JP2017050495A - プローバ - Google Patents
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Abstract
【課題】アライメント装置がウエハチャックを保持したまま他の測定部に移動することができるプローバを提供する。
【解決手段】アライメント装置側コネクタ挿抜機構80は、アライメント装置側コネクタ84をウエハチャック16の側面に設けられたチャック側コネクタ136に対して挿抜するための機構であって、第1ケーブル82が電気的に接続されたアライメント装置側コネクタ84と、アライメント装置50に設けられ、アライメント装置側コネクタ84をチャック側コネクタ136に対して挿抜するアライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86と、を備えている。
【選択図】図10
【解決手段】アライメント装置側コネクタ挿抜機構80は、アライメント装置側コネクタ84をウエハチャック16の側面に設けられたチャック側コネクタ136に対して挿抜するための機構であって、第1ケーブル82が電気的に接続されたアライメント装置側コネクタ84と、アライメント装置50に設けられ、アライメント装置側コネクタ84をチャック側コネクタ136に対して挿抜するアライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86と、を備えている。
【選択図】図10
Description
本発明は、半導体ウエハ上に形成された複数の半導体素子(チップ)の電気的特性の検査を行うプローバに関し、特に、アライメント装置がウエハチャックを保持したまま他の測定部に移動することができるプローバに関する。
従来、複数の測定部でアライメント装置を共有可能なプローバ(半導体ウエハ試験装置)が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載のプローバにおいては、複数の測定部には、それぞれ、ウエハを加熱するためのヒータが埋設されたウエハチャック(ウエハトレイ2)やプローブカード(プローブカード321)が設けられており、目的の測定部に移動したアライメント装置(アライメント装置5)によって当該目的の測定部に設けられたウエハチャックが保持され、その保持されたウエハチャックに対してウエハがロードされ、そのロードされたウエハとプローブカードとが位置合わせ(アライメント)された後、ウエハとプローブカードとを電気的に接触させることでウエハの検査(試験)が実行されるようになっている。
しかしながら、特許文献1に記載されたプローバにおいては、ヒータに給電するため、ウエハチャックに給電ケーブルを接続しなければならず、当該給電ケーブルによってウエハチャックの移動範囲が拘束されてしまうことから、アライメント装置は、ウエハチャックを保持したまま他の測定部に移動することができないという問題がある。
そのため、特許文献1に記載されたプローバにおいては、同一のウエハに対して異なる種類の検査を複数の測定部で実施する場合、例えば、第1の測定部で第1の検査を実施し、当該第1の検査が終了した後、第2の測定部で第2の検査を実施する場合、第1の測定部(及び第2の測定部)におけるウエハチャックとローダ(搬送ロボット81)との間のウエハの受け渡し、第1の測定部(及び第2の測定部)におけるアライメント装置とプローブカードとの間のウエハチャックの受け渡し、ローダの移動等の多数の動作が必要となるため、プローバを効率的に稼働させることが難しいという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、アライメント装置がウエハチャックを保持したまま他の測定部に移動することができるプローバを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明のプローバの第1態様は、テストヘッドに電気的に接続されるプローブカードを有する複数の測定部と、複数のチップが形成されたウエハを保持するウエハチャックと、前記ウエハチャックを着脱自在に保持し、かつ、前記ウエハチャックに保持されたウエハと前記プローブカードとの相対的な位置合わせを行うアライメント装置と、前記アライメント装置を各測定部間で相互に移動させる移動装置と、前記複数の測定部それぞれに設けられ、前記ウエハチャックを前記アライメント装置から分離して前記プローブカードの下方に保持するウエハチャック保持機構と、前記アライメント装置に設けられ、第1ケーブルが電気的に接続された第1コネクタと、前記複数の測定部それぞれに設けられ、第2ケーブルが電気的に接続された第2コネクタと、前記ウエハチャックに設けられ、前記第1コネクタ又は前記第2コネクタが着脱自在に装着される第3コネクタと、前記第1コネクタ及び前記第3コネクタのうち一方を他方に対して挿抜する第1挿抜機構と、前記第2コネクタ及び前記第3コネクタのうち一方を他方に対して挿抜する第2挿抜機構と、を備えることを特徴とする。
本発明のプローバの第2態様は、第1態様において、前記ウエハチャックは、当該ウエハチャックを温度調節するための温度調節手段を含み、前記第1ケーブル及び前記第2ケーブルは、それぞれ、前記温度調節手段制御用の給電ケーブルを含むことを特徴とする。
本発明のプローバの第3態様は、第1又は第2態様において、前記第1ケーブル及び前記第2ケーブルは、それぞれ、前記ウエハチャックに帯電する静電気除去用のケーブルを含むことを特徴とする。
本発明のプローバの第4態様は、第1から第3態様のいずれかの態様において、前記ウエハは、その両面に電極を有する複数のチップを含み、前記第1ケーブル及び前記第2ケーブルは、それぞれ、前記テストヘッドと前記ウエハの電極とを電気的に接続する信号用のケーブルの少なくとも一部を含むことを特徴とする。
本発明によれば、アライメント装置がウエハチャックを保持したまま他の測定部に移動することができ、かつ、移動途中及び移動先の測定部でウエハチャック(及びこれに保持されたウエハ)の加熱が可能なプローバを提供することができる。
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。
図1は、本発明の実施形態のウエハレベル検査を行うシステムの概略構成を示す図である。ウエハレベル検査を行うシステムは、ウエハ上の各チップの電極パッドにプローブを接触させるプローバ10と、プローブに電気的に接続され、電気的検査のために各チップに電源及びテスト信号を供給すると共に各チップからの出力信号を検出して正常に動作するかを測定するテスタ20とで構成される。
