到目前為止，收納著工件1、2之工件收納孔(1)、(16)，分別移動至位置<3>、<2>。此時，工件收納孔(1)停止在位置<3>亦即移載部10t，但由於是通常測定模式，故移載部10t不會對工件收納孔(1)發生作用。
圖13的狀態之後，在位置<1>，工件W1會漸次從線性進料器5被收納至搬運平台3的空的工件收納孔。然後，工件W1藉由搬運平台3的間歇性旋轉而被搬運，如上述般實施各種測定後，從搬運平台3被排出。然後由於排出而再次成為空的工件收納孔會到達位置<1>，反覆同樣的動作。它們全都是藉由圖1所示控制部12之控制而實施。
不過，如上述般，工件測定裝置1中，為了確認第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c的測定精度而應進行範本工件W1s之資料取得的時間點，係藉由使工件測定裝置1動作之程式來自動設定。
因此，當計時器12e藉由時間計數而偵測到上述之通常測定模式已持續了事先規定好之時間，則控制部12便會判斷上述時間點已來到。然後便進行控制，轉移至範本測定模式，進行範本工件W1s之資料取得。其動作詳述如下。
首先，在上述時間點，將圖1所示之分離供給部6的動作停止。如此一來，在搬運平台3的工件收納孔4，便不會收納新的工件W1。然後，在上述時間點以 前被收納於搬運平台3的工件收納孔4之工件W1，會藉由搬運平台3的間歇性旋轉，依序停止在圖1所示之第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c，分別實施規定之測定。然後，依據它們的測定結果，在不良工件排出部8或良品工件排出部9從工件收納孔4排出。
在此時間點，搬運平台3的所有工件收納孔4變為空的。然後，搬運平台3會以初始狀態停止。此情形如圖14(a)(b)(c)所示。圖14(a)中，工件收納孔(1)停止在位置<1>，在線性進料器5上，並排著未被收納至搬運平台3的工件收納孔4之工件W1。其最前頭工件雖被賦予編號，但此僅為一例，並不限定於該編號。此外，工件收納孔(1)至(16)如圖14(b)所示均為空的。
至此，完成從通常測定模式移轉至範本測定模式。接下來，開始範本測定模式。首先，搬運平台3間歇性旋轉，工件收納孔(1)到達位置<3>。此情形如圖15(a)(b)(c)所示。接著，範本平台10x朝圖1中箭頭X1方向間歇性旋轉，收納著範本工件a的工件收納孔[1]到達並停止在位置1。此情形如圖16(a)(b)(c)所示。
如圖16(a)(b)(c)所示，位置<3>與位置1相向之位置係為移載部10t，由圖16(a)可知，移載部10t中，未收納著工件的搬運平台3的工件收納孔(1)係與收納著範本工件a的範本平台10x的工件收納孔[1]相向。
利用從圖16(a)中箭頭K1方向觀察移載部10t時之透視圖，亦即圖28(a)(b)至圖31(a)(b)，來說明此一 狀態下確認範本工件a被移載之手續及移載完畢的方法。圖28(a)為與圖16(a)相對應之透視圖，圖10為其立體圖。圖10中，切換閥14a選擇切換模式x3、切換閥14b選擇切換模式x1。因此，工件收納孔4t內保持大氣壓，工件收納孔11t內朝箭頭V101方向被真空吸引。
亦即，圖28(a)中範本工件W1s(a)被收納於工件收納孔11t內，而位於工件收納孔11t正下方的平台基座2內形成之感測器通路10s1的正上方。
另，圖28(a)(b)至圖31(a)(b)中使用了範本工件W1s(a)之表記，這是為了與圖16(a)(b)(c)中的範本工件(a)相對應。此處，在感測器通路10s1下方的平台基座2內配置有光感測器光源11La，朝向工件收納孔11t內送出向上的檢測光L11。另一方面，在工件收納孔11t上方且與光感測器光源11La相向之位置，配置有光感測器11Lb。
在此情形下，檢測光L11會被收納於工件收納孔11t內的範本工件W1s(a)遮蔽，而不會被光感測器11Lb檢測到。另一方面，移載部10t中，在與工件收納孔11t相向之工件收納孔4t正下方的平台基座2內形成之感測器通路10s2下方的平台基座2內，配置有光感測器光源4La，朝向工件收納孔4t內送出向上的檢測光L4。另一方面，在工件收納孔4t上方且與光感測器光源4La相向之位置，配置有光感測器4Lb。
在此情形下，由於在工件收納孔4t內並未收 納著範本工件W1s(a)，故檢測光L4會被光感測器4Lb檢測到。像這樣，當檢測光L11未被光感測器11Lb檢測到，而檢測光L4被光感測器4Lb檢測到的情形下，便知道範本工件W1s(a)是被收納於範本平台10x。
此一關係如圖28(b)所示。藉由上述光感測器光源11La、光感測器11Lb、光感測器光源4La、光感測器4Lb，構成移載檢測手段。
自圖28(a)之狀態，將範本工件W1s(a)從範本平台10x移載至搬運平台3之情形，如圖29(a)(b)至圖31(a)(b)所示。首先，圖29(a)(b)中，切換閥14b選擇切換模式x2，空氣通路10p1與壓縮空氣發生源15連通而朝箭頭C101方向噴出壓縮空氣。同時，切換閥14a選擇切換模式x1，空氣通路10p2與真空發生源13連通而朝箭頭V102方向進行真空吸引。因此，範本工件W1s(a)會開始朝箭頭H1方向移動。圖29(b)揭示其與檢測光L11及檢測光L4的檢測狀態相對應之情形。
如圖29(b)所示，範本工件W1s(a)為移動中，檢測光L11及檢測光L4的檢測狀態與圖28(b)相同。自圖29(a)狀態再經過一些時間後之情形如圖30(a)所示。範本工件W1s(a)持續朝箭頭H1方向移動，到達工件收納孔11t與工件收納孔4t的略中間地點。此時，範本工件W1s(a)遠離感測器通路10s1的正上方位置，檢測光L11會被光感測器11Lb檢測到。此一關係如圖30(b)所示。
其後，範本工件W1s(a)被收納於工件收納孔 4t內，如圖31(a)般位於感測器通路10s2上。因此，從配置於感測器通路10s2下方的平台基座2內之光感測器光源4La朝向工件收納孔4t內照射之檢測光L4，會被範本工件W1s(a)遮蔽，而不會被光感測器4Lb檢測到。此一關係如圖31(b)所示。像這樣，移載部10t中，只要持續將檢測光L11及檢測光L4是否被光感測器11Lb及光感測器4Lb檢測到之資訊傳輸至圖1所示之控制部12，那麼當該些資訊從圖28(b)經圖29(b)、圖30(b)而變化成圖31(b)之狀態時，控制部12便能夠判斷範本工件W1s(a)已從範本平台10x被移載至搬運平台3。
此處，與圖31(a)(b)相對應之模型圖如圖17(a)(b)(c)所示。也就是說，從箭頭K1方向觀察圖17(a)時之透視圖即為圖31(a)。
圖17(a)(b)(c)中，範本工件a朝在移載部10t所示之箭頭H1方向移動，從範本平台10x的工件收納孔[1]被移載至搬運平台3的工件收納孔(1)。此一移載之情形，係以從圖17(c)的位置1(孔編號[1])朝向圖17(b)的位置<3>(孔編號(1))之箭頭H1來表示。像這樣範本工件a的移載完畢後，搬運平台3及範本平台10x均會間歇性旋轉。然後，如圖18(a)所示，空的工件收納孔(16)與收納著範本工件b的工件收納孔[2]會各自到達移載部10t並相向。然後，如同上述範本工件a時般，範本工件b會從範本平台10x的工件收納孔[2]被移載至搬運平台3的工件收納孔(16)。移載結束時之情形如圖19(a)(b)(c)所示。
