KR101802802B1 - 압력센서의 캘리브레이션 방법 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 17
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 17
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 15
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 22
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L25/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring force, torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/18—Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
- G01L23/08—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
- G01L23/14—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by electromagnetic elements
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- G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
- G01L5/165—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in capacitance
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Abstract
본 발명에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법은, 테이블이 마련된 본체, 상기 테이블에 마련되며 인가되는 전압에 따라 온도가 변화되는 온도조절유닛 및 내부에 복수개의 압력센서가 장착되는 센서장착지그를 포함하는 압력센서용 캘리브레이션 장치를 이용하여 압력센서에 대한 캘리브레이션 공정을 수행하는 방법으로, 상기 센서장착지그가 상기 온도조절유닛 상에 배치된 상태에서 미리 정해진 설정온도에 따라 상기 온도조절유닛에 전압을 인가하는 단계; 및 상기 온도조절유닛에 의해 상기 설정온도에 도달하면 미리 정해진 적어도 하나의 압력 포인트에 대해 상기 압력센서의 캘리브레이션을 수행하는 단계를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법은, 캘리브레이션 공정에 있어서 압력센서의 설정온도를 변경하기 위해 열풍 챔버 방식을 이용하는 종래 기술과는 다르게 열전소자를 이용하여 압력센서의 설정온도를 신속하고 정확하게 변경함으로써 압력센서의 캘리브레이션 공전에 소요되는 시간을 대폭 줄일 수 있고, 이에 따라 압력센서의 제품 생산성을 증가시킬 수 있다.
Description
본 발명은 압력센서의 캘리브레이션 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 압력센서 제품의 출하에 앞서 압력센서에 대해 캘리브레이션 공정을 수행하기 위한 압력센서용 캘리브레이션 방법에 관한 것이다.
일반적으로 압력센서는 압력을 감지해서 전기신호로 변환시키기 위한 목적으로 사용된다. 이와 같은 압력센서는 자동차, 생체공학용 의료기, 환경 제어아 산업체의 대규모 시스템 제어 등에서 광범위하게 적용되고 있다.
한편, 자동차 등의 차량에 사용되는 압력센서는 검출방식에 의하여 기계식 압력센서, 전기식 압력센서, 반도체식 압력센서 등으로 분류한다. 현재 자동차 등의 차량에는 전기식 압력센서가 많이 사용된다. 이러한 전기식 압력센서는 전기적으로 감지하는 방식에 따라 압저항형 압력센서, 압전형 압력센서, 정전용량형 압력센서 및 전자기형 압력센서 등으로 분류되며, 압전형 압력센서와 압저항형 압력센서가 많이 사용된다. 압전형 압력센서는 수정 및 세라믹이 특정한 방향으로 압력을 받게되면 자체 내에 전압이 유기되는 현상인 압전과, 결정체에 전압을 가하면 결정이 기계적인 변형을 일으키는 현상인 역압전을 총칭하는 압전 형상을 이용하여 입력 압력에 대응된 전기적 출력을 얻을 수 있도록 설계된 압력센서를 의미한다. 이와 같은 압전형 압력센서의 경우에는 동적 응답 특성이 좋고, 크기가 작고 구조가 간단하며, 시간이 경과해도 그 특성이 거의 일정한 장점을 가지고 있기 때문에 최근 폭 넓은 영역에서 사용되고 있다. 그러나, 압전형 압력센서는 미세한 전하를 증폭기까지 전달하는 과정에서 주변 노이즈에 노출되기 쉽다는 점과 변형이 발생하여 측정오차가 발생할 수 있으며, 압전물질이 온도 변화에 민감한 단점이 있다. 압저항형 압력센서는 압력이 작용하는 길이 변환장치(다이어프램, 벨로우즈, 브로돈관)에 스트레인 게이지를 부착하여 작용 압력에 비례하여 변형되는 길이 변환장치의 변형량(strain)을 측정한다. 그러나, 압저항형 압력센서는 노이즈에 매우 강해서 정확한 압력을 측정하고 소형으로 제작되며 응답성이 빠르고 온도와 진동 및 충격에 의한 영향이 적다는 장점을 가지고 있으나, 스트레인 게이지를 부착하는 변형 감지체의 정확한 압저항 특성을 정확하게 규명하고 사용해야하는 단점이 있다.
자동차에 압력센서를 적용시키기 위해서는 각각의 센서 제작업체로부터 출고되는 센서들은 보정 공정을 거친 후에 출고를 하고 있다. 제작업체에서는 센서를 출고하기 전에 양산 검사를 수행한다. 양산 검사의 목적은 센서의 감도에 따라 양품과 불량품을 구분하고, 양품으로 구분된 각각의 센서를 일정한 크기의 감도와 오프셋(offset)을 가지도록 한다. 이렇게 일정한 크기의 감도와 오프셋을 가지도록 만드는 것을 캘리브레이션(calibration)이라고 한다.
상기와 같이 자동차에 많이 사용되는 압전형 압력센서는 온도에 민감하다는 문제점이 있다. 이에 따라, 압력센서의 캘리브레이션을 위해서는 온도 변화에 따른 적절한 압력값을 셋팅해주는 것이 중요하다.
종래에는 압력센서의 주변 온도에 따른 압력을 캘리브레이션 하기 위하여, 압력센서의 주변 온도를 높이기 위해 열풍 방식을 이용하여 인위적으로 따뜻한 바람을 발생시켜 주변 온도를 높임으로써 온도변화에 따른 압력센서의 캘리브레이션을 수행하였다. 그러나, 상기와 같은 압력센서의 캘리브레이션은 다수개의 압력센서을 일괄적으로 동일한 온도로 변화시키는 것이 어렵기 때문에 압력센서의 캘리브레이션을 위한 시간이 많이 소요되는 문제점이 있다. 더욱이, 압력센서를 캘리브레이션 하는데 필요한 공정 시간이 증가하게 됨으로 인해 압력센서의 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 본 출원인은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 본 발명은 제안하게 되었으며, 이와 관련된 선행기술문헌으로는, 대한민국 공개특허공보 제10-2010-0088676호(발명의 명칭: 센서를 보정하는 방법, 공개일: 2010.08.10.)가 있다.
