JP4846675B2 - 線条体保護装置及び電子部品試験装置 - Google Patents
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Description
格納部20は、供給トレイストッカ21、分類トレイストッカ22、空トレイストッカ23及びトレイ搬送装置24を備えており、試験前及び試験後のICデバイスを格納することが可能となっている。
ローダ部30は、第1のピックアンドプレース装置31、ヒートプレート32及び2つのバッファ部33を備えており、格納部20から試験前のICデバイスを取り出し、所定の熱ストレスを印加した後にテスト部40に供給するようになっている。
テスト部40は、デバイス移動装置41と4つのアライメント装置43を備えており、画像処理技術を用いて試験前のICデバイスをソケット71に対して高精度に位置決めした後に、テストヘッド70のソケット71にICデバイスを押し付けることが可能となっている。
アンローダ部50は、図1に示すように、2つの第2のバッファ部51と第2のピックアンドプレース装置52を備えており、テスト部40から試験済みのICデバイスを搬出して、当該ICデバイスを試験結果に応じて分類しながら格納部20に移動させるようになっている。
10…ハンドラ
20…格納部
30…ローダ部
31…第1のピックアンドプレース装置
311…支持レール
312…可動レール
313…可動ヘッド
314…吸着ヘッド
315…ケーブルベア
315a…ケーブルベアユニット
315b…挿通部
315c…関節軸
316…チューブ
317…ケーブル
318…保護部材
318a…通路
318b…仮想接線
319…保護部材
319a…電線
320…保護部材
40…テスト部
41…デバイス移動装置
50…アンローダ部
52…第2のピックアンドプレース装置
70…テストヘッド
80…テスタ
Claims (5)
- 被試験電子部品のテストを行う電子部品試験装置が有する移動体に追従する線条体と、
前記線条体を保護する2以上の保護部材と、を備えており、
前記線条体は、前記保護部材の間に配置され、
前記保護部材は、前記線条体よりも大きな断面形状を有すると共に前記線条体の外周面に固定され、
前記線条体は、流体を流通させる通路を内部に有するチューブ、又は、電線若しくは光ファイバを内部に有するケーブルを含み、
前記保護部材は、通路に流体を流通させない保護専用のチューブ、電線に通電させず若しくは光ファイバに信号を通過させない保護専用のケーブル、又は中実の柱状部材から構成されており、
前記線条体は、2以上の前記保護部材よりも内側に位置していることを特徴とする線条体保護装置。 - 2つの前記保護部材の配列方向に対して直交する方向において、前記線条体は、前記保護部材の一端同士を結んだ第1の仮想直線よりも内側に位置していると共に、前記保護部材の他端同士を結んだ第2の仮想直線よりも内側に位置していることを特徴とする請求項1に記載の線条体保護装置。
- 前記線条体保護装置は、前記線条体を複数備えており、
隣接する前記線条体と前記保護部材が固定されていると共に、隣接する前記線条体同士が固定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の線条体保護装置。 - 前記保護部材は、前記線条体の長手方向全域に亘って設けられ、又は、前記線条体の長手方向に沿って部分的に設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の線条体保護装置。
- 被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させて、前記被試験電子部品のテストを行う電子部品試験装置であって、
移動体を移動させる移動手段と、
請求項1〜4の何れかに記載の線条体保護装置を備えており、
前記線条体保護装置は、前記移動体に追従することを特徴とする電子部品試験装置。
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