TW202102866A - 電性檢查裝置及保持單元 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題在於提供一種能夠容易地提高檢查對象基板之電性檢查之效率之電性檢查裝置。  本發明之一態樣之電性檢查裝置具備：電性檢查頭11，其具有能夠自檢查對象基板P之法線方向接觸該檢查對象基板P之複數個探針11a；切換單元12，其具有能夠切換與複數個探針11a之連接之電路；及軸承13，其支持電性檢查頭11及切換單元12，使之能夠繞與檢查對象基板P之法線平行之軸旋轉；且電性檢查頭11與切換單元12可裝卸地於檢查對象基板P之法線方向上直接連接。

Description

電性檢查裝置及保持單元
本發明係關於一種電性檢查裝置及保持單元。
於印刷基板等之製造現場，使用電性檢查裝置，該電性檢查裝置係使複數個探針(電性接觸件)接觸檢查對象基板之測量點而對檢查對象基板之電性特性進行檢查。
作為該電性檢查裝置，公知有具備電性檢查頭及切換單元者，該電性檢查頭具有複數個探針，該切換單元具有能夠切換與複數個探針之連接之電路。該電性檢查裝置藉由以與檢查對象基板之導電圖案對應的方式利用切換單元切換與複數個探針之電性連接，而能夠有效率地對檢查對象基板之電性特性進行檢查。
作為此種電性檢查裝置，提出有具有保持部者，該保持部保持具有複數個探針之檢查治具、及能夠切換與複數個探針之電性連接之選出構件(參照日本專利特開2008-175595號公報)。該公報中記載之電性檢查裝置構成為上述保持部能夠繞與檢查對象基板之法線平行之旋轉軸旋轉。  [先前技術文獻]  [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2008-175595號公報
[發明所欲解決之問題]
上述公報中記載之電性檢查裝置藉由使上述保持部旋轉，能夠使上述檢查治具及選出構件與保持部一體地旋轉。
然而，該電性檢查裝置中，上述選出構件於較上述檢查治具更靠旋轉軸之徑向外側保持於上述保持部。因此，該電性檢查裝置因上述選出構件之旋轉而產生之慣性矩變大，故而難以增大上述檢查治具之轉速。其結果，上述電性檢查裝置難以充分地提高電性檢查效率。又，上述電性檢查裝置因上述選出構件被保持於較上述檢查治具更靠旋轉軸之徑向外側，故而於使上述選出構件旋轉時需要相對較大之避免干涉用之空間。進而，上述電性檢查裝置中，上述選出構件之旋轉而產生之慣性矩容易變大，容易因旋轉而對各部施加負荷。
本發明之課題在於提供一種能夠容易地提高檢查對象基板之電性檢查之效率之電性檢查裝置及保持單元。  [解決問題之技術手段]
為解決上述問題而完成之本發明之一態樣之電性檢查裝置具備：電性檢查頭，其具有能夠自檢查對象基板之法線方向接觸該檢查對象基板之複數個探針；切換單元，其具有能夠切換與上述複數個探針之連接之電路；及軸承，其支持上述電性檢查頭及切換單元，使之能夠繞與上述法線平行之軸旋轉；且上述電性檢查頭與切換單元可裝卸地於上述法線方向上直接連接。
亦可為，上述電性檢查頭及切換單元俯視下包含於上述軸承之內周緣內。
亦可為，上述切換單元以於上述法線方向貫通上述軸承之狀態配置。
亦可為，該電性檢查裝置具備殼體，該殼體包括具有與上述法線平行之中心軸之筒狀之主體部、及設置於該主體部之上述檢查對象基板側之端部之底部，上述底部具有供上述切換單元貫通之開口，上述軸承支持上述主體部之外周面之上述檢查對象基板側之端部。
亦可為，該電性檢查裝置進而具備可三維定位上述電性檢查頭之驅動機構。
本發明之另一態樣之保持單元具備：殼體，其能夠將電性檢查頭與切換單元以於法線方向上直接連接之狀態，該電性檢查頭具有能夠自檢查對象基板之上述法線方向接觸該檢查對象基板之複數個探針，該切換單元具有能夠切換與上述複數個探針之連接之電路；及軸承，其支持上述殼體，使之能夠繞與上述法線平行之軸旋轉。  [發明之效果]
本發明之一態樣之電性檢查裝置及另一態樣之保持單元能夠容易地提高檢查對象基板之電性檢查之效率。