본 발명의 목적은 압력센서의 캘리브레이션 공정에서 압력센서의 설정온도를 신속하고 정확하게 변경할 수 있어 압력센서의 캘리브레이션 공정에 필요한 시간을 대폭 줄일 수 있는 압력센서용 캘리브레이션 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 압력센서의 캘리브레이션 공정 중에 압력센서의 불량 유무를 사전에 미리 판별하고 부적합한 압력센서를 체킹할 수 있는 압력센서의 캘리브레이션 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 목적은, 본 발명에 따라, 테이블이 마련된 본체, 상기 테이블에 마련되며 인가되는 전압에 따라 온도가 변화되는 온도조절유닛, 내부에 복수개의 압력센서가 장착되는 센서장착지그 및 상기 테이블의 상측에서 승강 가능하게 마련되는 이동챔버를 포함하는 압력센서용 캘리브레이션 장치를 이용하여 압력센서에 대한 캘리브레이션 공정을 수행하는 방법으로, 상기 이동챔버가 하강하여 상기 센서장착지그를 덮는 단계; 상기 센서장착지그가 상기 온도조절유닛 상에 배치된 상태에서 미리 정해진 설정온도에 따라 상기 온도조절유닛에 전압을 인가하는 단계; 및 상기 온도조절유닛에 의해 상기 설정온도에 도달하면 미리 정해진 적어도 하나의 압력 포인트에 대해 상기 압력센서의 캘리브레이션을 수행하는 단계; 를 포함하고, 상기 캘리브레이션 수행 단계는 상기 센서장착지그에 장착된 상기 압력센서의 입출력단자와 접속하도록 상기 이동챔버에 마련된 캘리브레이션 단자부를 통해 상기 압력센서와 신호/데이터를 송수신하고, 상기 압력센서용 캘리브레이션 장치는 상기 온도조절유닛 상에서 상기 센서장착지그가 미리 지정된 라인에 복수개로 안착되는 지그안착프레임 및 상기 센서장착지그가 상기 지그안착프레임에 위치될 때 상기 센서장착지그를 상기 지그안착프레임 측으로 안내하도록 상기 테이블에 마련되는 가이드프레임을 더 포함하며, 상기 지그안착프레임 또는 상기 가이드프레임에는 라인별로 제1 식별코드가 마련되고 상기 센서장착지그에는 제2 식별코드가 마련되되, 상기 센서장착지그를 덮는 단계 전에, 상기 압력센서용 캘리브레이션 장치에 구비된 코드리더기가 상기 제1 식별코드와 상기 제2 식별코드를 매칭하여 인식하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 설정온도를 변경하면서 상기 전압 인가 단계 및 상기 캘리브레이션 수행 단계를 복수 회 실시할 수 있다.
상기 전압 인가 단계 후 상기 캘리브레이션 수행 단계 전에, 상기 미리 정해진 압력 포인트에 따라 상기 압력센서로 압력을 공급하기 위해 상기 센서장착지그에 압력을 주입하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 압력 주입 단계에서, 상기 센서장착지그의 압력주입구를 통해 주입된 압력은 상기 센서장착지그 내부에 형성된 유로를 통해 상기 복수개의 압력센서로 각각 공급될 수 있다.
상기 온도조절유닛은 열전소자를 포함하고, 상기 열전소자는 복수개로 분할되어 마련되며, 상기 분할된 열전소자 각각의 온도는 독립적으로 조절될 수 있다.
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상기 캘리브레이션 수행 단계에서 상기 복수개의 압력센서 중 신호/데이터가 정상적으로 송수신되지 않는 불량 압력센서가 있는 경우, 상기 코드리더기에 의해 인식된 상기 제1 식별코드와 상기 제2 식별코드에 근거하여 상기 복수개의 센서장착지그 중 상기 불량 압력센서가 장착된 센서장착지그의 제2 식별코드의 정보를 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다.
삭제
상기 캘리브레이션 수행 단계는, 상기 이동챔버가 상기 센서장착지그를 덮는 위치에서 상기 캘리브레이션 단자부가 상기 압력센서의 입출력단자와 접속하여 상기 압력센서와 신호/데이터를 송수신할 수 있다.
상기 설정온도를 상온, 고온, 저온의 순서로 변경하면서 상기 전압 인가 단계 및 상기 캘리브레이션 수행 단계를 복수회 실시한 후에, 상기 온도조절유닛의 온도를 저온에서 상온으로 상승시키는 단계; 및 상기 이동챔버가 상승하여 상기 센서장착지그를 외부로 노출시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 압력센서의 캘리브레이션 방법은, 캘리브레이션 공정에 있어서 압력센서의 설정온도를 변경하기 위해 열풍 챔버 방식을 이용하는 종래 기술과는 다르게 열전소자를 이용하여 압력센서의 설정온도를 신속하고 정확하게 변경함으로써 압력센서의 캘리브레이션 공전에 소요되는 시간을 대폭 줄일 수 있고, 이에 따라 압력센서의 제품 생산성을 증가시킬 수 있다.
더욱이, 본 발명의 압력센서의 캘리브레이션 방법은, 열전소자를 이용함으로써 압력센서의 설정온도를 전체 영역에 대해 균일하게 확보/유지할 수 있으므로 압력센서의 캘리브레이션 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 압력센서의 캘리브레이션 방법은, 압력센서의 캘리브레이션 공정을 수행함과 동시에 압력센서의 불량 유무를 손쉽게 판별할 수 있고, 이에 따라 캘리브레이션 공정이 끝난 후에 부적합한 압력센서를 편리하게 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법을 나타낸 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동챔버의 상승 및 하강을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코드리더기를 이용하여 불량 압력센서의 위치 인식 및 저장을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법을 수행하기 위한 센서장착지그가 장착되기 전의 캘리브레이션 장치를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에 도시한 캘리브레이션 장치에 장착되는 센서장착지그를 도시한 도면이다.
