KR102136544B1 - 유지 보수가 가능한 웨이퍼 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유지 및 보수가 용이한 웨이퍼 검사 장치에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 검사 장치는, 내부가 비어 있는 직육면체 형상의 프레임으로 이루어지고, 정면 또는 후면에 개폐 가능하도록 구성된 출입구를 구비한 단위 셀; 상기 단위 셀의 내부에 배치되되, 웨이퍼가 탑재되는 거치대의 위치 및 높이를 이동시킬 수 있는 프로빙 스테이지; 상기 단위 셀의 내부의 바닥면에 장착되되, 일단부가 상기 출입구를 향하도록 배치된 적어도 하나 또는 둘 이상의 제1 가이드 레일; 및 상부 표면에 프로빙 스테이지를 탑재할 수 있는 크기와 하중으로 이루어지고, 일측 모서리 영역을 상기 단위 셀의 내부의 바닥면의 모서리에 탈장착시킬 수 있도록 구성된 스테이지 이동용 받침대;를 구비한다. 상기 프로빙 스테이지는 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일을 따라 선형적으로 이동 가능하도록 구성된다. 따라서, 본 발명에 따른 프로빙 스테이지는 스테이지 이동용 받침대를 이용하여 프레임의 밖으로 이동가능하게 된다.
Description
본 발명은 웨이퍼 검사 장치에 관한 것으로서, 특히 프로빙 스테이지가 탑재된 복수 개의 단위 셀들이 적층되어 구성되더라도 각 프로빙 스테이지를 장비 밖으로 안전하게 토출시켜 유지 및 보수를 할 수 있도록 구성된 웨이퍼 검사 장치에 관한 것이다.
반도체 검사 장비인 웨이퍼 프로버(Wafer prober)는 반도체 전공정(前工程)이 모두 완료된 웨이퍼를 대상으로 후공정(後工程)으로 들어가기 직전에, 웨이퍼상에 만들어진 반도체 소자들의 전기적 특성을 검사하여 불량 유무를 확인하는 장비이다. 일반적으로, 웨이퍼 프로버는 수직 및 수평 방향으로의 구동이 가능한 스테이지, 상기 스테이지 위에 안착되고 상부표면에 웨이퍼가 탑재되는 척(Chuck), 상기 웨이퍼를 검사하기 위한 전기적 시험장치 및 상기 시험 장치와 연결되어 웨이퍼와 접촉되는 프로브 카드를 포함한다.
최근, 한정된 공간에 설치할 수 있는 웨이퍼 프로버의 개수가 제한되는 반면에, 단위 시간당 검사해야 될 웨이퍼의 개수가 증대됨에 따라 설치해야 될 웨이퍼 프로버의 개수는 증대되고 있는 실정이다.
이에 따라, 복수 개의 웨이퍼 프로버들을 적층하여 배치할 수 있도록 하는 기판 검사 시스템이 제안되었다. 한국공개특허공보 제 10-2017-0104975호의 기판 검사 시스템은, 기판 반송을 위한 반송 영역과 테스트 헤드의 정비를 위한 정비 영역의 사이에 검사 영역을 구비하고, 상기 검사 영역에는 복수의 검사실이 서로 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다. 도 1은 전술한 종래의 특허에 개시된 사시도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 한정된 공간에 복수 개의 웨이퍼 프로빙 스테이지를 배치하기 위하여, 셀 타워를 복수 개의 단으로 배치하게 된다. 그리고, 각 셀의 내부에 웨이퍼 프로빙 스테이지를 배치하게 된다.
전술한 바와 같이 복수 개의 웨이퍼 프로빙 스테이지들이 적층되어 배치되는 검사 시스템 구조에 있어서, 각 웨이퍼 프로빙 스테이지들을 유지 및 보수하기가 용이하지 않은 문제점이 발생한다. 특히, 웨이퍼 프로빙 스테이지의 구동에 오류가 발생된 경우 운용자가 직접 보고 테스트하면서 유지 보수하여야 함에도 불구하고, 일반적으로 웨이퍼 프로빙 스테이지는 매우 정밀하면서도 하중이 큰 장비로서, 전술한 바와 같은 적층 구조에서는 각 셀의 내부에 완전히 고정 장착되어 있으므로 유지 및 보수가 거의 불가능하게 된다.
