TW201329471A - 基板檢查裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種由一台檢查裝置就能夠應對各種檢查要求的基板檢查裝置。其中基板檢查裝置的檢查主體部具備：將被檢查基板從送入側輸送至送出側的輸送區域；以及配置有用於對被檢查基板進行既定檢查的檢查夾具的檢查區域，更具備：第一輸送裝置，其配置於輸送區域，並將被檢查基板從送入側輸送至送出側；以及第二輸送裝置，其以沿著與該第一輸送裝置的輸送方向垂直的方向輸送被檢查基板的方式被配置，並用於在第一輸送裝置的既定位置與檢查區域內的配置有檢查夾具的位置之間輸送被檢查基板，其中，該第二輸送裝置具備保持被檢查基板的把持裝置。

Description

基板檢查裝置

本發明涉及對預先設定在檢查對象物上的檢查點之間的電特性進行檢測，來進行檢查點之間的導通檢查、漏電檢查等的基板檢查裝置。

基板檢查裝置具備夾具和檢查裝置，該夾具上安裝有多個接觸件、探頭、探針、接觸銷等。檢查裝置藉由使夾具接近檢查對象物而使接觸件等的前端與檢查點接觸，並經由接觸件等從檢查裝置向檢查點供給電流或電信號，另一方面，從該檢查點檢測出電信號，藉此檢測出檢查點之間的電特性，來進行檢查點之間的是否適當導通、有無漏電等的檢查。

作為對象物，可以例舉出例如印刷電路基板、撓性基板、陶瓷多層電路基板、液晶顯示器或等電漿顯示器用的電極板、或半導體封裝用的封裝基板或薄膜載體(film carrier)等各種基板、或半導體晶圓或半導體晶片或CSP(chip size package：晶片尺寸封裝)等的半導體裝置(LSI(Large Scale Integration：大型積體電路)等)。

例如，在受檢物是基板且搭載在其上的物品是IC等半導體電路或電阻等電子/電氣零件的情況下，形成在基板上的配線或電極等成為檢查的對象物。在此情況下，為了保證作為檢查對象物的配線能夠正確地將電信號傳遞給它們，測量設置在基板上的檢查點之間的電阻值或漏電流等電特性，來判斷該配線是否良好，該基板是安裝電子/電氣零件之前的印刷電路基板、在液晶面板或等電漿顯示面板上形成有配線的電路基板。

在對象物是LSI的情況下，形成在LSI上的電子電路成為對象部，該電子電路的表面焊墊分別成為對象點。在此情況下，為了保證形成在LSI上的電子電路具有希望的電特性，測量檢查點之間的電特性，判斷該電子電路是否良好。

在基板檢查裝置中，使用輸送裝置將基板從送入裝置輸送至檢查裝置，並在檢查裝置中進行上述檢查，然後利用輸送裝置將檢查完的基板從檢查裝置輸送至分選存放部。在分選存放部中，根據檢查結果將基板分類至既定位置並儲存。在檢查裝置中，當基板被輸送過來時，藉由夾具移動機構使基板連接夾具的檢查用連接端子(接觸件、探頭、探針、接觸銷等)移動至被檢查基板的對象點並與對象點抵接來進行對象物的既定檢查，當檢查結束時，藉由夾具移動機構使該夾具從對象點移動至待命位置。在既定的對象點的檢查結束之前重複進行上述動作。

【習知技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特開2010-54228號公報 專利文獻1中公開了一種電路基板檢查裝置，其具備一對保持基板的保持部、基板的輸送機構和對接觸位置的偏差進行修正的檢查部。

專利文獻1的電路基板檢查裝置藉由具備對接觸位置的偏差進行修正的機構而提高了檢查精度。近年來，為了反映經濟狀況的低迷而降低檢查後的最終產品的價格，所以降低製造階段中的費用的要求正在提高。