도 6은 도 5에 도시한 센서장착지그를 분해하여 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동챔버의 상승 및 하강을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코드리더기를 이용하여 불량 압력센서의 위치 인식 및 저장을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법을 수행하기 위한 센서장착지그가 장착되기 전의 캘리브레이션 장치를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에 도시한 캘리브레이션 장치에 장착되는 센서장착지그를 도시한 도면이다.
도 6은 도 5에 도시한 센서장착지그를 분해하여 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.
본 발명의 실시예는 본 발명의 이상적인 실시예들을 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도면의 다양한 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법을 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법은 도 4 내지 도 6에 도시한 캘리브레이션 장치에 의하여 수행된다. 먼저, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법을 수행하기 위한 캘리브레이션 장치를 설명한다.
도 4 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법을 수행하기 위한 캘리브레이션 장치는 본체(10), 온도조절유닛(20), 센서장착지그(30)를 포함한다.
도 4을 참조하면, 본체(10)는 온도조절유닛(30), 센서장착지그(20) 등의 부품들이 장착되는 부재이다. 본체(10)는 사각형의 형태로 마련되며, 그 크기는 본체(10)의 내부에 장착되는 부품들과 본체(10)가 놓여지는 외부 환경에 따라 달라질 수 있다. 또한, 본체(10)의 하단부에는 이동부재(19)가 마련된다. 이동부재(19)에 의하여 작업자는 본체(10)는 손쉽게 이동시킬 수 있다. 이러한 이동부재(19)는 일반적인 형태의 바퀴 형상을 갖는다. 한편, 본체(10)의 내부에는 테이블(12)이 마련된다. 테이블(12)은 평평한 형태의 판(plate)로 마련되며, 소정의 두께를 갖는다. 테이블(12) 위에는 온도조절유닛(20), 센서장착지그(30), 지그안착프레임(50) 등과 같이 압력센서(11)를 캘리브레이션 하기 위해 필요한 부품들이 위치된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 온도조절유닛(20)은 인가되는 전압에 의해 온도가 조절되는 부재이다. 상기한 바와 같이 온도조절유닛(20)은 테이블(12) 상에 마련된다. 온도조절유닛(20)은 열전소자(미도시, thermoelenet)로 마련된다. 이러한 열전소자(미도시)는 펠티어소자 라고도 불리우며, 열전재료를 이용하여 인가되는 직류전원(DC) 만으로 냉각, 가열, 항온 및 발전을 동시에 수행할 수 있다. 즉, 열전소자(미도시)가 마련된 온도조절유닛(20)은 외부에서 인가되는 전압의 방향에 따라 온도가 높아지거나 낮아지게 된다. 이와 같은 열전소자(미도시)는 하나의 부품으로 마련될 수도 있으나, 후술할 센서장착지그(30)에 온도가 잘 전달될 수도 있도록 복수개, 바람직하게는 4개로 분할되어 마련되는 것이 바람직하다. 이때 복수개로 분할된 열전소자(미도시)의 온도는 작업자에 의해 각각 독립적으로 조절할 수 있으며, 열전소자(미도시) 각각은 동일한 온도를 가지거나 서로 다른 온도를 가지도록 조절할 수 있다.
또한, 온도조절유닛(20)의 복수개로 분할되어 마련된 열전소자(미도시)는 브라켓(미도시)에 의해 고정 지지된다. 다시 말해서, 브라켓(미도시)에 의해 복수개의 열전소자가 마련된 온도조절유닛(20)은 테이블(12) 상에 안정적으로 지지된다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 온도조절유닛(20)은 방열판(미도시)가 마련될 수 있다. 방열판(미도시)은 인가되는 전압의 방향에 의해 온도가 조절되는 열전소자(미도시)의 온도가 테이블(12) 등의 다른 별도의 부품으로 전달되는 것을 방지한다. 이러한 방열판(미도시)는 일반적인 방열 성능을 가지는 재질 중 어느 하나로 마련될 수 있으며, 그 형태는 달라질 수 있다.
참고로, 도면에는 도시하지 않았지만, 본체(10)에는 온도조절유닛(20)의 온도를 감지할 수 있는 온도감지센서(미도시)가 마련될 수 있다. 온도감지센서는 온도조절유닛(20)과 연결되며, 이에 따라 작업자는 온도감지센서와 연결된 디스플레이 장비(미도시)를 통하여 온도조절유닛(20)의 온도를 알 수 있다. 다시 말해서, 작업자는 디스플레이 장비에 표시된 온도조절유닛(20)의 온도를 참고하여 온도조절유닛(30)에 인가되는 전압의 방향 및 크기를 조절함으로써 온도조절유닛(20)의 온도를 내리거나 높일 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 센서장착지그(30)는 압력센서(11)를 고정하기 위한 일종의 지그(Jig)이다. 센서장착지그(30)는 온도조절유닛(20) 상에 배치되어 온도조절유닛(20)의 영향을 받으며, 내부에 복수개의 압력센서(11)가 장착된다. 센서장착지그(30)는 금속 재질로 마련되어 온도조절유닛(20)으로부터 온도를 빠르게 전달 받을 수 있다.
상기와 같은 센서장착지그(30)는 하부지그(31) 및 상부지그(32)를 포함한다. 하부지그(31)는 센서장착지그(30)의 기초(base)가 되는 부재이다. 하부지그(31)의 내부에는 압력센서(11)의 일단부가 장착되며, 구체적으로는 압력센서(11)의 하단부가 장착된다. 이때, 하부지그(31)에는 압력센서(11)의 하단부가 안착되도록 하부안착홈(35)이 마련된다. 하부안착홈(35)은 끼워지는 압력센서(11)에 따라 크기, 형상 및 개수가 달라질 수 있다. 한편, 하부안착홈(35)에 압력센서(11)가 안착될 때, 압력센서(11)와 하부안착홈(35) 사이에는 패킹(미도시)이 마련된다. 패킹(미도시)은 일반적인 링(ring) 형태이며 고무 재질로 마련되나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 패킹의 재질 중 하나로 마련될 수 있다. 패킹(미도시)이 하부안착홈(35)와 압력센서(11) 사이에 마련됨으로 인하여 하부안착홈(35)과 압력센서(11) 사이의 밀폐가 유지되게 된다.
