JP2018041838A - プローバ - Google Patents
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Abstract
Description
上記に詳述した実施の形態についての記載から把握されるとおり、本明細書では以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
多段状に積層された複数の測定部を有するプローバであって、前記測定部は、テストヘッドと、プローブを有するプローブカードと、前記テストヘッドと前記プローブカードとの間に介在するポゴフレームと、前記ポゴフレームが取り付けられるポゴフレーム取付部を有するヘッドステージと、前記ヘッドステージを支持するフレーム部材と、前記フレーム部材に支持され、前記テストヘッドを保持するテストヘッド保持部と、ウエハを保持するウエハチャックと、前記テストヘッドと前記ポゴフレームとを吸着により固定する第1吸着固定部と、前記プローブカードと前記ポゴフレームとを吸着により固定する第2吸着固定部と、前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、前記ウエハチャックと前記プローブカードとの間に密閉空間を形成する環状のシール部材と、前記ウエハチャックが前記プローブカードに向かって引き寄せられるように前記密閉空間を減圧する減圧手段と、を備え、前記ヘッドステージを基準にして、前記テストヘッド、ポゴフレーム、プローブカード、及びウエハチャックを一体化した状態で前記ウエハの電気的検査を行う、プローバ。
前記テストヘッド保持部は、前記テストヘッドを昇降移動させる昇降機構と、前記テストヘッドが昇降移動する際に前記テストヘッドを案内する規制面を有するガイド部と、前記テストヘッドを前記ポゴフレームとは反対側に付勢するバネ部材を有する緩衝部と、を備える付記1に記載のプローバ。
前記緩衝部は、前記テストヘッドの重心から等距離離れた位置に複数設けられる、付記2に記載のプローバ。
前記ポゴフレーム取付部は、前記ポゴフレームを吸着して固定する吸着面を有する、付記1〜3のいずれか1つに記載のプローバ。
ウエハを保持するウエハチャックと、前記ウエハチャックと対向するように設けられ、前記ウエハの各電極パッドと対応する位置にプローブを有するプローブカードと、テストヘッド保持部により前記プローブカードの前記ウエハチャックとは反対側に保持されたテストヘッドと、前記プローブカードと前記テストヘッドとの間に介在され、前記テストヘッドと前記プローブカードとを電気的に接続するポゴフレームと、前記ポゴフレームが取り付けられるポゴフレーム取付部を有するヘッドステージと、前記ウエハチャックに設けられ、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハを取り囲むように形成された環状のシール部材と、前記ウエハチャックを着脱自在に固定するウエハチャック固定部を有し、前記ウエハチャック固定部に固定された前記ウエハチャックを昇降させる機械的昇降手段と、前記プローブカード、前記ウエハチャック、及び前記シール部材により形成された内部空間を減圧する減圧手段と、前記減圧手段による前記内部空間の減圧により前記ウエハチャックを前記プローブカードに向かって移動させるときに前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向の移動を規制しつつ前記ウエハチャックの移動を案内するガイド手段と、を備えるプローバ。
前記ガイド手段は、前記ウエハチャックに設けられた軸受部と、前記ヘッドステージに着脱自在に固定され前記軸受部に軸支されるガイド軸部とを有する、付記6に記載のプローバ。
前記ガイド手段は、前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向における互いに異なる位置に少なくとも3つ設けられる、付記5又は6に記載のプローバ。
前記減圧手段による前記内部空間の減圧が行われる際に前記ウエハチャックと前記ウエハチャックとの相対距離を検出する高さ検出センサを備える、付記5〜7のいずれか1つに記載のプローバ。
前記高さ検出センサは、前記ウエハチャックの移動方向に直交する方向における互いに異なる位置に少なくとも3つ設けられる、付記8に記載のプローバ。
前記テストヘッド保持部は、前記テストヘッドを昇降移動させる昇降機構と、前記テストヘッドが昇降移動する際に前記テストヘッドを案内する規制面を有するガイド部と、前記テストヘッドを前記ポゴフレームとは反対側に付勢するバネ部材を有する緩衝部と、を有する付記5〜9いずれか1つに記載のプローバ。
前記緩衝部は、前記テストヘッドの重心から等距離離れた位置に複数設けられる、付記10に記載のプローバ。
前記ポゴフレーム取付部は、前記ポゴフレームを吸着して固定する吸着面を有する、付記5〜11のいずれか1つに記載のプローバ。
Claims (3)
- ウエハを保持するウエハチャックと、
前記ウエハチャックに対向する面に複数のプローブを有するプローブカードと、
前記ウエハチャックと前記プローブカードとの間に密閉空間を形成する環状のシール部材と、
前記ウエハチャックが前記プローブカードに向かって引き寄せられるように前記密閉空間を減圧する減圧手段と、
前記プローブカードの前記ウエハチャックとは反対側に配置されたテストヘッドと、
前記プローブカードと前記テストヘッドとの間に介在して配置され、前記プローブカードと前記テストヘッドとを電気的に接続するポゴフレームと、
前記テストヘッドを互いに異なる位置で弾性支持する複数の緩衝部と、
を備えるプローバ。 - 前記複数の緩衝部は前記テストヘッドの各隅部にそれぞれ配置される、
請求項1に記載のプローバ。 - 前記複数の緩衝部は前記テストヘッドの重心から等距離離れた位置にそれぞれ配置される、
請求項1又は2に記載のプローバ。
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