図1において、基部11、側板12、及びヘッドステージ13がプローバ10の筐体を構成する。側板12で支持される上板を設け、上板にヘッドステージ13を設ける場合もある。
プローバ10には、複数の測定部(第1〜第3の測定部)14A〜14Cが設けられる。各測定部14A〜14Cは、それぞれ、ウエハWを保持するウエハチャック16と、ウエハWの各チップの電極に対応した多数のプローブ28を有するプローブカード18と、を備え、各測定部14A〜14Cにおいてウエハチャック16に保持されたウエハW上の全チップの同時検査が行われる。なお、各測定部14A〜14Cの構成は共通しているので、以下では、これらを代表して符号14によって測定部を示すものとする。
図2は、プローブカード周辺の構成を示す図である。
ウエハチャック16は、真空吸着等によりウエハを吸着して固定する。ウエハチャック16は、後述するアライメント装置50に着脱自在に支持され、アライメント装置50によってX−Y−Z−θ方向に移動可能となっている。
ウエハチャック16には、シーリング機構が設けられる。シーリング機構は、ウエハチャック16の上面の外周近傍に設けられた弾性を有するリング状シール部材40を備える。また、ウエハチャック16の上面には、ウエハWとリング状シール部材40との間に吸引口42が設けられる。吸引口42は、ウエハチャック16の内部に形成された吸引路43を介して真空圧を制御する吸引制御部46に接続されている。吸引制御部46は、真空ポンプ44に接続されている。リング状シール部材40がプローブカード18に接触した状態で吸引制御部46を作動させると、プローブカード18とウエハチャック16の間に形成されるシールされた内部空間Sが減圧され、ウエハチャック16がプローブカード18に向かって引き寄せられる。これにより、プローブカード18とウエハチャック16の密着状態となり、各プローブ28が各チップの電極パッドに接触して検査を開始可能な状態となる。
ウエハチャック16(及びこれに保持されたウエハ)は、公知の温度調節装置(例えば、ウエハチャック16に内蔵されたヒートプレート)により、高温の目標温度(検査温度)に調節される。
ヘッドステージ13には、測定部14毎に装着孔(カード取付部)26が設けられ、各装着孔26にはそれぞれプローブカード18が交換可能に取り付けられる。プローブカード18のウエハW上の各チップと対向する部分には、全チップの電極に対応してスプリングピン式の弾性のある複数のプローブ28が形成されている。なお、ここでは、ヘッドステージ13に直接プローブカード18を取り付ける構成を示したが、ヘッドステージ13にカードホルダを設け、カードホルダにプローブカード18を取り付ける場合もある。
テスタ20は、測定部14毎に設けられた複数のテストヘッド22(22A〜22C)を有する。各テストヘッド22は、ヘッドステージ13の上面に載置される。なお、各テストヘッド22は、不図示の支持機構により、ヘッドステージ13の上方に保持される場合もある。
各テストヘッド22の端子は、コンタクトリング24の多数の接続ピンを介して、それぞれ対応するプローブカード18の端子に接続される。これにより、各テストヘッド22の端子は、プローブ28と電気的に接続された状態となる。
各測定部14には、ウエハチャック16の脱落を防止するためにサポート機構(チャック脱落防止機構)が設けられる。サポート機構は、ウエハチャック16を保持する複数の保持部30を備える。各保持部30は、ヘッドステージ13の装着孔26の周囲に所定の間隔毎に設けられる。本例では、装着孔26の周囲に90度間隔で4つの保持部30が設けられる(図1及び図2では2つの保持部30のみ図示)。サポート機構(各保持部30)が、ウエハチャック16をアライメント装置50から分離してプローブカード18の下方に保持する本発明のウエハチャック保持機構に相当する。
各保持部30は、装着孔26を中心として互いに近接/離反するように移動可能(拡径可能)に構成される。各保持部30の移動機構(不図示)は例えばボールネジやモータ等で構成される。各保持部30が近接した状態(図1及び図2において実線で示した状態)では、各保持部30の中心部に形成される通過孔32の内径が、ウエハチャック16の直径よりも小さくなるので、ウエハチャック16が各保持部30によって保持される。一方、各保持部30が互いに離反した状態(図1及び図2において破線で示した状態)では、通過孔32の内径が、ウエハチャック16の直径よりも大きくなるので、アライメント装置50がウエハチャック16を供給したり回収することができる。
なお、サポート機構の構成については、上述の特許文献1に記載されるような各種の変形例を採用することが可能である。
本実施形態のプローバ10は、ウエハチャック16を着脱自在に支持してウエハチャック16に保持されたウエハWのアライメント動作を行うアライメント装置50と、アライメント装置50を各測定部14が配列される方向(X軸方向)に沿って測定部14間を移動させる移動装置100と、を備える。
アライメント装置50は、ウエハチャック16をX−Y−Z−θ方向に移動させる移動・回転機構と、ウエハチャック16に保持されたウエハWの各チップの電極とプローブカード18の各プローブ28との相対的な位置関係を検出するアライメント機構と、を備え、ウエハチャック16を着脱自在に支持してウエハチャック16に保持されたウエハWのアライメント動作を行う。すなわち、ウエハチャック16に保持されたウエハWの各チップの電極とプローブカード18の各プローブ28との相対的な位置関係を検出し、その検出結果に基づいて、検査するチップの電極をプローブ28に接触させるようにウエハチャック16を移動させる。
アライメント装置50は、真空吸着等によりウエハチャック16を吸着して固定するが、ウエハチャック16を固定できるものであれば、真空吸着以外の固定手段でもよく、例えば機械的手段等で固定するようにしてもよい。また、アライメント装置50には、ウエハチャック16との相対的な位置関係が常に一定となるようにウエハチャック位置決め機構76が設けられている(図10参照)。
