JP2008128838A - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外部接続用パッドを有する半導体装置20を固定するステージ17と、ステージ17に設けられ、所定の温度TXとなるように半導体装置20を加熱する加熱手段18と、プローブピン48及びプローブピン48を支持する支持基板43を有するプローブカード24と、を備えたプローブ装置11であって、支持基板43に、所定の温度TXと略等しくなるようにプローブピン48の配設位置に対応する部分の前支持基板43を加熱する抵抗発熱体27を設けた。
【選択図】図3
Description
図3は、本発明の第1の実施の形態に係る検査装置の断面図である。図3において、X,X方向はステージ17の面方向、Y,Y方向はステージ17の面方向に直交する方向をそれぞれ示している。
図6は、本発明の第2の実施に形態に係る検査装置の断面図である。図6において、第1の実施の形態の検査装置10と同一構成部分には同一符号を付す。
11,71 プローブ装置
12 テスタ
14 筐体
14A 底部
15 駆動装置
16 支持体
17 ステージ
17A,43A,58A 上面
18 加熱手段
20 半導体装置
21 ヘッドプレート
22 ホルダー支持体
23 プローブカードホルダー
24 プローブカード
25 コンタクトリング
26 テストヘッド
27,73 抵抗発熱体
27A,27B,73A,73B 端部
28 温度検出手段
29 電力供給装置
29A プラス端子
29B マイナス端子
30 電力制御手段
31 半導体基板
32 半導体集積回路
33 外部接続用パッド
35 ヘッドプレート本体
35A,43B,58B 下面
36 コンタクトリング装着部
38 ホルダー本体
39 プローブカード装着部
43 支持基板
44 貫通ビア
46 上部配線
47 下部配線
48 プローブピン
55 貫通孔
58 コンタクトリング本体
61 第1接続ピン
62 第2接続ピン
A 回路形成領域
C 空間
TX 所定の温度
Claims (5)
- 外部接続用パッドを有する半導体装置を固定するステージと、
前記ステージに設けられ、所定の温度となるように前記半導体装置を加熱する加熱手段と、
プローブピンと、前記プローブピンを支持する支持基板とを有するプローブカードと、を備え、
前記所定の温度に加熱された前記半導体装置の前記外部接続用パッドと前記プローブピンとを接触させて前記半導体装置の電気的検査を行うプローブ装置であって、
前記支持基板に、前記所定の温度と略等しくなるように前記プローブピンの配設位置に対応する部分の前記支持基板を加熱する抵抗発熱体を設けたことを特徴とするプローブ装置。 - 前記支持基板に、前記プローブピンの配設位置に対応する部分の前記支持基板の温度を検出する温度検出手段を設けると共に、前記温度検出手段が検出する前記温度が前記所定の温度と略等しくなるように、前記抵抗発熱体に印加する電力を制御する電力制御手段を設けたことを特徴とする請求項1記載のプローブ装置。
- 前記抵抗発熱体は、前記プローブピンが配設される側の前記支持基板の第1の面と、前記第1の面の反対側に位置する前記支持基板の第2の面とに設けることを特徴とする請求項1又は2記載のプローブ装置。
- 前記抵抗発熱体は、金属膜がパターニングされた配線パターンであることを特徴とする請求項1ないし3のうち、いずれか一項記載のプローブ装置。
- 前記支持基板の熱膨張係数は、前記半導体装置の熱膨張係数と略等しいことを特徴とする請求項1ないし4のうち、いずれか一項記載のプローブ装置。
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