KR101044630B1 - 검사 장치 - Google Patents

검사 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101044630B1
KR101044630B1 KR1020090005941A KR20090005941A KR101044630B1 KR 101044630 B1 KR101044630 B1 KR 101044630B1 KR 1020090005941 A KR1020090005941 A KR 1020090005941A KR 20090005941 A KR20090005941 A KR 20090005941A KR 101044630 B1 KR101044630 B1 KR 101044630B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe
probe assembly
contact
test
inspection
Prior art date
Application number
KR1020090005941A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090091649A (ko
Inventor
카즈요시 미우라
토요카즈 사이토우
카즈오 사토
스스무 오츠
Original Assignee
가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 filed Critical 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Publication of KR20090091649A publication Critical patent/KR20090091649A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101044630B1 publication Critical patent/KR101044630B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2884—Testing of integrated circuits [IC] using dedicated test connectors, test elements or test circuits on the IC under test
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

본 발명의 목적은, 점등 검사 시에 점등 불량이 발생했을 때, 그것이 패널 불량에 기인하는 것인지, 접촉 불량에 기인하는 것인지를 용이하게 판단할 수 있도록 하는데 있다.
본 발명은 검사 대상판을 점등 검사하는 검사 장치이다. 이 검사 장치에, 상기 검사 대상판의 전극에 직접 접촉하는 프로브를 갖는 복수의 프로브 조립체와, 각 프로브 조립체를 지지하는 프로브 베이스를 갖추고, 상기 복수의 프로브 조립체는, 상기 검사 대상판에 간이 접촉하여 간이 점등 검사를 하는 간이(簡易) 콘택트용 프로브 조립체와, 상기 검사 대상판에 전부 접촉하여 통상 점등 검사를 하는 풀 콘택트(full contact)용 프로브 조립체를 갖추었다.
점등 검사, 프로브, 프로브 유닛, 간이 콘택트용 프로브 조립체, 풀 콘택트용 프로브 조립체, 액정 패널

Description

검사 장치{Inspection Apparatus}
본 발명은, 액정 패널과 같은 검사 대상판의 점등 검사에 사용하는 검사 장치에 관한 것이다.
예를 들어, 액정 패널(LCD 패널)에 있어서는, 그 제조 공정에 있어, 모듈 공정으로 진행하기 전에 LCD 패널 단일의 점등 검사가 실시된다. 이 점등 검사에는, 통상 점등 검사와 간이 점등 검사가 있다.
통상 점등 검사는, LCD 패널의 각 전극에 프로브를 전부 접촉(full contact)시켜 실시하는 점등 검사이다. 간이 점등 검사는, LCD 패널의 모든 전극에 프로브를 접촉시키는 것이 아니라, 부분적으로 접촉시키는 간이(簡易) 접촉에 의해 실시되는 점등 검사이다. 이러한 간이 점등 검사의 예로 특허문헌 1이 있다.
특허문헌 1: 일본 특허출원 공개 평09-138422호 공보
그런데, 상기 검사 장치에서는, 점등 검사 시에 점등 불량이 발생했을 때, 그것이 패널 불량에 기인하는 것인지, 접촉 불량에 기인하는 것인지를 판단하는 경우는, 프로브 유닛을 교체할 필요가 있었다.