其後，同樣地搬運平台3及範本平台10x間歇性旋轉，在移載部10t依序移載範本工件c及d。範本工件d移載完畢時之情形如圖20(a)(b)(c)所示。圖20(a)(b)(c)中，所有範本工件a~d均從範本平台10x被移載至搬運平台3。接著，搬運平台3間歇性旋轉，該些範本工件a~d依其順序依序到達並停止在圖1所示之第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c。然後，在各個測定部，對各範本工件a~d實施如同對被測定工件即工件W1之波長測定、輝度測定、全光束測定。
此時，如利用圖8(a)所說明般，控制部12會辨識出各範本工件a~d分別被收納於搬運平台3的工件收納孔(1)、(16)、(15)、(14)。因此，有關各範本工件a~d在第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c的測定結果，可藉由控制部12個別辨識。
像這樣實施了各種測定之範本工件a~d，會藉由搬運平台3的間歇性旋轉，通過不良工件排出部8及良品工件排出部9，再次到達移載部10t。然後，藉由控制部12之控制，範本工件a~d會在移載部10t，從搬運平台3的工件收納孔(1)、(16)、(15)、(14)再度被收納至原先收納各範本工件a~d的範本平台10x的工件收納孔[1]、[2]、[3]、[4]。利用圖21(a)(b)(c)至圖27(a)(b)(c)說明該情形。
圖21(a)(b)(c)揭示收納於搬運平台3的工件收納孔(1)且已實施了各種測定之範本工件a，藉由搬運平 台3的間歇性旋轉而到達移載部10t時之情形。移載部10t中，與搬運平台3的工件收納孔(1)相向之範本平台10x的工件收納孔的孔編號為[4]，這與範本工件d從範本平台10x移載至搬運平台3完畢之狀態示意圖20(a)(b)(c)一致。
接著，範本平台10x朝圖1中箭頭X1方向間歇性旋轉，如圖22(a)(b)(c)所示，孔編號[1]的工件收納孔在移載部10t與搬運平台3的工件收納孔(1)相向。
利用從圖22中箭頭K1方向觀察移載部10t時之透視圖，亦即圖32(a)(b)至圖35(a)(b)，來說明此一狀態下確認範本工件a被移載之手續及移載完畢的方法。另，有關圖32(a)(b)至圖35(a)(b)所示之各部的功能，已記載於圖28(a)(b)至圖31(a)(b)之說明中，故省略。
圖32(a)為與圖22相對應之透視圖。圖32(a)中，切換閥14a選擇切換模式x1、切換閥14b選擇切換模式x3。因此，工件收納孔4t內朝箭頭V102方向被真空吸引，工件收納孔11t內保持大氣壓。範本工件W1s(a)被收納於工件收納孔4t內，故光感測器光源4La送出之向上的檢測光L4會被範本工件W1s(a)遮蔽，不會被光感測器4Lb檢測到。
另一方面，移載部10t中，範本工件W1s(a)並未收納於與工件收納孔4t相向之工件收納孔11t，故光感測器光源11La送出之向上的檢測光L11會被光感測器11Lb檢測到。因此，便知道範本工件W1s(a)被收納於搬 運平台3。此一關係如圖32(b)所示。
自圖32(a)之狀態，將範本工件W1s(a)從搬運平台3移載至範本平台10x之情形，如圖33(a)(b)至圖35(a)(b)所示。首先，圖33(a)中，切換閥14a選擇切換模式x2，空氣通路10p2與壓縮空氣發生源15連通而朝箭頭C102方向噴出壓縮空氣。同時，切換閥14b選擇切換模式x1，空氣通路10p1與真空發生源13連通而朝箭頭V101方向進行真空吸引。因此，範本工件W1s(a)會開始朝箭頭J1方向移動。
圖33(b)揭示此一狀態與檢測光L4及檢測光L11的檢測狀態相對應之情形。範本工件W1s(a)為移動中，檢測光L4及檢測光L11的檢測狀態與圖32(b)相同。自圖33(a)狀態再經過一些時間後之情形如圖34(a)所示。
如圖34(a)所示，範本工件W1s(a)持續朝箭頭J1方向移動，到達工件收納孔4t與工件收納孔11t的略中間地點。此時，範本工件W1s(a)遠離感測器通路10s2的正上方位置，檢測光L4會被光感測器4Lb檢測到。此一關係如圖34(b)所示。
其後，範本工件W1s(a)被收納於工件收納孔11t內，如圖35(a)般位於感測器通路10s1上。因此，從光感測器光源11La朝向工件收納孔11t內照射之檢測光L11，會被範本工件W1s(a)遮蔽，而不會被光感測器11Lb檢測到。此一關係如圖35(b)所示。
移載部10t中，檢測光L4及檢測光L11是否 被光感測器4Lb及光感測器11Lb檢測到之資訊，會傳輸至圖1所示之控制部12。當該些資訊從圖32(b)經圖33(b)、圖34(b)而變化成圖35(b)狀態時，控制部12便能判斷範本工件W1s(a)已從搬運平台3被移載至範本平台10x。
此處，與圖35(a)(b)相對應之模型圖如圖23(a)(b)(c)所示。也就是說，從箭頭K1方向觀察圖23(a)時之透視圖即為圖35(a)。圖23(a)中，範本工件a朝在移載部10t所示之箭頭J1方向移動，從搬運平台3的工件收納孔(1)被移載至範本平台10x的工件收納孔[1]。此一移載之情形，係以從圖23(b)的位置<3>(孔編號(1))朝向圖23(c)的位置1(孔編號[1])之箭頭J1來表示。
像這樣範本工件a的移載完畢後，搬運平台3及範本平台10x均會間歇性旋轉。然後，如圖24(a)所示，收納著範本工件b的工件收納孔(16)與空的工件收納孔[2]會各自到達移載部10t並相向。然後，如同上述範本工件a時般，範本工件b會從搬運平台3的工件收納孔(16)被移載至範本平台10x的工件收納孔[2]。移載結束時之情形如圖25(a)(b)(c)所示。
其後，同樣地搬運平台3及範本平台10x間歇性旋轉，在移載部10t依序移載範本工件c及d。範本工件d移載完畢時之情形如圖26(a)(b)(c)所示。
圖26(a)(b)(c)中，所有範本工件a~d均從搬運平台3被移載至範本平台10x。然後，各範本工件a~d 移載至範本平台10x中的位置，會與原先收納它們的工件收納孔一致。
如上所述，當所有範本工件移載至範本平台10x，便會藉由控制部12，將在圖1所示第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c中測定之各範本工件W1的測定結果，與事先記憶於控制部12內的記憶部12a之各範本工件W1s的已知測定結果(基準特性)，於比較部12b做比較。然後，針對雙方的測定結果差異已偏離事先規定之規格值(規定值)的測定部，會從警報部12c顯示警報，或發出警報音，以通知作業者校正配置於該測定部之測量儀器。
以上，範本測定模式結束，工件測定裝置1停止動作。作業者當有上述通知時將工件測定裝置1的電源關閉，將應校正之測量儀器校正後，再度開啟電源將工件測定裝置1啟動。啟動之工件測定裝置1會以通常測定模式重啟動作。
此外，當沒有上述通知，不必校正測量儀器時，作業者會將工件測定裝置1的電源暫且關閉，其後立刻開啟電源將工件測定裝置1啟動。或是，亦可在電源維持開啟的情況下按下啟動用的按鈕開關，藉此將工件測定裝置1啟動。無論任一情形下，啟動之工件測定裝置1均會以通常測定模式重啟動作。
如上所述，按照本實施形態，能夠容易且簡單地確認第1測定部7a、第2測定部7b、第3測定部7c 的測定精度。
第2實施形態
接著，利用圖36至圖51說明本發明之第2實施形態。
圖36為運用了本發明之工件測定裝置21示意正面圖。工件測定裝置21具有圓形之搬運平台23，其係作為搬運體，與配置成垂直之平台基座22鄰接而配置成旋轉自如，搬運平台23係藉由未圖示之驅動機構的作用而在中心軸23a的周圍朝箭頭A2方向間歇性旋轉。