한편, 도면에는 도시하지 않았지만, 하부지그(31)에는 유로(미도시)가 마련될 수 있다. 유로(미도시)는 하부지그(31)에 마련된 압력주입구(33)를 통해 주입된 압력을 각각의 압력센서(11)로 공급하기 위한 연결통로이다. 즉, 하부지그(31)에 마련된 유로(미도시)와 압력센서(11)는 서로 연통되어 있으므로, 압력주입구(33)로부터 주입된 압력이 각각의 압력센서(11)로 원활하게 공급되게 된다.
또한, 상부지그(32)는 하부지그(31)에 얹혀지는 부재이다. 상부지그(32)에는 압력센서(11)가 장착되며, 구체적으로는 압력센서(11)의 상단부가 장착된다. 이때, 상부지그(32)에는 압력센서(11)의 상단부가 장착되도록 상부안착홈(36)이 마려된다. 상부안착홈(36)의 형태 및 크기는 하부안착홈(35)과 마찬가지로 안착되는 압력센서(11)에 따라 달라질 수 있다. 한편, 상부안착홈(36)은 하부안착홈(35)과는 다르게 양단부가 개방된 형태로 형성된다. 이에 따라, 센서장착지그(20), 즉 하부지그(31) 및 상부지그(32)에 안착된 압력센서(11)의 상단부가 센서장착지그(30)의 외부로 노출된다. 이때, 센서장착지그(30)의 외부로 노출되는 압력센서(11)의 상단부에는 입출력단자(12)가 마련된다. 노출된 압력센서(11)의 입출력단자(12)는 후술한 캘리브레이션 단자부(15)와 접촉되어 압력센서(11)와 신호/데이터를 주고 받음으로써 압력센서(11)를 센싱한다. 즉, 센서장착지그(30)의 하부지그(31)에는 압력센서(11)의 하단부가 장착되고 센서장착지그(30)의 상부지그(32)에는 압력센서(11)의 상단부가 장착되며, 하부지그(31)와 상부지그(32)는 볼트와 같은 별도의 결합부재(미도시)에 의해 결합된다.
또한, 하부지그(31)에는 가이드홈(37)이 마련된다. 가이드홈(37)은 하부지그(31)의 양단부를 관통하도록 마련되되, 하부지그(31)에 복수개로 마련된다. 하부지그(31)에 마련된 가이드홈(37)에 의하여 센서장착지그(30)는 온도조절유닛(20) 상에 정확하게 위치될 수 있다.
한편, 센서장착지그(30)에는 압력주입구(33)가 마련된다. 상세하게는 압력주입구(33)는 센서장착지그(30)의 하부지그(31)의 일측에 마련된다. 구체적으로, 센서장착지그(30)의 하부지그(31) 및 상부지그(32)는 서로 다른 크기를 가진다. 즉, 상부지그(32)의 가로방향 길이는 하부지그(31)의 가로방향 길이보다 짧게 형성된다. 이때, 상부지그(32) 보다 길게 형성된 하부지그(31)에 상술한 압력주입구(33)가 마련된다. 압력주입구(33)는 센서장착지그(30)로 주입하여 압력센서(11)로 압력을 공급하기 위한 부재이다. 이러한 압력주입구(33)로 질소(N)를 주입하여, 압력주입구(33)로 주입되는 질소는 본체(10)와 인접하게 위치된 질소저장통(미도시)로부터 공급된다. 압력주입구(33)로 주입된 질소는 하부지그(31)의 유로(미도시)를 통해 센서장착지그(30)에 장착된 각각의 압력센서(11)로 공급된다.
또한, 센서장착지그(30)에는 제2 식별코드(34)가 마련된다. 구체적으로, 식별코드(34)는 하부지그(31)에 부착되거나 인쇄된다. 상술한 바와 같이, 하부지그(31)는 상부지그(32)보다 긴 가로방향 길이를 가지므로, 제2 식별코드(34)는 상부지그(32)보다 길게 형성된 하부지그(31)의 일측에 마련되는 것이 바람직하다. 제2 식별코드(34)는 하부지그(31)에 마련된 압력주입구(33)와 인접한 위치에 마련될 수도 있지만, 작업자가 코드리더기(70)를 통하여 편리하게 인식할 수 있도록 압력주입구(33)와 반대되는 위치에 마련되는 것이 바람직하다. 이러한 제2 식별코드(34)는 바코드(barcode), RFID(radio frquency identification), NFC(near field communication) 등의 다양한 형태일 수 있으나, 코드리더기(70)를 이용하여 작업자가 빠르고 간단하게 인식할 수 있도록 바코드 형태로 형성되는 것이 바람직하다. 제2 식별코드(34)에는 다양한 정보들이 저장될 수 있으나, 센서장착지그(30)에 장착되는 압력센서(11)의 개수, 종류, 위치 등의 다양한 정보들이 저장된다. 작업자에 의해 인식된 센서장착지그(30)의 제2 식별코드(34) 정보는 디스플레이 장비(미도시)에 저장된다.