為了響應這種要求，本發明其目的在於提供一種由一台檢查裝置就能夠應對各種檢查要求的基板檢查裝置。

本發明的目的在於提供一種基板檢查裝置，其藉由高速地進行基板檢查而能夠降低基板檢查裝置的運行成本。

本發明的目的在於提供一種基板檢查裝置，其藉由容易地進行夾具的組裝和維修而能夠降低基板檢查裝置的運行成本。

此外，本發明的目的在於提供一種基板檢查裝置，其藉由有效地控制檢查時的夾具的動作而能夠降低基板檢查裝置的運行成本。

在此，本發明涉及的基板檢查裝置的檢查主體部具備：輸送區域，其將被檢查基板從送入側輸送至送出側；以及檢查區域，其配置有用於對該被檢查基板進行既定檢查的檢查夾具，更包含：第一輸送裝置，其配置於該輸送區域，並將該被檢查基板從該送入側輸送至該送出側；以及第二輸送裝置，其被配置為沿著與該第一輸送裝置的輸送方向垂直的方向輸送該被檢查基板的方式，並用於在該第一輸送裝置的既定位置與該檢查區域內的配置有該檢查夾具的位置之間輸送該被檢查基板，其中，該第二輸送裝置具備保持該被檢查基板的把持裝置。

在上述的基板檢查裝置的檢查主體部中，該檢查夾具可以具備：具有探頭的夾具頭部、以及針對探頭進行信號切換的掃描塊。

在上述的基板檢查裝置的檢查主體部中，該第二輸送裝置的該把持裝置包含上側的固定部和下側的按壓部，藉由該下側的按壓部的轉動，能夠保持該被檢查基板或釋放該被檢查基板。

在上述的任一個的基板檢查裝置的檢查主體部中，該檢查主體部的該檢查夾具具備CCD照相機，藉由CCD照相機檢測出該被檢查基板上的既定標記，而能夠修正該檢查夾具在水平方向和垂直方向上的位置偏差和傾角偏差。

另外，本發明涉及的基板檢查裝置具備：送入部，其具備用於逐個地送入被檢查基板的輸送裝置；如申請專利範圍第1至4項中任一項的檢查主體部；以及分選存放部，其根據檢查結果對在該檢查主體部中檢查過的該被檢查基板進行分選並存放，其中，將該被檢查基板從該送入部供給至該檢查主體部的該送入側，更從該送出側輸送至該分選存放部。

在上述的基板檢查裝置中，該檢查主體部也可形成為長方體形狀的框體，更在該框體的一方的該送入側形成有與該送入部連通連接的入口部，在該框體的另一方的送出側形成有與該分選存放部連通連接的出口部，該第一輸送裝置被配置成將該被檢查基板從該入口部直線地輸送至該出口部，該第二輸送裝置從該第一輸送裝置的該既定位置垂直地配置，並使該被檢查基板在從該第一輸送裝置的既定位置到該檢查區域內的配置有該檢查夾具的位置之間往復移動。

在上述的基板檢查裝置中，該送入部可具備用於吸住並抬起該被檢查基板並放置於該輸送裝置上的吸引裝置。

在上述的任一個基板檢查裝置中，分選存放部可根據檢查結果，將被檢查基板分選為有可能斷線、有可能短路或沒有這些問題的基板來進行存放。

另外，本發明涉及的檢查基板並根據檢查結果來分選存放的方法的特徵在於包含：送入工序，將被檢查基板疊置並逐個地送入至檢查主體部；第一輸送工序，從該送入工序起至送出工序止將被送入的該被檢查基板直線狀地輸送；第二輸送工序，在該第一輸送工序中的輸送路徑的既定位置上，沿著與該輸送方向垂直的方向，將該被檢查基板輸送至檢查區域；對齊工序，在該檢查區域中，進行位於該檢查區域內的檢查夾具與該被檢查基板之間的位置的對齊；檢查和分選工序，在該檢查區域中，檢查該被檢查基板的電特性，並分選為有可能斷線、有可能短路或 沒有這些問題的被檢查基板；第三輸送工序，將該被檢查基板從該檢查區域輸送至該第一輸送工序的該輸送路徑的既定位置；送出工序，將該被檢查基板從該檢查區域送出；以及存放工序，根據該檢查和分選工序的結果，將從該送出工序送出的該被檢查基板存放在各個分選的位置。

