JP2006329861A - プリント基板の電気検査装置および電気検査方法 - Google Patents

プリント基板の電気検査装置および電気検査方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 検出装置の取り替えが不要で安価につくプリント基板の電気検査装置および電気検査方法を提供すること。
【解決手段】 設置装置20に設置されたプリント基板11の接点11aに検査用プローブ36を接触させて、プリント基板11の電気検査を行う電気検査装置10に、検査用プローブ36が取り付けられる検出部37と、駆動装置と、反力検出センサ38と制御装置50を設けた。また、駆動装置を、検出部37が着脱可能に取り付けられる支持部材35と、支持部材35を移動させて検査用プローブ36をプリント基板11に接触させるモータ32とで構成した。そして、検査用プローブ36がプリント基板11に接触したときに、モータ32に掛かる反力を反力検出センサ38が検出し、その検出値に応じて制御装置50がモータ32を駆動させるようにした。
【選択図】 図1

Description

本発明は、プリント基板に検査用プローブを接触させることによりプリント基板の電気検査を行うプリント基板の電気検査装置および電気検査方法に関する。
従来から、電極パターンを有するプリント基板の回線に生じる導通不良等の欠陥の有無を通電により検査することが行われている。この場合、プリント基板に、検査用プローブを接触させて通電することにより回線における導通の有無を検査可能にする接点を設け、この接点に電気検査装置の検査用プローブを接触させることにより検査を行っている(例えば、特許文献1参照)。また、このような電気検査装置では、検査用プローブの接点に対する押圧力にばらつきが生じると接触不良が生じて精度のよい検査が行えなくなることがある。このため前述した従来の電気検査装置では、検査用プローブに対向する部分に位置する押子(駆動側部分)またはステージ(台側部分)に圧力センサを設けて、検査用プローブの接点に対する押圧力を適正にできるようにしている。
特開平6−268034号公報
しかしながら、前述した電気検査装置では、検査用プローブが取り付けられる場所に応じて圧力センサの取り付け位置も変更しなければならないため、取付操作が面倒になったり、各部材にそれぞれ圧力センサを設ける必要が生じたりするという問題がある。また、検査用プローブが取り付けられる取付部材に圧力センサを設けた電気検査装置もあるが、これによると、複数の検査用プローブを取り替えながら使用する場合には、各取付部材にそれぞれセンサを設けなければならなくなりコストが高くなるという問題が生じる。
本発明は、前述した問題に対処するためになされたもので、その目的は、検査用プローブとともに取付部材を取り替えても共通の検出装置を用いることができるため、検出装置の取り替えが不要で安価につくプリント基板の電気検査装置および電気検査方法を提供することである。
前述した目的を達成するため、本発明に係るプリント基板の電気検査装置の構成上の特徴は、設置装置に設置されたプリント基板の接点に検査用プローブを接触させることにより、プリント基板の電気検査を行うプリント基板の電気検査装置であって、検査用プローブが取り付けられる取付部材と、取付部材が着脱可能に取り付けられる支持部と、取付部材を設置装置に設置されたプリント基板に対して進退させることにより、検査用プローブをプリント基板に接触させる駆動装置と、検査用プローブがプリント基板に接触したときに、プリント基板に対する検査用プローブの押圧力を駆動装置に掛かる反力として検出する検出装置と、検出装置の検出値に応じて駆動装置を駆動させて検査用プローブのプリント基板に対する押圧力が所定値になるように制御する制御装置とを備えたことにある。
前述したように構成した本発明に係るプリント基板の電気検査装置では、プリント基板に対する検査用プローブの押圧力を検出する検出装置が、検査用プローブや検査用プローブが取り付けられる取付部材でなく、取付部材が取り付けられる支持部や駆動装置に掛かる反力として前記押圧力を検出するように構成されている。このため、検出装置は、駆動装置または駆動装置に接続した状態で駆動装置の外部に設置することができる。この結果、電気検査の目的に応じて検査用プローブを取付部材とともに取り替えた場合でも、検出装置は駆動装置に掛かる反力を元の状態のままで検出できるようになり、検出装置の取り替えが不要になる。また、制御装置による駆動装置の駆動制御により、検査用プローブは接点に対して適正な押圧力で接触するようになるため、接触不良がなくなり精度のよい電気検査が行える。