在搬運平台23的外緣附近，有複數個工件收納孔24形成為貫通搬運平台23的兩面，以作為保持部。也就是說，工件收納孔24係朝搬運平台23的一面及另一面開口，供後述作為被測定工件之工件W2及與該工件W2同一形狀之範本工件W2s個別收納於此並搬運。
此外，如圖37所示，朝向搬運平台23的一面，水平配置有直線形狀的線性進料器25。線性進料器25藉由未圖示之驅動機構的作用而振動，藉由該振動而具有將工件W2以1列狀態朝向搬運平台23的一面搬運之功能。線性進料器25的終端部與搬運平台23的一面鄰近，在該處與工件收納孔24的開口部相向。在線性進料器25的終端部與工件收納孔24的開口部相向之位置，配置有分離供給部26以作為分離供給手段，其將線性進料器25上的工件W2逐一分離並個別供給至工件收納孔 24。從該分離供給部26沿著搬運平台23的間歇性旋轉方向亦即箭頭A2方向，依序配置有：作為測定手段之第1測定部27a、第2測定部27b，進行工件W2的各種特性測定；作為排出手段之不良工件排出部28，依據測定結果將判定為不良的工件W2從工件收納孔24排出；作為排出手段之良品工件排出部29，依據測定結果將判定為良品的工件W2從工件收納孔24排出。
又，沿著搬運平台23的間歇性旋轉方向亦即箭頭A2方向，在分離供給部26與第1測定部27a之間，配置有範本平台30x以作為範本工件供給手段，且在範本平台30x與搬運平台23之間，配置有移載部30t以進行範本工件W2s之移載。
藉由該範本平台30x與移載部30t，構成測定系統確認部30。範本平台30x的形狀如同搬運平台23般呈圓形，藉由未圖示之驅動機構的作用，在中心軸30xa的周圍朝箭頭X2方向間歇性旋轉。在範本平台30x的靠近外緣的部分，形成有複數個工件收納孔31以作為與搬運平台23具有相同形狀之保管部，工件收納孔31中保管著範本工件W2s。
然後，設置有控制部32，對構成工件測定裝置21之搬運平台3、分離供給部26、第1測定部27a、第2測定部27b、不良工件排出部28、良品工件排出部29、範本平台30x、及移載部30t進行控制。
另，搬運平台23是間歇性旋轉而搬運工件 W2，故在從分離供給部26至良品工件排出部29為止之搬運平台23的一面側，形成有未圖示之平台外罩，用來防止當間歇性旋轉時因作用於工件W2的振動而使得工件W2朝搬運平台23的外側飛出。
圖37揭示從圖36中箭頭M方向觀察工件測定裝置21時之平面圖。但，為求簡略，圖37中並未記載第1測定部27a、第2測定部27b、不良工件排出部28、良品工件排出部29。上述線性進料器25藉由振動而將工件W2以1列狀態朝向搬運平台23的一面搬運之方向，係為圖37中的箭頭B2方向。
此外，測定系統確認部30中的範本平台30x位於搬運平台23的一面側，如圖36所示，在移載部30t與搬運平台23重疊。然後，如後述般，工件收納孔24與工件收納孔31各自之開口部，在移載部30t相向。此外，測定系統確認部30中，在範本平台30x中與搬運平台23相反側，配置有平台外罩30b，其內建移載部30t之功能，且用來防止範本平台30x的間歇性旋轉所伴隨之振動使得範本工件W2s從範本平台30x飛出。
圖36中的測定系統確認部30附近，亦即單點鏈線區域P2之放大圖如圖38所示。但，為求簡略，圖38中未記載平台外罩30b。
移載部10t中，搬運平台23的工件收納孔24與範本平台30x的工件收納孔31，其各自之開口部係相向。該開口部相向之狀態下的工件收納孔24與工件收納 孔31，於圖38中記載為工件收納孔24t及工件收納孔31t。在工件收納孔24及工件收納孔31，收納著圖39及圖40所示之形狀的工件W2及範本工件W2s。此處，範本工件W2s係為與工件W2相同，且其特性亦即圖36所示之第1測定部27a、第2測定部27b的各自之測定結果為已知之工件。
具體而言，是利用與第1測定部27a、第2測定部27b中所使用之測量儀器相同且校正完畢之測量儀器，對範本工件W2s預先實施與第1測定部27a、第2測定部27b的測定項目相同之測定，並將其測定結果(基準特性)預先記憶於控制部32內之記憶部32a。該範本工件W2s的基準特性，可藉由控制部32之控制而從記憶部32a讀出。
又，控制部32具有：比較部32b，當採取範本測定模式時，將範本工件W2s的基準特性與工件W2的測定結果予以比較；及警報部32c，藉由比較部32b比較之結果，當兩者之差異超出規定值時，發出警報。又，控制部32具有：判定部32d，當採取通常測定模式時，依據第1測定部27a、第2測定部27b之測定結果，進行工件W2為良品或不良品之判定；及自動切換手段32f，切換控制部32的模式。
此處，利用圖39至圖41說明工件W2。圖39揭示工件W2之立體圖，而圖40(a)(b)(c)分別揭示由圖39中的箭頭C2、D2、E2方向觀察工件W2時之圖。又，圖 41揭示工件W2的電性電路圖。工件W2為電感器。
如圖39及圖40(a)(b)(c)所示，工件W2係由：藉由絕緣體而形成為6面體形狀之基體W2x、及在其長邊兩端藉由導電體而形成之電極W2a、W2b，所構成。又，電極W2a、W2b與工件W2的電性電路之對應如圖41所示。也就是說，在電極W2a、W2b之間形成有電感器L0，並將其周圍以絕緣體覆蓋以作為基體W2x。構成工件W2之6面體的各邊長度(圖40中a2、b2、c2)，在市售之製品中，長邊的長度a2為2mm~3mm左右、電極W2a及W2b的各邊長度b2及c2分別為1mm~2mm左右。
接著利用圖42及圖43，說明搬運平台23的工件收納孔24。圖42為工件收納孔24停止於圖36及圖37中的分離供給部26之狀態立體圖。
工件收納孔24係朝向鄰接配置於平台基座22上的搬運平台23之兩面開口，圖36及圖37所示之線性進料器25的終端部位於與該開口部相向之處，但在圖42中未圖示。在與該開口部相向之平台基座22內，於其壁面24w上形成有具有開口部24b之空氣通路26v。空氣通路26v係與設置於平台基座22內之真空發生源132連通。然後，藉由來自該真空發生源132的箭頭F26方向的真空吸引，在工件收納孔24的內部，吸引力會朝向壁面24w而作用。此外，搬運平台23係配置成極為鄰近平台基座22，故分離供給部26中，工件收納孔24的內部成 為略密閉狀態，上述吸引力會效率良好地作用。
接著，說明由這樣的構成所成之本實施形態的作用，亦即工件測定方法。
圖36中，工件W2一齊被投入未圖示之零件進料器。然後，其方向被整列成電極W2a及W2b會面向工件之行進方向亦即圖37所示之箭頭B2方向，而在線性進料器25上並排成1列。線性進料器25如上所述，藉由未圖示之驅動機構的作用而振動，藉由該振動，工件W2會在整列成上述方向的1列狀態下朝箭頭B2方向被搬運。然後，工件W2到達停止中的搬運平台23上與工件收納孔24的開口部相向的位置之後，藉由分離供給部26中未圖示之分離機構的作用而逐一被分離，藉由圖42所示箭頭F26方向的真空吸引，個別地收納於工件收納孔24。
像這樣，工件W2收納於工件收納孔24之情形，以立體圖揭示於圖43。此時，由於工件W2的方向在線性進料器25上係如上述般事先被整列，故工件W2在被收納於工件收納孔24的狀態下，其電極W2a及W2b會朝搬運平台23的兩面露出。另，圖43所示之工件W2，其電極W2b係面向平台基座22側，但也有工件W2是被收納成其電極W2a面向平台基座22側。