根據本發明，能夠提供一種由一台檢查裝置就能夠應對各種檢查要求的基板檢查裝置。

根據本發明，能夠提供一種基板檢查裝置，其藉由以高速進行基板檢查，能夠降低基板檢查裝置的運行成本。

根據本發明，能夠提供一種基板檢查裝置，其藉由容易地進行夾具的組裝和維修，能夠降低基板檢查裝置的運行成本。

根據本發明，能夠提供一種基板檢查裝置，其藉由有效地控制檢查時的夾具的動作，能夠降低基板檢查裝置的運行成本。

1‧‧‧基板檢查裝置

10‧‧‧送入部

12‧‧‧檢查主體部

12d‧‧‧檢查區域

14‧‧‧分選存放部

14-1‧‧‧開路(OPEN)存放區域

14-2‧‧‧漏電(LEAK)存放區域

14-3‧‧‧合格(PASS)存放區域

18-1、18-2、18-3、18-4、18-5‧‧‧輸送機

19‧‧‧輸送裝置

20a、20b、20c‧‧‧檢查對象區塊

20、20-1、20-2、20-3、20-4‧‧‧被檢查基板

20p‧‧‧檢查位置

21‧‧‧CCD照相機

22‧‧‧工件支架

23‧‧‧黏性輥

26U、26D‧‧‧檢查夾具

27-1、27-2‧‧‧掃描塊

28‧‧‧基座

32‧‧‧連接部

34‧‧‧頭部

42‧‧‧把持裝置

42f‧‧‧上側的固定部

42g‧‧‧下側的按壓部

p‧‧‧探頭

圖1是表示本發明的一個實施方式涉及的基板檢查裝置的概要構成的俯視圖。

圖2是表示工件支架的把持部的一個實施方式的局部的概要構成的放大正視圖。

圖3是從圖1的3A-3A線沿箭頭方向觀察到的檢查主體部的簡化後的放大圖。

圖4是圖1所示的基板檢查裝置的檢查區域中、為了說明基板檢查方法而將檢查位置內的裝置的局部簡化來表示的放大正視圖。

圖5A是用於說明基板檢查中的被檢查基板的檢查對象區域和檢查夾具的動作之間的關係的簡化後的立體圖。

圖5B是用於說明在被檢查基板的檢查對象區域不同的情況下檢查夾具的動作和檢查速度之間的關係的簡化後的俯視圖。

以下，根據附圖對本發明涉及的基板檢查裝置進行說明。另外，在各個附圖中，為了便於理解，將各個構件的厚度、長度、形狀及構件彼此的間距等進行適當地放大、縮小、變形、簡化等。在各個附圖中，對相同構件標注相同的符號並省略說明。

〔基板檢查裝置的概要〕

圖1表示本發明的一個實施方式涉及的基板檢查裝置1的概要構成。基板檢查裝置1具備送入部10、檢查主體部12和分選存放部14。

送入部10將多片被檢查基板疊置並從最上方的被檢查基板開始逐個地按順序送入到檢查主體部12內，具備用於將疊置的被檢查基板的最上方的被檢查基板吸住並抬起的吸引裝置(未圖示)、以及用於將被檢查基板逐個地送入到檢查主體部12內的一對輸送機18-1。

圖1中表示了被檢查基板20-1是最上方的被檢查基板。吸引裝置吸住被檢查基板20-1上的既定的多個位置並將其抬起，將該基板的兩側端面放置於一對輸送機18-1上。將放置於輸送機18-1上的被檢查基板20-1藉由輸送機18-1輸送到檢查主體部12內。

