JP7371885B2 - 電気検査装置及び保持ユニット - Google Patents

Description

本発明は、電気検査装置及び保持ユニットに関する。

プリント基板等の製造現場では、複数のプローブ（電気接触子）を検査対象基板の測定点に接触させて検査対象基板の電気的な特性を検査する電気検査装置が使用されている。

この電気検査装置としては、複数のプローブを有する電気検査ヘッドと複数のプローブへの接続を切り替え可能な回路を有する切替ユニットとを備えるものが公知である。この電気検査装置は、検査対象基板の導電パターンに対応するよう切替ユニットによって複数のプローブへの電気的な接続を切り替えることで、検査対象基板の電気的な特性を効率的に検査することができる。

このような電気検査装置として、複数のプローブを有する検査治具と、複数のプローブへの電気的な接続を切り替え可能な選出手段とを保持する保持部を有するものが発案されている（特開２００８－１７５５９５号公報参照）。この公報に記載の電気検査装置は、前記保持部が検査対象基板の法線と平行な回転軸の回りに回転可能に構成されている。

特開２００８－１７５５９５号公報

前記公報に記載の電気検査装置は、前記保持部を回転させることで、前記検査治具及び選出手段を保持部と一体的に回転させることができる。

しかしながら、この電気検査装置は、前記選出手段が前記検査治具よりも回転軸の径方向外側で前記保持部に保持されている。そのため、この電気検査装置は、前記選出手段の回転による慣性モーメントが大きくなるので、前記検査治具の回転速度を大きくし難い。その結果、前記電気検査装置は、電気検査効率を十分に高め難い。また、前記電気検査装置は、前記選出手段が前記検査治具よりも回転軸の径方向外側で保持されるので、前記選出手段を回転する際に比較的大きな干渉回避用の空間が必要となる。さらに、前記電気検査装置は、前記選出手段の回転による慣性モーメントが大きくなりやすく、回転によって各部に負荷が掛かりやすくなる。

本発明の課題は、検査対象基板の電気検査の効率を容易に高めることができる電気検査装置及び保持ユニットを提供することにある。

前記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係る電気検査装置は、検査対象基板に対し、この検査対象基板の法線方向から接触可能な複数のプローブを有する電気検査ヘッドと、前記複数のプローブへの接続を切り替え可能な回路を有する切替ユニットと、前記電気検査ヘッド及び切替ユニットを前記法線と平行な軸の回りに回転可能に支持する軸受とを備え、前記電気検査ヘッドと切替ユニットとが、着脱可能に、前記法線方向に直結される。

前記電気検査ヘッド及び切替ユニットが、平面視で前記軸受の内周縁内に包含されるとよい。

前記切替ユニットが前記軸受を前記法線方向に貫通した状態で配置されているとよい。

当該電気検査装置は、前記法線と平行な中心軸を有する筒状の胴部と、この胴部の前記検査対象基板側の端部に設けられる底部とを有する筐体を備え、前記底部が、前記切替ユニットが貫通する開口を有し、前記軸受が、前記胴部の外周面の前記検査対象基板側の端部を支持しているとよい。

当該電気検査装置は、前記電気検査ヘッドを３次元で位置決め可能な駆動機構をさらに備えるとよい。

本発明の他の一態様に係る保持ユニットは、検査対象基板に対し、この検査対象基板の法線方向から接触可能な複数のプローブを有する電気検査ヘッドと前記複数のプローブへの接続を切り替え可能な回路を有する切替ユニットとを前記法線方向に直結した状態で保持可能な筐体と、前記筐体を前記法線と平行な軸の回りに回転可能に支持する軸受とを備える。

本発明の一態様に係る電気検査装置及び他の一態様に係る保持ユニットは、検査対象基板の電気検査の効率を容易に高めることができる。

図１は、本発明の一実施形態に係る電気検査装置の本体を示す模式的一部断面斜視図である。 図２は、図１の本体の一部断面正面図である。 図３は、図１の本体の底面図である。 図４は、図１の本体を駆動可能な駆動機構を示す模式的平面図である。 図５は、図１の本体の検査ヘッドと切替ユニットとの接続構造を示す模式的断面図である。 図６は、図１の本体とは異なる形態に係る本体を示す図２に対応する模式的断面図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。