ウエハチャック位置決め機構76は、ウエハチャック16の固定に際して、ウエハチャック16をアライメント装置50(Z軸移動・回転部52)に対して位置決めするための手段で、例えば、位置決めピン76a及び当該位置決めピン76aが当接する凹部76bによって構成されている。位置決めピン76aは、アライメント装置50側(Z軸移動・回転部52)に設けられていてもよい(図10参照)し、ウエハチャック16側に設けられていてもよい。位置決めピン76aがアライメント装置50側(Z軸移動・回転部52)に設けられている場合(図10参照)、位置決めピン76aが当接する凹部は、ウエハチャック16側に設けられる。一方、これとは逆に、位置決めピン76aがウエハチャック16側に設けられている場合、位置決めピン76aが当接する凹部76bは、アライメント装置50側(Z軸移動・回転部52)に設けられる。
このウエハチャック位置決め機構76により、ウエハチャック16を着脱しても、ウエハチャック16をアライメント装置50(Z軸移動・回転部52)に対して定位置に位置決めした状態で固定することができる。
図3及び図4は、アライメント装置50の概略構成を示した図である。具体的には、図3は、アライメント装置50の上方斜視図であり、図4は、アライメント装置50の下方斜視図である。なお、図3及び図4では、アライメント装置50の上面にウエハチャック16が支持された状態を示している。
図1及び図3に示すように、アライメント装置50は、ウエハチャック16を着脱自在に支持してウエハチャック16をZ軸方向に移動すると共にZ軸を回転中心として回転するZ軸移動・回転部52と、プローブ28の位置を検出するプローブ位置検出カメラ54と、プローブ位置検出カメラ54をZ軸方向に移動するカメラ移動機構56と、Z軸移動・回転部52及びカメラ移動機構56を支持してX軸方向に移動するX軸移動台58と、X軸移動台58を支持してY軸方向に移動するY軸移動台60と、Y軸移動台60を支持するベース62と、支柱64によって支持されたアライメントカメラ66と、を備える。ウエハチャック16をX−Y−Z−θ方向に移動させる移動・回転機構は、Z軸移動・回転部52と、X軸移動台58と、Y軸移動台60と、で構成される。また、アライメント機構は、プローブ位置検出カメラ54と、アライメントカメラ66と、カメラ移動機構56と、不図示の画像処理部と、で構成される。
ベース62の上には平行に2本のガイドレール68が設けられており、Y軸移動台60はこのガイドレール68の上を移動可能になっている。ベース62の上の2本のガイドレール68の間の部分には、駆動モータとこの駆動モータによって回転するボールネジ70が設けられている。ボールネジ70はY軸移動台60の底面に係合しており、ボールネジ70の回転により、Y軸移動台60がガイドレール68の上を摺動する。
Y軸移動台60の上には、前述の2本のガイドレール68に直交する2本の平行なガイドレール72が設けられており、X軸移動台58はこのガイドレール72の上を移動可能になっている。Y軸移動台60の上の2本のガイドレール72の間の部分には、駆動モータとこの駆動モータによって回転するボールネジ74が設けられている。ボールネジ74はX軸移動台58の底面に係合しており、ボールネジ74の回転により、X軸移動台58がガイドレール72の上を摺動する。
なお、ボールネジの代わりにリニアモータを使用する場合もある。
次に、移動装置100の構成について説明する。
図1に示すように、移動装置100は、アライメント装置50を載置して搬送する搬送パレット102を有する。搬送パレット102は、X軸方向に沿って各測定部14間を移動可能に構成される。搬送パレット102を移動させるための移動機構(水平送り機構)としては、直線的な移動機構であればよく、例えば、ベルト駆動機構、リニアガイド機構、ボールネジ機構等により構成される。また、搬送パレット102には、アライメント装置50をZ軸方向に昇降させる昇降機構106が設けられる。昇降機構106は、周知のシリンダ機構等で構成される。これにより、アライメント装置50は、X軸方向に沿って各測定部14間を移動可能に構成されると共に、Z軸方向に昇降可能に構成される。なお、搬送パレット102の移動機構や昇降機構106は、不図示の制御手段による制御によって駆動される。
図5及び図6は、移動装置100の構成例を示した概略図である。具体的には、図5は、移動装置100の平面図であり、図6は、移動装置100の側面図である。
図5及び図6に示すように、基部11の上には平行に2本のガイドレール101が設けられており、搬送パレット102はこのガイドレール101の上を移動可能になっている。また、2本のガイドレール101の外側部分には、ガイドレール101に平行であって両端が基部11に固定されたタイミングベルト110が設けられている。
搬送パレット102には、駆動ユニット108が固定されている。駆動ユニット108は、駆動モータ112と、駆動モータ112の回転軸に連結された駆動プーリ114と、駆動プーリ114の周辺に配設された2個のアイドルプーリ116と、を有する。駆動プーリ114にはタイミングベルト110が巻き掛けられ、その両側に配置されるアイドルプーリ116によってタイミングベルト110の張力が調整されている。駆動モータ112を駆動させると、駆動プーリ114の回転により、搬送パレット102がガイドレール101の上を摺動する。これにより、搬送パレット102に支持されたアライメント装置50がX軸方向に沿って各測定部14間を移動する。
図7は、移動装置100の他の構成例を示した概略図である。図7に示した構成例は、ボールネジ機構を利用したものである。すなわち、基部11には、2本のガイドレール101の間に駆動モータ118及びボールネジ120で構成される駆動ユニットが設けられる。ボールネジ120は搬送パレット102の底面に係合しており、ボールネジ120の回転により、搬送パレット102がガイドレール101の上を摺動する。これにより、搬送パレット102に支持されたアライメント装置50はX軸方向に沿って各測定部14間を移動する。
本実施形態では、各測定部14に移動したアライメント装置50の3箇所を位置決めして着脱自在に把持固定するクランプ機構を有する位置決め固定装置が設けられる。具体的には、アライメント装置50には、ベース62の3箇所に複数の位置決めピン130(130A〜130C)が設けられる。一方、筐体の基部11には、各位置決めピン130をそれぞれクランプする複数のチャック部材(位置決め孔)134(134A〜134C)が設けられ、これらは測定部14毎にそれぞれ設けられる。クランプ機構は、位置決めピン130とチャック部材134で構成される。