檢查主體部12形成為長方體形狀的框體，並在與送入部10連通連接的送入側具備入口部(未圖示)，經由該入口部從送入部10送入被檢查基板。此外，檢查主體部12具備：用於將被檢查基板從送入部10側直線狀地輸送到分選存放部14的一對輸送機18-2、18-3、18-4(第一輸送裝置)；和用於對被檢查基板進行檢查的檢查區域12d。在圖1中表示在某個時刻，在各個輸送機18-2、18-3、18-4上分別放置有一片被檢查 基板20-2、20-3、20-4的狀態，但並不局限於此，也可以根據需要各個輸送機輸送既定片數的被檢查基板。另一方面，從說明輸送被檢查基板的概念的觀點出發，也可以理解為圖1表示按順序將一片被檢查基板從20-1輸送至20-4的狀態。

此外，檢查主體部12具備一對輸送裝置19(第二輸送裝置)，該一對輸送裝置19用於將由一對輸送機18-3輸送的被檢查基板20-3往復輸送至位於正交方向上的檢查區域12d內的既定的檢查位置20p。在一對輸送裝置19上，設置有由點劃線表示的工件支架22，藉由移動該工件支架22而將被檢查基板20輸送至檢查位置20p。關於工件支架22，將在後面敘述。

在檢查區域12被檢查過的被檢查基板因一對輸送裝置19從檢查位置20p被送回到一對輸送機18-3上，隨後被輸送至一對輸送機18-4，進而被輸送至分選存放部14。在檢查主體部12上，在框體的送出側形成有與分選存放部14連通連接的出口部(未圖示)，被檢查基板經由該出口部從檢查主體部12而被輸送到分選存放部14。

分選存放部14被劃分為開路(OPEN)存放區域14-1、漏電(LEAK)存放區域14-2和合格(PASS)存放區域14-3，並具備橫穿這些區域的一對輸送機18-5。

開路存放區域14-1是存放檢查結果被判斷為有可能斷線的被檢查基板的區域，漏電存放區域14-2是存放被判斷為有可能漏電流、短路等的被檢查基板的區域，合格存放區域14-3是存放被判斷為非上述者而沒有上述問題的被檢查基板的區域。在檢查主體部12中檢查過的基板在放置於輸送機18-5上後，根據檢查結果而被存放在任一個區域中。

另外，可以在檢查主體部12的入口設置有沿上下方向配置的一對黏性輥23，藉由使被檢查基板經過該黏性輥23之間來除去灰塵或污垢等。

(工件支架)

工件支架22具備與一對輸送裝置19的各個對置地安裝的把持裝置42。在各個輸送裝置19上安裝有三個至四個把持裝置42，來把持被一對輸送機18-3輸送的被檢查基板20-3的在輸送方向的前後端面，換言之，把持檢查基板20-3的朝向基板檢查裝置1的送入部10和分選存放部14側的端面(圖2)。可以對應於被檢查基板的大小來改變所使用的把持裝置的數量。

如圖2所示，各把持裝置42具備上側的固定部42f和下側的按壓部42g。在未保持被檢查基板時，如點劃線所示，下側的按壓部42g向下側轉動，使上側固定部42f和下側按壓部42g之間開放。當被檢查基板20-3被放置於輸送機18-3上並抵達點劃線所示的位置時，利用未圖示的裝置，點劃線所示的被檢查基板20-3向上方被抬起。當該被抬起的被檢查基板與上側的固定部42f的下側的面接觸時，此時下側的按壓部42g轉動並按壓住被檢查基板20-3的下側的面，藉此，在上側的固定部42f和下側的按壓部42g之間保持被檢查基板20-3。在該狀態下，一對輸送裝置19移動工件支架22，而將被檢查基板輸送至檢查區域的檢查位置20p(圖1)。

(檢查區域)

在檢查區域12d中配置有上下配置的一對檢查夾具26U、26D(圖3)。各個檢查夾具都具備基座28，在基座28上安裝有對準用CCD照相機21、頭部34和掃描塊27-1、27-2。

頭部34保持與被檢查基板上的既定的檢查點接觸的探頭(接觸件)。探頭經由掃描塊27-1、27-2與未圖示的基板檢查裝置的控制裝置連接，並在控制裝置和探頭之間進行基板檢查用的信號的收發。此外，控制裝置根據從探頭接收的信號，確定將已檢查過的基板存放在分選存放部14的開路存放區域14-1、漏電存放區域14-2或合格存放區域14-3 中的任一個中。當做該確定時，根據測試內容選擇並使用例如施加測試電壓：1至250V、設定電阻值：1Ω至10MΩ、測試電流：0.5mA至20mA等。