以下，一面參照適當圖式一面對本發明之實施形態進行詳細說明。
[第一實施形態]  ＜電性檢查裝置＞  如圖1～圖3所示，該電性檢查裝置具備：電性檢查頭11，其具有能夠自檢查對象基板P之法線方向接觸該檢查對象基板P之複數個探針11a；切換單元12，其具有能夠切換與複數個探針11a之連接之電路(以下，亦稱為「切換電路」)；及軸承13，其支持電性檢查頭11及切換單元12，使之能夠繞與檢查對象基板P之法線平行之軸旋轉。又，該電性檢查裝置具備保持電性檢查頭11及切換單元12之殼體14。電性檢查頭11、切換單元12、軸承13及殼體14構成該電性檢查裝置之本體1。又，軸承13及殼體14其本身構成作為本發明之一態樣之保持單元3。進而，如圖4所示，該電性檢查裝置具備可三維定位電性檢查頭11之驅動機構2。除此以外，該電性檢查裝置具備：使電性檢查頭11及切換單元12繞軸承13之中心軸(以下，亦簡稱為「軸A」)旋轉之馬達等驅動源(未圖示)、可計測檢查對象基板P之導電圖案之導通或絕緣、電阻、阻抗等之計測部(未圖示)、及可固定軸承13之外圈之框體15。上述驅動源藉由使殼體14旋轉，而使保持於該殼體14之電性檢查頭11及切換單元12與殼體14一體地旋轉。再者，該電性檢查裝置亦可進而具備：獲取檢查對象基板P之位置資訊之圖像處理器件(未圖示)、基於藉由該圖像處理器件而獲取之位置資訊驅動控制驅動機構2之控制器(未圖示)、及將檢查對象基板P搬送至與複數個探針11a對向之位置之搬送機構(未圖示)等。
(檢查對象基板)  檢查對象基板P為板狀或片狀。作為檢查對象基板P，例如可列舉印刷基板。作為該印刷基板，例如可列舉能夠於薄膜狀之基板上形成複數個功能部，將包含各功能部之部分切出而形成複數個電子零件者。
(電性檢查頭)  電性檢查頭11具有複數個探針11a及保持複數個探針11a之保持部11b。保持部11b具有與檢查對象基板P對向之底面。複數個探針11a自該底面向檢查對象基板P側突出。複數個探針11a配置成能夠接觸檢查對象基板P之導電圖案。複數個探針11a例如以0.1 mm左右至2 mm以下程度之間距配置。作為複數個探針11a之合計根數，例如可設為2000根以上。
(切換單元)  切換單元12具有能夠根據檢查對象基板P之種類或檢查項目切換複數個探針11a與上述計測部之連接之切換電路(於圖1～圖3中未圖示)。切換單元12例如選擇性地使根據檢查對象基板P之導電圖案選定之1個或複數個探針11a與上述計測部之電性連接為接通(ON)。切換單元12例如選擇性地使利用包含電腦之控制部(未圖示)選定之1個或複數個探針11a與上述計測部之電性連接按照該控制部之指示為接通。
(殼體)  殼體14包括具有與檢查對象基板P之法線平行之中心軸之筒狀之主體部14a、及設置於主體部14a之檢查對象基板P側之端部之底部14b。又，殼體14具有設置於主體部14a之與檢查對象基板P為相反側之端部之蓋部14c、及設置於底部14b且將電性檢查頭11可裝卸地支持之支持部14d。再者，主體部14a、底部14b、蓋部14c及支持部14d可相互裝卸，亦可無法裝卸而一體地形成。
主體部14a於檢查對象基板P側之端部具有擴徑部14e。主體部14a較佳為圓筒狀。主體部14a之中心軸與軸承13之軸A一致。主體部14a於其內部具有用以收容切換單元12之收容空間。
底部14b為板狀，較佳為圓板狀。底部14b堵塞主體部14a之檢查對象基板P側之端部開口。底部14b配置成與主體部14a之中心軸垂直。底部14b具有供切換單元12貫通之開口14f。開口14f例如為具有對向之一對側緣之矩形狀。再者，殼體14亦可具有將切換單元12以貫通開口14f之狀態固定之固定部(未圖示)。
支持部14d具有安裝於底部14b之底面(與檢查對象基板P對向之側之面)之一對導向壁14g、及安裝於該等導向壁14g之底面並自該底面向檢查對象基板P側突出之一對鉤14h。一對導向壁14g沿開口14f之上述一對側緣於左右方向(與檢查對象基板P之法線垂直之方向)上延伸。一對導向壁14g自兩側支持電性檢查頭11。一對鉤14h構成為能夠自兩側夾住電性檢查頭11。一對鉤14h構成為能夠以夾住電性檢查頭11之狀態相對於導向壁14g於主體部14a之中心軸方向(即，檢查對象基板P之法線方向)上移動。