接著，搬運平台23朝圖36所示之箭頭A2方向間歇性旋轉，在分離供給部26被收納於工件收納孔24的工件W2會通過移載部30t，而在第1測定部27a停 止。然後，與作為測量儀器之LCR計連接而未圖示之探針，會與在搬運平台23的兩面露出之工件W2的電極W2a及W2b抵接，實施工件W2之電感值測定及Q值測定。接著，藉由搬運平台23的間歇性旋轉，工件W2到達並停止於第2測定部27b。然後，如同第1測定部27a般，與作為測量儀器之直流電阻計連接而未圖示之探針，會與在搬運平台23的兩面露出之工件W2的電極W2a及W2b抵接，實施工件W2之直流電阻值測定。
以上測定結束後，依據來自第1測定部27a、第2測定部27b的測定結果，控制部32會藉由判定部32d來判定工件W2為良品或不良品。然後，因應其判定結果，會藉由搬運平台23的間歇性旋轉，在不良工件排出部28或良品工件排出部29將工件收納孔24內的工件W2排出。在良品工件排出部29，所有的工件收納孔24都變為空的，藉由搬運平台23的間歇性旋轉而到達分離供給部26之空的工件收納孔24中，會再次收納工件W2，反覆上述相同之作用。以上即為工件測定裝置21中的通常測定模式。
工件測定裝置21中的範本測定模式之動作，與工件測定裝置1中的範本測定模式相同。也就是說，圖38中，將事先收納於範本平台30x的工件收納孔31之範本工件W2s，於移載部30t移載至搬運平台23的工件收納孔24，如圖36所示在第1測定部27a、第2測定部27b實施測定後，再次於移載部30t移載至範本平台30x 的工件收納孔31。此外，從通常測定模式轉移至範本測定模式，亦如同工件測定裝置1般是以程式來自動設定。
工件測定裝置21如同工件測定裝置1般，具有辨識搬運平台23的工件收納孔24及範本平台30x的工件收納孔31位置之功能。在搬運平台23上總共形成16個工件收納孔24，在範本平台30x上總共形成8個工件收納孔31。該些工件收納孔的數量與工件測定裝置1相同。圖44(a)(b)(c)揭示，針對各工件收納孔如同工件測定裝置1般記載了固定位置與孔編號之模型圖。
圖44(a)(b)(c)中，固定位置與孔編號的表記方法與工件測定裝置1的說明中所引用之圖8(a)(b)(c)相同，故省略詳細說明。
此處，搬運平台23的固定位置<1>，係被賦予在圖36中與分離供給部26相向之工件收納孔的位置，而移載部30t的固定位置在搬運平台23為(3)、在範本平台30x為[8]。
該些賦予方法與工件測定裝置1相同。此外，搬運平台23的間歇性旋轉方向A2及範本平台30x的間歇性旋轉方向X2，只要比較圖44(a)(b)(c)及圖8(a)(b)(c)便可知，仍然與工件測定裝置1相同。又，如圖44(c)所示，預先收納著範本工件a~d之範本平台30x的工件收納孔31的孔編號，也和工件測定裝置1相同。也就是說，工件測定裝置21中，在通常測定模式的動作及範本測定模式下將範本工件W2s於範本平台30x與搬運 平台23之間移載之手續，除了各平台中的工件收納孔形狀不同以外，與工件測定裝置1中的圖11(a)(b)(c)至圖27(a)(b)(c)完全相同。故，省略詳細說明。
圖45揭示從圖38中箭頭K2方向觀察移載部30t時之透視圖。圖45中，移載部30t從右至左依序並排配置平台基座22、搬運平台23、範本平台30x、平台外罩30b，每一者彼此具有極小的間隙。如上述般，搬運平台23的工件收納孔24t與範本平台30x的工件收納孔31t，其各自之開口部係相向。
此外，在平台基座22內，形成有與工件收納孔24t的開口部相向而開口之空氣通路30p2。同樣地，在平台外罩30b內，形成有與工件收納孔31t的開口部相向而開口之空氣通路30p1。又，在平台基座22內，形成有與工件收納孔24t的開口部相向而開口之感測器通路30s2。
在感測器通路30s2的右方之平台基座22內，配置有光感測器24L，其朝向工件收納孔24t內送出光，具有藉由是否檢測到反射光來偵測範本工件W2s是否已被移載至工件收納孔24t內之功能。
該光感測器24L，具有將第1實施形態中圖28(a)(b)至圖35(a)(b)所示之光感測器光源4La及光感測器4Lb整合為一者之功能，市售名稱為反射型光感測器或光反射器等。同樣地，在平台外罩30b內，形成有與工件收納孔31t的開口部相向而開口之感測器通路30s1。
在感測器通路30s1的左方之平台外罩30b內，配置有光感測器31L，其朝向工件收納孔31t內送出光，具有藉由是否檢測到反射光來偵測範本工件W2s是否已被移載至工件收納孔31t內之功能。
該光感測器31L，具有將第1實施形態中圖28(a)(b)至圖35(a)(b)所示之光感測器光源11La及光感測器11Lb整合為一者之功能。藉由該些光感測器24L及光感測器31L，構成移載偵測手段。移載部30t的放大立體圖如圖46所示。
如圖46所示，移載部30t中，形成於平台基座22的空氣通路30p2係與切換閥142a連通。切換閥142a具有選擇3種切換模式x1、x2、x3之功能。切換模式x1係選擇設置於平台基座22內的真空發生源132，此時空氣通30p2與真空發生源132連通，工件收納孔24t內會朝箭頭V302方向被真空吸引。此外，切換模式x2係選擇設置於平台基座22內的壓縮空氣發生源152，此時空氣通路30p2與壓縮空氣發生源152連通，壓縮空氣朝箭頭C302方向噴出至工件收納孔24t內。又，切換模式x3什麼也不選擇，空氣通路30p2不與任何處連通，工件收納孔24t內會保持大氣壓狀態。
同樣地，移載部10t中，形成於平台外罩30b的空氣通路30p1係與切換閥142b連通。然後，切換閥142b選擇切換模式x1、x2、x3，藉此，如同工件收納孔24t般，工件收納孔31t內會朝箭頭V301方向被真空吸 引、或是壓縮空氣朝箭頭C301方向噴出至工件收納孔31t內、或是工件收納孔31t內保持大氣壓狀態。
移載部30t中，範本工件W2s被收納於工件收納孔31t時之情形如圖47所示。切換閥142a選擇切換模式x3、切換閥142b選擇切換模式x1。因此，範本工件W2s朝箭頭V301方向被真空吸引，保持於工件收納孔31t。在此狀態下，當範本工件W2s移載至與工件收納孔31t相向之工件收納孔24t，則範本工件W2s的方向便會與圖43所示之工件W2的方向一致。
利用圖48(a)(b)至圖51(a)(b)，來說明確認移載部30t中的範本工件W2s被移載之手續及移載完畢的方法。其原理與工件測定裝置1中的圖28(a)(b)至圖35(a)(b)相同，故大幅簡略進行說明。圖48(a)為與圖45相對應之透視圖，圖47為其立體圖。圖48(a)中，切換閥142a選擇切換模式x3、切換閥142b選擇切換模式x1。
如圖48(a)所示，工件收納孔24t內保持大氣壓，工件收納孔31t內朝箭頭V301方向被真空吸引。亦即，圖48(a)中範本工件W2s(a)被收納於工件收納孔31t內，而位於與工件收納孔31t相向的平台外罩30b內形成之感測器通路30s1最接近處。因此，從光感測器31L通過感測器通路30s1朝向工件收納孔31t內送出的光會被範本工件W2s反射，其反射光L31通過感測器通路30s1而到達光感測器31L並被檢測到。
另一方面，從配置於平台基座22內的光感測 器24L通過感測器通路30s2朝向工件收納孔31t內送出的光，會因為範本工件W2s遠離感測器通路30s2，故在到達範本工件W2s前即衰減。
故，不存在被範本工件W2s反射的光，光感測器24L不會檢測到任何東西。在此情形下，便可得知範本工件W2s被收納於範本平台30x。此一關係如圖48(b)所示。
