JP2018200301A5

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Publication number: JP2018200301A5
Application number: JP2018047641A
Authority: JP
Filing date: 2018-03-15
Publication date: 2022-01-12
Anticipated expiration: 2038-03-15

Description

図４ａは、センサモジュール１００を較正する方法を示し、センサモジュール１００によって、
（Ａ）微小機械センサ４０を較正し、較正データＤａ（Ｔ）を記録し、同時に、異なる複数の温度Ｔにおいて応力測定パターン２０を用いて応力データＤｓ（Ｔ）を測定するステップと、
（Ｂ）センサモジュール１００の評価回路６０に較正データＤａ（Ｔ）および応力データＤｓ（Ｔ）を保存するステップが実施される。

第１ステップでは、従来技術において既知のように、センサモジュールが温度に関して較正される。この場合、センサモジュールははんだ付けをはがされることなしに、測定ベースに保持される。使用される材料の異なるＣＴＥに基づいてモジュールに湾曲が生じるが、このような湾曲は較正によって補正される。同時に、応力測定パターンにおける信号が捕捉される。

図４ｂは、方法の別のステップを補足的に示す。図４ｂに示すように、ステップＢの前にステップＣで随意に、一定の温度Ｔで異なる複数の応力状態における較正データＤａ（Ｔ）および応力データＤｓ（Ｔ）が検出される。

別のステップＣで一定の温度において意図的に機械的応力がセンサ素子に加えられる。これは、例えば三点支持によって行ってもよい。この場合、センサ信号は応力の関数として記録される。基礎となる測定値のための刺激は一定に保持される。センサモジュールの精度要求および製造許容差に依存して、このステップは一回だけ、または複数回実施される。

図５は、本発明によるセンサモジュールを作動する方法を示す。センサモジュール１００を作動する方法が概略的に示されており、本発明によるセンサモジュール１００によって、
（ａ）応力測定パターン２０によって測定データＤｓ（Ｔ）を測定するステップと、
（ｂ）センサモジュール１００の評価回路６０において、応力データＤｓ（Ｔ）に属する保存されている較正データＤａ（Ｔ）を用いて微小機械センサ４０の測定信号を補正するステップと、
が実施される。

モジュールの較正アルゴリズムは、較正データおよび応力の信号依存性に基づいて応力の影響を補正する。これにより、さらなる組込みの影響および温度Ｔに依存した湾曲を補正する高精度のセンサ素子が得られる。

Claims

センサモジュール（１００）を較正する方法であって、
前記センサモジュール（１００）は、センサ支持体（１０）と、前記センサ支持体（１０）の前記第１面（１２）に配置された微小機械センサ（４０）とを備え、
前記センサ支持体（１０）は、主要延在平面（１６）と、該主要延在平面（１６）に対して平行な第１面（１２）と、主要延在平面（１６）に対して平行な第２面（１４）とを備え、第２面（１４）が前記第１面（１２）に向かい合って配置されており、該第２面（１４）に少なくとも１つの電気接触面（３０）が配置され、前記センサ支持体（１０）に応力測定パターン（２０）が埋設されていることを特徴としており、
前記センサモジュール（１００）によって、
（Ａ）微小機械センサ（４０）を較正し、較正データ（Ｄａ（Ｔ））を記録し、同時に、異なる複数の温度（Ｔ）で応力測定パターン（２０）を用いて応力データ（Ｄｓ（Ｔ））を測定するステップと、
（Ｂ）較正データＤａ（Ｔ）および応力データ（Ｄｓ（Ｔ））をセンサモジュール（１００）の評価回路（６０）に保存するステップと、
を実施する方法。
請求項１に記載のセンサモジュール（１００）を較正する方法において、
ステップ（Ｂ）の前にステップ（Ｃ）として、一定の温度（Ｔ）で異なる複数の応力状態における較正データ（Ｄａ（Ｔ））および応力データ（Ｄｓ（Ｔ））を検出する、方法。
センサモジュール（１００）を作動する方法
であって、
前記センサモジュール（１００）は、センサ支持体（１０）と、前記センサ支持体（１０）の前記第１面（１２）に配置された微小機械センサ（４０）とを備え、
前記センサ支持体（１０）は、主要延在平面（１６）と、該主要延在平面（１６）に対して平行な第１面（１２）と、主要延在平面（１６）に対して平行な第２面（１４）とを備え、第２面（１４）が前記第１面（１２）に向かい合って配置されており、該第２面（１４）に少なくとも１つの電気接触面（３０）が配置され、前記センサ支持体（１０）に応力測定パターン（２０）が埋設されていることを特徴としており、
前記センサモジュール（１００）によって、
（ａ）応力測定パターン（２０）を用いて応力データ（Ｄｓ（Ｔ））を測定するステップと、
（ｂ）センサモジュール（１００）の評価回路（６０）において、応力データ（Ｄｓ（Ｔ））に属する保存されている較正データ（Ｄａ（Ｔ））を用いて微小機械センサ（４０）の測定信号を補正するステップと、
を実施する方法。