전술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 복수 개의 웨이퍼 프로빙 스테이지가 적층되는 구조에서도 각 웨이퍼 프로빙 스테이지를 프레임의 밖으로 토출시킬 수 있도록 하여 유지 및 보수가 용이하도록 구성된 웨이퍼 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 웨이퍼 검사 장치는, 내부가 비어 있는 직육면체 형상의 프레임으로 이루어지고, 정면 또는 후면에 개폐 가능하도록 구성된 출입구를 구비한 단위 셀; 상기 단위 셀의 내부에 배치되되, 웨이퍼가 탑재되는 거치대의 위치 및 높이를 이동시킬 수 있는 프로빙 스테이지; 상기 단위 셀의 내부의 바닥면에 장착되되, 일단부가 상기 출입구를 향하도록 배치된 적어도 하나 또는 둘 이상의 제1 가이드 레일; 및 상부 표면에 프로빙 스테이지를 탑재할 수 있는 크기와 하중으로 이루어지고, 일측 모서리 영역을 상기 단위 셀의 내부의 바닥면의 모서리에 탈장착시킬 수 있도록 구성된 스테이지 이동용 받침대;를 구비하고, 상기 프로빙 스테이지의 하부면은 상기 단위 셀의 바닥면의 제1 가이드 레일에 탑재되어, 상기 프로빙 스테이지가 제1 가이드 레일을 따라 선형적으로 이동 가능하도록 구성된다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 복수 개의 단위 셀이 수직 방향으로 적층되고, 각 단위 셀의 내부에 프로빙 스테이지가 배치된 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 상기 스테이지 이동용 받침대는, 상부 표면에 상기 제1 가이드 레일들과 선형적으로 연결되도록 배치된 적어도 하나 또는 둘 이상의 제2 가이드 레일을 구비하고, 상기 프로빙 스테이지가 제1 가이드 레일 및 제1 가이드 레일에 연결된 제2 가이드 레일을 따라 선형적으로 이동 가능하도록 구성하여, 상기 스테이지 이동용 받침대를 이용하여 상기 프로빙 스테이지를 단위 셀의 외부로 이동시킬 수 있도록 한 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 상기 스테이지 이동용 받침대는 상기 단위 셀의 출입구가 개방되어 노출된 단위 셀의 바닥면의 모서리에 탈장착되도록 구성되며, 서로 대향되는 상기 스테이지 이동용 받침대의 하부면과 상기 단위 셀의 모서리 영역의 상부면에는 각각 서로 대응되는 돌출 영역과 홈 영역이 형성되어 안정되게 고정시킬 수 있도록 구성된 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 상기 제2 가이드 레일의 일단부에는 프로빙 스테이지의 선형 이동을 막을 수 있는 스톱퍼를 구비하여, 제2 가이드 레일을 따라 이동하여 스테이지 이동용 받침대에 탑재된 프로빙 스테이지가 제2 가이드 레일의 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 구성된 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 웨이퍼 검사 장치는 프로빙 스테이지를 직육면체의 프레임의 내부에 탑재시키도록 구성하더라도, 고정밀 및 고하중의 프로빙 스테이지의 유지 및 보수를 위하여 프로빙 스테이지를 프레임의 밖으로 안전하게 이동시킬 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 장치는 스테이지 이동용 받침대를 구비하여 프로빙 스테이지를 프레임의 밖으로 안전하게 이동시킬 수 있도록 함으로써, 프로빙 스테이지가 내부에 탑재된 복수 개의 단위 셀들을 적층하여 구성하더라도 모든 단위 셀에 탑재된 프로빙 스테이지들을 안전하게 이동시킬 수 있고 그 결과 이들을 유지 및 보수를 용이하게 할 수 있게 된다.
도 1은 종래의 기술에 따른 웨이퍼 검사 장치에 대한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 프레임의 내부에 프로빙 스테이지가 배치된 단위 셀을 도시한 사시도이다.
도 3a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)를 도시한 사시도이며, 도 3b는 도 3a의 스테이지 이동용 받침대(300)에 대한 저면 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)가 단위 셀에 연결된 상태를 도시한 사시도이며, 도 4b는 도 4a의 상태에 대한 저면 사시도이다.