本発明に係るプリント基板の電気検査装置の他の構成上の特徴は、駆動装置に掛かる反力が駆動装置の駆動力に対する反力であることにある。この場合、検出装置は、駆動装置の駆動により、取付部材をプリント基板側に移動させ、検査用プローブがプリント基板に接触してプリント基板を押圧したときに、プリント基板から検査用プローブおよび取付部材を介して駆動装置に掛かる反力を検出する。したがって、検出装置は、検査用プローブや取付部材の近傍に設ける必要がなくなり、検出装置の設置位置に自由度が増すようになる。
本発明に係るプリント基板の電気検査装置のさらに他の構成上の特徴は、駆動装置に掛かる反力が支持部に掛かる反力であることにある。この場合、検出装置は、支持部に設けられ、モータの駆動により、取付部材をプリント基板側に移動させ、検査用プローブがプリント基板に接触してプリント基板を押圧したときに、プリント基板から検査用プローブおよび取付部材を介して駆動装置の支持部に掛かる反力を検出する。また、取付部材は、支持部に着脱可能になっており、検査用プローブを取り替える際には、支持部から取り外されるが、検出装置は支持部に設けられているため、そのまま取り替えることなく使用できる。
本発明に係るプリント基板の電気検査方法の構成上の特徴は、検査用プローブが取り付けられた取付部材が着脱可能に取り付けられる支持部と、取付部材をプリント基板に対して進退させることにより、検査用プローブをプリント基板に所定の押圧力で接触させる駆動装置を用いて、プリント基板の電気検査を行うプリント基板の電気検査方法であって、検査用プローブをプリント基板に接触させる接触工程と、検査用プローブがプリント基板に接触したときに、プリント基板に対する検査用プローブの押圧力を駆動装置に掛かる反力として検出する反力検出工程と、反力検出工程において検出された検出値に応じて駆動装置を駆動させて検査用プローブのプリント基板に対する押圧力が所定値になるように制御する押圧力制御工程とを備えたことにある。
これによると、検査用プローブを取り替えても検出装置を取り替える必要のないプリント基板の電気検査方法を安価でかつ精度よく実施できる。この場合、反力検出工程において検出される駆動装置に掛かる反力が駆動装置の駆動力に対して掛かる反力であるとすることができる。また、反力検出工程において検出される駆動装置に掛かる反力が、支持部に掛かる反力であるとすることもできる。
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて詳しく説明する。図1は同実施形態に係るプリント基板の電気検査装置10の要部を示した概略構成図である。この電気検査装置10は、検査対象物であるプリント基板11に設けられた電極パターン(図示せず)が電気的に適正に導通しているか否かを検査するための装置である。そして、この電気検査装置10は、プリント基板11を所定位置に設置するための設置装置20と、プリント基板11の設置位置の上方に移動可能に設置された上部検出装置30と、プリント基板11の設置位置の下方に移動可能に設置された下部検出装置40とを備えている。
また、プリント基板11は、可撓性を有する四角形のシートで構成され、その表裏(上下)両面に電極パターンに導通する複数の接点11aが間隔を保って設けられている。そして、設置装置20、上部検出装置30および下部検出装置40は、図2および図3に示した各装置等によって移動可能になった状態で基台12に設置されている。基台12は、上面が枠状に形成された台で構成されており、基台12の上面の左右両側部分には、設置装置20を構成する一対の固定装置20a,20bが間隔を保って対向した状態で設けられている。
固定装置20aは、基台12上の一方(図1および図2の左側)の縁部に沿って設けられたレール部21aと、レール部21aに沿って移動可能な状態で設けられた一対の把持機構22a,22aとからなっている。そして、把持機構22a,22aは、それぞれプリント基板11に対して進退する方向(図1および図2の左右方向)に延びるシリンダ装置からなるアクチュエータ23aと、アクチュエータ23aの駆動によってプリント基板11を把持したり、開放したりする把持部24aとからなっている。
すなわち、把持部24aの先端部は、それぞれプリント基板11の縁部を表裏から把持して固定できる一対の爪で構成されている。また、把持機構22a,22aは、レール部21aに沿って互いの間隔を広げたり狭めたりするように移動でき、プリント基板11の幅に応じてその間隔を調整できるように構成されている。また、基台12の上面の一方の縁部側部分における固定装置20aの両端側には、レール部21aと直交する方向に延びる一対のレール部25a,25aが設けられており、固定装置20aは、レール部25a,25aに沿って移動可能な状態でレール部25a,25a上に設けられている。そして、固定装置20aは、プリント基板11の左右方向の長さに応じてレール部25a,25a上での位置を調節されその位置に位置決めされる。
