JP2005257504A - 物理量センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 温度補正が必要な物理量センサ装置において、温度補正の精度を向上させる。
【解決手段】 物理量を検出するためのセンサ部が形成されたセンサチップ5と、センサチップ5と積層して配置され、センサ部により得られた信号に基づいて物理量を取得する回路部が形成された回路チップ3と、センサチップ5の温度を検出するための温度センサ9とを設ける。回路部では温度センサ9にて検出した温度に基づいて物理量を補正するように構成されており、温度センサ9を回路チップ3におけるセンサチップ5と重なり合う位置に配置する。
【選択図】 図1
【解決手段】 物理量を検出するためのセンサ部が形成されたセンサチップ5と、センサチップ5と積層して配置され、センサ部により得られた信号に基づいて物理量を取得する回路部が形成された回路チップ3と、センサチップ5の温度を検出するための温度センサ9とを設ける。回路部では温度センサ9にて検出した温度に基づいて物理量を補正するように構成されており、温度センサ9を回路チップ3におけるセンサチップ5と重なり合う位置に配置する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、物理量を検出する物理量センサ装置に関し、特に温度補正が必要なものに関する。
近年、半導体素子の高集積化に伴い微細化や多層化が必須の技術となり、素子特性においても高精度化が要求されている。例えば駆動振動される振動体を有する角速度センサにおいては、振動体の駆動振幅は雰囲気気体の粘性係数に大きく依存し、該気体の粘数は一般に温度に非常に敏感であるから、センサの感度に対する温度の影響は非常に大きい。このため、温度によってセンサ感度が変動したり、ゼロ点オフセットが変動してしまうという問題がある。
このような問題に対し、温度補正のための温度センサが設けられた角速度センサが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特表平9−506701号公報
しかしながら、上記特許文献1に記載の角速度センサでは、センサチップと回路チップを並べて配置する構成であり、温度センサがセンサチップから離れた位置に配置されているため、温度補正を精度よく行うことが困難である。
本発明は上記点に鑑み、温度補正が必要な物理量センサ装置において、温度補正の精度を向上させることを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、物理量を検出するためのセンサ部が形成されたセンサチップと、センサチップと積層して配置され、センサ部により得られた信号に基づいて物理量を取得する回路部が形成された回路チップと、センサチップの温度を検出するための温度センサとを備え、回路部は、温度センサにて検出した温度に基づいて物理量を補正するように構成されており、温度センサは、回路チップにおけるセンサチップと重なり合う位置に配置されていることを特徴としている。
このように、センサチップと回路チップとを積層構造とし、温度センサを回路チップ上におけるセンサチップと重なり合う位置に設けることで、温度センサをセンサ部から極力近い位置に配置することができる。これにより、温度センサによりセンサチップの温度を正確に検出することができ、回路チップにおける角速度信号の温度補正の精度を向上させることができる。
また、請求項2に記載の発明のように、温度センサを回路チップにおけるセンサチップにおける中央付近に対応する位置に配置することで、センサチップの温度をより正確に検出することができる。
また、請求項3に記載の発明では、物理量を検出するためのセンサ部と、センサ部により得られた信号に基づいて物理量を取得する回路部と、センサ部の温度を検出するための温度センサとを備え、回路部は、温度センサにて検出した温度に基づいて物理量を補正するように構成されており、センサ部と回路部は同一のチップに形成されており、温度センサはセンサ部に配置されていることを特徴としている。
これにより、温度センサでセンサ部の温度を正確に検出することができ、回路チップにおける角速度信号の温度補正の精度を向上させることができる。
また、請求項4に記載の発明のように、温度センサをセンサ部における中央付近に配置することで、センサ部の温度をより正確に検出することができる。
また、請求項5に記載の発明のように、センサ部は印加された角速度を検出するためのものとすることができる。
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態について図1に基づいて説明する。本第1実施形態は、本発明の物理量センサ装置を角速度センサ装置に適用したものである。
以下、本発明の第1実施形態について図1に基づいて説明する。本第1実施形態は、本発明の物理量センサ装置を角速度センサ装置に適用したものである。
