JP6620990B2 - プローバ及びプローブコンタクト方法 - Google Patents
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Description
まず、第1の実施形態について説明する。
コンタクト動作の事前動作について説明する。
アライメント装置70にウエハチャック34が受け渡された後、図7Aに示すように、チャック固定用電磁弁制御部112は、チャック固定用電磁弁84をON(開状態)とし、Z軸移動・回転部72のウエハチャック支持面72a(図4参照)にウエハチャック34を吸着して固定する(図8の時間T1)。このとき、Z軸移動・回転部72の位置決めピン88をウエハチャック34のVブロック90のV溝内に係合させることで、アライメント装置70とウエハチャック34との相対的な位置決めが行われる。
次に、X軸移動制御部102、Y軸移動制御部104、及びθ回転制御部108は、全体制御部100による制御の下、針位置検出カメラ及びウエハアライメントカメラにより撮像された結果に基づき、X軸駆動モータ118、Y軸駆動モータ120、回転駆動モータ124を制御して、ウエハチャック34に保持されたウエハWとプローブカード32との相対的な位置合わせを行う。
次に、図7Aに示すように、シャッタ制御部116は、シャッタ手段58を開いて連通路56を開放する(図8の時間T3)。
次に、図7B及び図7Cに示すように、Z軸移動制御部106は、Z軸駆動モータ122を制御して、Z軸移動・回転部72を上昇させることにより、ウエハチャック34をプローブカード32に向かって移動させる(図8の時間T4〜T5)。具体的には、ウエハチャック34が所定の高さ位置(待機位置)からリング状シール部材48がヘッドステージ30に接触する高さ位置まで移動するようにウエハチャック34を上昇させ(図7B参照)、さらに、少なくともプローブ36の先端位置(コンタクト位置)よりも高い位置までウエハチャック34を上昇させる(図7C参照)。これにより、プローブカード32の各プローブ36はオーバードライブの状態でウエハWの各チップの電極パッドに接触する。なお、Z軸上昇工程は本発明のウエハチャック移動工程の一例である。
次に、図7Dに示すように、シャッタ制御部116は、シャッタ手段58を閉じて連通路56を遮断する(図8の時間T6)。これにより、リング状シール部材48によりウエハチャック34とプローブカード32との間に形成された内部空間Sは外部空間と連通しない非連通状態(密閉状態)となる。
次に、図7Dに示すように、吸引制御部114は、真空電空レギュレータ54の動作を制御して内部空間Sの減圧を開始する(図8の時間T7)。このとき、吸引制御部114は、Z軸移動・回転部72の吸引口80(図4参照)によるウエハチャック34の固定が解除された場合にプローブカード32の適正オーバードライブ量(適正OD位置)までウエハチャック34が上昇するような目標圧力を設定し、その目標圧力となるように内部空間Sの内部圧力を調整する。内部空間Sの目標圧力は経験的または実験的に求めてもよいし、設計値から求めてもよい。例えば、目標圧力を決めるためには、プローブカード32の適正オーバードライブ量までウエハチャック34が上昇したときにプローブ36から受ける反力(プローブ36が潰されたときの反力)と、プローブカード32に設けられているプローブ36の総本数とから求めることができる。プローブカード32の総針圧(プローブ36から受ける圧力の合計)が分かれば、リング状シール部材48によって囲まれる面(吸着面)の面積で除算することによって必要な負圧が内部空間Sの目標圧力として求められる。但し、ウエハチャック34の重量とリング状シール部材48とを潰すことによる反力分を加味して内部空間Sの目標圧力を設定することが必要である。
次に、吸引制御部114は、内部空間Sの内部圧力(圧力値P1)が真空電空レギュレータ54による設定圧力(圧力値P2)に到達したか否かを判断する。この判断は内部圧力(圧力値P1)が設定圧力(圧力値P2)に到達するまで繰り返し行われ、設定圧力(圧力値P2)に到達した場合には次のステップS24に進む。これにより、内部空間Sの内部圧力が設定圧力で安定したところで、後述するウエハチャック固定解除工程(ステップS24)が行われる。なお、内部空間Sの内部圧力は、例えばウエハチャック34又はヘッドステージ30に設けた圧力センサにより内部空間Sの内部圧力を直接検出してもよいし、真空電空レギュレータ54に内蔵又は接続された圧力センサにより検出してもよい。
次に、図7Eに示すように、チャック固定用電磁弁制御部112は、チャック固定用電磁弁84をOFF(閉状態)とし、Z軸移動・回転部72の吸引口80(図4参照)によるウエハチャック34の固定を解除する(図8の時間T9)。
次に、図7Fに示すように、Z軸移動制御部106は、Z軸駆動モータ122を制御して、Z軸移動・回転部72を所定の高さ位置(待機位置)まで下降させる(図8の時間T11〜T12)。
次に、第2の実施形態について説明する。以下、上述した実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。
Claims (16)
- ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハを取り囲むように形成された環状のシール部材と、
前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させたときに前記プローブカード、前記ウエハチャック、及び前記シール部材により形成される内部空間を減圧する減圧手段と、
前記減圧手段による前記内部空間の減圧を開始する第1タイミングよりも遅い第2タイミングで前記ウエハチャック固定部による前記ウエハチャックの固定を解除するタイミング制御手段と、
を備え、
前記ウエハチャック固定部は前記ウエハチャックを吸着する吸引口を有し、
前記吸引口に接続される経路には前記経路を流れる気体の流量を制限する絞り弁が設けられている、
プローバ。 - 前記内部空間と外部空間との間を連通する連通路と、
前記連通路を開放及び遮断可能なシャッタ手段と、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させる場合には前記連通路を開放し、かつ前記減圧手段により前記内部空間を減圧する場合には前記連通路を遮断するように、前記シャッタ手段を制御するシャッタ制御手段と、
を備える請求項1に記載のプローバ。 - ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハを取り囲むように形成された環状のシール部材と、
前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させたときに前記プローブカード、前記ウエハチャック、及び前記シール部材により形成される内部空間を減圧する減圧手段と、
前記減圧手段による前記内部空間の減圧を開始する第1タイミングよりも遅い第2タイミングで前記ウエハチャック固定部による前記ウエハチャックの固定を解除するタイミング制御手段と、
前記内部空間と外部空間との間を連通する連通路と、
前記連通路を開放及び遮断可能なシャッタ手段と、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させる場合には前記連通路を開放し、かつ前記減圧手段により前記内部空間を減圧する場合には前記連通路を遮断するように、前記シャッタ手段を制御するシャッタ制御手段と、
を備えるプローバ。 - 前記内部空間の減圧により前記ウエハチャックが前記プローブカードに向かって引き寄せられるように移動する際に前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向の移動を規制しつつ前記ウエハチャックの移動を案内するガイド手段を備える、
請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローバ。 - ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハを取り囲むように形成された環状のシール部材と、
前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させたときに前記プローブカード、前記ウエハチャック、及び前記シール部材により形成される内部空間を減圧する減圧手段と、
前記減圧手段による前記内部空間の減圧を開始する第1タイミングよりも遅い第2タイミングで前記ウエハチャック固定部による前記ウエハチャックの固定を解除するタイミング制御手段と、
前記内部空間の減圧により前記ウエハチャックが前記プローブカードに向かって引き寄せられるように移動する際に前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向の移動を規制しつつ前記ウエハチャックの移動を案内するガイド手段と、
を備えるプローバ。 - 前記ガイド手段は、前記ウエハチャックに設けられた軸受部と、前記プローブカードを保持するヘッドステージに着脱自在に固定され前記軸受部に軸支されるガイド軸部とを有する、
請求項4又は5に記載のプローバ。 - 前記ガイド手段は、前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向における互いに異なる位置に少なくとも3つ設けられる、
請求項4〜6のいずれか1項に記載のプローバ。 - 前記機械的昇降手段は、前記プローブを前記電極パッドにオーバードライブの状態で接触させるように、前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させる、
請求項1〜7のいずれか1項に記載のプローバ。 - ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハを取り囲むように形成された環状のシール部材と、
前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、
を備えるプローバにおけるプローブコンタクト方法であって、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させるウエハチャック移動工程と、