自圖48(a)(b)之狀態，將範本工件W2s(a)從範本平台30x移載至搬運平台23之情形，如圖49(a)(b)所示。
圖49(a)中，切換閥142a選擇切換模式x1，空氣通路30p2與真空發生源132連通而朝箭頭V302方向進行真空吸引。同時，切換閥142b選擇切換模式x2，空氣通路30p1與壓縮空氣發生源152連通而朝箭頭C301方向噴出壓縮空氣。因此，範本工件W2s開始朝箭頭H2方向移動，圖49(a)中為從範本平台30x朝搬運平台23移動中之狀態。
如圖49(a)所示，範本工件W2s係遠離感測器通路30s1及30s2任一者，故從光感測器31L通過感測器通路30s1朝向工件收納孔31t內送出的光及從光感測器24L通過感測器通路30s2朝向工件收納孔24t內送出的光，均會在到達範本工件W2s前即衰減。因此，不存在被範本工件W2s反射的光，光感測器31L及24L不會檢測到任何東西。此一關係如圖49(b)所示。自該狀態再經過一段時間，範本工件W2s被移載至搬運平台23之狀 態，如圖50(a)所示。
如圖50(a)所示，範本工件W2s被收納於工件收納孔24t內，而位於與工件收納孔24t相向的平台基座22內形成之感測器通路30s2最接近處。故，光感測器31L及24L之檢測狀況會與圖48(b)之情形相反，成為如圖50(b)般。
也就是說，移載部30t中，只要持續將光感測器31L及24L是否檢測到反射光之資訊傳輸至圖36所示之控制部32，那麼當該些資訊從圖48(b)經圖49(b)而變化成圖50(b)之狀態時，控制部32便能判斷範本工件W2s已從範本平台30x被移載至搬運平台23。同樣地，將範本工件W2s從搬運平台23移載至範本平台30x時，會從圖50(a)(b)的狀態經圖51(a)(b)的狀態而變化成圖48(a)(b)的狀態。
圖51(a)中，切換閥142a選擇切換模式x2，空氣通路30p2與壓縮空氣發生源152連通而朝箭頭C302方向噴出壓縮空氣。同時，切換閥142b選擇切換模式x1，空氣通路30p1與真空發生源132連通而朝箭頭V301方向進行真空吸引。因此，範本工件W2s開始朝箭頭J2方向移動，圖51(a)中為從搬運平台23朝範本平台30x移動中之狀態。此時，範本工件W2s相對於光感測器31L及24L之位置與圖49(a)(b)所示狀態相同，故各光感測器的反射光檢測會如圖51(b)般。
也就是說，移載部30t中，只要持續將光感測 器31L及24L是否檢測到反射光之資訊傳輸至圖36所示之控制部32，那麼當該些資訊從圖50(b)經圖51(b)而變化成圖48(b)之狀態時，控制部32便能判斷範本工件W2s已從搬運平台23被移載至範本平台30x。
如上所述，圖36所示之工件測定裝置21中，亦如同圖1所示之工件測定裝置1般可進行範本測定模式之動作，並將其測定結果與事先記憶在控制部32內的記憶部之各範本工件的已知測定結果比較。然後，針對雙方的測定結果差異已偏離事先訂定之規格值的測定部，會如同上述工件測定裝置1般發出警報通知作業者。
第3實施形態
接著，利用圖52至圖66，說明本發明之第3實施形態。
圖52揭示運用了本發明之工件測定裝置41的平面圖。此外，圖53揭示從箭頭N方向觀察圖52時之正面圖。
但，為求簡略，圖53中除了圖52的主要部分以外並未表記。工件測定裝置41，具有水平的搬運平台43以作為搬運體，而在搬運平台43的一面側，設有相對於搬運平台43進退自如的搬運噴嘴44以作為保持部。圖52及圖53中，圓形的搬運平台43係配置成遠離水平配置之平台基座42的上方，受到中心軸即支柱43a支撐而旋轉自如，以作為搬運體。
搬運平台43藉由未圖示之驅動機構的作用，在支柱43a的周圍如圖52所示朝箭頭A3方向間歇性旋轉。與搬運平台43的外緣部鄰近，且面向平台基座42的一面側上，配置有複數個搬運噴嘴44。如圖53所示，搬運噴嘴44藉由未圖示之驅動機構的作用，相對於搬運平台43的一面，係在箭頭Q及箭頭R方向進退自如。圖53中揭示所有的搬運噴嘴44皆位於上限位置之狀態。搬運平台43會在搬運噴嘴44位於該上限位置之狀態下間歇性旋轉。後述作為被測定工件之工件W3及與工件W3相同之範本工件W3s，係在搬運噴嘴44的下端被個別地保持並搬運。
如圖52所示，在平台基座42上，朝向搬運平台43的外緣部正下方，配置有直線形狀的線性進料器5。線性進料器5藉由未圖示之驅動機構的作用而振動，藉由該振動而具有將工件W3以1列狀態朝箭頭B3方向搬運之功能。線性進料器5的終端部在搬運平台43的外緣部正下方，而位於平台基座42的上面。然後，自該位置起算，在略微靠近搬運平台43的支柱43a，且在搬運噴嘴44的正下方之位置，配置有分離供給台46，將線性進料器5上的工件W3逐一分離並個別地供給至搬運噴嘴44，以作為分離供給手段。
從該分離供給台46沿著搬運平台43的間歇性旋轉方向亦即箭頭A3方向，如同工件測定裝置1般，依序配置有：作為測定手段之第1測定部47a、第2測定 部47b、第3測定部47c，進行工件W3的各種特性測定；作為排出手段之不良工件排出部48，依據測定結果將判定為不良的工件W3從搬運噴嘴44排出；作為排出手段之良品工件排出部49，依據測定結果將判定為良品的工件W3從搬運噴嘴44排出。
又，沿著搬運平台43的間歇性旋轉方向亦即箭頭A3方向，在分離供給台46與第1測定部47a之間的平台基座42的上面，配置有範本平台10x以作為範本工件供給手段，且在範本平台10x與搬運平台43之間，配置有移載部50t以作為進行範本工件W3s移載之移載位置。範本平台10x與第1實施形態中說明者為相同形狀。此外，移載部50t中，範本平台10x的工件收納孔11配置於搬運噴嘴44的正下方之位置。此外，配置有控制部52，用來對構成工件測定裝置41之搬運平台43、分離供給部46、第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47c、不良工件排出部48、良品工件排出部49、範本平台10x、及移載部50t的動作進行控制。
又，控制部52具有：比較部52b，當採取範本測定模式時，將範本工件W3s的基準特性與工件W3的測定結果予以比較；及警報部52c，藉由比較部52b比較之結果，當兩者之差異超出規定值時，發出警報。又，控制部52具有：判定部52d，當採取通常測定模式時，依據第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47c之測定結果，進行工件W3為良品或不良品之判定；及自動 切換手段52f，切換控制部52的模式。
在此，說明工件W3。圖54揭示工件W3之立體圖，而圖55(a)(b)(c)分別揭示由圖54中的箭頭C3、D3、E3方向觀察工件W3時之圖。工件W3為發光二極體(LED)。如圖54及圖55所示，工件W3與圖3及圖4所示之工件W1具有類似形狀。也就是說，工件W3是藉由絕緣體而形成為6面體形狀，在其中1面即面W3f4有被透明樹脂覆蓋之發光面W3L形成為略平面狀，而在與面W3f4鄰接且彼此相向之2面即面W3f2及面W3f3，分別有由導電體所構成之電極W3a、W3b突出。又，電極W3a、W3b與工件W3的電性電路之對應與圖5相同。