［第一実施形態］
＜電気検査装置＞
図１～図３に示すように、当該電気検査装置は、検査対象基板Ｐに対し、この検査対象基板Ｐの法線方向から接触可能な複数のプローブ１１ａを有する電気検査ヘッド１１と、複数のプローブ１１ａへの接続を切り替え可能な回路（以下、「切替回路」ともいう）を有する切替ユニット１２と、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を検査対象基板Ｐの法線と平行な軸の回りに回転可能に支持する軸受１３とを備える。また、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を保持する筐体１４を備える。電気検査ヘッド１１、切替ユニット１２、軸受１３及び筐体１４は、当該電気検査装置の本体１を構成する。また、軸受１３及び筐体１４は、それ自体本発明の一態様である保持ユニット３を構成する。さらに、当該電気検査装置は、図４に示すように、電気検査ヘッド１１を３次元で位置決め可能な駆動機構２を備える。加えて、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を軸受１３の中心軸（以下、単に「軸Ａ」ともいう）の回りに回転させるモータ等の駆動源（不図示）と、検査対象基板Ｐの導電パターンの導通や絶縁、電気抵抗、インピーダンス等を計測可能な計測部（不図示）と、軸受１３の外輪を固定可能な枠体１５とを備える。前記駆動源は、筐体１４を回転させることで、この筐体１４に保持される電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を筐体１４と一体的に回転させる。なお、当該電気検査装置は、検査対象基板Ｐの位置情報を取得する画像処理デバイス（不図示）、この画像処理デバイスにより取得した位置情報に基づいて駆動機構２を駆動制御するコントローラ（不図示）、検査対象基板Ｐを複数のプローブ１１ａと対向する位置に搬送する搬送機構（不図示）等をさらに備えていてもよい。

（検査対象基板）
検査対象基板Ｐは、板状又はシート状である。検査対象基板Ｐとしては、例えばプリント基板が挙げられる。このプリント基板としては、例えば薄膜状の基板の上に複数の機能部が形成され、各機能部を含む部分を切り出して複数の電子部品を形成可能なものが挙げられる。

（電気検査ヘッド）
電気検査ヘッド１１は、複数のプローブ１１ａと、複数のプローブ１１ａを保持する保持部１１ｂとを有する。保持部１１ｂは、検査対象基板Ｐに対向する底面を有している。複数のプローブ１１ａは、この底面から検査対象基板Ｐ側に突出している。複数のプローブ１１ａは、検査対象基板Ｐの導電パターンに接触可能に配置されている。複数のプローブ１１ａは、例えば０．１ｍｍ前後から２ｍｍ以下程度のピッチで配置されている。複数のプローブ１１ａの合計本数としては、例えば２０００本以上とすることができる。

（切替ユニット）
切替ユニット１２は、検査対象基板Ｐの種類や検査項目に応じて複数のプローブ１１ａと前述の計測部との接続を切り替え可能な切替回路（図１～図３では不図示）を有する。切替ユニット１２は、例えば検査対象基板Ｐの導電パターンに応じて選定された１又は複数のプローブ１１ａと前記計測部との電気的な接続を選択的にＯＮにする。切替ユニット１２は、例えばコンピュータを含む制御部（不図示）で選定された１又は複数のプローブ１１ａと前記計測部との電気的な接続を、この制御部の指示に従って選択的にＯＮにする。

（筐体）
筐体１４は、検査対象基板Ｐの法線と平行な中心軸を有する筒状の胴部１４ａと、胴部１４ａの検査対象基板Ｐ側の端部に設けられる底部１４ｂとを有する。また、筐体１４は、胴部１４ａの検査対象基板Ｐと反対側の端部に設けられる蓋部１４ｃと、底部１４ｂに設けられ、電気検査ヘッド１１を着脱可能に支持する支持部１４ｄとを有する。なお、胴部１４ａ、底部１４ｂ、蓋部１４ｃ及び支持部１４ｄは、互いに着脱可能であってもよく、着脱不能に一体的に形成されてもよい。

胴部１４ａは、検査対象基板Ｐ側の端部に拡径部１４ｅを有する。胴部１４ａは、好ましくは円筒状である。胴部１４ａの中心軸は、軸受１３の軸Ａと一致している。胴部１４ａは、その内部に切替ユニット１２を収容するための収容スペースを有する。