図1(a)は、角速度センサ装置S1の断面図である。図1(a)において、1はセラミックパッケージであり、センサS1の基部となるとともに、センサS1を被測定体の適所に取り付けるためのものである。セラミックパッケージ1の上には、接着剤2を介して回路チップ3が搭載され固定されている。回路チップ3には、温度センサ9が設けられている。この温度センサ9については後述する。
この回路チップ3の上面には、センサチップ5を搭載するための領域であるボンディング部3aが設けられており、このボンディング部3aには、接着剤4を介してセンサチップ5が積層されている。そして、センサチップ5と回路チップ3、および、回路チップ3とセラミックパッケージ1は、それぞれボンディングワイヤ6、7を介して電気的に接続されている。セラミックパッケージ1の上部には、セラミックカバー8が設けられている。
センサチップ5には、角速度(物理量)を検出するためのセンサ部が形成されており、角速度検出を行う検出素子として構成されている。センサチップ5は、例えばシリコン基板等に対し、駆動梁で支持された振動体を形成するとともに振動体を所定周波数で駆動振動させ、振動する振動体に角速度が加わった場合に発生するコリオリ力で振動体が変位した場合に、印加された角速度に応じた可動電極と固定電極間の静電容量変化(電気信号)を検出するものとすることができる。センサチップ5は、角速度に応じた電気信号を回路チップ3に出力する。
また、回路チップ3には、センサチップ5からの信号に基づいて角速度を取得する回路部が形成されている。例えば回路チップ3として、シリコン基板等に対してMOSトランジスタやバイポーラトランジスタ等が、周知の半導体プロセスを用いて形成されており、センサチップ5の電気信号を処理して出力する等の機能を有するものを採用することができる。センサチップ5からの電気信号(容量変化)は、回路チップ3へ送られて回路チップ3に備えられたC/V変換回路により電圧信号に変換されて、角速度信号として出力されるようになっている。
図1(b)は、回路チップ3とセンサチップ5の平面図である。回路チップ3上におけるセンサチップ5に対応する位置には、温度センサ9が設けられている。温度センサ9としては、例えば感温抵抗やサーミスタを用いることができる。回路チップ3の回路部では、温度センサ9にて検出した温度に基づいて、センサ感度やゼロ点オフセット等を補正する温度補正処理が行われる。
図1(b)に示すように、温度センサ9は、積層方向から見て回路チップ3上におけるセンサチップ5と重なり合う位置に設けられている。また、本第1実施形態では、温度センサ9はセンサチップ5の中央位置に対応する位置、すなわちセンサチップ5を積層方向から見たときの面積の重心位置に対応する位置に設けられている。本第1実施形態では、センサチップ5が回路チップ3上における中央付近に配置されているので、温度センサ9は回路チップ3上の中央付近、すなわち外周部から離れた位置に配置されている。
以上のように、回路チップ3とセンサチップ5とを積層構造とし、温度センサ9を回路チップ3上におけるセンサチップ5と重なり合う位置に設けることで、温度センサ9をセンサチップ5から極力近い位置に配置することができる。これにより、温度センサ9によりセンサチップ5の温度を正確に検出することができ、回路チップ3における角速度信号の温度補正の精度を向上させることができる。温度センサ9は、回路チップ3上におけるセンサチップ5と重なり合う位置のいずれの箇所に設けてもいいが、本第1実施形態のようにセンサチップ5の中央位置に対応する位置に設けた場合には、センサチップ5の温度をより正確に検出することができる。
また、本第1実施形態では、温度センサ9は回路チップ3の外周部から離れた位置に配置されているので、例えば熱により回路チップ3に応力が加わったような場合にも温度センサ9は周辺部からの応力の影響を受けにくい。これにより、外乱の影響を受けにくい温度補正が可能となる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図2に基づいて説明する。図2(a)は第2実施形態の角速度センサ装置S2の断面図であり、図2(b)は角速度センサ装置S2における回路部30とセンサ部50の平面図である。
次に、本発明の第2実施形態について図2に基づいて説明する。図2(a)は第2実施形態の角速度センサ装置S2の断面図であり、図2(b)は角速度センサ装置S2における回路部30とセンサ部50の平面図である。
図2(a)(b)に示すように、本第2実施形態の角速度センサ装置S2では、回路部30とセンサ部50が1つの半導体チップ10内に形成されている。この半導体チップ10、上記第1実施形態と同様のセラミックパッケージ内に配置される。半導体チップ10の中央付近にセンサ部50が形成され、その周囲に回路部30が形成されている。センサ部50は、駆動振動可能な振動体として構成されている。本第2実施形態では、センサ部50上に温度センサ90が設けられている。本第2実施形態では、温度センサ90は、センサ部50上における中央付近に配置されている。温度センサ90は、センサ部50を介して回路部30と電気的に接続されており、回路部30に信号を出力することができる。