도 4를 참조하면, 본체(10)에는 지그안착프레임(50)이 마련된다. 지그안착프레임(50)에는 미리 지정된 위치에 센서장착지그(30)가 장착된다. 지그안착프레임(50)은 라인(또는 레일) 형태로 마련되며, 복수개의 센서장착지그(30)가 안착될 수 있도록 복수개로 마련된다. 다시 말해서, 지그안착프레임(50)의 각각에는 1개의 하부지그(31), 상부지그(32) 및 다수개의 압력센서(11)가 장착된 1개의 센서장착지그(30)가 위치되며, 지그안착프레임(50)에 형성된 레일의 개수에 따라 장착되는 센서장착지그(30)의 개수도 달라지게 된다. 이러한 지그안착프레임(50)은 상술한 센서장착지그(30)와 동일한 금속 재질로 마련된다. 이에 따라, 지그안착프레임(50)은 온도조절유닛(20)의 온도를 빠르게 전달받아 센서장착지그(30)로 빠르게 전달함으로써 압력센서(11)의 설정온도를 빠르게 변화시킬 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 본체(10)에는 가이드프레임(60)이 마련된다. 가이드프레임(60)은 본체(10)의 테이블(12)에 마련되어, 센서장착지그(30)가 지그안착프레임(50)에 위치될 때, 센서장착지그(30)를 지그안착프레임(50) 측으로 안내한다. 이에 따라, 가이드프레임(60)은 지그안착프레임(50)과 인접하게 위치된다. 가이드프레임(60)도 복수개의 라인(또는 레일)이 마련되는데, 가이드프레임(60) 레일의 넓이 및 크기는 상술한 지그안착프레임(50)의 레일의 넓이 및 크기와 동일하게 형성된다. 그에 따라 센서장착지그(30)를 가이드프레임(60)을 통해 지그안착프레임(50)으로 정확하게 위치시킬 수 있게 된다. 한편, 가이드프레임(60)에는 제1 식별코드(62)가 마련된다. 가이드프레임(60)에 부착되거나 인쇄되어 마련된 제1 식별코드(62)는 센서장착지그(30)의 하부지그(31)에 마련된 제1 식별코드(34)와 같이 바코드(barcode), RFID(radio frquency identification), NFC(near field communication) 등의 다양한 형태로 마련될 수 있다. 그러나, 작업자가 코드리더기(70)를 통하여 빠르고 편리하게 인시할 수 있도록 바코드 형태로 형성되는 것이 바람직하다. 이때, 제1 식별코드(62)에 저장되는 정보는 센서장착지그(30)의 하부지그(31)에 저장되는 정보와 동일한 정보를 갖는다. 작업자에 의해 인식된 가이드프레임(60)의 식별코드(62)는 디스플레이 장비(미도시)에 저장된다. 이와 같이 저장된 가이드프레임(60)의 식별코드(62) 정보와 상술한 센서장착지그(30)의 식별코드(34) 정보를 이용하여 센서장착지그(30)에 장착되는 압력센서(11)의 불량 유무를 파악하고, 불량 압력센서를 선별하는데 사용될 수 있다. 한편, 제1 식별코드(62)는 가이프레임(60)에만 마련되는 것으로 서술하였지만, 센서장착지그(30)가 안착되는 지그안착프레임(50)에 마련될 수도 있다.
도 4를 참조하면, 본체(10)의 내측에는 이동챔버(14)가 마련된다. 이동챔버(14)는 테이블(12) 상측에서 하측방향으로 상승 또는 하강 슬라이딩 가능하게 마련되고, 하측이 개방된 구조를 가진다. 이동챔버(14)는 테이블(12) 상에 고정된 지지프레임(18)에 끼워져 상측 또는 하측 방향으로 슬라이딩된다. 이동챔버(14)는 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정시, 하측방향으로 하강 슬라이딩되어 센서장착지그(30)를 덮는다. 이에 따라, 온도조절유닛(20)으로부터 온도를 전달받은 센서장착지그(30)의 온도를 유지할 수 있게 된다. 또한, 이동챔버(14)의 일측에는 캘리브레이션 단자부(15)가 마련된다. 캘리브레이션 단자부(15)는 센서장착지그(30)에 장착되되, 센서장착지그(30)의 외부로 노출된 압력센서(11)의 입출력단자(12)와 접속된다. 다시 말해서, 이동챔버(14)가 상측에서 하측방향으로 하강 슬라이딩되면, 이동챔버(14)가 센서장착지그(30)를 덮고 캘리브레이션 단자부(15)와 압력센서(11)의 입출력단자(12)가 접속되어 연결된다. 또한, 이동챔버(14)의 상단부에는 복수개의 장공(16)이 마련된다. 이동챔버(14)에 마련된 장공(16)은 센서장착지그(30)가 지그안착프레임(50)에 장착되는 방향과 동일한 방향으로 형성된다. 이와 같이 이동챔버(14)에 형성된 장공(16)으로 캘리브레이션 단자부(15)가 관통되며, 상술한 바와 같이 장공(16)을 통과한 캘리브레이션 단자부(15)는 센서장착지그(30)의 압력센서(11)의 입출력단자(12)가 접속된다. 여기서, 캘리브레이션 단자부(15)는 일반적인 프로브(Probe) 장비일 수 있으며, 캘리브레이션 단자부(15)는 압력센서(11)와 신호/데이터를 송수신함으로써 압력센서(11)를 센싱한다.
한편, 도 4를 참조하면, 본체(10)의 일측에 중지버튼(40)이 마련된다. 중지버튼(40)은 작업자가 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정 중에 캘리브레이션 장치에 문제가 발생하였을 경우 사용되거나 이동챔버(14)를 상승 시키거나 하강시킬 때에 사용될 수 있다.
또한, 본체(10)에는 장치가동버튼(80)이 마련된다. 작업자가 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정 중에 캘리브레이션 장치를 가동시키거나 가동을 중단시킬 수 있다. 장치가동버튼(80)은 일반적인 버튼(button)의 형태로 마련된다.
도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법을 설명한다. 상기한 바와 같이, 압력센서의 캘리브레이션 방법은 상술한 캘리브레이션 장비에 의해 수행된다.
우선, 압력센서(11)를 센서장착지그(30)에 장착한다. 이때, 센서장착지그(30)에 장착되는 압력센서(11)는 복수개이다. 복수개의 압력센서(11)가 장착된 센서장착지그(30)는 지그안착프레임(50)에 안착되며, 이때 센서장착지그(30)는 테이블(12)에 마련된 가이드프레임(60)에 의해 지그안착프레임(50)으로 안내된다. 여기서, 센서장착지그(30)가 안착된 지그안착프레임(50)의 하부에는 온도조절유닛(20)이 마련된다.