底部１４ｂは、板状、好ましくは円板状である。底部１４ｂは、胴部１４ａの検査対象基板Ｐ側の端部開口を塞いでいる。底部１４ｂは、胴部１４ａの中心軸と垂直に配置される。底部１４ｂは、切替ユニット１２が貫通する開口１４ｆを有する。開口１４ｆは、例えば対向する一対の側縁を有する矩形状である。なお、筐体１４は、切替ユニット１２を開口１４ｆを貫通した状態で固定する固定部（不図示）を有していてもよい。

支持部１４ｄは、底部１４ｂの底面（検査対象基板Ｐと対向する側の面）に取り付けられる一対のガイド壁１４ｇと、これらのガイド壁１４ｇの底面に取り付けられ、この底面から検査対象基板Ｐ側に突出する一対のフック１４ｈとを有する。一対のガイド壁１４ｇは、開口１４ｆの前記一対の側縁に沿って左右方向（検査対象基板Ｐの法線と垂直な方向）に延びている。一対のガイド壁１４ｇは、電気検査ヘッド１１を両側から支持する。一対のフック１４ｈは、電気検査ヘッド１１を両側から挟み込み可能に構成されている。一対のフック１４ｈは、電気検査ヘッド１１を挟み込んだ状態でガイド壁１４ｇに対して胴部１４ａの中心軸方向（つまり、検査対象基板Ｐの法線方向）に移動可能に構成されている。

〔接続構造〕
以下に、電気検査ヘッド１１と切替ユニット１２との接続構造について詳説する。電気検査ヘッド１１と切替ユニット１２とは、着脱可能に検査対象基板Ｐの法線方向に直結されている。

〈着脱機構〉
図１及び図２を参照して、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２の着脱機構について説明する。まず、切替ユニット１２は、筐体１４の底部１４ｂの開口１４ｆを貫通した状態で筐体１４に対して固定される。この固定状態において、切替ユニット１２の検査対象基板Ｐと対向する側の端面１２ａは、筐体１４の底部１４ｂから検査対象基板Ｐ側に突出した状態で保持される。前記固定状態において、切替ユニット１２の端面１２ａと底部１４ｂの底面とは平行である。前記固定状態において、切替ユニット１２の開口１４ｆよりも検査対象基板Ｐと反対側の部分は、筐体１４の胴部１４ａ内（前述の収容スペース内）に位置している。

次に、前述した切替ユニット１２の固定状態で、一対のフック１４ｈによって電気検査ヘッド１１を挟み込む。電気検査ヘッド１１は、一対のフック１４ｈの間を一対のガイド壁１４ｇの長手方向（一対のガイド壁１４ｇが延びている方向）にスライドすることで一対のフック１４ｈに挟み込まれる。そして、電気検査ヘッド１１を挟み込んだ状態で一対のフック１４ｈを切替ユニット１２側に移動させ、切替ユニット１２の端面１２ａと、電気検査ヘッド１１の切替ユニット１２と対向する側の端面１１ｃ（より詳しくは、保持部１１ｂの切替ユニット１２と対向する側の端面１１ｃ）とを押し当てる。これにより、電気検査ヘッド１１と切替ユニット１２とが接続される。なお、電気検査ヘッド１１を切替ユニット１２から取り外す場合には、一対のフック１４ｈを切替ユニット１２と反対側に移動させたうえ、一対のフック１４ｈから電気検査ヘッド１１を抜き出せばよい。当該電気検査装置は、このように電気検査ヘッド１１を切替ユニット１２から容易に着脱することができるので、検査対象基板Ｐの種類等に対応して電気検査ヘッド１１を容易に取り換えることができる。

〈電気的接続構造〉
続いて、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２の電気的な接続構造について説明する。当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１と切替ユニット１２とが直結されている。換言すると、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１と切替ユニット１２とが互いに押し当てられることで、同時に複数のプローブ１１ａと、複数のプローブ１１ａへの電気的な接続を切り替え可能な切替回路とが電気的に接続される。

図５を参照して、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２の電気的な接続構造について詳説する。図５に示すように、電気検査ヘッド１１は、切替ユニット１２と対向する端面１１ｃから切替ユニット１２側に突出する複数のピン１１ｄを有している。ピン１１ｄは、端面１１ｃに設けられる貫通孔１１ｅを貫通した状態で保持部１１ｂに保持されている。ピン１１ｄは、それぞれ１対１でプローブ１１ａに接続されている。