對準用CCD照相機21藉由檢測出被檢查基板上的既定的標記，來檢測出頭部34相對於被檢查基板在垂直方向和水平方向上的位置的偏差或傾角的偏差。根據這種檢測信號，使基座28沿直線方向移動或轉動來修正位置或傾角等，實現被檢查基板的檢查點和頭部34的探頭的前端位置的對齊。各個檢查夾具26U、26D的移動例如由線性電動機機構實現。

掃描塊27-1、27-2是針對發揮功能的探頭進行信號的切換的電路裝置。例如，如果本實施方式的各個掃描塊能夠同時進行最多8000根探頭的信號的切換，則在一次掃描中，能夠使最多16000根探頭發揮功能來進行基板檢查。因此，當增加安裝在基座28上的掃描塊的數量時，在計算上，一次能夠同時掃描的探頭的數量與該掃描塊的數量成比例。例如，如果再增設來兩個具有相同性能的掃描塊而總共具有四個掃描塊，則在一次掃描中，能夠同時掃描最多32000個檢查點。但是，為了增設掃描塊，有必要根據需要擴張基座，或考慮掃描塊的重量來提高基座的剛性。但是，並非一定要在一次掃描中檢查最大數量的檢查點，而是也可以根據需要任意地選擇一次掃描的檢查點數量和重複掃描的次數。掃描塊的功能和被檢查基板上的檢查點的數量之間的關係將根據圖5A和圖5B在後面敘述。

圖3是將從圖1的3A-3A線沿箭頭方向觀察到的、位於檢查主體部12的檢查區域12d中的裝置的一部分簡化表示的放大圖。在圖3中，檢查區域12d位於箭頭所示方向。在檢查區域12d中，利用工件支架22將被檢查基板20-3輸送到在上下位置上配置的檢查夾具26U、26D之間。在各個檢查夾具26U、26D上，由對準用CCD照相機21來檢測出被檢查基板上的既定的標記，並以此為基準，沿直線方向移動各個檢查 夾具26U、26D或轉動檢查夾具26U、26D，來進行位置或傾角的修正，將檢查夾具26U、26D配置在檢查前的既定位置上。

圖4表示將檢查夾具26U、26D配置在檢查前的既定位置上的狀態。如該圖所示，被檢查基板20-3在由把持裝置42保持兩側的側面的狀態下，被配置在檢查夾具26U、26D的上下的頭部34之間。探頭p的前端部從各個頭部34突出，當檢查開始時，兩個頭部34同時接近被檢查基板20-3而使探頭p的前端部與既定區塊的檢查點接觸，並由基板檢查裝置的控制裝置(未圖示)進行信號的收發來進行基板的檢查。根據需要，將頭部34向相鄰的區塊移動並進行相同的檢查。更根據需要，如圖3中的十字箭頭所示，使檢查夾具26U、26D移動，重複進行該步驟。

(檢查夾具)

在各個檢查夾具26U、26D上，掃描塊27-1、27-2與頭部34經由基座28和連接部32並藉由電氣配線相連接。在此情況下，在直接連接兩者的情況下，能夠將檢查夾具作為8000個檢查點用或16000個檢查點用的專用機使用。代替此，如果使連接部32具有適配器功能並使頭部34能夠自由拆下，而且使探頭能夠再次使用，則能夠廉價地應對針對所有被檢查基板的檢查。另外，代替此，當使連接部32具有轉換功能時，無需改變配線，就能夠應對針對所有被檢查基板的檢查。

圖5A是用於說明基板檢查中的被檢查基板的檢查對象區域和檢查夾具的動作之間的關係的簡化的立體圖。為了簡化圖面，僅表示了位於上方的檢查夾具26U，而省略了下方的檢查夾具26D，但對於下方的檢查夾具26D來說，與上方的檢查夾具26U相同的關係也成立。圖5B是用於說明在被檢查基板的檢查對象區域不同的情況下，檢查夾具的動作和檢查速度之間的關係的簡化的俯視圖。