한편, 가이드프레임(60)을 통하여 지그안착프레임(50)에 센서장착지그(30)를 위치시킬 때, 작업자는 코드리더기(70)를 이용하여 센서장착지그(30) 및 지그안착프레임(50) 또는 가이드프레임(60)에 마련된 제1 식별코드(62) 및 제2 식별코드(34)를 인식한다(S310)(S320). 이때, 작업자는 지그안착프레임(50) 또는 가이드프레임(60)의 라인별로 마련된 제1 식별코드(62)와 센서장착지그(30)에 마련된 제2 식별코드(34)를 모두 인식한다. 이와 같이 인식된 제1 식별코드(62) 및 제2 식별코드(34)는 코드리더기(70)에 의해 매칭(maching)하여 인식한다. 코드리더기(70)를 통하여 제1 식별코드(62) 및 제2 식별코드(34)를 인식하는 것은 1차적으로 캘리브레이션 단자부(15)로부터 인가된 전기적신호를 이용하여 정상적으로 신호/데이터가 송수신되지 않는 불량 압력센서(11)를 체킹하기 위함이다. 매칭되어 인식된 제1 식별코드(62)와 제2 식별코드(34)의 정보는 디스플레이 장비(미도시)에 저장되고, 저장된 제1 식별코드(62) 및 제2 식별코드(34)를 근거로 센서장착지그(30)에서 불량 압력센서(11)의 장착 위치 정보를 파악할 수 있다(S330). 여기서, 제1 식별코드(62) 및 제2 식별코드(34)를 모두 인식하고, 이를 매칭하여 정보를 저장하는 것은 불량 압력센서(11)의 위치를 정확하게 파악하기 위함이다. 만약, 센서장착지그(30)의 제2 식별코드(34) 만을 인식하게 될 경우, 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정이 끝난 후에 센서장착지그(30)를 지그안착프레임(50)으로부터 제거하게되면 센서장착지그(30)가 섞여서 놓여질 위험이 있으므로 불량 압력센서(11)의 정확한 위치를 알기 어렵다. 이에 따라, 지그안착프레임(50) 또는 가이드프레임(60)에 마련된 제1 식별코드(62)를 인식하고, 가이드프레임(60)을 통해 지그안착프레임(50)으로 안착되는 센서장착지그(30)의 제2 식별코드(34)를 인식하여 매칭함으로써, 캘리브레이션 단자부(15)로부터 정상적으로 신호/데이터가 송수신되지 않는 불량 압력센서의 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
그 다음, 지그안착프레임(50)에 센서장착지그(30)가 모두 안착되면, 이동챔버(14)를 하강시켜 센서장착지그(30)를 덮는다(S210). 이때, 이동챔버(13)가 하강되어 센서장착지그(30)를 덮으면, 이동챔버(14)에 마련된 캘리브레이션 단자부(15)와 입력센서(11)의 입출력단자(12)가 접속된다. 캘리브레이션 단자부(15)와 압력센서(11)의 입출력단자(12)가 접속되면, 캘리브레이션 단자부(15)는 압력센서(11)의 신호/데이터를 송수신함으로써 압력센서(11)를 센싱한다. 이때, 캘리브레이션 단자부(15)가 압력센서(11)와 신호/데이터가 정상적으로 송수신되지 않을 경우에는 인식된 제1 식별코드(62) 및 제2 식별코드(34)의 매칭된 인식 결과를 근거로 정상적으로 신호/데이터가 송수신되지 않는 압력센서(11)의 위치를 인식하고 저장한다(S330). 정상적으로 신호/데이터가 송수신되지 않는 압력센서(11)는 디스플레이 장비(미도시)에 정확한 위치가 저장(또는 체킹) 되어 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정이 모두 끝난 후에 제거하거나 분리한다. 다시 말해서, 불량으로 판별된 압력센서(11)의 정보는 센서장착지그(20) 및 가이드레일(60)에 각각 부착된 전자태그(34)(62)의 매칭(mathching)을 통하여 인식되며, 인식된 불량 압력센서(11)의 위치는 디스플레이 장비에 기록되어 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정이 끝난 후에 사용자가 제거할 수 있다.
그 다음, 이동챔버(14)가 하강하여 센서장착지그(30)를 덮으면, 센서장착지그(30)에 마련된 압력주입구(33)를 통해 센서장착지그(30)에 압력을 주입한다(S120). 다시 말해서, 미리 정해진 압력 포인트에 따라 압력센서(11)로 압력을 공급하기 위해 센서장착지그(30)에 압력을 주입한다. 센서장착지그(30)에 주입되는 압력은 질소(N)이며, 주입되는 질소는 본체(10)의 주변에 마련된 질소저장통(미도시)로부터 공급된다. 이때, 센서장착지그(30)에 주입된 압력은 센서장착지그(30)에 형성된 유로(미도시)를 통해 센서장착지그(30)의 내부에 창작된 복수개의 압력센서(11) 각각으로 공급된다. 다시 말해서, 센서장착지그(30)에 압력이 주입되면 압력주입구(33)와 연통된 유로(미도시)로 주입된 압력이 이동되어, 유로(미도시)와 연결된 각각의 압력센서(11)들로 압력이 공급된다. 이때, 공급되는 압력의 크기는 작업자가 미리 설정한 압력이거나 장착되는 압력센서의 사양에 따라 달라지게 된다.