〔連接構造〕  以下，對電性檢查頭11與切換單元12之連接構造進行詳細說明。電性檢查頭11與切換單元12可裝卸地於檢查對象基板P之法線方向上直接連接。
〈裝卸機構〉  參照圖1及圖2，對電性檢查頭11及切換單元12之裝卸機構進行說明。首先，切換單元12以貫通殼體14之底部14b之開口14f之狀態固定於殼體14。於該固定狀態下，切換單元12之與檢查對象基板P對向之側之端面12a以自殼體14之底部14b向檢查對象基板P側突出之狀態被保持。於上述固定狀態下，切換單元12之端面12a與底部14b之底面平行。於上述固定狀態下，切換單元12之較開口14f更靠檢查對象基板P之相反側之部分位於殼體14之主體部14a內(上述收容空間內)。
其次，於上述切換單元12之固定狀態下利用一對鉤14h夾住電性檢查頭11。電性檢查頭11藉由於一對鉤14h之間沿一對導向壁14g之長度方向(一對導向壁14g延伸之方向)滑動而被一對鉤14h夾住。並且，以夾住電性檢查頭11之狀態使一對鉤14h向切換單元12側移動，將切換單元12之端面12a、與電性檢查頭11之與切換單元12對向之側之端面11c(更詳細而言，為保持部11b之與切換單元12對向之側之端面11c)壓抵。藉此，將電性檢查頭11與切換單元12連接。再者，於將電性檢查頭11自切換單元12卸除之情形時，使一對鉤14h向切換單元12相反側移動，之後自一對鉤14h拔出電性檢查頭11即可。該電性檢查裝置能夠如此容易地將電性檢查頭11自切換單元12裝卸，故能夠對應於檢查對象基板P之種類等容易地更換電性檢查頭11。
〈電性連接構造〉  繼而，對電性檢查頭11及切換單元12之電性連接構造進行說明。於該電性檢查裝置中，電性檢查頭11與切換單元12直接連接。換言之，該電性檢查裝置係藉由使電性檢查頭11與切換單元12相互壓抵，而同時將複數個探針11a、及能夠切換與複數個探針11a之電性連接之切換電路電性連接。
參照圖5，對電性檢查頭11及切換單元12之電性連接構造進行詳細說明。如圖5所示，電性檢查頭11具有自與切換單元12對向之端面11c向切換單元12側突出之複數個接腳11d。接腳11d以貫通設置於端面11c之貫通孔11e之狀態保持於保持部11b。接腳11d分別一對一地與探針11a連接。
又，切換單元12具有：於檢查對象基板P之法線方向上與複數個接腳11d一對一對應之複數個接觸件12c、及將該接觸件12c向電性檢查頭11側推壓之彈簧12d。切換電路12b具有與複數個接腳11d一對一對應之接點。接觸件12c以彈簧12d抵抗回復力而被壓縮之狀態與切換電路12b之上述接點電性連接。
於該電性檢查裝置中，藉由使切換單元12之端面12a與電性檢查頭11之端面11c壓抵，而使接腳11d推壓接觸件12c。藉此，接觸件12被壓入切換電路12b側，探針11a與切換電路12b電性連接。該電性檢查裝置於彈簧12d與切換電路12b之間不具有撓性基板或導線等電氣配線。於該電性檢查裝置中，藉由以接腳11d推壓接觸件12c，能夠容易地將電性檢查頭11與切換單元12於檢查對象基板P之法線方向上直接連接。
再者，作為探針11a與切換電路12b之電性連接構造，例如亦可採用於切換單元12之端面12a設置插槽(未圖示)且藉由於該插槽嵌入複數個接腳11d而進行電性連接之構成。
(軸承)  軸承13支持殼體14之主體部14a。軸承13之中心軸(軸A)配置成與檢查對象基板P之法線平行。較佳為軸承13與檢查對象基板P接近設置。作為軸承13與檢查對象基板P之距離之上限，較佳為180 mm，更佳為125 mm，進而較佳為100 mm。藉由將上述距離設為上述上限以下，能夠充分地減小因軸承13之傾斜而引起之複數個探針11a相對於檢查對象基板P之測量點之位置偏移。藉此，該電性檢查裝置能夠充分地提高檢查對象基板P之電性檢查精度。另一方面，作為上述距離之下限，並無特別限定，例如就抑制複數個探針11a與檢查對象基板P之意外接觸之觀點而言，能夠設為10 mm。再者，所謂「軸承與檢查對象基板之距離」係指軸承與檢查對象基板之測量點之平均距離，例如係指於檢查對象基板之法線方向上之軸承與任意5個測量點之距離之平均值。