なお、クランプ機構としては、例えばボールロック方式やテーパスリーブ方式などの周知のクランプ機構が適用されるので、ここでは詳細な説明は省略する。
各測定部14に移動したアライメント装置50を位置決め固定する場合には、昇降機構106によりアライメント装置50を下降させて、図8に示すように、各位置決めピン130をそれぞれ対応するチャック部材134に嵌入してクランプする。これにより、アライメント装置50は水平方向及び鉛直方向に位置決めされ、かつ、アライメント装置50の鉛直方向周りの回転が拘束された状態で、アライメント装置50が基部11に対して固定される。一方、アライメント装置50を他の測定部14に移動させる場合には、昇降機構106によりアライメント装置50を上昇させて、各チャック部材134からそれぞれ位置決めピン130が離脱させる。これにより、アライメント装置50の位置決め固定が解除され、移動装置100によってアライメント装置50は他の測定部14に移動可能な状態となる。
なお、本実施形態では、複数の測定部14からなる測定部群がZ軸方向に積み重ねられた多段構成としてもよい。例えば、図9に示した構成例は、4つの測定部14からなる測定部群15(15A〜15C)がZ軸方向に3段積み重ねられた構成である。この構成では、アライメント装置50が測定部群15毎に設けられ、同一の測定部群15における各測定部14間でアライメント装置50が共有されるようになっている。なお、すべての測定部14でアライメント装置50が共有されるように構成されていてもよい。このような構成によれば、装置全体のフットプリントを小さくし、単位面積あたりの処理能力を上げることができ、コストダウンを図ることができる。
次に、コネクタ挿抜機構について説明する。図10及び図11は、コネクタ挿抜機構の例である。具体的には、図10はアライメント装置50に設けられたアライメント装置側コネクタ挿抜機構80の例(側面図)で、図11はヘッドステージ13に設けられたヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90(上面図)の例である。
まず、アライメント装置側コネクタ挿抜機構80について説明する。
図10に示すように、アライメント装置側コネクタ挿抜機構80は、アライメント装置側コネクタ84をウエハチャック16の側面に設けられたチャック側コネクタ136に対して挿抜するための機構で、第1ケーブル82が電気的に接続されたアライメント装置側コネクタ84と、アライメント装置50(Z軸移動・回転部52のうちZ軸移動部)に設けられ、アライメント装置側コネクタ84をチャック側コネクタ136に対して挿抜するアライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86と、を備えている。アライメント装置側コネクタ84が本発明の第1コネクタに相当し、チャック側コネクタ136が本発明の第3コネクタに相当する。アライメント装置側コネクタ挿抜機構80が本発明の第1挿抜機構に相当する。
第1ケーブル82は、例えば、ウエハチャック16に内蔵されたヒートプレート(温度調節手段)制御用(ウエハチャック温度制御用)の給電ケーブルで、一端がアライメント装置側コネクタ84に電気的に接続されており、他端がアライメント装置50側に固定されている。
アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86は、例えば、シリンダ86aによって構成されている。もちろんこれに限らず、アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86は、ソレノイド等の他のアクチュエータであってもよい。
シリンダ86aは、そのピストンロッド86bの先端部が装着孔26を向き、かつ、当該ピストンロッド86bがX方向に進退するようにアライメント装置50(例えば、Z軸移動・回転部52のうちZ軸移動部の上面)に設けられている。シリンダ86aのピストンロッド86bの先端部には、支持部材88を介してアライメント装置側コネクタ84が取り付けられている。
アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86は、シリンダ86aのピストンロッド86bを引っ込み位置(図10中実線参照)又は突出位置(図10中点線参照)へ移動させることで、アライメント装置側コネクタ84をチャック側コネクタ136に対して挿抜する。
チャック側コネクタ136は、ウエハチャック16の側面に設けられており、ウエハチャック16がウエハチャック位置決め機構76によってアライメント装置50に対して位置決め固定された状態でXYZθ方向に移動することで、アライメント装置側コネクタ84に対向する位置(図10及び図11(b)参照)、すなわち、アライメント装置側コネクタ84の移動経路上に配置される。
この状態で、アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86によってシリンダ86aのピストンロッド86bが引っ込み位置から突出位置へ移動されると(図10中の実線→点線参照)、当該アライメント装置側コネクタ84は、チャック側コネクタ136に装着(挿入)される。これにより、アライメント装置側コネクタ84(端子)とチャック側コネクタ136(端子)とが電気的に接続され、ウエハチャック16に内蔵されたヒートプレートに対する給電路が構成される。
なお、チャック側コネクタ136及びアライメント装置側コネクタ84は特に限定されないが、挿抜が容易なフローティング構造のものが望ましい。
一方、アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86によってシリンダ86aのピストンロッド86bが突出位置から引っ込み位置へ移動されると(図10中の点線→実線参照)、当該アライメント装置側コネクタ84は、チャック側コネクタ136から引き抜かれる。これにより、アライメント装置側コネクタ84(端子)とチャック側コネクタ136(端子)との電気的な接続が解除される。
次に、ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90について説明する。