그러나 프로브 유닛을 교체할 경우는, 그 작업이 번잡하고 시간이 걸리기 때문에, 작업성이 나쁘고, 불량 원인의 판단이 용이하지 않은 문제가 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 점등 검사 시에 점등 불량이 발생했을 때, 그것이 패널 불량에 기인하는 것인지 접촉 불량에 기인하는 것인지를 용이하게 판단할 수 있는 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 검사 장치는, 검사 대상판을 점등 검사하는 검사 장치로서, 상기 검사 대상판의 전극에 직접 접촉하는 프로브를 갖는 복수의 프로브 조립체와, 각 프로브 조립체를 지지하는 프로브 베이스를 갖추고, 상기 프로브 조립체는, 상기 검사 대상판에 간이 접촉하여 간이 점등 검사를 하는 간이(簡易) 콘택트용 프로브 조립체와, 상기 검사 대상판에 전부 접촉하여 통상 점등 검사를 하는 풀 콘택트(full contact)용 프로브 조립체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 간이 콘택트용 프로브 조립체에는, 상기 검사 대상판에 대해 프로브를 근접 이간시키는 이동 기구를 갖추는 것이 바람직하다. 또한, 통상 점등 검사 시에 결함이 발생했을 때, 그 결함이 패널에 기인한 것인지, 접촉에 기인한 것인지를 판단하기 위하여, 상기 이동 기구를 제어하여 상기 간이 콘택트용 프로브 조립체를 상기 검사 대상판에 근접시켜 간이 점등 검사로 전환하는 제어부를 갖추는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 점등 검사 시에 점등 불량이 발생했을 때, 그것이 패널 불량에 기인하는 것인지, 접촉 불량에 기인하는 것인지를 용이하게 판단할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 검사 장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
본 실시 형태의 검사 장치에서는, XYZθ 스테이지(도시되어 있지 않음)에 의해 XYZ축 방향 및 θ 회전 방향을 조정할 수 있는 워크 테이블(도시되어 있지 않음)에 검사 대상판이 놓이고, 복수의 프로브를 갖춘 프로브 유닛으로 점등 검사를 하는 장치이다.
프로브 유닛(1)은, 도1 및 도2에 나타나 있듯이, 워크 테이블 위에 놓인 검사 대상판으로서의 액정 패널(2)의 2개의 변을 따라 설치되어 있다. 상기 프로브 유닛(1)은 구체적으로는, 액정 패널(2)의 긴 변에 따른 긴 변 프로브 유닛(3)과, 액정 패널(2)의 짧은 변에 따른 짧은 변 프로브 유닛(4)으로 구성되어 있다.
긴 변 프로브 유닛(3)은 주로, 긴 변 프로브 베이스(5)와, 프로브 조립체(6)와, 얼라인먼트 카메라(7)를 갖추어 구성되어 있다.
긴 변 프로브 베이스(5)는, 검사 장치의 장치 본체 측의 프로브 스테이지(도시되어 있지 않음)에 지지된 상태로 상기 프로브 조립체(6)들을 액정 패널(2)의 긴 변을 따라 지지하기 위한 부재이다. 상기 긴 변 프로브 베이스(5)에 프로브 조립체(6)와 얼라인먼트 카메라(7)가 설치되어 있다.
프로브 조립체(6)는, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)와 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)로 구성되어 있다. 긴 변 프로브 유닛(3)에는 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)만이 설치되어 있다. 한편, 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)에 관해서는 뒤에서 설명한다.
풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)는, 액정 패널(2)에 전부 접촉하여 통상 점등 검사를 하기 위한 프로브 조립체이다. 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)는, 액정 패널(2)의 각 전극에 개별로 직접적으로 접촉(풀 콘택트)하여, 액정 패널(2) 위의 회로에 검사 신호를 송신한다. 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)는 주로, 서스펜션 베이스(9)와, 슬라이드 블록(10)과, 프로브 블록(11)을 갖추어 구성되어 있다.
서스펜션 베이스(9)는, 직접적으로는 슬라이드 블록(10)을, 간접적으로는 뒤에서 설명할 프로브 블록(11)의 프로브(13)를 지지하기 위한 부재이다. 서스펜션 베이스(9)는, 긴 변 프로브 베이스(5)에 고정되어 있다. 서스펜션 베이스(9)의 선 단(先端) 아래쪽에는, 슬라이드 블록(10)이 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다.
슬라이드 블록(10)은, 프로브 블록(11)을 지지하기 위한 부재이다. 슬라이드 블록(10)은, 서스펜션 베이스(9)에 상하로 슬라이드 가능하게 지지된 상태로, 프로브 블록(11)을 스프링(도시되어 있지 않음)으로 아래쪽으로 힘을 가하고 있다. 상기 스프링에 의해 가해진 힘에 의해, 프로브(13)를 액정 패널(2)의 각 전극에 접촉시킨 상태로 힘을 가한다.