固定装置20bは、基台12上の他方(図1および図2の右側)の縁部から所定間隔を保った部分に縁部に沿って設けられている。この固定装置20bは、固定装置20aと左右対称に配置された同一構成のものからなっており、レール部21bと、レール部21bに沿って移動可能な状態で設けられた一対の把持機構22b,22bとからなっている。そして、把持機構22b,22bは、それぞれアクチュエータ23bと把持部24bとからなっている。把持機構22b,22bは、レール部21bに沿って互いの間隔を広げたり狭めたりするように移動でき、プリント基板11の幅に応じてその間隔を調整できるように構成されている。
また、基台12上における固定装置20bの両端側部分には、レール部21bと直交する方向に延びる一対のレール部25b,25bが設けられており、固定装置20bは、レール部25b,25bに沿って移動可能な状態で設けられている。そして、固定装置20bは、プリント基板11の長さに応じてその左右方向の位置を決定される。したがって、各把持部24a,24bは、図1における左右方向および前後方向に移動することによって、プリント基板11の各角部に位置決めされ、先端部でプリント基板11の各角部を挟持して、さらに左右方向および前後方向に微調整することによって、プリント基板11をテンションを掛けた状態で支持することができる。
また、基台12の上面における前後の縁部の近傍部分には、それぞれレール部13a,13bが縁部に沿って設けられており、レール部13a,13bの上面部に支持台14がレール部13a,13bに沿って移動可能な状態で取り付けられている。この支持台14は、プリント基板11が設置される位置の上方に位置しており、レール部13a,13bに掛け渡された状態で前後に延びている。そして、この支持台14に上部検出装置30が取り付けられている。支持台14は、レール部13a,13bに平行して延びる回転駆動軸15aを備えた移動装置15の駆動によりレール部13a,13bに沿って左右に移動する。このため、上部検出装置30は、支持台14とともにレール部13a,13bに沿って左右に移動可能になっている。
また、支持台14には、レール部13a,13bと直交する方向に延びる軌道部16aと回転軸部16bとを備えた移動装置16が取り付けられている。また、上部検出装置30は、移動装置16に移動可能に取り付けられた移動部31を介して移動装置16に取り付けられており、移動部31とともに、移動装置16の駆動により移動装置16の長手方向に沿って移動可能になっている。さらに、移動装置31には、2個のモータ32等が設けられており、上部検出装置30は、モータ32の駆動により上下方向に移動するとともに、他のモータ(図示せず)の駆動により垂直軸を中心に回転するように構成されている。
また、上部検出装置30は、図1および図4に示した支持基板33を介して移動部31に取り付けられている。この支持基板33の下面には、モータ32の作動によって上下方向に移動する昇降装置34が設けられ、昇降装置34の下面には本発明の支持部を構成する支持部材35が設けられている。そして、支持部材35の下面に、検査用プローブ36と本発明に係る取付部材39と検出部37とが取り付けられている。検出部37には、取付部材39と検査用プローブ36とが着脱可能に取り付けられる。検出部37はモータ32の駆動により昇降装置34とともに上下に移動する。
また、モータ32には、モータ32の駆動力に対する反力を検出するための反力検出センサ38が接続されている。この反力検出センサ38は、モータ32の駆動により、検出部37が下降して、検査用プローブ36の先端部がプリント基板11に接触したときに、プリント基板11に対する検査用プローブ36の押圧力をモータ32が受ける反力として検出する。なお、この反力検出センサ38は、後述する制御装置50の近傍に設置されている。また、移動部31、支持基板33、昇降装置34、支持部材35およびモータ32で本発明に係る駆動装置が構成される。
下部検出装置40は、基台12の上面の前後部にそれぞれ設けられた一対のレール部13a,13bの下面部に沿って移動可能な支持台17に取り付けられている。この支持台17は、プリント基板11が設置される位置の下方に位置しており、レール部13a,13bに平行して延びる回転駆動軸18aを備えた移動装置18の駆動によりレール部13a,13bに沿って左右に移動する。このため、下部検出装置40は、支持台17とともにレール部13a,13bに沿って左右に移動可能になっている。また、支持台17には軌道部と回転軸部とで構成された移動装置19が取り付けられている。
下部検出装置40は、移動装置19に移動可能に取り付けられた移動部41に取り付けられており、移動部41とともに、移動装置19の駆動により移動装置19の長手方向に沿って移動可能になっている。また、移動装置41には、2個のモータ42等が設けられており、下部検出装置40は、モータ42の駆動により上下方向に移動するとともに、他のモータ(図示せず)の駆動により垂直軸を中心に回転するように構成されている。