図11(a)に示すように、ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90は、ヘッドステージ側コネクタ94をウエハチャック16の側面に設けられたチャック側コネクタ136に対して挿抜するための機構で、第2ケーブル92が電気的に接続されたヘッドステージ側コネクタ94と、ヘッドステージ側コネクタ94をチャック側コネクタ136に対して挿抜するヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96と、を備えている。ヘッドステージ側コネクタ94が本発明の第2コネクタに相当する。ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90が本発明の第2挿抜機構に相当する。
第2ケーブル92は、例えば、ウエハチャック16に内蔵されたヒートプレート(温度調節手段)制御用(ウエハチャック温度制御用)の給電ケーブルで、一端がヘッドステージ側コネクタ94に電気的に接続されており、他端がヘッドステージ13側に固定されている。
ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96は、例えば、矩形形状のベース138上に固定されたシリンダ96aによって構成されている。もちろんこれに限らず、ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96は、ソレノイド等の他のアクチュエータであってもよい。
シリンダ96aは、図11(b)に示すように、ヘッドステージ13(例えば、下面)のうち、上面視で、シリンダ86から一定角度(例えば、90度)離れた位置に設けられている。具体的には、シリンダ96aは、そのピストンロッド96bの先端部が装着孔26を向き、かつ、当該ピストンロッド96bがY方向に進退するようにヘッドステージ13に設けられている。シリンダ96aのピストンロッド96bの先端部には、支持部材98を介してヘッドステージ側コネクタ94が取り付けられている。
ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96は、シリンダ96aのピストンロッド96bを引っ込み位置(図11(a)中実線参照)又は突出位置(図11(a)中点線参照)へ移動させることで、ヘッドステージ側コネクタ94をチャック側コネクタ136に対して挿抜する。
チャック側コネクタ136は、ウエハチャック16がウエハチャック位置決め機構76によってアライメント装置50(Z軸移動台)に対して位置決め固定された状態でXYZθ方向に移動することで、ヘッドステージ側コネクタ94に対向する位置(図11(a)参照)、すなわち、ヘッドステージ側コネクタ94の移動経路上に配置される。
この状態で、ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96によってシリンダ96aのピストンロッド96bが引っ込み位置から突出位置へ移動されると(図11(a)中の実線→点線参照)、当該ヘッドステージ側コネクタ94は、チャック側コネクタ136に装着(挿入)される。これにより、ヘッドステージ側コネクタ94(端子)とチャック側コネクタ136(端子)とが電気的に接続され、ウエハチャック16に内蔵されたヒートプレートに対する給電路が構成される。
なお、ヘッドステージ側コネクタ94は特に限定されないが、挿抜が容易なフローティング構造のものが望ましい。
一方、ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96によってシリンダ96aのピストンロッド96bが突出位置から引っ込み位置へ移動されると(図11(a)中の点線→実線参照)、当該ヘッドステージ側コネクタ94は、チャック側コネクタ136から引き抜かれる。これにより、ヘッドステージ側コネクタ94(端子)とチャック側コネクタ136(端子)との電気的な接続が解除される。
以上のようにヘッドステージ側コネクタ94がチャック側コネクタ136に対して挿抜される間、ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96が固定されたベース138は、ヘッドステージ13に着脱自在に固定される。これは、ヘッドステージ13に設けられた位置決めガイド140及びヘッドステージ側固定用アクチュエータ142によって実現される。
位置決めガイド140は、ベース138の固定に際して、ベース138をヘッドステージ13に対して位置決め(XYZ方向の位置決め)するための手段で、例えば、ベース138の角を構成する上面及び2つの側面の計3面が当接するように彫り込まれた凹部138aを含むブロック体によって構成されている。
ヘッドステージ側固定用アクチュエータ142は、例えば、シリンダ142aによって構成されている。もちろんこれに限らず、ヘッドステージ側固定用アクチュエータ142は、ソレノイド等の他のアクチュエータであってもよい。シリンダ142aのピストンロッド142bの先端部には、押さえ部144が取り付けられている。
シリンダ142aは、そのピストンロッド142bの先端部が位置決めガイド140を向き、かつ、当該ピストンロッド142bが位置決めガイド140に対して進退するようにヘッドステージ13に設けられている。
ヘッドステージ側固定用アクチュエータ142は、シリンダ142aのピストンロッド142bを引っ込み位置(図11(c)参照)から突出位置(図11(a)参照)へ移動させることで、押さえ部144によってベース138を位置決めガイド140に対して押しつける。これにより、ベース138(ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90)は、位置決めガイド140と押さえ部144との間に位置決めされた状態で挟持されてヘッドステージ13に固定される。
一方、ヘッドステージ側固定用アクチュエータ142は、シリンダ142aのピストンロッド142bを突出位置から引っ込み位置へ移動させることで、ベース138(ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90)のヘッドステージ13に対する固定を解除する。
次に、本実施形態のプローバを使用した検査動作の例について説明する。
まず、これから検査を行う測定部14(以下、第1の測定部14と称す)にアライメント装置50を移動させ、クランプ機構を有する位置決め固定装置によって位置決め固定した後、Z軸移動・回転部52をZ軸ガイド78に沿って上昇させて、アライメント装置50にウエハチャック16を着脱自在に保持させる。その際、ウエハチャック16は、ウエハチャック位置決め機構76によってアライメント装置50に対して定位置に位置決めした状態で固定される。この状態で吸引制御部46による内部空間Sの減圧を解除し、サポート機構の各保持部30を相互に離反させた後、Z軸移動・回転部52によりウエハチャック16を下降させる。