프로브 블록(11)은, 액정 패널(2)의 회로(도시되어 있지 않음)에 검사 신호의 송신 등을 하기 위하여 액정 패널(2)의 전극에 전기적으로 접촉하기 위한 부재이다. 프로브 블록(11)은, 복수의 프로브(13)를 지지하여 구성되어 있다. 프로브(13)는, 액정 패널(2)의 전극에 맞추어 배설되고, 프로브 블록(11)에 의해 일체로 지지되어 있다. 프로브(13)는, 신호선을 통해 제어부에 접속되어 있다.
풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)는, 액정 패널(2)의 전극에 맞추어, 긴 변 프로브 베이스(5)에 5대 설치되어 있다. 상기 5대의 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)의 각 프로브(13)가 액정 패널(2)의 모든 전극에 각각 접촉하여 풀 콘택트(full contact) 상태가 되고, 검사 신호를 송신한다.
얼라인먼트 카메라(7)는, 액정 패널(2)을 각 프로브 조립체(6)(풀 콘택트용 프로브 조립체(6A) 및 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B))에 대하여 위치를 맞추기 위한 카메라이다. 얼라인먼트 카메라(7)는, 액정 패널(2)에 설치된 마크(도시되어 있지 않음)를 투영하고, 상기 마크와 기준 위치를 맞추어, 각 프로브 조립체(6)의 프로브(13)의 선단 접촉자와, 액정 패널(2)의 각 전극을 정합(整合)시키게 되어 있다. 여기에서는, 얼라인먼트 카메라(7)는 긴 변 프로브 베이스(5)에 1대 설치되어 있다.
짧은 변 프로브 유닛(4)은 주로, 짧은 변 프로브 베이스(15)와, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)와, 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)와, 얼라인먼트 카메라(7)를 갖추어 구성되어 있다.
짧은 변 프로브 베이스(15)는, 프로브 조립체(6)들을 액정 패널(2)의 짧은 변을 따라 지지하기 위한 부재이다. 상기 짧은 변 프로브 베이스(15)에, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A), 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B) 및 얼라인먼트 카메라(7)가 설치되어 있다. 여기에서, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)와 얼라인먼트 카메라(7)는, 위에서 설명한 긴 변 프로브 유닛(3)의 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A) 및 얼라인먼트 카메라(7)와 동일한 장치이다. 여기에서는, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)가 3대, 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)가 1대, 얼라인먼트 카메라(7)가 2대 설치되어 있다.
간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)는, 액정 패널(2)에 간이 접촉하여 간이 점등 검사를 하기 위한 프로브 조립체이다. 액정 패널(2)에는, 상기 특허문헌 1의 패널처럼, 간이 콘택트용 배선 및 전극(퀵 단자)이 설치되어 있다. 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)는, 상기 간이 콘택트용 전극에 접촉하기 위한 프로브 조립체이다. 상기 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)에서는, 적은 개수의 프로브(13)가 간이 콘택트용 전극에 접촉(간이 콘택트)하여 간이 점등 검사를 한다.
간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)는, 도3에 나타나 있듯이, 지주(17)와, 이동 기구(도시되어 있지 않음)와, 슬라이드 블록(18)과, 프로브 블록 지지 블록(19)과, 프로브 블록(20)을 갖추어 구성되어 있다.
지주(17)는, 슬라이드 블록(18) 등을 사이에 두고 후술하는 프로브 블록(20)의 프로브(13)를 지지하기 위한 부재이다. 지주(17)는, 짧은 변 프로브 베이스(15)에 고정되어 있다. 지주(17)의 앞쪽 면(액정 패널(2)쪽 면)에는, 레일(21)이 세로 방향을 따라 설치되어 있다. 상기 레일(21)에는 후술하는 슬라이드 블록(18)의 가이드(22)가 슬라이드 가능하게 설치되고, 슬라이드 블록(18)이 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다.
이동 기구(21A)는, 슬라이드 블록(18)을 상하 방향으로 이동시키기 위한 직동(直動) 기구이다. 이동 기구(21A)는, 슬라이드 블록(18)을 상하 방향으로 이동시킴으로써, 프로브(13)를 액정 패널(2)에 대해 근접 이간시킨다. 구체적으로는, 간이 점등 검사 시에, 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)의 프로브(13)를 액정 패널(2)에 대해 근접시키고, 통상 점등 검사 시에, 프로브(13)를 액정 패널(2)에 대해 이간(離間)시킨다. 상기 이동 기구(21A)는 리니어 모터 등의 직동 기구로 구성되어 있다. 또한, 이동 기구(21A)로서, 각종 직동 기구를 사용할 수 있다. 예를 들어, 볼나사 기구와 같은 공지의 모든 직동 기구를 사용할 수 있다. 이와 같은 이동 기구는, 지주(17) 내에 장착되거나, 지주(17)의 근방에 설치된다.
