JP2008281351A - 電子装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサチップ5のセンシング部9,10の固定部12に、歪補償用のSiO2膜19〜22を蒸着などによって被着させる。温度上昇によりセンサチップ5が歪を生じても、その歪は熱膨張率の小なるSiO2膜19〜22によって補償される。
【選択図】図1
Description
また、センサチップの半導体基板として、例えばSOI(Silicon-on-Insulator)を用いた場合には、センサチップ自身で中間のSiO2層とその上下のSi層との間で熱歪が生じ、センシング部の特性に影響を及ぼす。
このようなセンサチップと接着フィルムとの線膨張率の相違によって生ずる歪や、センサチップを構成する半導体基板の構造から生ずる熱歪については、特許文献1の手段によって解消することはできない。
この場合、半導体チップは、力学量を検出するためのセンシング部を有したものとすることができる(請求項2)。更に、そのセンシング部は、加速度を検出するためのものとし(請求項3)、90度異なる方向の加速度を検出するために、半導体チップに90度方向を違えたセンシング部を2つ設けることができる(請求項4)。
センシング部としては、容量検出方式のものとすることができる(請求項10)。更に、センシング部としては、湿度により容量値が変化することで湿度を検出するものとすることができる(請求項11)。
(第1の実施形態)
図1ないし図5は、本発明の第1の実施形態を示す。電子装置としての静電容量式の半導体加速度センサ1は、図4に示されている。この半導体加速度センサ1は、例えば自動車に搭載されて運転制御用のものとして用いるものであって、パッケージ2内に収納されている。このパッケージ2は、セラミック製であり、半導体加速度センサ1の基部となって被測定個所に取り付けられる。
なお、上記のようにしてSiO2膜19〜22を形成したセンサチップ5を使用して再度半導体センサ1を製造し、歪検出装置によって錘部13の両側の固定部17が同じように歪むことを確認した上で、量産に入るようにする。
なお、歪補償用薄膜体としては、センサチップ5の熱歪特性(温度上昇したときの歪の状態)によっては、ハッチングを付して示す図6のように設けてもよい。
図7は、本発明の第2の実施形態を示すもので、上述の第1の実施形態と異なるところは、センサチップ5上に形成したSiO2膜をレーザにより分断するようにしたところにある。即ち、図7(a)に示すように、当初、SiO2膜24を、各固定部12のアンカー部17に、その全体に亘って設けておく。そして、半導体加速度センサ1として完成させた後、加熱してセンサチップ5の歪を計測し、その結果に基づいて歪補償をより正確に行うことができるようにするために、図7(b)に示すように、SiO2膜24の所要個所を例えばレーザにより除去する。レーザによる除去部分を図7(b)に符号25で示した。
図8は、本発明の第3の実施形態を示すもので、上述の第1の実施形態と異なるところは、センサチップ5上に形成した膜をSiO2ではなく、アルミニウム膜として、そのアルミニウム膜を熱溶断により分断するようにしたところにある。即ち、図8(a)に示すように、当初、アルミニウム膜26を、固定部12のアンカー部17の全体に亘って設けておく。図8では、各アンカー部17に夫々3本のアルミニウム膜26を設けている。このアルミニウム膜26の途中部には、幅狭部26aが設けられている。
なお、本発明は上記し且つ図面に示す実施形態に限定されるものではなく、以下のような変更或いは拡張が可能である。
センサチップに設けるセンシング部は、1つであっても良い。
センシング部により検出する物理量は、加速度に限られない。例えば、同様な可動部を持ち、櫛歯様の容量検出構造を持つ、角速度センサや力センサ、変位センサ、傾斜センサであってもよく、また櫛歯用の容量検出構造のみを持つ湿度センサであっても同様に適用が可能である。
センサチップは、回路チップ上に搭載する形態に限られない。例えば、プリント配線基板上に直接搭載する形態のものであっても良い。
温度上昇によるセンサチップ5の歪の計測は、歪検出装置によるものに限られない。
歪補償用薄膜体の材質としては、SiO2やアルミニウム膜に限られない。プリント基板上に実装される場合など、センサチップに加わる熱ひずみが大きくなった場合、それをキャンセルできる線膨脹係数を持った材料であればよく、例えばSiNであってもよい。
Claims (14)
- 半導体チップを他の部品に接合して構成された電子装置において、
前記半導体チップの表面に、温度変化によって当該半導体チップに生ずる歪を補償するために所定部位に歪補償用薄膜体を取着したことを特徴とする電子装置。 - 前記半導体チップは、力学量を検出するためのセンシング部を有することを特徴とする請求項1記載の電子装置。
- 前記センシング部は、加速度を検出することを特徴とする請求項2記載の電子装置。
- 前記センシング部は、加速度を検出するためのもので、前記半導体チップは、90度異なる2方向の加速度を検出するために、前記センシング部を、センシング方向を90度異ならせて2つ有することを特徴とする請求項2記載の電子装置。
- 前記センシング部は、角速度を検出することを特徴とする請求項2記載の電子装置。
- 前記センシング部は、外力を検出することを特徴とする請求項2記載の電子装置。
- 前記センシング部は、変位を検出することを特徴とする請求項2記載の電子装置。
- 前記センシング部は、傾斜を検出することを特徴とする請求項2記載の電子装置。
- 前記センシング部は、2個以上存在していることを特徴とする請求項2記載の電子装置。
- 前記センシング部は、容量検出電極を備えた容量検出方式であることを特徴とする請求項2記載の電子装置。
- 前記センシング部は、湿度により容量値が変化することで、湿度を検出することを特徴とする請求項10記載の電子装置。
- 前記歪補償用薄膜体は、SiO2からなることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の電子装置。
- 前記歪補償用薄膜体は、アルミニウムからなることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の電子装置。
- 前記歪補償用薄膜体は、導電性材料からなると共に、電流が流れることによって発熱し溶断する幅狭部を有することを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の電子装置。
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