なお、ヘッドステージ側コネクタ94はチャック側コネクタ136に装着(挿入)されており、ウエハチャック16に内蔵されたヒートプレートに対する給電路が構成されている。これにより、ウエハチャック16は、目標温度となるように制御されている。また、ヘッドステージ側コネクタ94がチャック側コネクタ136に装着(挿入)されることで、ウエハチャック16とヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90とが一体化されている。そして、この一体化されたヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90がウエハチャック16とともにXYZθ方向に移動可能なように(図11(c)参照)、ヘッドステージ側固定用アクチュエータ142によって、ベース138(ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90)のヘッドステージ13に対する固定が解除されている。
次に、ウエハチャック16を支持するアライメント装置50を所定の受け渡し位置に移動させ、不図示のウエハ受け渡し機構(ローダ)によってウエハチャック16にウエハWがロードされ、真空吸着により固定される。
次に、アライメント動作を行う。具体的には、プローブ位置検出カメラ54がプローブ28の下に位置するように、X軸移動台58を移動させ、カメラ移動機構56でプローブ位置検出カメラ54をZ軸方向に移動して焦点を合わせ、プローブ位置検出カメラ54でプローブ28の先端位置を検出する。プローブ28の先端の水平面内の位置(X及びY座標)はカメラの座標により検出され、垂直方向の位置はカメラの焦点位置で検出される。なお、プローブカード18には、通常数百から数千本以上ものプローブ28が設けられており、すべてのプローブ28の先端位置を検出せずに、通常は特定のプローブの先端位置を検出する。
次に、ウエハチャック16に検査するウエハWを保持した状態で、ウエハWがアライメントカメラ66の下に位置するように、X軸移動台58を移動させ、ウエハWの各チップの電極パッドの位置を検出する。1チップのすべての電極パッドの位置を検出する必要はなく、いくつかの電極パッドの位置を検出すればよい。また、ウエハW上のすべてのチップの電極パッドを検出する必要はなく、いくつかのチップの電極パッドの位置が検出される。
次に、上記のようにして検出したプローブ28の配列及び電極パッドの配列に基づいて、プローブ28の配列方向と電極パッドの配列方向が一致するように、Z軸移動・回転部52によりウエハチャック16を回転した後、検査するチップの電極パッドがプローブ28の下に位置するようにウエハチャック16をX軸方向及びY軸方向に移動し、Z軸移動・回転部52によりウエハチャック16をZ軸方向に上昇させる。
この状態で、対応する電極パッドがプローブに接触する高さで、ウエハチャック16の上昇を停止する。このとき、リング状シール部材40がプローブカード18に接触し、プローブカード18とウエハチャック16の間にシールされた内部空間Sが形成される。そして、吸引制御部46を作動させて内部空間Sの圧力を低下させると、ウエハチャック16はプローブカード18に向かって引き寄せられ、プローブカード18とウエハチャック16は密着状態となり、プローブカード18の各プローブ28は均一な接触圧で対応する電極パッドに接触する。
一方、真空ポンプ44による内部空間Sの減圧によってプローブカード18とウエハチャック16が密着状態となったら、Z軸移動・回転部52をZ軸方向に下降させ、アライメント装置50からウエハチャック16を離脱させる。また、ウエハチャック16の脱落を防止するため、サポート機構の各保持部30を相互に近接した状態にする。なお、その後、アライメント装置50は、別の測定部に移動してもよいし、第1の測定部14に留まってもよい。
次に、テストヘッド22からウエハWの各チップに電源及びテスト信号を供給し、チップから出力される信号を検出して電気的な動作検査を行う。
次に、第1の測定部14において、検査が終了すると、上記と同様にして、アライメント装置50(Z軸移動・回転部52)にウエハチャック16を着脱自在に保持させる。
次に、チャック側コネクタ136からヘッドステージ側コネクタ94を引き抜く。そのため、まず、ベース138(ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90)が位置決めガイド140と押さえ部144との間に位置するようにウエハチャック16をXYZθ方向に移動させる。その後、ヘッドステージ側固定用アクチュエータ142によって、ベース138(ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90)を位置決めガイド140と押さえ部144との間に位置決めされた状態で挟持することで、ヘッドステージ13に固定する。
この状態で、ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96によって、チャック側コネクタ136からヘッドステージ側コネクタ94を引き抜く。これにより、ウエハチャック16の移動範囲が第2ケーブル92によって拘束されなくなるため、ウエハチャック16を第1の測定部14以外の測定部に移動させることが可能な状態となる。
次に、チャック側コネクタ136にアライメント装置側コネクタ84を装着(挿入)する。そのため、まず、チャック側コネクタ136がアライメント装置側コネクタ84の移動経路上に配置されるようにウエハチャック16をXYZθ方向に移動させる。その後、アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86によって、チャック側コネクタ136にアライメント装置側コネクタ84を装着(挿入)する。これにより、ウエハチャック16に内蔵されたヒートプレートに対する給電路が構成されて、ウエハチャック16(及びこれに保持されたウエハW)は、目標温度となるように引き続き制御される。
次に、第1の測定部14以外の測定部(以下、第2の測定部14と称す)にアライメント装置50を移動させ、クランプ機構を有する位置決め固定装置によって位置決め固定する。