このような回路部30とセンサ部50が1つの半導体チップ10内に設けられた構成においても、温度センサ90をセンサ部50に対応する位置に配置することで、温度センサ90によりセンサ部50の温度を正確に検出することができ、回路部30における角速度信号の温度補正の精度を向上させることができる。
この場合にも、センサ部50の中央付近に温度センサ90を設けることで、センサ部50の温度をより正確に検出することができる。また、温度センサ90は半導体チップ10の外周部から離れた位置に配置されているので、例えば熱により半導体チップ10に応力が加わったような場合にも温度センサ90は周辺部からの応力の影響を受けにくい。これにより、外乱の影響を受けにくい温度補正が可能となる。
(他の実施形態)
なお、上記各実施形態では、本発明を加速度センサ装置に適用した例について説明したが、これに限らず、物理量を検出するセンサ装置であって温度補正が必要なものであれば適用可能である。例えば本発明は、加速度センサ、圧力センサ、湿度センサ、赤外線センサ等に適用することができる。
なお、上記各実施形態では、本発明を加速度センサ装置に適用した例について説明したが、これに限らず、物理量を検出するセンサ装置であって温度補正が必要なものであれば適用可能である。例えば本発明は、加速度センサ、圧力センサ、湿度センサ、赤外線センサ等に適用することができる。
また、上記第1実施形態では、図1(b)で示したように1個の温度センサ9を設けた角速度センサ装置S1について説明したが、図1(b)に対応する図3に示すように、本発明は複数(図3では2個)の温度センサが設けられた構成にも適用可能である。同様に、上記第2実施形態の構成においても、複数の温度センサを設けてもよい。
また、上記第1実施形態では、回路チップ3とセンサチップ5を積層する際に、セラミックパッケージ1側に回路チップ3が位置するように配置したが、これに限らず、セラミックパッケージ1側にセンサチップ5が位置するように配置することもできる。
S1、S2…角速度センサ装置、3…回路チップ、5…センサチップ、9…温度センサ、30…回路部、50…センサ部、90…温度センサ。
Claims (5)
- 物理量を検出するためのセンサ部が形成されたセンサチップと、
前記センサチップと積層して配置され、前記センサ部により得られた信号に基づいて前記物理量を取得する回路部が形成された回路チップと、
前記センサチップの温度を検出するための温度センサとを備え、
前記回路部は、前記温度センサにて検出した温度に基づいて前記物理量を補正するように構成されており、
前記温度センサは、前記回路チップにおける前記センサチップと重なり合う位置に配置されていることを特徴とする物理量センサ装置。 - 前記温度センサは、前記回路チップにおける前記センサチップにおける中央付近に対応する位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ装置。
- 物理量を検出するためのセンサ部と、
前記センサ部により得られた信号に基づいて前記物理量を取得する回路部と、
前記センサ部の温度を検出するための温度センサとを備え、
前記回路部は、前記温度センサにて検出した温度に基づいて前記物理量を補正するように構成されており、
前記センサ部と前記回路部は同一のチップに形成されており、前記温度センサは前記センサ部に配置されていることを特徴とする物理量センサ装置。 - 前記温度センサは、前記センサ部における中央付近に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の物理量センサ装置。
- 前記センサ部は、印加された角速度を検出するためのものであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の物理量センサ装置。
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---|---|---|---|---|
JP2012088194A (ja) * | 2010-10-20 | 2012-05-10 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
US11099014B2 (en) | 2016-10-18 | 2021-08-24 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Chip module, signal processing method, and electronic equipment |
WO2023095443A1 (ja) * | 2021-11-25 | 2023-06-01 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体パッケージ、および、モジュール |
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2004
- 2004-03-12 JP JP2004070088A patent/JP2005257504A/ja active Pending
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