JP6299137B2 - 検査用治具 - Google Patents
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Description
なお、特許請求の範囲および上記手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
なお、特許請求の範囲および上記手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
以下、本発明に係る検査用治具を具現化した第1実施形態について、図面を参照して説明する。図1は第1実施形態に係る検査用治具20に圧力センサ1が保持された状態を示す上面図である。図2は、図1の検査用治具20を側面から見た側面図である。なお、図1および図2では、便宜上、圧力センサ1が1つだけ保持された状態を示している。
図1および図2に示すように、検査用治具20は、8個の圧力センサ1を保持可能な金属製のベース21と、ベース21の温度を測定する温度測定手段として機能する温度測定部30と、を備えている。ベース21は、周温の変化に対する温度追従性が高いステンレス鋼等の金属により略平板状に構成されている。これにより、ベース21の温度は保持する圧力センサ1の温度とほぼ等しくなることから、ベース21の温度を測定することで圧力センサ1の温度を測定することができる。
次に、本発明の第2実施形態に係る検査用治具について、図5および図6を用いて説明する。図5は、第2実施形態に係る検査用治具20の温度測定部40を示す斜視図である。図6は、図5の温度測定部40の断面図である。
本第2実施形態では、温度測定部30に代えて温度測定部40を採用する点が主に上記第1実施形態と異なる。このため、第1実施形態の検査用治具と実質的に同様の構成部分には同一符号を付して説明を省略する。
図5および図6に示すように、温度測定部40は、抵抗体41および配線部42と、モールド樹脂等からなる封止部材43とを備えている。この温度測定部40は、抵抗体41の露出面41aおよび配線部42のパッド42aを除き抵抗体41および配線部42が封止部材43により封止されることで一体化されている。
(1)本発明に係る検査用治具20の保持対象となる被検査体として、上述した圧力センサ1が採用されることに限らず、検査時に温度を測定する必要がある被検査体であれば、採用することができる。
10…検査装置
20…検査用治具
21…ベース
30…温度測定部(温度測定手段)
31…サーミスタ(抵抗体)
32…配線部
40…温度測定部(温度測定手段)
41…抵抗体 41a…露出面
42…配線部 42a…パッド(露出面)
43…封止部材
Claims (2)
- 出力値の検査時に温度が測定される複数の圧力センサ(1)を保持する検査用治具(20)であって、
前記圧力センサが保持される金属製のベース(21)と、
前記ベースに組み付けられて当該ベースの温度を測定するための1つの温度測定手段(30,40)と、を備え、
前記ベースには長穴状の開口(22)が中央に形成され、
前記温度測定手段は、
温度に応じて抵抗値が変化する抵抗体(31,41)と、
前記抵抗体の抵抗値を測定するために当該抵抗体に電気的に接続される配線部(32,42)と、を有し、
前記抵抗体は、前記ベースに接触するように配置され、
良品と判断された圧力センサのROMに測定結果に基づく補正情報が書き込まれることを特徴とする検査用治具。 - 前記温度測定手段(40)は、前記抵抗体の露出面(41a)および前記配線部の露出面(42a)を除き前記抵抗体および前記配線部が封止部材(43)により封止されて一体化され、
前記抵抗体の露出面は、前記ベースに接触し、
前記配線部の露出面は、パッドとして形成されることを特徴とする請求項1に記載の検査用治具。
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