次に、第2の測定部14において、アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86によって、チャック側コネクタ136からアライメント装置側コネクタ84を引き抜く。
次に、チャック側コネクタ136にヘッドステージ側コネクタ94を装着(挿入)する。そのため、まず、チャック側コネクタ136がヘッドステージ側コネクタ94の移動経路上に配置されるようにウエハチャック16をXYZθ方向に移動させる。その際、ベース138(ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90)は、ヘッドステージ側固定用アクチュエータ142によって、位置決めガイド140と押さえ部144との間に位置決めされた状態で挟持されてヘッドステージ13に固定されている。その後、ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96によって、チャック側コネクタ136にヘッドステージ側コネクタ94を装着(挿入)する。これにより、ウエハチャック16に内蔵されたヒートプレートに対する給電路が構成されて、ウエハチャック16(及びこれに保持されたウエハW)は、目標温度となるように引き続き制御される。また、ヘッドステージ側コネクタ94がチャック側コネクタ136に装着(挿入)されることで、ウエハチャック16とヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90とが一体化される。なお、第1の測定部14における目標温度と第2の測定部14における目標温度は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
次に、この一体化されたヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90がウエハチャック16とともにXYZθ方向に移動可能なように(図11(c)参照)、ヘッドステージ側固定用アクチュエータ142によって、ベース138(ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90)のヘッドステージ13に対する固定を解除する。
次に、第1の測定部14と同様、アライメント動作を行った後、Z軸移動・回転部52によりウエハチャック16をZ軸方向に上昇させる。
この状態で、対応する電極パッドがプローブに接触する高さで、ウエハチャック16の上昇を停止する。このとき、リング状シール部材40がプローブカード18に接触し、プローブカード18とウエハチャック16の間にシールされた内部空間Sが形成される。そして、吸引制御部46を作動させて内部空間Sの圧力を低下させると、ウエハチャック16はプローブカード18に向かって引き寄せられ、プローブカード18とウエハチャック16は密着状態となり、プローブカード18の各プローブ28は均一な接触圧で対応する電極パッドに接触する。
一方、真空ポンプ44による内部空間Sの減圧によってプローブカード18とウエハチャック16が密着状態となったら、Z軸移動・回転部52をZ軸方向に下降させ、アライメント装置50からウエハチャック16を離脱させる。また、ウエハチャック16の脱落を防止するため、サポート機構の各保持部30を相互に近接した状態にする。なお、その後、アライメント装置50は、別の測定部に移動してもよいし、第2の測定部14に留まってもよい。
次に、テストヘッド22からウエハWの各チップに電源及びテスト信号を供給し、チップから出力される信号を検出して電気的な動作検査を行う。
以上説明したように、本実施形態によれば、アライメント装置50がウエハチャック16を保持したまま他の測定部に移動することができるプローバ10を提供することができる。また、ウエハチャック16を保持したアライメント装置50の移動元の測定部、移動途中及び移動先の測定部で当該ウエハチャック16(及びこれに保持されたウエハW)の加熱が可能なプローバ10を提供することができる。
これは、アライメント装置側コネクタ挿抜機構80及びヘッドステージ側コネクタ挿抜機構90を備えたことによるものである。
また、従来技術(例えば、上記特許文献1参照)においては、同一のウエハに対して異なる種類の検査を複数の測定部で実施する場合、例えば、第1の測定部で第1の検査を実施し、当該第1の検査が終了した後、第2の測定部で第2の検査を実施する場合、第1の測定部(及び第2の測定部)におけるウエハチャックとローダ(搬送ロボット81)との間のウエハの受け渡し、第1の測定部(及び第2の測定部)におけるアライメント装置とプローブカードとの間のウエハチャックの受け渡し、ローダの移動等の多数の動作が必要となるため、プローバを効率的に稼働させることが難しかった。
これに対して、本実施形態においては、同一のウエハに対して異なる種類の検査を複数の測定部で実施する場合、例えば、第1の測定部で第1の検査を実施し、当該第1の検査が終了した後、第2の測定部で第2の検査を実施する場合、アライメント装置50がウエハチャック16を保持したまま他の測定部に移動することができるため、上記多数の動作が不要となる。その結果、従来技術と比べ、プローバを効率的に稼働させることができる。
次に、変形例について説明する。
本実施形態では、第1ケーブル82及び第2ケーブル92がそれぞれウエハチャック16に内蔵されたヒートプレート(温度調節手段)制御用(ウエハチャック温度制御用)の給電ケーブルである例について説明したが、これに限らず、第1ケーブル82及び第2ケーブル92はそれぞれウエハチャック16(及びこれに保持されたウエハ)に帯電する静電気除去用のケーブルであってもよい。また、第1ケーブル82及び第2ケーブル92は、給電ケーブル及び静電気除去用のケーブルの両方を含んでいてもよい。なお、静電気除去用のケーブルとしては、例えば、特開2007−180580号公報に記載のものを用いることができる。
これにより、ウエハ受け渡し機構(ローダ)によってウエハチャック16にウエハをロード(又はアンロード)する際、ウエハチャック16(及びこれに保持されたウエハ)に帯電する静電気、あるいは、ウエハチャック16が第1の測定部から第2の測定部へ移動する際、空気との摩擦等によってウエハチャック16(及びこれに保持されたウエハ)に帯電する静電気を、移動元の測定部、移動途中及び移動先の測定部で除去することができる。
