JP6157270B2 - プローブ装置及びプローブ方法 - Google Patents
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Description
、ウェーハWは上下方向に移動可能なチャックプレート101上に固定され、プローブ102は、ウェーハWのプローブカード103上に電子デバイス(図示せず)の電極パッド(バンプ)に対応して複数個設けられる。
献1参照)。
場合、最適なコンタクト状態を作り出すために、従来ではオーバドライブ状態にして測定を行っていた。そして、その最適な接触を作り出すためのオーバドライブの管理は、軸等の移動距離で行っていた。
いて、その作用を説明する。その3つの荷重センサ34は、図3に示すように、チャックプレート18の下面に当接して設けられており、θ回転部17に配設されたステージ部35を介してチャックプレート18を支えている。したがって、プローブ26とチャックプレート18とがオーバドライブ状態で当接され、プローブ26からチャックプレート18に付与されるコンタクト荷重は、三角点A、B、Cの各位置に配置されている3つの荷重センサ34で受けられる。
B点に配置された荷重センサ34で検出された荷重WBと、C点に配置された荷重センサ
34で検出された荷重WCの総和WT、すなわち(WA+WB+WC=WT=W0)となる。す
なわち、図4の実験結果に示すように、Z軸ステージ15が上昇されてコンタクト荷重W0が変化すると、このコンタクト荷重W0の変化に伴って、A点に配置された荷重センサ34で検出された荷重WA、B点に配置された荷重センサ34で検出された荷重WB、C点に配置された荷重センサ34で検出された荷重WCもそれぞれ変化し、その総和WTもコンタクト荷重W0に比例して増加する。
果のように、C点の荷重センサ34で検出される荷重WCと、B点の荷重センサ34で検
出された荷重WBは共にプラス側に変位し、A点の荷重センサ34で検出される荷重WAはマイナス側に変位する。そして、トータルとしては(WA+WB+WC=WT=W0)となる。
て再度接触動作が行われる。
26とに加えるコンタクト荷重W0として、制御部26がステージ移動制御部33を介し
てZ軸移動台16を制御し、チャックプレート18をプローブ26側に上昇させて、チャックプレート18上のウェーハWとプローブ26との間にコンタクト荷重W0を掛けて検
査を行う。
り制御することで、ウェーハWとプローブカード25の平行誤差、及びプローバ装置における各構造物の弾性変形や熱膨張変形によるコンタクト状態の変化の影響等を受けることなく、常に最適なコンタクト状態を作り出すことができる。
することができる。
11 基台
12 移動ベース
13 Y軸ステージ
14 X軸ステージ
15 Z軸ステージ
16 Z軸移動台17 θ回転部
18 チャックプレート
19 針位置合わせカメラ
20、21 支柱
22 ヘッドステージ
23 アライメントカメラ
24 カードホルダ
25 プローブカード
26 プローブ
27 制御部
28 ヒータ・冷却液路
29 温度制御部
30 テスタ
31 テスタ本体
32 コンタクトリング
33 ステージ移動制御部
34 荷重センサ
35 ステージ部
Claims (6)
- ウェーハとプローブを接触させて前記ウェーハの電気的特性検査を行うプローブ装置であって、
前記ウェーハをチャックして保持するチャックプレートと、
前記チャックプレートを支持するステージ部と、
前記チャックプレートと前記ステージ部との間に配置され、前記プローブと前記ウェーハの接触により発生する荷重を各々検出するための複数の荷重センサと、
前記荷重センサからの信号に基づいて前記ウェーハと前記プローブの接触荷重を測定し、前記複数の荷重センサより検出される前記接触荷重の総和に基づいて前記ウェーハと前記プローブのオーバドライブ量を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、基準となるウェーハが前記ステージ部で移動されて前記プローブと接触された各コンタクト位置での荷重を記録し、以降のウェーハはその記録されたウェーハの荷重を再現するように接触させることを特徴とするプローブ装置。 - 前記複数の荷重センサは、3箇所以上のセンサが全面に各々配設されて、全面で全荷重を受けられるように3個以上設けられていることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記制御部は、前記接触荷重の総和が所定の値の範囲内にあるか否かを監視し、所定の範囲内にないとき警告をすることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ装置。
- 前記制御部は、基準となるウェーハが前記プローブと接触された各コンタクト位置での荷重とともに、前記プローブのバネ定数及び本数からなる針立て情報を記録することを特徴とする請求項1、2または3に記載のプローブ装置。
- 制御部の制御下で、ウェーハとプローブを接触させて前記ウェーハの電気的特性の検査を行うプローブ方法において、
前記ウェーハをチャックして保持するチャックプレートと該チャックプレートをX、Y、Z方向にそれぞれ移動可能なステージとの間に、前記プローブと前記ウェーハの接触により発生する荷重を各々検出するための複数の荷重センサを配置し、
前記荷重センサからの信号に基づいて前記ウェーハと前記プローブの接触荷重を測定し、前記複数の荷重センサから各々検出される接触荷重の総和に基づいて、前記ウェーハと前記プローブのオーバドライブ量を制御し、
基準となるウェーハが前記ステージ部で移動されて前記プローブと接触された各コンタクト位置での荷重を記録し、以降のウェーハはその記録されたウェーハの荷重を再現するように接触させることを特徴とするプローブ方法。 - 前記荷重センサを、3点以上を全面に配置し、その各荷重センサで検出される接触荷重の総和に基づいて、前記ウェーハと前記プローブのウェーハとプローブを接触させる量を制御することを特徴とする請求項5記載のプローブ方法。
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