JP7037967B2 - 微小機械センサモジュールを備える構成要素 - Google Patents
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Description
本発明は、センサ支持体であって、主要延在平面と、主要延在平面に対して平行な第1面と、主要延在平面に対して平行な第2面とを備え、第2面が第1面に向かい合って配置されており、第2面に少なくとも1つの電気接触面が配置されているセンサ支持体に関する。
(A)微小機械センサを調整し、較正データDa(T)を記録し、同時に、異なる複数の温度Tで応力測定パターンを用いて応力データDs(T)を測定するステップ、
(B)較正データDa(T)および応力データDs(T)をセンサモジュールの評価回路に保存するステップと、
を実施する方法に関する。
(a)応力測定パターンを用いて応力データDs(T)を測定するステップと、
(b)センサモジュールの評価回路において応力データDs(T)に関連付けられた保存されている較正データDa(T)を用いて微小機械センサの測定信号を補正するステップと、
を含む方法に関する。
(A)微小機械センサ40を較正し、較正データDa(T)を記録し、同時に、異なる複数の温度Tにおいて応力測定パターン20を用いて応力データDs(T)を測定するステップと、
(B)センサモジュール100の評価回路60に較正データDa(T)および応力データDs(T)を保存するステップが実施される。
(a)応力測定パターン20によって測定データDs(T)を測定するステップと、
(b)センサモジュール100の評価回路60において、応力データDs(T)に関連付けられた保存されている較正データDa(T)を用いて微小機械センサ40の測定信号を補正するステップと、
が実施される。
LGAの他に、本発明はリードフレームベースのケーシング、セラミックベースのケーシング、プレモールドケーシング、またはチップスケール・パッケージにおいても使用することができる。
12 第1面
14 第2面
16 主要延在平面
18 第1方向
20 応力測定パターン
30 電気接触面
40 微小機械センサ
50 射出成形被覆部
60 評価回路(ASIC)
100 センサモジュール
200 プリント配線板
Claims (3)
- センサモジュール(100)を較正する方法であって、
前記センサモジュール(100)は、センサ支持体(10)と、前記センサ支持体(10)の前記第1面(12)に配置された微小機械センサ(40)とを備え、
前記センサ支持体(10)は、主要延在平面(16)と、該主要延在平面(16)に対して平行な第1面(12)と、主要延在平面(16)に対して平行な第2面(14)とを備え、第2面(14)が前記第1面(12)に向かい合って配置されており、該第2面(14)に少なくとも1つの電気接触面(30)が配置され、前記センサ支持体(10)に応力測定パターン(20)が埋設されていることを特徴としており、
前記センサモジュール(100)によって、
(A)微小機械センサ(40)を較正し、較正データ(Da(T))を記録し、同時に、異なる複数の温度(T)で応力測定パターン(20)を用いて応力データ(Ds(T))を測定するステップと、
(B)較正データDa(T)および応力データ(Ds(T))をセンサモジュール(100)の評価回路(60)に保存するステップと、
を実施する方法。 - 請求項1に記載のセンサモジュール(100)を較正する方法において、
ステップ(B)の前にステップ(C)として、一定の温度(T)で異なる複数の応力状態における較正データ(Da(T))および応力データ(Ds(T))を検出する、方法。 - センサモジュール(100)を作動する方法であって、
前記センサモジュール(100)は、センサ支持体(10)と、前記センサ支持体(10)の前記第1面(12)に配置された微小機械センサ(40)とを備え、
前記センサ支持体(10)は、主要延在平面(16)と、該主要延在平面(16)に対して平行な第1面(12)と、主要延在平面(16)に対して平行な第2面(14)とを備え、第2面(14)が前記第1面(12)に向かい合って配置されており、該第2面(14)に少なくとも1つの電気接触面(30)が配置され、前記センサ支持体(10)に応力測定パターン(20)が埋設されていることを特徴としており、
前記センサモジュール(100)によって、
(a)応力測定パターン(20)を用いて応力データ(Ds(T))を測定するステップと、
(b)センサモジュール(100)の評価回路(60)において、応力データ(Ds(T))に関連付けられた保存されている較正データ(Da(T))を用いて微小機械センサ(40)の測定信号を補正するステップと、
を実施する方法。
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