JP4308749B2 - プローバ - Google Patents
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- 検査対象物に接触して検査を行うプローブ針を備えたプローブカードを有し、検査対象物を加熱して検査するプローバであって、
上記プローブカードを本体側に固定するカードホルダーと、少なくとも上記プローブカードの周縁近傍の温度を監視する温度センサとを備え、
上記プローブカード及びカードホルダーの間に加熱装置を備え、当該加熱装置が、ドーナツ状に形成されると共にその両面から発熱する構造を有し、上記プローブカードの周囲から中心側へ熱を供給して上記プローブカードを加熱すると共に、上記プローブカード及びカードホルダーの両方に熱を伝えて加熱し、上記温度センサでの温度監視により上記プローブカードを設定温度に保つことを特徴とするプローバ。 - 請求項1に記載のプローバにおいて、
上記加熱装置が、当該加熱装置から上記プローブカードの中心側へ供給してプローブカードを設定温度に加熱するのに必要な熱量と、上記加熱装置から上記カードホルダー側へ供給してカードホルダーを設定温度に加熱するのに必要な熱量とが均衡する熱量均衡位置に設けられたことを特徴とするプローバ。 - 請求項2に記載のプローバにおいて、
上記熱量均衡位置が、上記プローブカード及びカードホルダーを設定温度に加熱するのに必要な熱量と共に、設定温度まで加熱するのに必要な時間が均衡する位置であることを特徴とするプローバ。
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