也就是說，電極W3a為陽極、電極W3b為陰極，從直流電壓源對工件W3供給預先規定之直流電壓，使得電極W3a成為比電極W3b還高的電位，則發光面W3L便會發光。像這樣，電極W3a和電極W3b有方向性，故從外部觀察工件W3時，必須識別其方向。為了此一目的，在面W3f1上接近電極W3b側的角部印刷有陰極標記W3m，以表示電極W3b為陰極。構成工件W3之6面體的各邊長度(圖55中a3、b3、c3)，在市售之製品中，印刷有陰極標記W3m的面W3f1的各邊長度a3、b3為5mm~7mm左右，電極W3a、W3b突出的面W3f2及面W3f3的短邊長度c3為2mm左右。
如圖54及圖55所示，工件W3與圖3及圖4所示之工件W1不同，構成它的6面當中面積最廣的面 W3f1並不具有發光面，故如後述般，能夠藉由搬運噴嘴44來吸附並搬運面W3f1。
工件測定裝置41如同工件測定裝置1般，具有辨識搬運平台43的搬運噴嘴44及範本平台10x的工件收納孔11位置之功能。此處，搬運平台43係配置了搬運噴嘴44來取代工件測定裝置1中的搬運平台3的工件收納孔4，故將搬運平台3的說明中所使用之孔編號換成噴嘴編號來說明。在搬運平台43上總共配置16個搬運噴嘴44，在範本平台10x上總共形成8個工件收納孔11。該些搬運噴嘴及工件收納孔的數量與工件測定裝置1相同。圖56揭示，針對各搬運噴嘴及工件收納孔如同工件測定裝置1般記載了固定位置與搬運噴嘴或孔編號之模型圖。固定位置與噴嘴編號或孔編號的表記方法與工件測定裝置1的說明中所引用之圖8相同，故省略詳細說明。
此處，搬運平台43的固定位置<1>，係被賦予在圖52中配置於分離供給部46正上方之搬運噴嘴的位置，而移載部50t的固定位置在搬運平台43為(3)、在範本平台10x為[8]。該些賦予方法與工件測定裝置1相同。
此外，搬運平台43的間歇性旋轉方向A3及範本平台10x的間歇性旋轉方向X3，只要比較圖56及圖8便可知，仍然與工件測定裝置1相同。又，預先收納著範本工件a~d之範本平台10x的工件收納孔11的孔編號，也和工件測定裝置1相同。也就是說，工件測定裝置 41中，在通常測定模式的動作及範本測定模式下將範本工件W3s於範本平台10x與搬運平台43之間移載之手續，除了搬運平台43具有搬運噴嘴來取代工件收納孔以外，與工件測定裝置1中的圖11至圖27完全相同。故，省略詳細說明。
接著，以下說明具有這樣的構成之工件測定裝置41的作用，亦即工件測定方法。圖52中，工件W3一齊被投入未圖示之零件進料器。
接著，藉由未圖示之方向偵測機構的作用，其方向會被整列成為圖54所示之發光面W3L面向與工件的行進方向即圖52所示之箭頭B3方向的相反方向，而在線性進料器5上排成1列。圖52中，藉由線性進料器5的作用而朝箭頭B3方向以一列狀態被搬運的工件W3，當到達該終端部，便會藉由未圖示之分離供給機構的作用，在圖56中朝箭頭G3方向向著分離供給台46被個別移載。當工件W3被移載至分離供給台46上，那麼圖53中停止在分離供給台46正上方的上限位置，且下端未保持工件W3之搬運噴嘴44便會朝箭頭Q方向下降。然後，如圖57所示，搬運噴嘴44的下端與分離供給台46上載置之工件W3的面W3f1抵接，在此狀態下停止。
在此情形下，在搬運噴嘴44的內部形成空氣通路44a，而在搬運噴嘴44的下端，開口部44b係開口。然後，空氣通路44a如圖53所示經由搬運平台43及中心軸43a到達平台基座42內，與配置於該處之切換閥 16a連通。
切換閥16a具有選擇2種切換模式y1、y3之功能。切換模式y1係選擇設置於平台基座42內的真空發生源133a，此時空氣通路44b與真空發生源133a連通，朝箭頭F44方向被真空吸引。
另一方面，切換模式y3什麼也不選擇，空氣通路44b不與任何處連通，會保持大氣壓狀態。搬運噴嘴44由圖53中停止在分離供給台46正上方的上限位置之狀態朝箭頭Q方向下降，如圖57所示，在其下端與工件W3的面W3f1抵接為止的期間，切換閥16a係選擇切換模式y3。
也就是說，空氣通路44b為大氣壓的狀態。然後，當搬運噴嘴44的下端與工件W3的面W3f1抵接並停止，切換閥16a便選擇切換模式y1。此時，空氣通路44b與真空發生源133a連通，朝箭頭F44方向被真空吸引，故工件W3會被吸附並保持在搬運噴嘴44的下端。此時，圖57所示之工件W3，其方向係如上述般在線性進料器5上整列，故箭頭S方向會與圖56中的箭頭G3方向一致。也就是說，工件W3會以發光面W3L面向搬運平台43外側的方式被保持於搬運噴嘴44。
接著，搬運噴嘴44持續保持工件W3，朝圖53中箭頭R方向上昇而停止在上限位置。然後，搬運平台43朝圖52中箭頭A3方向間歇性旋轉，搬運工件W3。
然後，工件W3通過移載部50t，停止在第1測定部47a。然後，搬運噴嘴44朝圖53所示之箭頭Q方向下降，工件W3被載置於平台基座42上配置之未圖示的測定台上。然後，如同工件測定裝置1的第1測定部7a般，使用未圖示之直流電源及波長計，實施工件W3之波長測定。在此測定期間，工件W3會維持被搬運噴嘴44吸附保持之狀態。當測定結束，搬運噴嘴44持續保持工件W3，朝圖53中箭頭R方向上昇而停止在上限位置。然後，搬運平台43朝圖52中箭頭A3方向間歇性旋轉，搬運工件W3。然後，工件W3如同第1測定部47a般，依序停止在第2測定部47b、第3測定部47c，反覆進行搬運噴嘴44的下降、在各測定部中測定測定項目、搬運噴嘴44的上昇。
此處，與第2測定部47b、第3測定部47c相對應之測定項目，與第1實施形態中工件測定裝置1的第2測定部7b、第3測定部7c中的測定項目相同。故，省略詳細說明。
以上測定結束後，依據來自第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47c的測定結果，控制部52會藉由判定部52d來判定工件W3為良品或不良品。然後，因應其判定結果，會藉由搬運平台43的間歇性旋轉，在不良工件排出部48或良品工件排出部49將被搬運噴嘴44吸附保持之工件W3排出。
排出時，各工件排出部48、49中，圖57所 示之切換閥16a會選擇切換模式y3，使空氣通路44a成為大氣壓，藉此，將工件W3從搬運噴嘴44的下端藉由重力造成之自然落下，而引導至未圖示之排出口。
圖52中，在良品工件排出部49以降，所有的搬運噴嘴44的下端均成為未保持任何東西之狀態，藉由搬運平台43的間歇性旋轉而到達分離供給台46正上方位置之搬運噴嘴44上，工件W3會再度被吸附保持，反覆與上述相同之作用。以上一連串之作用為通常測定模式，皆是依據控制部52之控制而執行。
接著，說明範本測定模式。如上述般，工件測定裝置41中，搬運平台43的搬運噴嘴44及範本平台10x的工件收納孔11之位置辨識功能係與工件測定裝置1相同。
此外，範本測定模式中，將範本工件W3s在範本平台10x與搬運平台43之間移載的手續，也與工件測定裝置1相同。故，此處僅說明移載部50t中的移載方法與移載偵測手段。
圖58以立體圖揭示範本工件W3s被收納於範本平台10x的工件收納孔11之情形。移載部50t中，工件收納孔11的上側係開放。此外，範本工件W3s，係以其發光面W3L面向範本平台10x的外緣側，且面W3f1面向上側的方式，被收納於工件收納孔11內。
也就是說，圖52中，移載部50t中的範本工件W3s的發光面W3L，係面向箭頭T方向。移載部50t 中，工件收納孔11內，如同圖10所示之工件測定裝置1的範本平台10x的情形般，係經由空氣通路50v而與切換閥16b連通。切換閥16b具有選擇2種切換模式y1、y3之功能。
其中，切換模式y1係選擇設置於平台基座42內的真空發生源133b，此時空氣通路50v與真空發生源133b連通，工件收納孔11內會朝箭頭F50方向被真空吸引。另一方面，切換模式y3什麼也不選擇，空氣通路50v不與任何處連通，工件收納孔11內會保持大氣壓狀態。