また、切替ユニット１２は、複数のピン１１ｄと検査対象基板Ｐの法線方向に１対１で対応する複数の接触子１２ｃと、この接触子１２ｃを電気検査ヘッド１１側に押すスプリング１２ｄとを有している。切替回路１２ｂは、複数のピン１１ｄと１対１で対応する接点を有している。接触子１２ｃは、スプリング１２ｄが復元力に抗して圧縮された状態で切替回路１２ｂの前記接点と電気的に接続される。

当該電気検査装置は、切替ユニット１２の端面１２ａと、電気検査ヘッド１１の端面１１ｃとが押し当たることで、ピン１１ｄが接触子１２ｃを押圧する。これにより、接触子１２が切替回路１２ｂ側に押し込まれ、プローブ１１ａと切替回路１２ｂとが電気的に接続される。当該電気検査装置は、スプリング１２ｄと切替回路１２ｂとの間にフレキシブル基板やワイヤ等の電気配線を有しない。当該電気検査装置は、ピン１１ｄで接触子１２ｃを押圧することで、電気検査ヘッド１１と切替ユニット１２とを検査対象基板Ｐの法線方向に容易に直結することができる。

なお、プローブ１１ａと切替回路１２ｂとの電気的な接続構造としては、例えば切替ユニット１２の端面１２ａにソケット（不図示）が設けられ、このソケットに複数のピン１１ｄが嵌まり込むことで電気的に接続される構成を採用することも可能である。

（軸受）
軸受１３は、筐体１４の胴部１４ａを支持している。軸受１３の中心軸（軸Ａ）は、検査対象基板Ｐの法線と平行に配置される。軸受１３は、検査対象基板Ｐと近接して設けられることが好ましい。軸受１３と検査対象基板Ｐとの距離の上限としては、１８０ｍｍが好ましく、１２５ｍｍがより好ましく、１００ｍｍがさらに好ましい。前記距離を前記上限以下とすることで、軸受１３の傾きに起因する検査対象基板Ｐの測定点に対する複数のプローブ１１ａの位置ズレを十分に小さくすることができる。これにより、当該電気検査装置は、検査対象基板Ｐの電気検査精度を十分に高めることができる。一方、前記距離の下限としては、特に限定されるものではないが、例えば複数のプローブ１１ａと検査対象基板Ｐとの意図しない接触を抑制する観点から、１０ｍｍとすることができる。なお、「軸受と検査対象基板との距離」とは、軸受と検査対象基板の測定点との平均距離を意味し、例えば検査対象基板の法線方向における軸受と任意の５つの測定点との距離の平均値をいう。

軸受１３は、胴部１４ａの外周面を支持している。軸受１３は、胴部１４ａの外周面の検査対象基板Ｐ側の端部を支持しており、より詳しくは胴部１４ａの拡径部１４ｅの外周面を支持している。当該電気検査装置は、軸受１３が胴部１４ａの検査対象基板Ｐ側の端部を支持しているので、軸受１３と検査対象基板Ｐとの距離を小さくしやすい。また、当該電気検査装置は、軸受１３が拡径部１４ｅの外周面を支持しているので、軸受１３の径を大きくして、軸Ａの回りの回転角度を高精度で調節しやすく、複数のプローブ１１ａを検査対象基板Ｐに対して高精度で位置決めしやすい。

軸受１３の外輪は、枠体１５に固定されている。具体的には、軸受１３の外輪は、複数のねじによって枠体１５に固定されている。

図１～図３に示すように、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２が、平面視で軸受１３の内周縁内に包含されている。具体的には、切替ユニット１２は、検査対象基板Ｐと対向する端面１２ａ側で開口１４ｆに嵌まり込んだ状態で、筐体１４に固定されている。当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２が、平面視で軸受１３の内周縁内に包含されていることで、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２の質量が胴部１４ａの中心軸近傍に集まりやすい。これにより、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を小さい慣性モーメントで回転させることができ、偏心が小さくなり回転が安定する。その結果、複数のプローブ１１ａを検査対象基板Ｐに対して高精度で素早く位置決めすることができる。

切替ユニット１２は、軸受１３を検査対象基板Ｐの法線方向に貫通した状態で配置されている。より詳しくは、切替ユニット１２は、検査対象基板Ｐと対向する端面１２ａ側で軸受１３の内周縁内を貫通している。当該電気検査装置は、切替ユニット１２が軸受１３を貫通していることで、軸受１３を検査対象基板Ｐに近づけやすい。これにより、当該電気検査装置は、電気検査精度を十分に高めることができる。