また、第1ケーブル82及び第2ケーブル92はそれぞれ、テストヘッドとウエハの電極とを電気的に接続する信号用のケーブルの少なくとも一部であってもよい。また、第1ケーブル82及び第2ケーブル92は、給電ケーブル及び静電気除去用のケーブルのうち少なくとも1つ及び信号用のケーブルの少なくとも一部を含んでいてもよい。なお、信号用のケーブルとしては、例えば、特開2015−103552号公報に記載の信号線、具体的には、両面に電極を有するチップが複数形成されたウエハの検査(試験)を行うプローバにおいてテストヘッド(テスタ本体31)とウエハの電極とを電気的に接続する配線(配線64)その他の信号用のケーブルを用いることができる。
これにより、移動元の測定部及び移動先の測定部で、両面に電極を有するチップが複数形成されたウエハの検査(試験)を実施することが可能となる。
また、本実施形態では、アライメント装置側コネクタ84(又はヘッドステージ側コネクタ94)を、アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ86(又はヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ96)によってチャック側コネクタ136に対して移動させることで、当該チャック側コネクタ136に対して挿抜する構成について例示したが、これに限らず、チャック側コネクタ136を、各アクチュエータ86、96と同様のアクチュエータによって各コネクタ84、94に対して移動させることで、各コネクタ84、94に対して挿抜するようにしてもよい。
以上、本発明のプローバについて詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
10…プローバ、11…基部、12…側板、13…ヘッドステージ、14…測定部、15…測定部群、16…ウエハチャック、18…プローブカード、20…テスタ、22…テストヘッド、24…コンタクトリング、26…装着孔、28…プローブ、30…保持部、32…通過孔、40…リング状シール部材、42…吸引口、43…吸引路、44…真空ポンプ、46…吸引制御部、50…アライメント装置、52…Z軸移動・回転部、54…プローブ位置検出カメラ、56…カメラ移動機構、58…X軸移動台、60…Y軸移動台、62…ベース、64…支柱、66…アライメントカメラ、68…ガイドレール、70…ボールネジ、72…ガイドレール、74…ボールネジ、76…ウエハチャック位置決め機構、76a…位置決めピン、76b…凹部、80…アライメント装置側コネクタ挿抜機構、82…第1ケーブル、84…アライメント装置側コネクタ、86…アライメント装置側コネクタ用アクチュエータ、88…支持部材、90…ヘッドステージ側コネクタ挿抜機構、92…第2ケーブル、94…ヘッドステージ側コネクタ、96…ヘッドステージ側コネクタ用アクチュエータ、98…支持部材、100…移動装置、101…ガイドレール、102…搬送パレット、106…昇降機構、108…駆動ユニット、110…タイミングベルト、112…駆動モータ、114…駆動プーリ、116…アイドルプーリ、118…駆動モータ、120…ボールネジ、130…位置決めピン、134…チャック部材、136…チャック側コネクタ、138…ベース、140…位置決めガイド、142…ヘッドステージ側固定用アクチュエータ、144…押さえ部
Claims (4)
- テストヘッドに電気的に接続されるプローブカードを有する複数の測定部と、
複数のチップが形成されたウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックを着脱自在に保持し、かつ、前記ウエハチャックに保持されたウエハと前記プローブカードとの相対的な位置合わせを行うアライメント装置と、
前記アライメント装置を各測定部間で相互に移動させる移動装置と、
前記複数の測定部それぞれに設けられ、前記ウエハチャックを前記アライメント装置から分離して前記プローブカードの下方に保持するウエハチャック保持機構と、
前記アライメント装置に設けられ、第1ケーブルが電気的に接続された第1コネクタと、
前記複数の測定部それぞれに設けられ、第2ケーブルが電気的に接続された第2コネクタと、
前記ウエハチャックに設けられ、前記第1コネクタ又は前記第2コネクタが着脱自在に装着される第3コネクタと、
前記第1コネクタ及び前記第3コネクタのうち一方を他方に対して挿抜する第1挿抜機構と、
前記第2コネクタ及び前記第3コネクタのうち一方を他方に対して挿抜する第2挿抜機構と、
を備えるプローバ。 - 前記ウエハチャックは、当該ウエハチャックを温度調節するための温度調節手段を含み、
前記第1ケーブル及び前記第2ケーブルは、それぞれ、前記温度調節手段制御用の給電ケーブルを含む請求項1に記載のプローバ。 - 前記第1ケーブル及び前記第2ケーブルは、それぞれ、前記ウエハチャックに帯電する静電気除去用のケーブルを含む請求項1又は2に記載のプローバ。
- 前記ウエハは、その両面に電極を有する複数のチップを含み、
前記第1ケーブル及び前記第2ケーブルは、それぞれ、前記テストヘッドと前記ウエハの電極とを電気的に接続する信号用のケーブルの少なくとも一部を含む請求項1から3のいずれか1項に記載のプローバ。
Priority Applications (1)
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JP2017050495A true JP2017050495A (ja) | 2017-03-09 |
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Family Applications (1)
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JP2015174706A Pending JP2017050495A (ja) | 2015-09-04 | 2015-09-04 | プローバ |
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JP (1) | JP2017050495A (ja) |
-
2015
- 2015-09-04 JP JP2015174706A patent/JP2017050495A/ja active Pending
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