軸承13支持主體部14a之外周面。軸承13支持主體部14a之外周面之檢查對象基板P側之端部，更詳細而言，支持主體部14a之擴徑部14e之外周面。該電性檢查裝置中，由於軸承13支持主體部14a之檢查對象基板P側之端部，故而容易減小軸承13與檢查對象基板P之距離。又，該電性檢查裝置中，由於軸承13支持擴徑部14e之外周面，故而軸承13之直徑變大，容易高精度地調節繞軸A之旋轉角度，且容易高精度地相對於檢查對象基板P定位複數個探針11a。
軸承13之外圈固定於框體15。具體而言，軸承13之外圈藉由複數個螺絲而固定於框體15。
如圖1～圖3所示，該電性檢查裝置中，電性檢查頭11及切換單元12俯視下包含於軸承13之內周緣內。具體而言，切換單元12以於與檢查對象基板P對向之端面12a側嵌入開口14f之狀態而固定於殼體14。該電性檢查裝置中，藉由電性檢查頭11及切換單元12俯視下包含於軸承13之內周緣內，而電性檢查頭11及切換單元12之質量容易集中於主體部14a之中心軸附近。藉此，該電性檢查裝置能夠使電性檢查頭11及切換單元12以較小之慣性矩旋轉，偏心變小而旋轉穩定。其結果，能夠相對於檢查對象基板P高精度且快速地定位複數個探針11a。
切換單元12以沿檢查對象基板P之法線方向貫通軸承13之狀態配置。更詳細而言，切換單元12於與檢查對象基板P對向之端面12a側貫通軸承13之內周緣內。該電性檢查裝置係藉由使切換單元12貫通軸承13，而容易使軸承13靠近檢查對象基板P。藉此，該電性檢查裝置能夠充分地提高電性檢查精度。
(驅動機構)  作為驅動機構2，使用正交座標系統。如圖4所示，驅動機構2具有：沿與Z軸(與圖1中之軸A平行之軸)垂直之X軸方向延伸之固定軌道21、分別於一對固定軌道21上移動之一對滑塊22、於一對滑塊22之間架設於與Z軸方向及X軸方向垂直之Y軸方向上之一對可動軌道23、可於一對可動軌道23上移動之第1移動體24、及連接於第1移動體24且具有供殼體14嵌入之開口25a之第2移動體25。第2移動體25保持殼體14，使之能夠於與Z軸平行之方向上移動。該電性檢查裝置中，驅動機構2可三維定位電性檢查頭11，故而能夠容易地將複數個探針11a對位於所需之測量點。
該電性檢查裝置構成為能夠藉由驅動機構2進行電性檢查頭11之三維定位，進而能夠藉由上述驅動源使電性檢查頭11繞軸A旋轉。作為電性檢查頭11之繞軸A之旋轉角度，並無特別限定，較佳為超過360°。於該電性檢查裝置中，由於電性檢查頭11與切換單元12於檢查對象基板P之法線方向上直接連接，故而能夠減小用以使電性檢查頭11及切換單元12旋轉之避免干涉用之空間。因此，該電性檢查裝置容易增大電性檢查頭11之繞軸A之旋轉角度。
＜優點＞  該電性檢查裝置中，由於電性檢查頭11及切換單元12於檢查對象基板P之法線方向上直接連接，故而能夠使電性檢查頭11及切換單元12以較小之慣性矩旋轉，能夠相對於檢查對象基板P快速且高精度地定位複數個探針11a。因此，該電性檢查裝置能夠容易地提高檢查對象基板P之電性檢查效率。又，該電性檢查裝置中，由於能夠使電性檢查頭11及切換單元12以較小之慣性矩旋轉，故而能夠減小因該旋轉而引起之各部之負荷。進而，該電性檢查裝置中，由於電性檢查頭11及切換單元12直接連接，故而能夠提高電性連接之可靠性，並且抑制零件數量之增加，實現裝置之小型化。
＜保持單元＞  如圖1及圖2所示，該保持單元3具備：殼體14，其能夠將電性檢查頭11與切換單元12以於檢查對象基板P之法線方向上直接連接之狀態保持，該電性檢查頭11具有能夠自檢查對象基板P之法線方向接觸該檢查對象基板P之複數個探針11a，該切換單元12具有能夠切換與複數個探針11a之連接之電路；及軸承13，其支持殼體14，使之能夠繞與檢查對象基板P之法線平行之軸A旋轉。