도 5a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)가 단위 셀에 연결된 스테이지 이동용 받침대위로 프로빙 스테이지가 이동한 상태를 도시한 사시도이며, 도 5b는 도 5a의 상태에 대한 저면 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 내부에 프로빙 스테이지가 탑재된 복수 개의 단위 셀들이 수직 방향 및 수평 방향으로 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 복수 개의 단위 셀들이 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치에 스테이지 이동용 받침대가 연결된 상태를 도시한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 복수 개의 단위 셀들이 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치에 연결된 스테이지 이동용 받침대로 프로빙 스테이지가 이동된 상태를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 프레임의 내부에 프로빙 스테이지가 배치된 단위 셀을 도시한 사시도이다.
도 3a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)를 도시한 사시도이며, 도 3b는 도 3a의 스테이지 이동용 받침대(300)에 대한 저면 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)가 단위 셀에 연결된 상태를 도시한 사시도이며, 도 4b는 도 4a의 상태에 대한 저면 사시도이다.
도 5a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)가 단위 셀에 연결된 스테이지 이동용 받침대위로 프로빙 스테이지가 이동한 상태를 도시한 사시도이며, 도 5b는 도 5a의 상태에 대한 저면 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 내부에 프로빙 스테이지가 탑재된 복수 개의 단위 셀들이 수직 방향 및 수평 방향으로 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 복수 개의 단위 셀들이 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치에 스테이지 이동용 받침대가 연결된 상태를 도시한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 복수 개의 단위 셀들이 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치에 연결된 스테이지 이동용 받침대로 프로빙 스테이지가 이동된 상태를 도시한 사시도이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 검사 장치는 프로빙 스테이지가 탑재되는 단위 셀에 연결할 수 있는 스테이지 이동용 받침대를 구비하고, 상기 스테이지 이동용 받침대를 이용함으로써 프로빙 스테이지의 유지 및 보수를 위하여 단위 셀 내부에 탑재된 프로빙 스테이지를 단위 셀의 외부로 안전하게 이동시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치의 구조 및 동작에 대하여 구체적으로 설명한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치(10)는 단위 셀, 제1 가이드 레일(110), 단위 셀의 내부에 배치된 프로빙 스테이지(200), 및 제2 가이드 레일(310)이 장착된 스테이지 이동용 받침대(300)을 구비한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 프레임의 내부에 프로빙 스테이지가 배치된 단위 셀을 도시한 사시도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치(10)의 단위 셀은 내부가 비어 있는 직육면체 형상의 프레임(100)으로 이루어지고, 정면 또는 후면에 개폐 가능하도록 구성된 출입구(도시되지 않음)를 구비한다. 상기 출입구는 프레임의 정면에 배치되거나 후면에 배치될 수 있다. 후술되는 스테이지 이동용 받침대(300)는 상기 출입구가 배치된 정면 또는 후면에 장착될 수 있다. 본 명세서에서는 정면에 출입구가 배치된 경우를 상정하여 설명하도록 한다.
상기 제1 가이드 레일(110)은 프로빙 스테이지를 선형 이동시키기 위한 것으로서, 상기 단위 셀의 내부의 바닥면에 장착되되, 일단부가 상기 출입구를 향하도록 배치된다. 상기 제1 가이드 레일은 적어도 하나 또는 둘 이상을 구비할 수 있으며, 고 하중의 프로빙 스테이지를 안정되게 지지하고 이동시킬 수 있도록 하기 위하여 중심축을 기준으로 하여 서로 대칭되는 위치에 적어도 둘 이상을 배치하는 것이 바람직하다.
상기 프로빙 스테이지(200)는 웨이퍼가 탑재되는 거치대의 위치 및 높이를 이동시킬 수 있는 스테이지로서, 상기 단위 셀의 프레임의 내부에 배치된다. 상기 프로빙 스테이지는 웨이퍼가 거치되는 거치대(202), 상기 거치대를 수직 방향을 따라 이동시켜 높이를 조절하는 수직 이동 모듈, 수평 방향을 따라 이동시켜 위치를 조절하는 수평 이동 모듈 및 회전시켜 방향을 조절하는 회전 모듈들로 이루어진다. 상기 프로빙 스테이지는 당업자들에게 널리 알려진 구조로서, 본 발명에서는 종래의 기술에 따른 프로빙 스테이지들을 다양하게 사용될 수 있으므로, 프로빙 스테이지에 대한 보다 구체적인 구성에 대한 설명은 생략한다.
한편, 상기 프로빙 스테이지의 하부 기판(204)은 단위 셀의 프레임의 바닥면의 제1 가이드 레일(110)에 탑재되어, 상기 프로빙 스테이지가 제1 가이드 레일을 따라 선형적으로 이동 가능하도록 구성한다.