また、下部検出装置40は、支持基板43を介して移動部41に取り付けられている。そして、支持基板43の上面には、モータ42の作動により上下方向に移動する昇降装置44が設けられ、昇降装置44の上端には本発明の支持部を構成する支持部材45が設けられている。そして、支持部材45の上面に、検査用プローブ46と本発明に係る取付部材49と検出部47とが取り付けられている。検出部47には、取付部材49と検査用プローブ46とが着脱可能に取り付けられる。検出部47はモータ42の駆動により昇降装置44とともに上下に移動する。
また、モータ42には、モータ42の駆動力に対する反力を検出するための反力検出センサ48が設けられている。この反力検出センサ48は、モータ42の駆動により、検出部47が上昇して、検査用プローブ46の先端部がプリント基板11に接触したときに、プリント基板11に対する検査用プローブ46の押圧力をモータ42が受ける反力として検出する。この反力検出センサ48も反力検出センサ38とともに、制御装置50の近傍に設置されている。
なお、検査用プローブ36,46は、例えば、幅が0.025mm、厚みが0.02mm、長さが1.2mmに設定された微細な材料で構成されている。そして、検査用プローブ36,46の変形可能な量は、例えば、0.2mm程度であり、検査用プローブ36,46は座屈したり、衝撃により破損したりし易い構造になっている。また、この電気検査装置10には、前述した各装置等の他に、図5に示したCPU51,ROM52,RAM53を備えた制御装置50、検査回路54および操作盤(図示せず)が設けられている。
制御装置50のROM52には、導通検査を実施するための所定のプログラムが記憶されており、CPU51は、そのプログラムを順次実行する。このCPU51のプログラム実行による各種の制御により移動装置15,18、移動装置16,19およびモータ32,42等の各装置が制御され、この制御によって、検出部37,47は所定の位置に移動する。また、RAM53には、図6に示した押圧力算出用データ53aが予め記憶されている。この押圧力算出用データ53aは、検査用プローブ36,46の先端部をプリント基板11に接触させる際の押圧力の適正値を求めるために作成したもので、検査用プローブ36,46の種類、個数、配置の各データに基づいて押圧力の適正値が求められるように構成されている。
押圧力算出用データ53aにおける検査用プローブ36,46の種類は、検査用プローブ36,46が変形したときのばね定数に基づいて、A,B,Cの3段階の値に設定され、例えば、Aは10g/2mm、Bは20g/2mm、Cは30g/2mm等と設定しておく。また、個数は、検出部37,47に取り付けられる検査用プローブ36,46の数であり、検査用プローブ36,46の種類A,B,Cの各段階について、それぞれ、例えば100,150,200,500の4段階として設定する。
さらに、配置については、本実施形態では、検査用プローブ36,46の分布状態に応じて、例えば、Pa、Pb、Pcの3パターンとしておく。この場合の分布としては、例えば、Paは、各検査用プローブ36,46が全体に略均等な間隔を保って検出部37,47に配置された分布状態、Pbは、検査用プローブ36,46が検出部37,47の中央部に多く配置され、外周側部分には少なく配置された分布状態、Pcは、検査用プローブ36,46が検出部37,47の中央部に少なく配置され、外周側部分に多く配置された分布状態とする。
そして、これらの各データから押圧力の適正値を求め、その押圧力を出力するために必要なモータ電流値を決定できるようにした。また、検査回路54は、検査用プローブ36,46とプリント基板11の接点11aとの導通状態を検出してその検出結果を信号として制御装置50に送信する。さらに、操作盤には、電気検査装置10をオンオフするためのスイッチや各種のデータを入力するための操作キー等が設けられている。
この構成において、電気検査装置10を用いてプリント基板11の導通検査を行う場合には、まず、操作盤の操作キーを操作して、使用する検査用プローブ36,46に関するデータを入力する。そして、プリント基板11を、設置装置20に設置する。この場合、一対の把持部24aと一対の把持部24bとの対向する部分の間隔がプリント基板11の長さと同じ長さになるように固定装置20a,20bを移動させる。ついで、把持部24a,24aの間隔および把持部24b,24bの間隔がプリント基板11の幅方向の長さと同じになるように把持機構22a,22aと把持機構22b,22bをそれぞれ移動させる。そして、各把持部24a,24bでプリント基板11の対応する角部を挟むことにより、プリント基板11を張った状態で設置する。