＜優點＞  由於該保持單元3能夠將保持電性檢查頭11及切換單元12以於檢查對象基板P之法線方向上直接連接之狀態，故而能夠使電性檢查頭11及切換單元12以較小之慣性矩旋轉，能夠相對於檢查對象基板P快速且高精度地定位複數個探針11a。因此，該保持單元3能夠容易地提高檢查對象基板P之電性檢查效率。
[其他實施形態]  上述實施形態並不限定本發明之構成。因此，應當理解的是，上述實施形態可基於本說明書之記載及技術常識進行上述實施形態各部分之構成要素之省略、置換或追加，且該等全部屬於本發明之範圍。
例如如圖6所示，該電性檢查裝置亦可採用電性檢查頭11及切換單元12俯視下不內包於軸承33之內周緣內之構成。圖6之電性檢查裝置中，殼體34包括：具有與檢查對象基板P之法線平行之中心軸之筒狀之主體部34a、設置於主體部34a之檢查對象基板P側之端部之底部34b、設置於主體部34a之與檢查對象基板P為相反側之端部之蓋部34c、及設置於底部34b且將電性檢查頭11可裝卸地支持之支持部34d。該電性檢查裝置於蓋部34c之外表面配置有軸承33。該電性檢查裝置與圖1之電性檢查裝置相同，藉由直接連接電性檢查頭11及切換單元12，能夠提高電性連接之可靠性。又，該電性檢查裝置能夠容易將電性檢查頭11及切換單元12之質量集中於主體部34a之中心軸附近，使電性檢查頭11及切換單元12以較小之慣性矩旋轉，偏心變小而旋轉穩定。進而，該電性檢查裝置中，由於軸承33配置於蓋部34c之外表面，故而容易實現裝置之小型化。
上述切換單元亦可不必以沿檢查對象基板之法線方向貫通軸承之狀態配置。例如該電性檢查裝置亦可為電性檢查頭以沿檢查對象基板之法線方向貫通軸承之狀態配置。根據該構成，容易減小軸承與檢查對象基板之距離。又，如圖6所示，該電性檢查裝置亦可採用電性檢查頭11及切換單元12均不貫通軸承33之構成。
上述殼體之具體構成並不限定於上述實施形態之構成。例如，上述主體部亦可不必於檢查對象基板側之端部具有擴徑部。又，上述殼體亦可構成為能夠保持複數個電性檢查頭及/或複數個切換單元。例如，亦可為，上述殼體具有筒狀之主體部、及設置於該主體部之檢查對象基板側之端部之底部，且於該底部形成供複數個切換單元貫通之複數個開口。進而，亦可使用組合有複數個框架之框體代替上述殼體。
上述驅動機構之具體構成並不限定於上述實施形態之構成。例如亦可使用多關節機器人作為上述驅動機構。  [產業上之可利用性]
如上述說明，本發明之一態樣之電性檢查裝置適合用於印刷基板之電性檢查。
1:本體 2:驅動機構 3:保持單元 11:電性檢查頭 11a:探針 11b:保持部 11c:端面 11d:對向面 11e:貫通孔 12:切換單元 12a:端面 12b:切換電路 12c:接觸件 12d:彈簧 13:軸承 14:殼體 14a:主體部 14b:底部 14c:蓋部 14d:支持部 14e:擴徑部 14f:開口 14g:導向壁 14h:鉤 15:框體 21:固定軌道 22:滑塊 23:可動軌道 24:第1移動體 25:第2移動體 25a:開口 33:軸承 34:殼體 34a:主體部 34b:底部 34c:蓋部 34d:支持部 A:軸 P:檢查對象基板
圖1係表示本發明之一實施形態之電性檢查裝置之本體之模式性局部剖面立體圖。  圖2係圖1之本體之局部剖面前視圖。  圖3係圖1之本體之仰視圖。  圖4係表示能夠驅動圖1之本體之驅動機構之模式性俯視圖。  圖5係表示圖1之本體之檢查頭與切換單元之連接構造之模式性剖視圖。  圖6係表示與圖1之本體不同之形態之本體之與圖2對應之模式性剖視圖。
1:本體
3:保持單元
11:電性檢查頭
11a:探針
11b:保持部
11c:端面
12:切換單元
12a:端面
13:軸承
14:殼體
14a:主體部
14b:底部
14c:蓋部
14d:支持部
14e:擴徑部
14f:開口