이하, 도 3a 및 도 3b를 참조하여 본 발명에 따른 스테이지 이동용 받침대(300)의 구성 및 작용에 대하여 구체적으로 설명한다. 도 3a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)를 도시한 사시도이며, 도 3b는 도 3a의 스테이지 이동용 받침대(300)에 대한 저면 사시도이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 상기 스테이지 이동용 받침대(300)는 상부 표면에 프로빙 스테이지를 탑재할 수 있는 크기와 하중으로 이루어지고, 일측 모서리 영역을 상기 단위 셀의 내부의 바닥면의 모서리에 탈장착시킬 수 있도록 구성된다. 특히, 상기 스테이지 이동용 받침대는 상기 단위 셀의 출입구가 개방되어 노출된 단위 셀의 바닥면의 모서리에 탈장착되도록 구성되는 것이 바람직하다. 상기 스테이지 이동용 받침대는 상기 단위 셀의 모서리에 장착되면 상기 단위 셀의 모서리로부터 돌출되도록 배치된다.
프로빙 스테이지의 유지 및 보수 등을 위하여, 상기 스테이지 이동용 받침대를 사용하여 프로빙 스테이지를 단위 셀의 프레임의 밖으로 안전하게 이동시키게 된다.
상기 스테이지 이동용 받침대(300)는 상부 표면에 상기 제1 가이드 레일들(110)과 선형적으로 연결되도록 배치된 적어도 하나 또는 둘 이상의 제2 가이드 레일(310)을 구비한다.
상기 프로빙 스테이지가 제1 가이드 레일(110) 및 제1 가이드 레일(110)에 연결된 제2 가이드 레일(310)을 따라 선형적으로 이동 가능하도록 구성하여, 단위 셀의 모서리에 연결된 상기 스테이지 이동용 받침대를 이용하여 상기 프로빙 스테이지를 단위 셀의 외부로 이동시킬 수 있도록 한다.
한편, 서로 대향되는 상기 스테이지 이동용 받침대(300)의 하부면과 상기 단위 셀의 프레임(100)의 모서리 영역의 상부면에는 각각 서로 대응되는 위치에 홈 영역(305)과 홈 영역(105)이 형성되어, 스테이지 이동용 받침대가 단위 셀의 바닥면과 동일한 높이로 안정되게 고정되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 제2 가이드 레일의 일단부에는 프로빙 스테이지의 선형 이동을 막을 수 있는 스톱퍼(도시되지 않음)를 구비하여, 제2 가이드 레일을 따라 이동하여 스테이지 이동용 받침대에 탑재된 프로빙 스테이지가 제2 가이드 레일의 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 구성된 것이 바람직하다.
이하, 도 4a, 도 4b, 도 5a 및 도 5b를 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서 프로빙 스테이지의 유지 및 보수를 위하여, 스테이지 이동용 받침대를 이용하여 프로빙 스테이지를 프레임의 외부로 이동시키는 과정을 구체적으로 설명한다.
도 4a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)가 단위 셀에 연결된 상태를 도시한 사시도이며, 도 4b는 도 4a의 상태에 대한 저면 사시도이다. 도 5a는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 스테이지 이동용 받침대(300)가 단위 셀에 연결된 스테이지 이동용 받침대위로 프로빙 스테이지가 이동한 상태를 도시한 사시도이며, 도 5b는 도 5a의 상태에 대한 저면 사시도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 프로빙 스테이지가 단위 셀의 내부에 탑재된 상태에서, 스테이지 이동용 받침대를 단위 셀의 프레임의 모서리에 연결함으로써, 스테이지 이동용 받침대가 단위 셀의 프레임의 모서리로부터 돌출되도록 배치시킨다. 이때, 제1 가이드 레일과 제2 가이드 레일은 선형적으로 연결되도록 하는 것이 바람직하다.
다음, 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 서로 연결된 제1 가이드 레일 및 제2 가이드 레일을 따라, 프로빙 스테이지를 선형적으로 이동시켜 스테이지 이동용 받침대의 위로 이동시키게 된다.
