JP6714083B2 - 圧力センサのためのセンサ素子 - Google Patents
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Description
センサ膜であって、センサ膜に所定数のピエゾ抵抗器が配置されており、ピエゾ抵抗器が、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるように回路に配置されているセンサ膜と;
少なくとも2つの温度測定素子であって、温度測定素子によってピエゾ抵抗器の位置においてセンサ膜の温度が測定可能となるようにセンサ膜に対して配置されており、測定された温度を用いた計算により、温度勾配に基づいてピエゾ抵抗器の回路に生じた電圧が補正可能である温度測定素子とを備える圧力センサのためのセンサ素子によって解決される。
センサ膜を設けるステップ;
所定数のピエゾ抵抗器を設け、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるように回路のセンサ膜にピエゾ抵抗器を配置するステップ;及び
少なくとも2つの温度測定素子を設け、温度測定素子によってピエゾ抵抗器の位置においてセンサ膜の温度が測定可能となるように少なくとも2つの温度測定素子をセンサ膜に対して配置し、測定された温度を用いた計算により、温度勾配に基づいてピエゾ抵抗器の回路に生じた電圧を補正するステップを備える方法によって解決される。
Claims (9)
- 圧力センサのためのセンサ素子(100)において:
センサ膜(10)であって、該センサ膜(10)に所定数の圧電抵抗器(R1〜Rn)が配置されており、該圧電抵抗器(R1〜Rn)が、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるようにブリッジ回路に配置されているセンサ膜(10)と;
前記圧電抵抗器と同数である前記所定数の温度測定素子(T1〜Tn)であって、該温度測定素子(T1〜Tn)によって前記圧電抵抗器(R1〜Rn)の位置において前記センサ膜(10)の温度が測定可能となるようにセンサ膜(10)に対して配置されており、前記温度測定素子は、前記センサ膜の側方部分に対して45°の向きで配置されており、前記所定数の圧電抵抗器と前記所定数の温度測定素子とが前記センサ膜の周囲に沿って交互に配置されている、温度測定素子と;
を備え、
前記温度測定素子によって前記センサ膜における温度勾配が決定され、温度勾配に基づいて生じた前記ブリッジ回路のブリッジ電圧の誤差が、決定された温度勾配を用いて計算により補正される
圧力センサのためのセンサ素子(100)。 - 請求項1に記載のセンサ素子(100)において、
前記所定数の前記温度測定素子(T1〜Tn)が前記センサ膜(10)のそれぞれのコーナ範囲に配置されているセンサ素子(100)。 - 請求項1または2に記載のセンサ素子(100)において、
前記所定数の温度測定素子(T1〜Tn)が、前記センサ膜(10)の少なくとも部分的に知られている温度勾配に沿って配置されているセンサ素子(100)。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載のセンサ素子(100)において、
前記温度測定素子(T1〜Tn)が感温性のダイオードであるセンサ素子(100)。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載のセンサ素子(100)において、
前記温度測定素子(T1〜Tn)が感温性の抵抗器であるセンサ素子(100)。 - 請求項1から5までのいずれか一項に記載のセンサ素子(100)を備えるセンサ装置
(200)。 - 圧力センサのためのセンサ素子(100)を製造する方法であって、次のステップ:
所定数の圧電抵抗器(R1〜Rn)を設け、圧力変化が生じた場合に電圧変化が誘起されるように前記圧電抵抗器(R1〜Rn)をブリッジ回路のセンサ膜(10)に配置するステップ;および
前記圧電抵抗器と同数である前記所定数の温度測定素子(T1〜Tn)を設け、該温度測定素子(T1〜Tn)によって前記圧電抵抗器(R1〜Rn)の位置において前記センサ膜(10)の温度が測定可能となるように前記所定数の温度測定素子(T1〜Tn)をセンサ膜(10)に対して配置し、前記温度測定素子を前記センサ膜の側方部分に対して45°の向きで配置し、かつ、前記所定数の圧電抵抗器と前記所定数の温度測定素子とを前記センサ膜の周囲に沿って交互に配置し、前記温度測定素子によって前記センサ膜における温度勾配を決定し、温度勾配に基づいて生じたブリッジ回路のブリッジ電圧の誤差を、決定された温度勾配を用いて計算により補正するステップを備える圧力センサのためのセンサ素子(100)を製造する方法。 - 請求項7に記載の方法において、
前記温度測定素子(T1〜Tn)として感温性のダイオードまたは感温性の抵抗器を用いる方法。 - 圧力センサを備えるセンサ装置(200)において請求項1から5までのいずれか一項に記載のセンサ素子(100)により圧力を測定する方法。
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