이동 기구(21A)는, 프로브 블록(20)의 프로브(13)를, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)의 프로브(13)보다 위쪽인 후퇴 위치(退避位置)로 이동시키는 기능과, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)의 프로브(13)보다 아래쪽인 콘택트 위치까지 이동시켜 간이 콘택트용 전극에 접촉시키는 기능을 갖는다. 이에 따라, 간이 콘택트 시에는, 액정 패널(2)은 이동하지 않고, 프로브 블록(20)의 프로브(13)만이 아래쪽으로 이동하여 전기적으로 접촉하게 되어 있다.
슬라이드 블록(18)은, 프로브(13)를 간접적으로 지지하여 상기 후퇴 위치와 콘택트 위치 사이를 이동시키기 위한 부재이다. 슬라이드 블록(18)은, 전체가 L자형으로 구성되고, 그 세로 부재에, 상기 레일(21)에 슬라이드 가능하게 설치되는 가이드(22)가 고정되어 있다. 슬라이드 블록(18)의 가로 부재에는, 3개의 나사 봉(23)이 설치되어, 프로브 블록 지지 블록(19)을 지지하고 있다. 나사 봉(23)에는, 스프링(도시되어 있지 않음)이 설치되고, 그 스프링에 의해 프로브 블록 지지 블록(19)이 아래쪽으로 힘이 가해져 있다. 상기 스프링에 의해 가해지는 힘에 의해, 프로브(13)가 액정 패널(2)의 간이 콘택트용 전극에 접촉했을 때에 프로브(13)에 힘이 가해진다.
프로브 블록 지지 블록(19)은, 프로브 블록(20)을 사이에 두고 프로브(13)를 탄성적으로 지지하기 위한 부재이다. 프로브 블록 지지 블록(19)은, 슬라이드 블록(18)의 나사 봉(23)에 연결되고, 스프링에 의해 슬라이드 블록(18)에 탄성적으로 지지되어 있다. 프로브 블록 지지 블록(19)에는 설치 나사(24)가 설치되어 있다. 상기 설치 나사(24)에 의해 프로브 블록(20)이 프로브 블록 지지 블록(19)에 고정되어 있다.
프로브 블록(20)은, 액정 패널(2)의 회로(도시되어 있지 않음)에 검사 신호 의 송신 등을 하기 위하여 액정 패널(2)의 전극에 전기적으로 접촉하기 위한 부재이다. 프로브 블록(20)은, 복수의 프로브(13)를 지지하여 구성되어 있다. 프로브(13)는, 액정 패널(2)의 간이 콘택트용 전극과 같은 수만큼 나란히 배설되고, 프로브 블록(20)에 의해 일체로 지지되어 있다. 프로브(13)는, 신호선들을 통해 제어부에 접속되어 있다.
간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)는, 액정 패널(2)의 간이 콘택트용 전극에 맞추어, 전체적으로 작게 형성되고, 짧은 변 프로브 유닛(4)에 1대 설치되어 있다.
짧은 변 프로브 유닛(4)의 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A) 및 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)는, 도4에 나타나 있듯이, 신호 발생기(26)와, 제어부(27)에 접속되어 있다. 구체적으로는, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)와 신호 발생기(26)가 풀 콘택트용 점등 신호선(28)으로 접속되어 있다. 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)와 신호 발생기(26)가 간이 콘택트용 점등 신호선(29)으로 접속되어 있다. 또한, 신호 발생기(26)와 제어부(27)도 신호선(30)으로 접속되어 있다.
제어부(27)는, 신호 발생기(26)를 제어하여 통상 점등 검사와 간이 점등 검사를 하게 한다. 즉, 제어부(27)는, 통상 점등 검사와 간이 점등 검사를 선택하여, 점등 신호를, 풀 콘택트용 점등 신호선(28) 또는 간이 콘택트용 점등 신호선(29)으로부터 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A) 또는 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)로 송신한다.
