JP2014150168A - プローバ及びプローブ検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テストヘッド22に電気的に接続されるプローブカード18を有する複数の測定部14と、複数のチップが形成されたウエハWを保持するウエハチャック16と、ウエハチャック16に保持されたウエハWとプローブカード18との相対的な位置合わせを行うアライメント装置50と、アライメント装置50を各測定部14間で相互に移動させる移動装置100と、測定部14毎に設けられ、各測定部14に移動したアライメント装置50を位置決めして固定する位置決め固定装置と、を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- テストヘッドに電気的に接続されるプローブカードを有する複数の測定部と、
複数のチップが形成されたウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックに保持されたウエハと前記プローブカードとの相対的な位置合わせを行うアライメント装置と、
前記アライメント装置を各測定部間で相互に移動させる移動装置と、
前記測定部毎に設けられ、各測定部に移動した前記アライメント装置を位置決めして固定する位置決め固定装置と、
を備えるプローバ。 - 前記位置決め固定装置は、前記アライメント装置の少なくとも3箇所を位置決めして着脱自在に把持固定するクランプ機構を備える請求項1に記載のプローバ。
- 前記位置決め固定装置は、前記アライメント装置の少なくとも3箇所を位置決めする位置決め手段を備える請求項1に記載のプローバ。
- 前記位置決め固定装置は、前記位置決め手段とは別に構成され、前記アライメント装置の少なくとも1箇所を着脱自在に保持する保持手段を備える請求項3に記載のプローバ。
- 前記位置決め固定装置は、前記アライメント装置の水平方向を調節可能な高さ調整手段を備える請求項1〜4のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記アライメント装置は、前記ウエハを撮像する第1の撮像手段と、前記プローブカードを撮像する第2の撮像手段と、を備える請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記移動装置は、ベルト駆動機構によって前記アライメント装置を移動させる請求項1〜6のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記複数の測定部は、第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向に沿って2次元的に配置される請求項1〜7のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記第1の方向及び前記第2の方向の一方は鉛直方向である請求項8に記載のプローバ。
- テストヘッドに電気的に接続されるプローブカードを有する複数の測定部と、複数のチップが形成されたウエハを保持するウエハチャックと、前記ウエハチャックに保持されたウエハと前記プローブカードとの相対的な位置合わせを行うアライメント装置と、を備えるプローバにおけるプローブ検査方法であって、
前記アライメント装置を各測定部間で相互に移動させる移動ステップと、
各測定部に移動した前記アライメント装置を位置決めして固定する位置決め固定ステップと、
前記アライメント装置が位置決めして固定された状態で、前記アライメント装置により前記ウエハチャックに保持されたウエハと前記プローブカードとの相対的な位置合わせを行うアライメントステップと、
を備えるプローブ検査方法。
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