14g:導向壁
14h:鉤
15:框體
A:軸
P:檢查對象基板

Claims (6)

  1. 一種電性檢查裝置，其具備：  電性檢查頭，其具有能夠自檢查對象基板之法線方向接觸該檢查對象基板之複數個探針；  切換單元，其具有能夠切換與上述複數個探針之連接之電路；及  軸承，其支持上述電性檢查頭及切換單元，使之能夠繞與上述法線平行之軸旋轉；  上述電性檢查頭與切換單元可裝卸地於上述法線方向上直接連接。
  2. 如請求項1之電性檢查裝置，其中上述電性檢查頭及切換單元俯視下包含於上述軸承之內周緣內。
  3. 如請求項2之電性檢查裝置，其中上述切換單元以於上述法線方向貫通上述軸承之狀態配置。
  4. 如請求項3之電性檢查裝置，其具備殼體，該殼體包括具有與上述法線平行之中心軸之筒狀之主體部、及設置於該主體部之上述檢查對象基板側之端部之底部，  上述底部具有供上述切換單元貫通之開口，  上述軸承支持上述主體部之外周面之上述檢查對象基板側之端部。
  5. 如請求項1至4中任一項之電性檢查裝置，其進而具備可三維定位上述電性檢查頭之驅動機構。
  6. 一種保持單元，其具備：  殼體，其能夠將電性檢查頭與切換單元以於法線方向上直接連接之狀態保持，該電性檢查頭具有能夠自檢查對象基板之上述法線方向接觸該檢查對象基板之複數個探針，該切換單元具有能夠切換與上述複數個探針之連接之電路；及  軸承，其支持上述殼體，使之能夠繞與上述法線平行之軸旋轉。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116316278B (zh) * 2023-05-22 2023-09-22 国网山东省电力公司诸城市供电公司 一种供电用的线路检修装置

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85107031B (zh) * 1985-09-20 1988-08-24 株式会社三丰制作所 坐标测量仪
JP2630352B2 (ja) * 1988-04-25 1997-07-16 東京エレクトロン株式会社 基板の検査装置
JPH02243976A (ja) * 1989-03-17 1990-09-28 Nippon Seiko Kk 回路基板検査装置における接触子移動方法及びその装置
JPH0572283A (ja) * 1991-09-10 1993-03-23 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｉｃテスターの測定治具
JPH0827334B2 (ja) * 1992-11-13 1996-03-21 日東精工株式会社 基板検査装置
JPH0755885A (ja) * 1993-06-30 1995-03-03 Hitachi Ltd 電気回路基板の電気特性検査装置
JP3116261B2 (ja) * 1994-05-17 2000-12-11 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置
JPH0915302A (ja) * 1995-06-30 1997-01-17 Olympus Optical Co Ltd 回路基板検査機の位置決め装置および位置決め方法
JP3545655B2 (ja) * 1999-09-08 2004-07-21 株式会社日本マイクロニクス 電気接続装置
US6914423B2 (en) 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
JP2002107411A (ja) 2000-09-29 2002-04-10 Ando Electric Co Ltd テストヘッドの支持台
JP2002107410A (ja) 2000-09-29 2002-04-10 Ando Electric Co Ltd Ｔａｂ用オートハンドラ