利用移載部50t的模型圖亦即圖59(a)(b)至圖66(a)(b)，說明範本測定模式中，將範本工件W3s在工件收納孔11與搬運噴嘴44之間移載的方法以及確認移載完畢的方法。圖59(a)揭示搬運噴嘴44停止在收納著範本工件W3s的工件收納孔11正上方之上限位置的狀態。
如圖59(a)所示，切換閥16a選擇切換模式y3，搬運噴嘴44的空氣通路44a成為大氣壓。此處，在空氣通路44a，於到達切換閥16a的途中，形成有從空氣通路本體44x分歧之空氣通路分歧部44y。
然後，在空氣通路分歧部44y的終端部配置有真空感測器44s2。真空感測器44s2，具有檢測空氣通路44a內已成為真空之功能。圖59(a)(b)中，空氣通路44a為大氣壓，故真空感測器44s2為非檢測狀態。此處，簡單說明用來實現搬運噴嘴44的上昇及下降之機構。
圖59(a)(b)至圖66(a)(b)記載之氣缸44c係為下述機構，即，從未圖示之空氣源對壓缸管(cylinder tube)44t內使空氣出入，藉此使活塞44p在壓缸管44t內往復運動，並藉由與活塞44p連接之活塞桿44r的作用，進行搬運噴嘴的上昇及下降。圖59(a)(b)至圖66(a)(b)中，為求簡略，活塞桿44r的移動方向與搬運噴嘴44的移動方向係記載成相同。此外，在氣缸44c，配置有檢測活塞44p的位置之氣缸感測器44s1。
氣缸感測器44s1，當檢測到搬運噴嘴44位於圖53所示之上限位置時所相對應之活塞44p的位置，便發出上限檢測訊號NU。而如圖57所示，當檢測到搬運噴嘴44位於與範本工件W3s的面W3f1抵接之位置時所相對應之活塞44的位置，便發出下限檢測訊號ND。藉由氣缸感測器44s1與真空感測器44s2，構成移載偵測手段。
另，圖59(a)中搬運噴嘴44位於上限位置，故氣缸感測器44s1發出上限檢測訊號NU。此時，各感測器的狀態與範本工件的位置如圖59(b)所示。此外，圖59(a)中，切換閥16b係選擇切換模式y1。如此一來，範本工件Ws3會藉由上述真空吸引的作用而被保持於工件收納孔11內。
接著，如圖60(a)所示，空氣注入壓缸管44t內，活塞44p朝箭頭Q0方向移動。如此一來，搬運噴嘴44會朝箭頭Q方向(與圖53中的箭頭Q對應)下降。此時，氣缸感測器44s1成為非檢測狀態。然後，真空感測 器44s2亦持續為非檢測狀態。此一關係如圖60(b)所示。
自此狀態經過一段時間後，如圖61(a)所示，搬運噴嘴44與範本工件W3s的面W3f1抵接，氣缸感測器44s1發出下限檢測訊號ND。此一關係如圖61(b)所示。
接著，如圖62(a)所示，切換閥16a選擇切換模式y1，空氣通路44a與真空發生源133a連通而朝箭頭F44方向被真空吸引，故工件W3會被吸附並保持於搬運噴嘴44的下端。因此，空氣通路44a內成為真空，真空感測器44s2檢測到真空。此一關係如圖62(b)所示。接著，如圖63(a)所示，壓缸管44t內的空氣被排出，活塞44p朝箭頭R0方向移動。如此一來，搬運噴嘴44會在吸附保持範本工件W3s的狀態下朝箭頭R方向(與圖53中的箭頭R對應)上昇。此時，氣缸感測器44s1成為非檢測狀態。然後，真空感測器44s2持續為檢測狀態。此一關係如圖63(b)所示。自此狀態經過一段時間後，如圖64(a)所示，搬運噴嘴44到達上限位置，氣缸感測器44s1發出上限檢測訊號NU。此一關係如圖64(b)所示。
在此狀態下，範本工件W3s從範本平台10x被移載至搬運平台43。也就是說，移載部50t中，只要持續將氣缸感測器44s1檢測到上限檢測訊號NU或下限檢測訊號ND之資訊以及真空感測器44s2是否檢測到真空之資訊傳輸至圖52所示之控制部52，那麼當該些資訊從圖59(b)經圖60(b)至圖63(b)而變化成圖64(b)的狀態時， 控制部52便能判斷範本工件W3s已從範本平台10x被移載至搬運平台43。
另，如上述般，圖52中，移載部50t中的範本工件W3s的發光面W3L係面向箭頭T方向，故被移載至搬運平台43之範本工件W3s的各面的方向，會與被測定工件即工件W3相同。
當藉由以上手續而範本工件a~d被保持於搬運噴嘴44，那麼範本工件會依序到達並停止在圖52所示之第1測定部47a、第2測定部47b、第3測定部47c。然後，在各個測定部，對各範本工件a~d實施如同對被測定工件即工件W3之波長測定、輝度測定、全光束測定。其後，各範本工件在移載部50t中會從搬運平台43被移載至範本平台10x。圖64揭示測定結束之範本工件W3s已到達移載部50t時之情形。
自此狀態，如圖65(a)所示，空氣注入壓缸管44t內，活塞44p朝箭頭Q0方向移動。如此一來，搬運噴嘴44會朝箭頭Q方向(與圖53中的箭頭Q對應)下降。此時，氣缸感測器44s1成為非檢測狀態。然後，真空感測器44s2持續為檢測狀態。此一關係如圖65(b)所示。
自此狀態經過一段時間後，如圖62(a)所示，被保持於搬運噴嘴44的範本工件W3s，會被載置於範本平台10x的工件收納孔11內。然後，氣缸感測器44s1發出下限檢測訊號ND。此一關係如圖62(b)所示。
接著，如圖61(a)所示，切換閥16a選擇切換模式y3，空氣通路44a變成不與任何處連通，故工件W3不會被吸附於搬運噴嘴44的下端。此時，空氣通路44a內成為大氣壓，真空感測器44s2成為非檢測。此一關係如圖61(b)所示。
接著，如圖66(a)所示，壓缸管44t內的空氣被排出，活塞44p朝箭頭R0方向移動。如此一來，搬運噴嘴44會遠離範本工件W3s而朝箭頭R方向(與圖53中的箭頭R對應)上昇。此時，氣缸感測器44s1成為非檢測狀態。然後，真空感測器44s2持續為非檢測狀態。此一關係如圖66(b)所示。
其後，搬運噴嘴到達並停止在圖53所示之上限位置。該情形如上述圖59(a)所示。然後，如圖59(b)所示，氣缸感測器44s1發出上限檢測訊號NU，真空感測器44s2為非檢測。也就是說，移載部50t中，只要持續將氣缸感測器44s1及真空感測器44s2的檢測資訊傳輸至圖52所示之控制部52，那麼當該些資訊依序變化成圖64(b)、圖65(b)、圖62(b)、圖61(b)、圖66(b)、圖59(b)時，控制部52便能判斷範本工件W3s已從搬運平台43被移載至範本平台10x。
如上所述，圖52所示之工件測定裝置41中，亦如同圖1所示之工件測定裝置1般可進行範本測定模式之動作，並將其測定結果與事先記憶在控制部52內的記憶部之各範本工件的已知測定結果比較。然後，針對 雙方的測定結果差異已偏離事先訂定之規格值的測定部，會如同上述工件測定裝置1般發出警報通知作業者。
另，各實施形態中，係示例將測定部的數量做成3處或2處，但測定部的數量並不限定於該些。此外，針對各測定部中的測定項目，亦不限定於以上說明之項目。
再者，上述各實施形態中，搬運平台係水平或垂直設置，但並不限於此，亦可將搬運平台傾斜設置。
此外，上述各實施形態中，係示例為了確認測定精度而應進行範本工件的資料取得之時間點，亦即模式切換，是藉由程式之自動切換手段來執行，但並不限於此，亦可利用作業者的手動操作，例如按鈕開關等手動切換手段，來執行應進行範本工件的資料取得之時間點，亦即模式切換。
此外，上述各實施形態中，各者均是使用在中心軸的周圍間歇性旋轉之圓形的搬運平台來作為搬運體，但搬運體的形狀並不限定於這樣的搬運平台。舉例來說，作為搬運體，亦可將把個別收納工件之複數個凹部配置於長邊方向而成之無端輸送帶，藉由間歇地移動而使其於該長邊方向環繞。
