JP2016162803A - プローバ及びプローブカードのプリヒート方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカード18が配置された複数のテストヘッド22A〜22Cと、目標温度に調節されるウエハチャック16と、複数の測定部間を移動するアライメント装置50を有するプローバ10Aである。ウエハの検査に際して、移動先のテストヘッドで、プローブカードとウエハチャックに保持されたウエハとの相対的な位置合わせを行い、プローブカードのプリヒートに際して、移動先のテストヘッドで、プローブ18aとウエハチャックとの間の距離が予め定められた距離となる目標位置にウエハチャックを移動させるアライメント装置と、目標位置に移動したウエハチャックを目標位置に固定した状態で保持するウエハチャック保持機構144と、を備える。
【選択図】図10
Description
Claims (10)
- プローブを含むプローブカードが配置された複数の測定部と、
目標温度に調節されるウエハチャックと、
前記複数の測定部間を移動するアライメント装置であって、前記ウエハチャックに保持されたウエハの検査に際して、移動先の測定部で、前記プローブカードと前記ウエハチャックに保持されたウエハとの相対的な位置合わせを行い、前記ウエハの検査前に実施される前記プローブカードのプリヒートに際して、移動先の測定部で、前記プローブと前記ウエハチャックとの間の距離が予め定められた距離となる目標位置に前記ウエハチャックを移動させるアライメント装置と、
前記目標位置に移動した前記ウエハチャックを前記目標位置に固定した状態で保持するウエハチャック保持装置と、
を備えるプローバ。 - 前記プローブの先端位置を検出するプローブ位置検出カメラと、
前記プローブ位置検出カメラによって検出された前記プローブの先端位置に基づき、前記目標位置を演算する演算手段と、
を備える請求項1に記載のプローバ。 - 前記ウエハチャック保持装置は、上下方向に移動可能な保持部であって、下方から上方に向かって移動することで前記目標位置に移動した前記ウエハチャックに当接し、かつ、当該当接した状態で固定される保持部を含む請求項1又は2に記載のプローバ。
- 前記ウエハチャック保持装置は、上下方向に揺動可能な保持部であって、下方から上方に向かって揺動することで前記目標位置に移動した前記ウエハチャックに当接し、かつ、当該当接した状態で固定される保持部を含む請求項1又は2に記載のプローバ。
- 前記保持部は、前記ウエハチャックの外周近傍に配置された上下方向に揺動可能な少なくとも3つの爪部である請求項4に記載のプローバ。
- 前記ウエハチャックを前記アライメント装置に着脱自在に固定するウエハチャック固定装置と、
前記ウエハチャック固定手段による前記ウエハチャックの固定に際して、前記ウエハチャックを前記アライメント装置に対して位置決めするウエハチャック位置決め装置と、をさらに備える請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローバ。 - 前記複数の測定部は、第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向に沿って2次元的に配置される請求項1から6のいずれか1項に記載のプローバ。
- 前記第1の方向及び前記第2の方向の一方は鉛直方向である請求項7に記載のプローバ。
- プローブを含むプローブカードが配置された複数の測定部と、目標温度に調節されるウエハチャックと、前記複数の測定部間を移動するアライメント装置と、を備えるプローバにおけるプローブカードのプリヒート方法において、
前記アライメント装置により、移動先の測定部で、前記プローブと前記ウエハチャックとの間の距離が予め定められた距離となる目標位置に前記ウエハチャックを移動させるウエハチャック移動ステップと、
前記目標位置に移動した前記ウエハチャックを前記目標位置に固定した状態で保持するウエハチャック保持ステップと、
前記目標位置に固定した状態で保持されたウエハチャックから前記アライメント装置を分離する分離ステップと、
を備えるプローブカードのプリヒート方法。 - プローブ位置検出カメラにより、前記プローブの先端位置を検出するプローブ先端位置検出ステップと、
前記検出された前記プローブの先端位置に基づき、前記目標位置を演算する演算ステップと、を備える請求項9に記載のプローブカードのプリヒート方法。
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