在圖5A中，表示將被檢查基板20的檢查對象區域大致劃分為三個區塊20a、20b、20c來進行檢查的情況。例如，在將各個掃描塊用於3000 個檢查點的情況下，當檢查對象區域的各個區塊具有8000個檢查點時，檢查夾具的掃描塊使用兩個掃描塊而對應於4000個檢查點，並對每個區塊掃描兩次。具體而言，最初使頭部34向檢查對象區塊20a的內側一半部分移動並對該部分進行掃描，然後，使頭部34向剩餘一半的前側部分移動並對該部分進行掃描。藉此，完成檢查對象區塊20a的檢查。接下來，使頭部34向相鄰的檢查對象區塊20b的內側一半部分移動並對該部分進行掃描，然後，使頭部34向剩餘一半的前側部分移動並對該部分進行掃描，而完成檢查對象區塊20b的檢查。最後，再使頭部34向相鄰的檢查對象區塊20c的內側一半部分移動並對該部分進行掃描，然後，使頭部34向剩餘一半的前側部分移動並對該部分進行掃描，完成檢查對象區塊20c的檢查。藉此，完成被檢查基板20的檢查。

在圖5B(i)中，例如，在被檢查基板上存在16000個檢查點的情況下，如果檢查夾具的掃描塊的總數能夠與其對應，就能夠用一次掃描完成被檢查基板的檢查。

在圖5B(ii)中，例如，在被檢查基板上存在16000個檢查點的情況下，也可以將被檢查基板分為兩個區塊來進行檢查。在此情況下，當檢查夾具的各個掃描塊能夠對應於8000個檢查點時，使用一個掃描塊就足夠了。

在圖5B(iii)中，例如，在被檢查基板上存在15000個檢查點的情況下，也可以將被檢查基板分為三個區塊來進行檢查。在此情況下，由於各個檢查區塊有5000個檢查點，所以在檢查夾具的掃描塊能夠應對8000個檢查點時，使用一台掃描塊的一部分，按順序進行各個檢查區塊的掃描。

在圖5B(iv)中，例如，在被檢查基板上存在16000個檢查點的情況下，也可以將被檢查基板分為四個區塊來進行檢查。在此情況下，由於各個檢查區塊有4000個檢查點，所以在檢查夾具的掃描塊能夠應對 8000個檢查點時，使用一台掃描塊的一部分，進行各個檢查區塊的掃描。

這樣，利用一次掃描就能夠掃描可與掃描塊的檢查點對應的最大數量的檢查點。但是，即使是根據需要將檢查對象區域劃分為幾個區塊並以幾次的步驟進行檢查，重複進行以掃描夾具進行的掃描和移動的、從掃描開始至掃描結束時的時間也不會增加太多。例如，根據某個測試數據，在被檢查基板上存在6000個檢查點的情況下，對其掃描一次的時間約為9.9秒，而以每次掃描3000個檢查點的方式分兩次掃描該6000個掃描點的時間約為11.1秒，以每次掃描2000個檢查點的方式分三次掃描該6000個掃描點的時間約為11.9秒，以每次掃描1500個檢查點的方式分四次掃描該6000個掃描點的時間約為12.7秒，雖然當增加掃描次數時，到掃描完成時為止的時間變長，但不會與掃描次數成比例地增加延遲。

〔基板檢查方法的概要〕

說明使用基板檢查裝置1進行基板檢查時的概要。

首先，將被檢查基板疊置在基板檢查裝置1的送入部10上。在送入部10，使用吸引裝置抬起被疊置的被檢查基板的在最上方的被檢查基板20-1，並將該基板的兩側端面放置於一對輸送機18-1上。被放置於輸送機18-1上的被檢查基板20-1從輸送機18-1經由檢查主體部12的入口部輸送到檢查主體部12內(送入工序)。