（駆動機構）
駆動機構２としては、直交座標型システムが用いられる。図４に示すように、駆動機構２は、Ｚ軸（図１における軸Ａと平行な軸）と垂直なＸ軸方向に延びる固定レール２１と、一対の固定レール２１上をそれぞれ移動する一対のスライダー２２と、一対のスライダー２２の間にＺ軸方向及びＸ軸方向に垂直なＹ軸方向に掛け渡される一対の可動レール２３と、一対の可動レール２３上を移動可能な第１移動体２４と、第１移動体２４に接続され、筐体１４が嵌まり込む開口２５ａを有する第２移動体２５とを有する。第２移動体２５は、筐体１４をＺ軸と平行な方向に移動可能に保持する。当該電気検査装置は、駆動機構２が電気検査ヘッド１１を３次元で位置決め可能であるので、所望の測定点に対して複数のプローブ１１ａを容易に位置合わせすることができる。

当該電気検査装置は、駆動機構２によって電気検査ヘッド１１の３次元での位置決めが可能であり、さらに前述の駆動源によって電気検査ヘッド１１を軸Ａの回りに回転可能に構成されている。電気検査ヘッド１１の軸Ａの回りの回転角度としては、特に限定されないが３６０°超が好ましい。当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１と切替ユニット１２とが検査対象基板Ｐの法線方向に直結されるので、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を回転させるための干渉回避用の空間を小さくできる。そのため、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１の軸Ａの回りの回転角度を大きくしやすい。

＜利点＞
当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２が検査対象基板Ｐの法線方向に直結されているので、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を小さい慣性モーメントで回転させることができ、複数のプローブ１１ａを検査対象基板Ｐに対して素早くかつ高精度で位置決めすることができる。従って、当該電気検査装置は、検査対象基板Ｐの電気検査効率を容易に高めることができる。また、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を小さい慣性モーメントで回転させることができるので、この回転に起因する各部の負荷を小さくすることができる。さらに、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２が直結されているので、電気的接続の信頼性を高めると共に、部品点数の増加を抑え、装置の小型化を図ることができる。

＜保持ユニット＞
図１及び図２に示すように、当該保持ユニット３は、検査対象基板Ｐに対し、この検査対象基板Ｐの法線方向から接触可能な複数のプローブ１１ａを有する電気検査ヘッド１１と複数のプローブ１１ａへの接続を切り替え可能な回路を有する切替ユニット１２とを検査対象基板Ｐの法線方向に直結した状態で保持可能な筐体１４と、筐体１４を検査対象基板Ｐの法線と平行な軸Ａの回りに回転可能に支持する軸受１３とを備える。

＜利点＞
当該保持ユニット３は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を検査対象基板Ｐの法線方向に直結した状態で保持できるので、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を小さい慣性モーメントで回転させることができ、複数のプローブ１１ａを検査対象基板Ｐに対して素早くかつ高精度で位置決めすることができる。従って、当該保持ユニット３は、検査対象基板Ｐの電気検査効率を容易に高めることができる。

［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。

当該電気検査装置は、例えば図６に示すように、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２が平面視で軸受３３の内周縁内に内包されない構成を採用することも可能である。図６の電気検査装置は、筐体３４が、検査対象基板Ｐの法線と平行な中心軸を有する筒状の胴部３４ａと、胴部３４ａの検査対象基板Ｐ側の端部に設けられる底部３４ｂと、胴部３４ａの検査対象基板Ｐと反対側の端部に設けられる蓋部３４ｃと、底部３４ｂに設けられ、電気検査ヘッド１１を着脱可能に支持する支持部３４ｄとを有している。当該電気検査装置は、蓋部３４ｃの外面に軸受３３が配置されている。当該電気検査装置は、図１の電気検査装置と同様、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２が直結されていることで、電気的接続の信頼性を高めることができる。また、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２の質量を胴部３４ａの中心軸近傍に集めやすく、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２を小さい慣性モーメントで回転させることができ、偏心が小さくなり回転が安定する。さらに、当該電気検査装置は、軸受３３が蓋部３４ｃの外面に配置されるので、装置の小型化を図りやすい。