제어부(27)는, 통상 점등 검사 시에 선(線) 결함 등의 결함이 발생했을 때, 상기 이동 기구(21A)를 제어하여 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)를 액정 패널(2) 에 근접시켜 프로브(13)와 전극을 서로 접촉시키고 간이 점등 검사로 전환하여, 패널에 기인한 것인지, 접촉에 기인한 것인지를 판단하는 기능을 갖고 있다. 즉, XYZ축 방향 및 θ 회전 방향을 조정할 수 있는 워크 테이블은 움직이지 않고, 이동 기구(21A)로 프로브(13)를 이동시켜 액정 패널(2)의 전극에 전기적으로 접촉시키고 있다. 상기 제어부(27)에서의 처리는, 액정 패널(2)의 결함 검사를 화상 처리에 의해 자동으로 하고 있는 경우는, 자동적으로 전환하여, 그 결함이 패널에 기인하는 것인지, 접촉 불량에 기인하는 것인지를 판단한다. 액정 패널(2)의 결함 검사를 검사자가 눈으로 보아 확인할 때는, 전환 스위치를 검사자가 전환하여, 액정 패널(2)을 통상 점등과 간이 점등시켜 판단한다.
이상과 같이 구성된 검사 장치는, 다음과 같이 작용한다.
통상 점등 검사를 할 경우는, 도5에 나타나 있듯이, 제어부(27)에 의해 신호 발생기(26)가 제어되어, 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)의 프로브(13)가 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)의 프로브(13)보다 위쪽인 후퇴 위치로 이동한다.
이어서, 액정 패널(2)을 지지한 워크 테이블을 XYZ축 방향 및 θ 회전 방향으로 조정하여, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)의 프로브(13)와, 액정 패널(2)의 전극을 정합(整合)시키고, 액정 패널(2)을 얼라인먼트 위치에서 풀 콘택트 위치까지 이동시켜, 풀 콘택트 상태로 서로 전기적으로 접촉시킨다. 그 다음, 신호 발생기(26)에서 검사 신호를 발생시켜 송신한다.
이에 따라, 액정 패널(2)이 점등하고, 그 액정 패널(2)의 점등 상태를 검사자가 눈으로 보고 확인하여 통상 점등 검사를 한다. 또한, 상기 액정 패널(2)의 점 등 상태를 카메라로 촬영하여 화상 처리에 의해, 결함의 유무를 확인하는 경우도 있다.
이러한 확인에 따라, 선(線) 결함 등의 결함이 발생했을 때는, 수동으로, 또는 자동적으로 간이 점등 검사로 전환한다. 이 간이 점등 검사에서는, 도6에 나타나 있듯이, 워크 테이블은 작동시키지 않고 액정 패널(2)을 얼라인먼트 위치에 유지한 상태에서, 이동 기구(21A)만을 작동시킨다. 구체적으로, 워크 테이블은, 풀 콘택트용 프로브 조립체(6A)의 프로브(13)에서 아래쪽으로 떨어진 위치에서 고정한다. 그리고 간이 콘택트용 프로브 조립체(6B)를 작동시켜 그 프로브(13)를 아래쪽으로 이동시키고, 상기 프로브(13)를 상기 간이 콘택트용 전극(퀵 단자)에 전기적으로 접촉시켜 간이(簡易) 접촉시킨다. 이에 따라, 액정 패널(2)이 간이 점등한다.
상기 간이 점등한 액정 패널(2)을 검사자가 눈으로 보고 확인하거나, 또는 화상 처리로 자동적으로 확인한다.
그 결과, 정상으로 점등하면, 상기 선(線) 결함 등의 결함은, 풀 콘택트 시의 접촉 불량에서 기인하는 것으로 판단할 수 있다. 정상으로 점등하지 않으면, 상기 결함은, 패널 불량에서 기인하는 것으로 판단할 수 있다.
상기에 의해, 상기 점등 불량이 발생했을 때, 그것이 패널 불량에 기인하는 것인지 접촉 불량에 기인하는 것인지를 용이하게 판단할 수 있게 된다.