作為第一輸送工序，在檢查主體部12內，將先被送入並放置於輸送機18-2上的被檢查基板20-2輸送到下一個輸送機18-3上，與此同步地，將從送入部10被送入的被檢查基板20-1替代被檢查基板20-2而輸送到輸送機18-2上。

將被輸送到輸送機18-3上的被檢查基板20-3從下方抬起，並如圖2所示，將其輸送到與設置在一對輸送裝置19上的工件支架22相對置的 保持裝置42之間。當該被抬起的被檢查基板20-3的前後的邊緣部與各個把持裝置42的上側的固定部42f的下側的面相接時，下側的按壓部42g轉動並按壓住被檢查基板20-3的下側的面，藉此，在上側的固定部42f和下側的按壓部42g之間保持被檢查基板20-3。在該狀態下，一對輸送裝置19移動工件支架22，將被檢查基板輸送至檢查區域的檢查位置20p(圖1)(第二輸送工序)。

當將被檢查基板配置在檢查位置20p時，一對檢查夾具26U、26D配置在該被檢查基板的上下。藉由各個檢查夾具的對準用CCD照相機21檢測出被檢查基板上的既定標記，並修正各個檢查夾具的位置和傾角，藉此，實現各個檢查夾具的頭部34的探頭的前端位置和被檢查基板的檢查點之間的對齊(對齊工序)。

當開始檢查基板時，兩個頭部34接近被檢查基板20-3並使探頭p的前端部與既定的區塊的檢查點接觸，利用基板檢查裝置的控制裝置(未圖示)進行信號的收發來進行基板的檢查。根據需要，將頭部34向相鄰的檢查對象區塊移動並進行相同的檢查，更根據需要，重複進行該移動。

基板檢查裝置的控制裝置根據由該檢查所獲得的數據，確定將被檢查基板存放在分選存放部14的開路存放區域14-1、漏電存放區域14-2或合格存放區域14-3中的任一個。在該檢查中，檢查的結果，判斷為被檢查基板20-3沒有斷線的可能性，也沒有漏電、短路等的可能性，沒有問題。根據該結果，基板檢查裝置的控制裝置確定將被檢查基板20-3存放在合格存放區域14-3內(檢查和分選工序)。

當基板檢查結束時，檢查夾具26U、26D離開被檢查基板20-3，輸送裝置19移動工件支架22，並將被檢查基板20-3送回到輸送機18-3上(第3輸送工序)。當被檢查基板20-3抵達輸送機18-3上時，把持裝置42的下側的按壓部42g向下側轉動並打開，釋放被檢查基板20-3，並且下側的保持裝置(未圖示)邊保持被檢查基板20-3邊將其載置在輸送機 18-3上。

當被檢查基板20-3載置在輸送機18-3上時，輸送機18-3經由檢查主體部20的出口部輸送該基板以便將其放置於下一個輸送機18-4上(送出工序)。輸送機18-4進一步將該基板放置於分選存放部14的輸送機18-5上。輸送機18-5根據表示來自基板檢查裝置的控制裝置的檢查結果的信號，使被檢查基板20-3經過開路存放區域14-1和漏電存放區域14-2，而輸送並存放在合格存放區域14-3(存放工序)。

以上，針對本發明涉及的基板檢查裝置的一個實施方式進行了說明，但本發明並不限定於該實施方式，本領域技術人員能夠容易做到的追加、刪除、改變等也包含在本發明中，此外，應知本發明的技術範圍是由所附的申請專利範圍的記載來決定的。

1‧‧‧基板檢查裝置

10‧‧‧送入部

12‧‧‧檢查主體部

12d‧‧‧檢查區域

14‧‧‧分選存放部

14-1‧‧‧開路(OPEN)存放區域

14-2‧‧‧漏電(LEAK)存放區域

14-3‧‧‧合格(PASS)存放區域

18-1、18-2、18-3、18-4、18-5‧‧‧輸送機

19‧‧‧輸送裝置

20-1、20-2、20-3、20-4‧‧‧被檢查基板

20p‧‧‧檢查位置

21‧‧‧CCD照相機

22‧‧‧工件支架

23‧‧‧黏性輥

26U‧‧‧檢查夾具

27-1、27-2‧‧‧掃描塊

28‧‧‧基座

Claims (9)