前記切替ユニットは、必ずしも軸受を検査対象基板の法線方向に貫通した状態で配置されていなくてもよい。例えば当該電気検査装置は、電気検査ヘッドが軸受を検査対象基板の法線方向に貫通した状態で配置されてもよい。この構成によると、軸受と検査対象基板との距離を小さくしやすい。また、当該電気検査装置は、図６に示すように、電気検査ヘッド１１及び切替ユニット１２がいずれも軸受３３を貫通しない構成を採用することも可能である。

前記筐体の具体的構成は前述の実施形態の構成に限定されるものではない。例えば前記胴部は、必ずしも検査対象基板側の端部に拡径部を有していなくてもよい。また、前記筐体は、複数の電気検査ヘッド及び／又は複数の切替ユニットを保持可能に構成されていてもよい。例えば、前記筐体は、筒状の胴部と、この胴部の検査対象基板側の端部に設けられる底部とを有し、この底部に複数の切替ユニットが貫通する複数の開口が形成されていてもよい。さらに、前述の筐体に代えて複数のフレームを組み合わせた枠体を用いることも可能である。

前記駆動機構の具体的構成は前述の実施形態の構成に限定されるものではない。例えば前記駆動機構として、多関節ロボットを用いることも可能である。

以上説明したように、本発明の一態様に係る電気検査装置は、プリント基板の電気検査に好適に用いられる。

１ 本体
２ 駆動機構
３ 保持ユニット
１１ 電気検査ヘッド
１１ａ プローブ
１１ｂ 保持部
１１ｃ 端面
１１ｄ 対向面
１１ｅ 貫通孔
１２ 切替ユニット
１２ａ 端面
１２ｂ 切替回路
１２ｃ 接触子
１２ｄ スプリング
１３，３３ 軸受
１４，３４ 筐体
１４ａ，３４ａ 胴部
１４ｂ，３４ｂ 底部
１４ｃ，３４ｃ 蓋部
１４ｄ，３４ｄ 支持部
１４ｅ 拡径部
１４ｆ 開口
１４ｇ ガイド壁
１４ｈ フック
１５ 枠体
２１ 固定レール
２２ スライダー
２３ 可動レール
２４ 第１移動体
２５ 第２移動体
２５ａ 開口
Ｐ 検査対象基板
Ａ 軸

Claims (4)

1. 検査対象基板に対し、この検査対象基板の法線方向から接触可能な複数のプローブを有する電気検査ヘッドと、
   前記複数のプローブへの接続を切り替え可能な回路を有する切替ユニットと、
   前記電気検査ヘッド及び切替ユニットを前記法線と平行な軸の回りに回転可能に支持する軸受と、
   胴部、及びこの胴部の前記検査対象基板側の端部に設けられる底部を有する筐体と
   を備え、
   前記電気検査ヘッドと切替ユニットとが、着脱可能であり、
   前記電気検査ヘッドと切替ユニットとが、前記法線方向に直結され、かつこの状態において平面視で前記軸受の内周縁内に包含されており、
   前記底部が、前記切替ユニットが貫通する開口を有し、
   前記軸受が、前記胴部の外周面の前記検査対象基板側の端部を支持しており、
   前記切替ユニットが、前記軸受を前記法線方向に貫通した状態で配置されている電気検査装置。
2. 前記胴部は、前記法線と平行な中心軸を有する筒状である請求項１に記載の電気検査装置。
3. 前記電気検査ヘッドを３次元で位置決め可能な駆動機構をさらに備える請求項１又は請求項２に記載の電気検査装置。
4. 検査対象基板に対し、この検査対象基板の法線方向から接触可能な複数のプローブを有する電気検査ヘッドと前記複数のプローブへの接続を切り替え可能な回路を有する切替ユニットとを前記法線方向に直結した状態で保持可能な筐体と、
   前記筐体を前記法線と平行な軸の回りに回転可能に支持する軸受と
   を備え、
   前記筐体が、胴部、及びこの胴部の前記検査対象基板側の端部に設けられる底部を有し、
   前記軸受は、直結された前記電気検査ヘッドと切替ユニットとを、平面視で内周縁内に包含するように構成されており、
   前記底部が、前記切替ユニットが貫通する開口を有し、
   前記軸受が、前記胴部の外周面の前記検査対象基板側の端部を支持しており、
   前記軸受は、前記切替ユニットが前記法線方向に貫通した状態で配置されるように構成されている保持ユニット。

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