此外，上述各實施形態中，各者均是使用在中心軸的周圍間歇性旋轉之圓形的範本平台來作為範本工件供給手段，但範本工件供給手段的形狀，凡是能與搬運體之間相互移載範本工件，且能設置移載偵測手段，則並 不限定於這樣的圓形平台。
1‧‧‧工件測定裝置
2‧‧‧平台基座
3‧‧‧搬運平台
3a‧‧‧中心軸
4‧‧‧工件收納孔
5‧‧‧線性進料器
6‧‧‧分離供給部
7a‧‧‧第1測定部
7b‧‧‧第2測定部
7c‧‧‧第3測定部
8‧‧‧不良工件排出部
9‧‧‧良品工件排出部
10‧‧‧測定系統確認部
10x‧‧‧範本平台
10xa‧‧‧中心軸
10t‧‧‧移載部
11‧‧‧工件收納孔
12‧‧‧控制部
12a‧‧‧記憶部
12b‧‧‧比較部
12c‧‧‧警報部
12d‧‧‧判定部
12e‧‧‧計時器
12f‧‧‧自動切換手段

Claims (22)

  1. 一種工件測定裝置，其特徵為，具備：搬運體，設置成旋轉自如，具有保持工件或範本工件的複數個保持部；分離供給手段，將工件個別分離並供給至搬運體的保持部；測定手段，配置於分離供給手段的下游側，測定保持於搬運體的保持部之工件或範本工件的特性；及排出手段，配置於測定手段的下游側，將保持於搬運體的保持部之工件排出；在分離供給手段與測定手段之間設置範本工件供給手段，該範本工件供給手段係將預先訂定好基準特性之範本工件供給至搬運體的保持部，且具有收納範本工件之複數個保管部，設置控制裝置，該控制裝置係控制搬運體、分離供給手段、測定手段、排出手段、範本工件供給手段，當控制裝置採取通常測定模式時，將從分離供給手段被供給至搬運體的保持部之工件藉由測定手段測定後，再從排出手段排出，而當採取範本測定模式時，將從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部之範本工件藉由測定手段測定後，不從排出手段排出而是送回範本工件供給手段的保管部。
  2. 如申請專利範圍第1項之工件測定裝置，其中，從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部之 範本工件，是藉由測定手段被測定後，被送回範本工件供給手段的原先的保管部。
  3. 如申請專利範圍第1項之工件測定裝置，其中，控制裝置具有：比較部，將藉由測定手段而被測定之範本工件的測定結果，與預先內建之範本工件的基準特性做比較並求出其差異；及警報部，與比較部連接，當測定結果與範本工件的基準特性之差異超出規定值時，發出警報。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項任一項之工件測定裝置，其中，範本工件供給手段具有：移載偵測手段，分別偵測範本工件已從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部內，及偵測範本工件已被送回範本工件供給手段的保管部。
  5. 如申請專利範圍第1項至第3項任一項之工件測定裝置，其中，控制裝置具有：自動切換手段，自動地切換通常測定模式與範本測定模式。
  6. 如申請專利範圍第1項至第3項任一項之工件測定裝置，其中，控制裝置具有：手動切換手段，以手動切換通常測定模式與範本測定模式。
  7. 如申請專利範圍第6項之工件測定裝置，其中，手動切換手段具有按鈕開關。
  8. 如申請專利範圍第1項至第3項任一項之工件測定裝置，其中，搬運體具有圓形的搬運平台。
  9. 如申請專利範圍第8項之工件測定裝置，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的外緣，且由朝向外側開口 之凹部所構成。
  10. 如申請專利範圍第8項之工件測定裝置，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的外緣附近，且由貫穿搬運平台之貫通孔所構成。
  11. 如申請專利範圍第8項之工件測定裝置，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的一方之面，且由相對於該一方之面進退之搬運噴嘴所構成。
  12. 一種工件測定方法，係利用了工件測定裝置之工件測定方法，該工件測定裝置具備：搬運體，設置成旋轉自如，具有保持工件或範本工件的複數個保持部；分離供給手段，將工件個別分離並供給至搬運體的保持部；測定手段，配置於分離供給手段的下游側，測定保持於搬運體的保持部之工件或範本工件的特性；及排出手段，配置於測定手段的下游側，將保持於搬運體的保持部之工件排出；在分離供給手段與測定手段之間設置範本工件供給手段，該範本工件供給手段係將預先訂定好基準特性之範本工件供給至搬運體的保持部，且具有收納範本工件之複數個保管部，設置控制裝置，該控制裝置係控制搬運體、分離供給手段、測定手段、排出手段、範本工件供給手段，該工件測定方法，其特徵為，具備： 控制裝置採取通常測定模式，將從分離供給手段被供給至搬運體的保持部之工件藉由測定手段測定後，再從排出手段排出之工程；及控制裝置採取範本測定模式，將從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部之範本工件藉由測定手段測定後，不從排出手段排出而是收回範本工件供給手段的保管部之工程。
  13. 如申請專利範圍第12項之工件測定方法，其中，從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部之範本工件，是藉由測定手段被測定後，被送回範本工件供給手段的原先的保管部。
  14. 如申請專利範圍第12項之工件測定方法，其中，控制裝置具有：比較部，將藉由測定手段而被測定之範本工件的測定結果，與預先內建之範本工件的基準特性做比較並求出其差異；及警報部，與比較部連接，當測定結果與範本工件的基準特性之差異超出規定值時，發出警報。
  15. 如申請專利範圍第13項或第14項之工件測定方法，其中，範本工件供給手段具有：移載偵測手段，分別偵測範本工件已從範本工件供給手段的保管部被供給至搬運體的保持部內，及偵測範本工件已被送回範本工件供給手段的保管部。
  16. 如申請專利範圍第12項至第14項任一項之工件測定方法，其中，控制裝置具有：自動切換手段，自動地 切換通常測定模式與範本測定模式。
  17. 如申請專利範圍第12項至第14項任一項之工件測定方法，其中，控制裝置具有：手動切換手段，以手動切換通常測定模式與範本測定模式。
  18. 如申請專利範圍第17項之工件測定方法，其中，手動切換手段具有按鈕開關。
  19. 如申請專利範圍第12項至第14項任一項之工件測定方法，其中，搬運體具有圓形的搬運平台。
  20. 如申請專利範圍第17項之工件測定方法，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的外緣，且由朝向外側開口之凹部所構成。
  21. 如申請專利範圍第19項之工件測定方法，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的外緣附近，且由貫穿搬運平台之貫通孔所構成。
  22. 如申請專利範圍第19項之工件測定方法，其中，搬運體的保持部設於搬運平台的一方之面，且由相對於該一方之面進退之搬運噴嘴所構成。
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