JP2009020027A - 温度特性計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品の温度特性を計測する温度特性計測装置1であって、電子部品搭載プレート10に電子部品を搭載し、この電子部品搭載プレート10を、熱伝達プレート20の載置面に配置する。温度制御素子30は、熱伝達プレート20に温熱又は冷熱を供給する。電子部品搭載プレート10には、その温度を直接計測する部品側温度計測装置15が設置され、この部品側温度計測装置15の計測結果に基づいて、温度制御ユニットが温度制御素子30を制御するようにした。
【選択図】図1
Description
10 電子部品搭載プレート
15 部品側温度計測装置
20 熱伝達プレート
25 温度制御素子側温度計測装置
30 温度制御素子
35 温度制御ユニット
42 温度校正部
44 素子側制御部
46 部品側制御部
70 プローブユニット
72 プローブ
74 移動機構
Claims (17)
- 電子部品の温度特性を計測する温度特性計測装置であって、
前記電子部品が載置される電子部品搭載プレートと、
前記電子部品搭載プレートの載置面を構成し、且つ前記電子部品搭載プレートに温熱又は冷熱を供給する熱伝達プレートと、
前記熱伝達プレートに温熱又は冷熱を供給する温度制御素子と、
前記電子部品搭載プレートの温度を直接計測する部品側温度計測装置と、
前記部品側温度計測装置の計測結果に基づいて、前記温度制御素子を制御する温度制御ユニットと、
を備えることを特徴とする温度特性計測装置。 - 前記部品側温度計測装置が、前記電子部品搭載プレートの複数箇所の温度を計測すること特徴とする請求項1記載の温度特性計測装置。
- 前記部品側温度計測装置が、前記電子部品搭載プレートにおける中央及び両外側の少なくとも3箇所の温度を計測することを特徴とする請求項2記載の温度特性計測装置。
- 前記部品側温度計測装置が、前記電子部品搭載プレートの第1方向の複数個所及び、前記第1方向に直行する第2方向の複数個所の温度を計測することを特徴とする請求項2記載の温度特性計測装置。
- 前記部品側温度計測装置が、白金測温抵抗体又はサーミスタによる温度センサを備えることを特徴とする請求項1ないし4記載の温度特性計測装置。
- 前記熱伝達プレートの温度を直接計測する温度制御素子側温度計測装置を備え、
前記温度制御ユニットは、前記部品側温度計測装置の計測結果と前記温度制御素子側温度計測装置の計測結果の双方に基づいて、前記温度制御素子を制御することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか記載の温度特性計測装置。 - 前記温度制御素子側温度計測装置が、前記熱伝達プレートの複数箇所の温度を計測すること特徴とする請求項6記載の温度特性計測装置。
- 前記温度制御素子側温度計測装置が、前記熱伝達プレートにおける中央及び両外側の少なくとも3箇所の温度を計測することを特徴とする請求項7記載の温度特性計測装置。
- 前記電子部品搭載プレートの表面積が、前記熱伝達プレートの表面積に対して4分の3以下に設定されることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか記載の温度特性計測装置。
- 前記温度制御素子が複数配置され、前記温度制御素子の夫々が、前記温度制御ユニットによって独立制御されることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか記載の温度特性計測装置。
- 前記電子部品搭載プレートと対向状態に配置され、前記電子部品の端子と接触又は離反して前記電子部品の出力を検出可能なプローブユニットを備えることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか記載の温度特性計測装置。
- 前記電子部品搭載プレートの周囲を覆う隔離カバーを備えることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか記載の温度特性計測装置。
- 前記プローブユニットに温熱又は冷熱を供給するプローブ側温度制御素子を備えることを特徴とする請求項11記載の温度特性計測装置。
- 前記部品側温度計測装置が前記電子部品搭載プレートに着脱自在に連結されて該電子部品搭載プレートの温度を計測することを特徴とする請求項1ないし13のいずれか記載の温度特性計測素装置。
- 請求項1ないし14のいずれかにおいて、前記温度制御ユニットが、
前記部品側温度計測装置の温度センサの校正値に基づいて、該部品側温度計測装置の計測結果を校正する温度校正部を備えることを特徴とする温度特性計測装置。 - 請求項6、7又は8において、前記温度制御ユニットが、
前記温度制御素子側温度計測装置の計測結果と前記熱伝達プレートの温度目標値に基づいて、前記温度制御素子を温度制御する素子側制御部と、
前記部品側温度計測装置の計測結果と前記電子部品搭載プレートの温度目標値に基づいて、前記温度制御素子側温度計測装置の計測結果又は前記熱伝達プレートの温度目標値を補正する部品側制御部と、を備えることを特徴とする温度特性計測装置。 - 請求項6、7又は8において、
前記部品側温度計測装置が、前記電子部品搭載プレートの複数の計測箇所の温度を計測すると共に、前記温度制御素子側温度計測装置が、前記電子部品搭載プレートの前記計測箇所に対応するように、前記熱伝達プレートの複数の計測箇所の温度を計測するようになっており、
前記温度制御素子が、前記熱伝達プレートの前記計測箇所に対応するように複数配置され、
前記温度制御ユニットが、前記電子部品側搭載プレートの計測箇所の温度及び該計測箇所に対応する前記熱伝達プレートの計測箇所の温度に基づいて、前記計測箇所に対応する前記温度制御素子を制御することを特徴とする温度特性計測装置。
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