前記ウエハチャック移動工程が行われた後、前記プローブカード、前記ウエハチャック、及び前記シール部材により形成される内部空間を減圧する減圧工程と、
前記内部空間の減圧を開始する第1タイミングよりも遅い第2タイミングで前記ウエハチャック固定部による前記ウエハチャックの固定を解除するウエハチャック固定解除工程と、
を備え、
前記ウエハチャック固定部は前記ウエハチャックを吸着する吸引口を有し、
前記吸引口に接続される経路には前記経路を流れる気体の流量を制限する絞り弁が設けられている、
プローブコンタクト方法。 - 前記ウエハチャック移動工程により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させる場合には前記内部空間と外部空間との間を連通状態とし、前記減圧工程により前記内部空間を減圧する場合には前記内部空間と前記外部空間との間を非連通状態とする、
請求項9に記載のプローブコンタクト方法。 - ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハを取り囲むように形成された環状のシール部材と、
前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、
を備えるプローバにおけるプローブコンタクト方法であって、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させるウエハチャック移動工程と、
前記ウエハチャック移動工程が行われた後、前記プローブカード、前記ウエハチャック、及び前記シール部材により形成される内部空間を減圧する減圧工程と、
前記内部空間の減圧を開始する第1タイミングよりも遅い第2タイミングで前記ウエハチャック固定部による前記ウエハチャックの固定を解除するウエハチャック固定解除工程と、
を備え、
前記ウエハチャック移動工程により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させる場合には前記内部空間と外部空間との間を連通状態とし、前記減圧工程により前記内部空間を減圧する場合には前記内部空間と前記外部空間との間を非連通状態とする、
プローブコンタクト方法。 - 前記内部空間の減圧により前記ウエハチャックが前記プローブカードに向かって引き寄せられるように移動する際に前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向の移動を規制しつつ前記ウエハチャックの移動を案内するガイド工程を備える、
請求項9〜11のいずれか1項に記載のプローブコンタクト方法。 - ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックと対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハを取り囲むように形成された環状のシール部材と、
前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、
を備えるプローバにおけるプローブコンタクト方法であって、
前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させるウエハチャック移動工程と、
前記ウエハチャック移動工程が行われた後、前記プローブカード、前記ウエハチャック、及び前記シール部材により形成される内部空間を減圧する減圧工程と、
前記内部空間の減圧を開始する第1タイミングよりも遅い第2タイミングで前記ウエハチャック固定部による前記ウエハチャックの固定を解除するウエハチャック固定解除工程と、
前記内部空間の減圧により前記ウエハチャックが前記プローブカードに向かって引き寄せられるように移動する際に前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向の移動を規制しつつ前記ウエハチャックの移動を案内するガイド工程と、
を備えるプローブコンタクト方法。 - 前記ガイド工程は、前記ウエハチャックに設けられた軸受部と、前記プローブカードを保持するヘッドステージに着脱自在に固定され前記軸受部に軸支されるガイド軸部とを有するガイド手段により行われる、
請求項12又は13に記載のプローブコンタクト方法。 - 前記ガイド工程は、前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向における互いに異なる少なくとも3つの位置で前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向の移動を規制しつつ前記ウエハチャックの移動を案内する、
請求項12〜14のいずれか1項に記載のプローブコンタクト方法。 - 前記ウエハチャック移動工程は、前記プローブを電極パッドにオーバードライブの状態で接触させるように、前記機械的昇降手段により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させる、
請求項9〜15のいずれか1項に記載のプローブコンタクト方法。
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