つぎに、移動装置15、移動装置16および移動部31のモータ32を駆動させることにより検出部37をプリント基板11における所定の接点11aの上方に移動させる。ついで、移動装置18、移動装置19および移動部41のモータ42を駆動させることにより検出部47をプリント基板11における所定の接点11aの下方に移動させる。そして、さらにモータ42を駆動させて、検出部47を上昇させて検査用プローブ46を、プリント基板11の接点11aに接触させる。ついで、モータ32を駆動させることにより、検出部37を下降させて検査用プローブ36を、プリント基板11の接点11aに接触させる。
これによって、モータ32には、プリント基板11に対する検査用プローブ36の押圧力の反力が検出部37を介して伝わる。この反力を反力検出センサ38が検出し、その検出信号を制御装置50のRAM53に送る。CPU51はROM52に記憶されたプログラムにしたがってデータ処理を行い、押圧力算出用データ53aから適正な押圧力を算出するとともに、その算出値と反力検出センサ38の検出値との比較を行う。そして、モータ32にその押圧力を出力させるための電流値を算出する。そして、CPU51は算出した電流値によりモータ32を駆動させて検査用プローブ36によるプリント基板11の押圧力が算出値になるようにする。
これによって、検査用プローブ36は、適正な押圧力でプリント基板11の接点11aに接触する。その状態で検査用プローブ36に通電することにより導通検査を行う。導通検査が終了すると、前述した各装置を駆動させることにより、検出部47を下降させるとともに検出部37を上昇させて元の状態に戻す。そして、前述した操作を再度行うことにより、プリント基板11における次の検査位置に、検出部37を移動させてその部分の導通検査を行う。これを順次繰り返すことにより、プリント基板11における全ての部分の検査が行われる。
また、下部検出装置40を用いて、プリント基板11に対する検査用プローブ46の押圧力が算出値になるようにしてプリント基板11の導通検査を行う場合には、検出部37を下降させて検査用プローブ36を、プリント基板11の接点11aに接触させた状態で、検出部47を上昇させて検査用プローブ46を、プリント基板11の接点11aに接触させる。これによって、モータ42には、プリント基板11に対する検査用プローブ46の押圧力の反力が検出部47を介して伝わる。この反力を反力検出センサ48が検出し、その検出信号をRAM53に送る。
検出信号が送られたCPU51は、押圧力算出用データ53aから適正な押圧力を算出するとともに、その算出値と反力検出センサ48の検出値との比較を行う。そして、モータ42にその押圧力を出力させるための電流値を算出する。そして、CPU51は算出した電流値によりモータ42を駆動させて検査用プローブ46によるプリント基板11の押圧力が算出値になるようにし、その状態で検査用プローブ46に通電することにより導通検査を行う。
また、大きさの異なる別のプリント基板の導通検査を行う場合には、検査済みのプリント基板11の各角部を、把持部24a,24bから外して、プリント基板11を電気検査装置10から取り出し、つぎのプリント基板を設置装置20に設置する。この場合、前述した操作を行うことにより、把持部24a,24bの位置をプリント基板の四隅に対応する間隔に位置決めする。そして、そのプリント基板の各角部を把持部24a,24bで挟んで固定することによりプリント基板の設置を行う。導通検査は、前述した操作にしたがって行われる。また、板状のプリント基板の導通検査を行う場合には、上部検出装置30と下部検出装置40とを同時に作動させながら導通検査を行うこともできる。
このように、本発明に係る電気検査装置10では、プリント基板11から検査用プローブ36,46に掛かる反力を検出する反力検出センサ38,48が、検出部37,47でなく、制御装置50の近傍に取り付けられている。そして、反力検出センサ38,48は、プリント基板11に対する検査用プローブ36,46の押圧力を検出部37,47を介してモータ32,42に掛かる反力として検出するように構成されている。このため、検査用プローブ36,46を検出部37,47とともに取り替えても、反力検出センサ38,48は取り替えることなくそのまま使用できるようになる。
また、検査用プローブ36,46によるプリント基板11への押圧力を適正な値に制御できるため、検査用プローブ36,46とプリント基板11の接点11aとの接触不良がなくなり精度のよい電気検査が行える。さらに、検査用プローブ36,46と接点11aとの接触が適正状態で行われるため、検査用プローブ36,46が破損することも防止される。また、反力検出センサ38,48が、モータ32,42に掛かる反力を検出するように構成されているため、制御装置50の近傍だけでなく、移動部31,41等任意の部分に設けることもできる。これによって、反力検出センサ38,48の設置位置に自由度が増すようになる。