그 결과, 프로브 유닛을 교체할 필요가 없어지고, 확인 작업이 용이해지고, 단시간에 용이하게, 불량 원인을 특정할 수 있어, 검사 작업을 대폭 효율화할 수 있다.
도1은 본 발명의 실시 형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.
도2는 본 발명의 실시 형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 평면도이다.
도3은 본 발명의 실시 형태에 따른 간이 콘택트용 프로브 조립체를 나타낸 사시도이다.
도4는 본 발명의 실시 형태에 따른 검사 장치의 제어계를 나타낸 개략 구성도이다.
도5는 본 발명의 실시 형태에 따른 간이 콘택트용 프로브 조립체의 후퇴 상태를 나타낸 정면도이다.
도6은 본 발명의 실시 형태에 따른 간이 콘택트용 프로브 조립체의 간이 콘택트 상태를 나타낸 정면도이다.
*도면의 주요 부호에 대한 설명*
1: 프로브 유닛 2: 액정 패널
3: 긴 변 프로브 유닛 4: 짧은 변 프로브 유닛
5: 긴 변 프로브 베이스 6: 프로브 조립체
7: 얼라인먼트 카메라 9: 서스펜션 베이스
10: 슬라이드 블록 11: 프로브 블록
13: 프로브 15: 짧은 변 프로브 베이스
17: 지주(支柱) 18: 슬라이드 블록
19: 프로브 블록 지지 블록 20: 프로브 블록
21: 레일 21A: 이동 기구
22: 가이드 23: 나사 봉
24: 설치 나사 26: 신호 발생기
27: 제어부 28: 풀 콘택트용 점등 신호선
29: 간이 콘택트용 점등 신호선 30: 신호선

Claims (3)

  1. 검사 대상판을 점등 검사하는 검사 장치로서,
    상기 검사 대상판의 전극에 직접 접촉하는 프로브를 갖는 복수의 프로브 조립체와, 각 프로브 조립체를 지지하는 프로브 베이스를 갖추고,
    상기 복수의 프로브 조립체는, 상기 검사 대상판에 간이 접촉하여 간이 점등 검사를 하는 간이(簡易) 콘택트용 프로브 조립체와, 상기 검사 대상판에 전부 접촉(full contact)하여 통상 점등 검사를 하는 풀 콘택트용 프로브 조립체로 이루어지고,
    상기 간이 콘택트용 프로브 조립체 및 풀 콘택트용 프로브 조립체가 상기 프로브 베이스에 일체로 설치됨과 동시에, 상기 간이 콘택트용 프로브 조립체가, 상기 검사 대상판에 대하여 상기 프로브를 근접 이간시키는 이동기구를 갖추고,
    상기 풀 콘택트용 프로브 조립체에 의한 통상 점등 검사 시에 결함을 확인하였을 때, 상기 이동 기구로 간이 콘택트용 프로브 조립체를 이동시켜 간이 점등 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이동 기구가 간이 점등 검사 시에 상기 간이 콘택트용 프로브 조립체를 상기 검사 대상판에 대하여 근접시키고, 통상 점등 검사 시에 상기 간이 콘택트용 프로브 조립체를 상기 검사 대상판에 대하여 이간시키는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서, 통상 점등 검사 시에 결함이 발생했을 때, 그 결함이 패널에 기인하는 것인지, 접촉에 기인하는 것인지를 판단하기 위해, 상기 이동 기구를 제어하여 상기 간이 콘택트용 프로브 조립체를 상기 검사 대상판에 근접시켜 간이 점등 검사로 전환하는 제어부를 갖춘 것을 특징으로 하는 검사 장치.