1. 一種基板檢查裝置的檢查主體部，具備：輸送區域，其將被檢查基板從送入側輸送至送出側；以及檢查區域，其配置有用於對該被檢查基板進行既定檢查的檢查夾具；該基板檢查裝置的檢查主體部之特徵在於具備：第一輸送裝置，其配置於該輸送區域，並將該被檢查基板從該送入側輸送至該送出側；以及第二輸送裝置，其以沿著與該第一輸送裝置的輸送方向垂直的方向輸送該被檢查基板的方式被配置，並用於在該第一輸送裝置的既定位置與該檢查區域內的配置有該檢查夾具的位置之間輸送該被檢查基板；其中，該第二輸送裝置具備保持該被檢查基板的把持裝置。
2. 如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置的檢查主體部，其中，該檢查夾具包含：具有探頭的夾具頭部和針對探頭進行信號切換的掃描塊。
3. 如申請專利範圍第1或2項之基板檢查裝置的檢查主體部，其中，該第二輸送裝置的該把持裝置具備上側的固定部和下側的按壓部，並藉由該下側的按壓部的轉動來保持該被檢查基板或釋放該被檢查基板。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之基板檢查裝置的檢查主體部，其中，該檢查主體部的該檢查夾具具備CCD照相機，利用CCD照相機檢測出該被檢查基板上的既定標記，而能夠修正該檢查夾具在水平方向和垂直方向上的位置偏差和傾角偏差。
5. 一種基板檢查裝置，具備：送入部，其具備用於逐個地送入被檢查基板的輸送裝置；如申請專利範圍第1至4項中任一項的檢查主體部；以及分選存放部，其根據檢查結果對在該檢查主體部中被檢查過的該被檢查基板進行分選並存放；其中，將該被檢查基板從該送入部提供至該檢查主體部的該送入側，更從該送出側輸送至該分選存放部。
6. 如申請專利範圍第5項之基板檢查裝置，其中，該檢查主體部形成為長方體形狀的框體，更在該框體的一方的該送入側形成有與該送入部連通連接的入口部， 在該框體的另一方的送出側形成有與該分選存放部連通連接的出口部，該第一輸送裝置被配置成將該被檢查基板從該入口部向該出口部直線地輸送，該第二輸送裝置從該第一輸送裝置的該既定位置呈直角地配置，並使該被檢查基板在從該第一輸送裝置的既定位置至該檢查區域內的配置有該檢查夾具的位置之間往復移動。
7. 如申請專利範圍第5或6項之基板檢查裝置，其中，該送入部具備用於吸住並抬起該被檢查基板並將其放置於該輸送裝置上的吸引裝置。
8. 如申請專利範圍第5至7項中任一項之基板檢查裝置，其中，該分選存放部根據檢查結果，將該被檢查基板分選為有可能斷線、有可能短路或沒有這些問題的基板來進行存放。
9. 一種檢查基板並根據檢查結果進行分選存放的方法，其包含：送入工序，對被檢查基板進行疊置並將其逐個地送入至檢查主體部；第一輸送工序，從該送入工序起至送出工序止將被送入的該被檢查基板直線狀地輸送；第二輸送工序，在該第一輸送工序中的輸送路徑的既定位置，沿著與該輸送方向垂直的方向，將該被檢查基板輸送至檢查區域；對齊工序，在該檢查區域中，進行位於該檢查區域內的檢查夾具與該被檢查基板之間的位置的對齊；檢查和分選工序，在該檢查區域中，檢查該被檢查基板的電特性，並分選為有可能斷線、有可能短路或沒有這些問題的被檢查基板；第三輸送工序，將該被檢查基板從該檢查區域輸送至該第一輸送工序的該輸送路徑的既定位置；送出工序，將該被檢查基板從該檢查區域送出；以及存放工序，根據該檢查和分選工序中的結果，將於該送出工序中被送出的該被檢查基板存放在各個分選的位置。