그 다음, 테이블(12)에 마련된 온도조절유닛(20)에 전압을 인가한다(S110). 다시 말해서, 센서장착지그(30)가 온도조절유닛(20) 상에 배치된 상태에서 미리 정해진 설정온도에 따라 온도조절유닛(20)에 전압을 인가한다. 온도조절유닛(20)은 인가된 전압의 크기 및 방향에 따라 온도가 변화되며, 상온보다 상승되거나 상온에 비하여 낮아질 수 있다. 이때, 온도조절유닛(20)은 복수개로 분할된 열전소자를 포함하며, 분할된 열전소자는 독립적으로 조절할 수 있다. 온도조절유닛(20)의 온도는 압력센서(11)에 공급되는 압력의 크기 별로 상온, 고온, 저온 순으로 조절한다. 여기서 온도조절유닛(20)의 온도를 상온, 상온에서 고온, 고온에서 저온의 순서로 조절하는 것은, 온도조절유닛(20)의 온도를 너무 급격하게 변화시키면 열전소자 등의 부품에 성에가 끼거나 온도조절유닛(20)의 열전소자(미도시) 가 오작동을 발생할 수 있기 때문이다. 인가되는 전압에 의해 온도조절유닛(20)의 온도가 변화되면, 센서장착지그(30)는 온도조절유닛(20)으로부터 온도를 전달받는다. 다시 말해서, 온도조절유닛(20)으로부터 전달받는 온도에 의해 센서장착지그(30)의 내부에 장착된 압력센서(11)의 온도가 변화하게 된다. 센서장착지그(30) 및 내부에 장착된 압력센서(11)의 온도는 온도조절유닛(20)과 같이 압력센서(11)에 공급되는 압력의 크기 당, 상온, 고온, 저온 순으로 변화된다. 예를 들면, 압력센서(11)에 공급되는 압력의 크기가 1bar 일 때 온도조절유닛(20)의 온도는 상온, 상온에서 고온, 고온에서 저온 순으로 변화시키면서 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정을 수행한다. 한편, 상기에서 온도조절유닛(20)에 전압을 인가하는 단계(S110)와 센서장착지그(30)에 압력을 주입하는 단계(S120)는 동시에 수행하거나 또는 작업자에 따라 그 순서가 서로 달라질 수 있다.
그 다음, 센서장착지그(30)에 압력을 주입하고, 주입되는 압력에 따라 온도조절유닛(20)에 인가되는 전압을 달리하면서 압력센서(11)의 캘리브레이션을 수행한다(S130). 다시 말해서, 온도조절유닛(20)에 의해 압력센서(11)가 설정온도에 도달하면 미리 정해진 적어도 하나의 압력 포인트에 대해 압력센서(11)의 캘리브레이션을 수행한다. 이때, 압력센서(11)의 설정온도를 변경하면서 온도조절유닛(20)에 전압을 인가하는 단계(S110)를 복수 회 실시하고, 그에 따라 압력센서(11)의 캘리브레이션 수행 단계(S130)도 복수 회 실시한다.
그 다음, 센서장착지그(30)에 장착된 모든 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정이 모두 끝나면, 온도조절유닛(20)의 온도를 저온에서 상온으로 상승시킨다(S220). 다시 말해서, 압력센서(11)의 설정온도를 상온, 고온, 저온의 순서로 변경하면서 전압 인가 단계(S110) 및 캘리브레이션 수행 단계(S130)를 복수 회 실시한 후에, 압력센서(11)의 설정온도를 저온에서 상온으로 상승시킨다(S220). 구체적으로, 온도조절유닛(20)의 온도는 압력센서(11)의 압력 포인트에 따라 상온, 상온에서 고온, 고온에서 저온 순으로 변화되게 되므로, 온도조절유닛(20)의 마지막 온도는 상온보다 낮은 저온이 된다. 만약, 이동챔버(14)를 상승시키기 전에 온도조절유닛(20)을 이용하여 센서장착지그(30)에 장착된 압력센서(11)의 설정온도를 높이지 않고 바로 상온(실온)으로 꺼내면, 센서장착지그(30)에 장착된 압력센서(11)에 성에가 끼거나, 낀 성에로 인하여 압력센서(11)에 오작동이 발생할 수 있다. 따라서, 압력센서(11)의 캘리브레이션 공정이 끝난 후에는 온도조절유닛(20)의 온도를 저온에서 상온으로 조절하여 압력센서(11)의 설정온도를 저온에서 상온으로 상승시킨 후에 센서장착지그(30)를 분리하여 압력센서(11)를 빼내는 것이 바람직하다.
그 다음, 이동챔버(14)를 상승시켜 센서장착지그(30)를 외부로 노출시킨다(S230). 이와 같이 이동챔버(14)가 상승되면, 압력센서(11)의 입출력단자(12)와 캘리브레이션 단자부(15)의 접속이 해제된다. 그러면, 캘리브레이션 단자부(15)는 더 이상 압력센서(11)로 신호/데이터를 송수신할 수 없게 된다.
상기한 구성에 의하여 본 발명의 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션방법은, 캘리브레이션 공정에 있어서 압력센서의 설정온도를 변경하기 위해 열풍 챔버 방식을 이용하는 종래 기술과는 다르게 열전소자를 이용하여 압력센서의 설정온도를 신속하고 정확하게 변경함으로써 압력센서의 캘리브레이션 공정에 소요되는 시간을 대폭 줄일 수 있고, 이에 따라 압력센서의 제품 생산성을 증가시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서의 캘리브레이션 방법은, 열전소자를 이용함으로써 압력센서의 설정온도를 전체 영역에 대해 균일하게 확보/유지할 수 있으므로 압력센서의 캘리브레이션 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 일 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10: 본체 12: 테이블
14: 이동챔버 15: 캘리브레이션 단자부
16: 장공 18: 지지프레임
20: 온도조절유닛
30: 센서장착지그 31: 하부지그
32: 상부지그 33: 압력주입구
34: 제2 식별코드 35: 하부안착홈
36: 상부안착홈 37: 가이드홈
40: 중지버튼 50: 지그안착프레임
60: 가이드프레임 62: 제1 식별코드
70: 코드리더기 80: 장치가동버튼
14: 이동챔버 15: 캘리브레이션 단자부
16: 장공 18: 지지프레임
20: 온도조절유닛
30: 센서장착지그 31: 하부지그
32: 상부지그 33: 압력주입구
34: 제2 식별코드 35: 하부안착홈
36: 상부안착홈 37: 가이드홈
40: 중지버튼 50: 지그안착프레임
60: 가이드프레임 62: 제1 식별코드
70: 코드리더기 80: 장치가동버튼
Claims (10)
- 테이블(12)이 마련된 본체(10), 상기 테이블(12)에 마련되며 인가되는 전압에 따라 온도가 변화되는 온도조절유닛(20), 내부에 복수개의 압력센서(11)가 장착되는 센서장착지그(30) 및 상기 테이블(12)의 상측에서 승강 가능하게 마련되는 이동챔버(14)를 포함하는 압력센서용 캘리브레이션 장치를 이용하여 압력센서에 대한 캘리브레이션 공정을 수행하는 방법으로,
상기 이동챔버(14)가 하강하여 상기 센서장착지그(30)를 덮는 단계;
상기 센서장착지그(30)가 상기 온도조절유닛(20) 상에 배치된 상태에서 미리 정해진 설정온도에 따라 상기 온도조절유닛(20)에 전압을 인가하는 단계; 및
상기 온도조절유닛(20)에 의해 상기 설정온도에 도달하면 미리 정해진 적어도 하나의 압력 포인트에 대해 상기 압력센서(11)의 캘리브레이션을 수행하는 단계;를 포함하고,