また、本発明に係るプリント基板の電気検査装置の他の実施形態として、反力検出センサ38,48を支持部材35,45に設けることもできる。この場合、反力検出センサ38,48は、検査用プローブ36,46がプリント基板11を押圧したときに、プリント基板11から検出部37,47を介して反力検出センサ38,48または支持部材35,45に掛かる反力を検出する。これによっても、検査用プローブ36,46を取り替えても、反力検出センサ38,48は取り替えることなくそのまま使用することができる。
また、本発明は、前述した実施形態に限定するものでなく、本発明の技術的範囲において適宜変更実施が可能である。例えば、前述した実施形態では、プリント基板11の上方と下方にそれぞれ上部検出装置30と下部検出装置40を設けたが、この検出装置は、どちらか一方だけに設けてもよい。また、図6に示した項目についても、これに限るものでなく、適正な押圧力を求めることのできるデータであれば他の特性に基づく項目を用いることもできる。
さらに、前述した実施形態では、プリント基板11を水平に設置しているが、プリント基板11の設置の向きは、任意の向きにすることができる。例えば、プリント基板11を傾斜させて設置したり、垂直に設置したりすることができる。また、前述した実施形態では、駆動装置をモータ32,42で構成したが、この駆動装置としてはエアシリンダー等の装置を用いることができる。さらに、本発明に係る電気検査は、導通検査に限らず、絶縁検査等の電気的な検査を含むものとする。
本発明の一実施形態による電気検査装置の要部を示した概略図である。 電気検査装置の平面図である。 電気検査装置の正面図である。 図3の二点鎖線で囲んだ部分の拡大図である。 電気検査装置の構成図である。 押圧力を算出するための押圧力算出用データが記載された表である。
符号の説明
10…電気検査装置、11…プリント基板、11a…接点、20…設置装置、30…上部検出装置、31,41…移動部、32,42…モータ、34,44…昇降装置、35,45…支持部材、36,46…検査用プローブ、37,47…検出部、38,48…反力検出センサ、40…下部検出装置、50…制御装置

Claims (6)

  1. 設置装置に設置されたプリント基板の接点に検査用プローブを接触させることにより、前記プリント基板の電気検査を行うプリント基板の電気検査装置であって、
    前記検査用プローブが取り付けられる取付部材と、
    前記取付部材が着脱可能に取り付けられる支持部と、前記取付部材を前記設置装置に設置されたプリント基板に対して進退させることにより、前記検査用プローブを前記プリント基板に接触させる駆動装置と、
    前記検査用プローブが前記プリント基板に接触したときに、前記プリント基板に対する検査用プローブの押圧力を前記駆動装置に掛かる反力として検出する検出装置と、
    前記検出装置の検出値に応じて前記駆動装置を駆動させて前記検査用プローブの前記プリント基板に対する押圧力が所定値になるように制御する制御装置と
    を備えたことを特徴とするプリント基板の電気検査装置。
  2. 前記駆動装置に掛かる反力が前記駆動装置の駆動力に対する反力である請求項1に記載のプリント基板の電気検査装置。
  3. 前記駆動装置に掛かる反力が前記支持部に掛かる反力である請求項1に記載のプリント基板の電気検査装置。
  4. 検査用プローブが取り付けられた取付部材が着脱可能に取り付けられる支持部と、前記取付部材をプリント基板に対して進退させることにより、前記検査用プローブを前記プリント基板に所定の押圧力で接触させる駆動装置を用いて、前記プリント基板の電気検査を行うプリント基板の電気検査方法であって、
    前記検査用プローブを前記プリント基板に接触させる接触工程と、
    前記検査用プローブが前記プリント基板に接触したときに、前記プリント基板に対する検査用プローブの押圧力を前記駆動装置に掛かる反力として検出する反力検出工程と、
    前記反力検出工程において検出された検出値に応じて前記駆動装置を駆動させて前記検査用プローブの前記プリント基板に対する押圧力が所定値になるように制御する押圧力制御工程と
    を備えたことを特徴とするプリント基板の電気検査方法。
  5. 前記反力検出工程において検出される前記駆動装置に掛かる反力が前記駆動装置の駆動力に対する反力である請求項4に記載のプリント基板の電気検査方法。
  6. 前記反力検出工程において検出される前記駆動装置に掛かる反力が、前記支持部に掛かる反力である請求項4に記載のプリント基板の電気検査方法。
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