한편, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 내부에 프로빙 스테이지가 탑재된 복수 개의 단위 셀들('a')이 수직 방향 및 수평 방향으로 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치를 도시한 사시도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 전술한 구성을 갖는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치는 복수 개의 단위 셀이 수직 방향으로 적층되고, 각 단위 셀의 내부에 프로빙 스테이지가 배치되도록 구성될 수 있다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 복수 개의 단위 셀들이 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치에 스테이지 이동용 받침대가 연결된 상태를 도시한 사시도이다. 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사 장치에 있어서, 복수 개의 단위 셀들이 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치에 연결된 스테이지 이동용 받침대로 프로빙 스테이지가 이동된 상태를 도시한 사시도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 복수 개의 단위 셀들이 적층되어 구성된 웨이퍼 검사 장치는, 스테이지 이동용 받침대를 연결시키고, 유지 및 보수를 위하여 단위 셀 내부의 프로빙 스테이지를 스테이지 이동용 받침대의 위로 안정되게 이동시킬 수 있게 된다.
이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 웨이퍼 검사 장치
'a' : 단위 셀
100 : 단위 셀의 프레임
110 : 제1 가이드 레일
200 : 프로빙 스테이지
310 : 제2 가이드 레일
300 : 스테이지 이동용 받침대
'a' : 단위 셀
100 : 단위 셀의 프레임
110 : 제1 가이드 레일
200 : 프로빙 스테이지
310 : 제2 가이드 레일
300 : 스테이지 이동용 받침대
Claims (6)
- 복수 개의 단위 셀이 수직 방향으로 적층되고, 각 단위 셀의 내부에 프로빙 스테이지가 배치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치로서,
상기 웨이퍼 검사 장치는,
내부가 비어 있는 직육면체 형상의 프레임으로 이루어지고, 정면 또는 후면에 개폐 가능하도록 구성된 출입구를 구비한 단위 셀;
상기 단위 셀의 내부에 배치되되, 웨이퍼가 탑재되는 거치대 및 상기 거치대의 위치와 높이를 조정할 수 있는 구동 모듈을 구비하는 프로빙 스테이지;
상기 단위 셀의 내부의 바닥면에 장착되되, 일단부가 상기 출입구를 향하도록 배치된 적어도 하나 또는 둘 이상의 제1 가이드 레일; 및
상부 표면에 프로빙 스테이지를 탑재할 수 있는 크기와 하중으로 이루어지고, 일측 모서리 영역을 상기 단위 셀의 내부의 출입구의 바닥면의 모서리에 탈장착시킬 수 있도록 구성된 스테이지 이동용 받침대;
를 구비하고, 상기 프로빙 스테이지의 하부 기판은 상기 단위 셀의 바닥면의 제1 가이드 레일에 탑재되어, 상기 프로빙 스테이지가 제1 가이드 레일을 따라 선형적으로 이동 가능하도록 구성한 것을 특징으로 하며,
상기 스테이지 이동용 받침대는 상기 단위 셀의 출입구의 모서리에 장착되면 상기 단위 셀의 모서리로부터 돌출되도록 배치되어, 상기 스테이지 이동용 받침대를 이용하여 상기 프로빙 스테이지를 단위셀의 밖으로 이동시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치. - 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 스테이지 이동용 받침대는
상부 표면에 상기 제1 가이드 레일들과 선형적으로 연결되도록 배치된 적어도 하나 또는 둘 이상의 제2 가이드 레일을 구비하고,
상기 프로빙 스테이지가 제1 가이드 레일 및 제1 가이드 레일에 연결된 제2 가이드 레일을 따라 선형적으로 이동 가능하도록 구성하여, 상기 스테이지 이동용 받침대를 이용하여 상기 프로빙 스테이지를 단위 셀의 외부로 이동시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치. - 제1항에 있어서, 상기 스테이지 이동용 받침대는 상기 단위 셀의 출입구가 개방되어 노출된 단위 셀의 바닥면의 모서리에 탈장착되도록 구성되며,
서로 대향되는 상기 스테이지 이동용 받침대의 하부면과 상기 단위 셀의 모서리 영역의 상부면에는 각각 서로 대응되는 홈 영역들이 형성되어 안정되게 고정시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치. - 제4항에 있어서, 상기 제2 가이드 레일의 일단부에는 프로빙 스테이지의 선형 이동을 막을 수 있는 스톱퍼를 구비하여,
제2 가이드 레일을 따라 이동하여 스테이지 이동용 받침대에 탑재된 프로빙 스테이지가 제2 가이드 레일의 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
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