JP7022291B2 - プローバ - Google Patents
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Description
検査を高精度に行うことができる。
Claims (2)
- ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャック上の前記ウエハに対向する面に複数のプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックと前記プローブカードとの間をシールして密閉空間を形成し、前記密閉空間を減圧して、前記ウエハチャックを前記プローブカードを基準として上方へ引き寄せる減圧手段と、
前記プローブカードの上側に配置し前記プローブカードと電気的に接続するとともに、ヘッドステージに支持されるポゴフレームと、
外縁部を均等に支持されて自重を軽減されつつ、前記ポゴフレーム上に載せ置きされるテストヘッドと、
を備え、
前記ポゴフレームを、前記ヘッドステージを介してフレーム部材によって支持し、前記ポゴフレームが支持された前記フレーム部材によってテストヘッド保持部を介して前記テストヘッドを支持する構成を有する、プローバ。 - 前記ポゴフレームを前記ヘッドステージに、前記プローブカードを前記ポゴフレームに、前記テストヘッドを前記ポゴフレームに、それぞれ真空吸着により固定することで、前記テストヘッド、前記ポゴフレーム、及び前記プローブカードが一体化された状態である、
請求項1に記載のプローバ。
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