상기 캘리브레이션 수행 단계는 상기 센서장착지그(30)에 장착된 상기 압력센서(11)의 입출력단자(12)와 접속하도록 상기 이동챔버(14)에 마련된 캘리브레이션 단자부(15)를 통해 상기 압력센서(11)와 신호/데이터를 송수신하고,
상기 압력센서용 캘리브레이션 장치는 상기 온도조절유닛(20) 상에서 상기 센서장착지그(30)가 미리 지정된 라인에 복수개로 안착되는 지그안착프레임(50) 및 상기 센서장착지그(30)가 상기 지그안착프레임(50)에 위치될 때 상기 센서장착지그(30)를 상기 지그안착프레임(50) 측으로 안내하도록 상기 테이블(12)에 마련되는 가이드프레임(60)을 더 포함하며,
상기 지그안착프레임(50) 또는 상기 가이드프레임(60)에는 라인별로 제1 식별코드(62)가 마련되고 상기 센서장착지그(30)에는 제2 식별코드(34)가 마련되되,
상기 센서장착지그(30)를 덮는 단계 전에, 상기 압력센서용 캘리브레이션 장치에 구비된 코드리더기(70)가 상기 제1 식별코드(62)와 상기 제2 식별코드(34)를 매칭하여 인식하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 캘리브레이션 방법.
- 제1항에 있어서,
상기 설정온도를 변경하면서 상기 전압 인가 단계 및 상기 캘리브레이션 수행 단계를 복수 회 실시하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 캘리브레이션 방법.
- 제1항에 있어서,
상기 전압 인가 단계 후 상기 캘리브레이션 수행 단계 전에,
상기 미리 정해진 압력 포인트에 따라 상기 압력센서(11)로 압력을 공급하기 위해 상기 센서장착지그(30)에 압력을 주입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 캘리브레이션 방법.
- 제3항에 있어서,
상기 압력 주입 단계에서,
상기 센서장착지그(30)의 압력주입구(33)를 통해 주입된 압력은 상기 센서장착지그(30) 내부에 형성된 유로를 통해 상기 복수개의 압력센서(11)로 각각 공급되는 것을 특징으로 하는 압력센서의 캘리브레이션 방법.
- 제1항에 있어서,
상기 온도조절유닛(20)은 열전소자를 포함하고,
상기 열전소자는 복수개로 분할되어 마련되며, 상기 분할된 열전소자 각각의 온도는 독립적으로 조절되는 것을 특징으로 하는 압력센서의 캘리브레이션 방법.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 캘리브레이션 수행 단계에서 상기 복수개의 압력센서(11) 중 신호/데이터가 정상적으로 송수신되지 않는 불량 압력센서가 있는 경우,
상기 코드리더기(70)에 의해 인식된 상기 제1 식별코드(62)와 상기 제2 식별코드(34)에 근거하여 상기 복수개의 센서장착지그(30) 중 상기 불량 압력센서가 장착된 센서장착지그(30)의 제2 식별코드(34)의 정보를 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 캘리브레이션 방법.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 캘리브레이션 수행 단계는,
상기 이동챔버(14)가 상기 센서장착지그(30)를 덮는 위치에서 상기 캘리브레이션 단자부(15)가 상기 압력센서(11)의 입출력단자(12)와 접속하여 상기 압력센서(11)와 신호/데이터를 송수신하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 캘리브레이션 방법.
- 제1항에 있어서,
상기 설정온도를 상온, 고온, 저온의 순서로 변경하면서 상기 전압 인가 단계 및 상기 캘리브레이션 수행 단계를 복수회 실시한 후에,
상기 온도조절유닛(20)의 온도를 저온에서 상온으로 상승시키는 단계; 및
상기 이동챔버(14)가 상승하여 상기 센서장착지그(30)를 외부로 노출시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 캘리브레이션 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160034908A KR101802802B1 (ko) | 2016-03-23 | 2016-03-23 | 압력센서의 캘리브레이션 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR20170110471A KR20170110471A (ko) | 2017-10-11 |
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| KR (1) | KR101802802B1 (ko) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109100084B (zh) * | 2018-10-29 | 2020-06-30 | 德州职业技术学院（德州市技师学院） | 一种用于压力传感器质量检测设备 |
| CN110346070A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-10-18 | 昆山灵科传感技术有限公司 | 载具及采用该载具的mems压力传感器模组校准设备 |
| CN110702304B (zh) * | 2019-10-17 | 2021-01-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于温度的智能皮肤力触觉信息标定方法 |
| CN113375860A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-09-10 | 安徽中烟工业有限责任公司 | 一种压力传感器校准模式的自校方法 |
| KR102648304B1 (ko) * | 2021-12-20 | 2024-04-04 | 주식회사 엠더블유이 | 차량센서 측정시스템 |
| CN115752889A (zh) * | 2022-11-16 | 2023-03-07 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种分检压力表的方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153524A (ja) | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Kobe Bio Robotix Kk | ミニチューブ集合体の収納及び操作システム |
| CN204255574U (zh) | 2014-12-12 | 2015-04-08 | 东风汽车电子有限公司 | 商用车制动系统气压压力传感器功能检测设备 |
| JP2015075413A (ja) | 2013-10-10 | 2015-04-20 | 株式会社デンソー | 検査用治具 |
-
2016
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| CN204255574U (zh) | 2014-12-12 | 2015-04-08 | 东风汽车电子有限公司 | 商用车制动系统气压压力传感器功能检测设备 |
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