TWI272392B (en) * 2002-03-22 2007-02-01 Electro Scient Ind Inc Test probe alignment apparatus
JP3842192B2 (ja) * 2002-09-12 2006-11-08 シーケーディ株式会社 部品実装装置及び部品検査装置
US7235964B2 (en) 2003-03-31 2007-06-26 Intest Corporation Test head positioning system and method
GB0308550D0 (en) * 2003-04-10 2003-05-21 Barker Colin Improvements to an automatic test machine
EP1729335B1 (en) 2004-03-25 2019-07-17 Nabtesco Corporation Turning device for heavy object
GB0508402D0 (en) * 2005-04-26 2005-06-01 Renishaw Plc Probe calibration
JP5334355B2 (ja) * 2005-05-27 2013-11-06 ヤマハファインテック株式会社 プリント基板の電気検査装置および電気検査方法
JP5451730B2 (ja) * 2005-11-15 2014-03-26 株式会社アドバンテスト プローブカード保持装置
JP4986130B2 (ja) 2007-01-16 2012-07-25 日本電産リード株式会社 基板検査装置
JP2010112789A (ja) * 2008-11-05 2010-05-20 Yamaha Fine Technologies Co Ltd 電気検査装置
JP5629545B2 (ja) * 2009-12-18 2014-11-19 株式会社日本マイクロニクス プローブカード及び検査装置
JP2011185702A (ja) * 2010-03-08 2011-09-22 Yamaha Fine Technologies Co Ltd 回路基板の電気検査方法及び電気検査装置
JP2013101017A (ja) * 2011-11-08 2013-05-23 Nidec-Read Corp 基板検査装置
JP2014071043A (ja) * 2012-09-28 2014-04-21 Nidec-Read Corp 基板検査装置及び基板検査方法
JP6327825B2 (ja) * 2013-10-08 2018-05-23 日置電機株式会社 フレキシブル基板、フレキシブル基板アッセンブリ、及び基板検査装置
JP6273131B2 (ja) * 2013-11-27 2018-01-31 株式会社日本マイクロニクス 検査装置、及び検査方法
KR101754175B1 (ko) * 2014-12-27 2017-07-05 싱크-테크 시스템 코포레이션 업그레이드 기능을 구비한 테스트 기기
JP6041175B2 (ja) 2015-03-30 2016-12-07 株式会社東京精密 プローバ
JP6520356B2 (ja) * 2015-04-28 2019-05-29 新東工業株式会社 検査装置および検査方法
JP6620990B2 (ja) 2016-01-08 2019-12-18 株式会社東京精密 プローバ及びプローブコンタクト方法
TWI631352B (zh) * 2016-08-02 2018-08-01 旺矽科技股份有限公司 Measuring system
JP6854419B2 (ja) 2016-09-07 2021-04-07 株式会社東京精密 プローバ

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