KR1020090005941A 2008-02-25 2009-01-23 검사 장치 KR101044630B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008043236A JP5432460B2 (ja) 2008-02-25 2008-02-25 検査装置
JPJP-P-2008-043236 2008-02-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090091649A KR20090091649A (ko) 2009-08-28
KR101044630B1 true KR101044630B1 (ko) 2011-06-29

Family

ID=41081544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090005941A KR101044630B1 (ko) 2008-02-25 2009-01-23 검사 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5432460B2 (ko)
KR (1) KR101044630B1 (ko)
CN (1) CN101520977B (ko)
TW (1) TWI404935B (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5966672B2 (ja) * 2012-06-27 2016-08-10 住友電気工業株式会社 光ファイバ測定方法
CN104793022B (zh) * 2015-04-08 2017-07-28 合肥鑫晟光电科技有限公司 用于点灯检查的夹持装置及点灯检查系统
KR101708488B1 (ko) * 2015-10-29 2017-03-08 주식회사 디에스케이 오토 프로브 검사 장치
JP7182951B2 (ja) * 2018-08-27 2022-12-05 株式会社日本マイクロニクス 検査装置及び検査方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09138422A (ja) * 1995-11-10 1997-05-27 Nec Corp 液晶表示装置及びその検査方法
KR20050003519A (ko) * 2003-06-27 2005-01-12 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치 검사용 프루브 장치 및 그 제조방법
KR20060069043A (ko) * 2004-12-17 2006-06-21 주식회사 디이엔티 평판 표시패널 검사장치
KR20080001961A (ko) * 2006-06-30 2008-01-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 패널의 검사 장치, 이를 사용한 워크 테이블 유닛의안착 방법 및 교체 방법

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3592831B2 (ja) * 1996-02-26 2004-11-24 株式会社日本マイクロニクス プローブユニット及びその調節方法
JP2001110315A (ja) * 1999-10-08 2001-04-20 Dainippon Printing Co Ltd 電極検査装置および電極検査方法ならびにプラズマディスプレイパネル用基板
JP2004144697A (ja) * 2002-10-28 2004-05-20 Optrex Corp 液晶表示パネルの点灯検査方法および点灯検査装置
CN1538189A (zh) * 2003-04-16 2004-10-20 陈兰香 玻璃覆晶式液晶显示器的检测方法
JP4262521B2 (ja) * 2003-05-28 2009-05-13 シャープ株式会社 表示装置及びその検査方法
JP4167150B2 (ja) * 2003-09-01 2008-10-15 株式会社日本マイクロニクス 電気的接続装置
JP2006284545A (ja) * 2005-04-04 2006-10-19 Quanta Display Inc 回路欠陥検査補修装置及び方法
JP4339325B2 (ja) * 2005-11-15 2009-10-07 コディ−エス カンパニー リミテッド 平板型ディスプレイ検査方法及び平板型ディスプレイ検査用ユニット
KR20070103990A (ko) * 2006-04-21 2007-10-25 삼성전자주식회사 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법
TWM312849U (en) * 2006-10-31 2007-05-21 All Ring Tech Co Ltd Laser repairing machine of panel combined with lighting inspection function

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09138422A (ja) * 1995-11-10 1997-05-27 Nec Corp 液晶表示装置及びその検査方法
KR20050003519A (ko) * 2003-06-27 2005-01-12 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치 검사용 프루브 장치 및 그 제조방법
KR20060069043A (ko) * 2004-12-17 2006-06-21 주식회사 디이엔티 평판 표시패널 검사장치
KR20080001961A (ko) * 2006-06-30 2008-01-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 패널의 검사 장치, 이를 사용한 워크 테이블 유닛의안착 방법 및 교체 방법

Also Published As

Publication number Publication date
TWI404935B (zh) 2013-08-11
JP2009198455A (ja) 2009-09-03
CN101520977A (zh) 2009-09-02
TW200946920A (en) 2009-11-16
KR20090091649A (ko) 2009-08-28
CN101520977B (zh) 2011-04-20
JP5432460B2 (ja) 2014-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101044630B1 (ko) 검사 장치
KR101063774B1 (ko) 멀티 프로브 유니트
JP6084140B2 (ja) 電気検査装置
KR100816125B1 (ko) 프린트 기판의 전기 검사 장치 및 방법
CN101782616A (zh) 一种触摸屏测试装置
CN112068042A (zh) 焊接金属片测试机构和测试方法
WO2010053203A1 (ja) 電気検査装置
KR101055343B1 (ko) 프로브 유닛 및 검사장치
JP2846176B2 (ja) プリント基板検査方法および検査装置
KR102635451B1 (ko) 디스플레이 패널 검사장치
CN211207005U (zh) 通用型点灯治具
CN210347851U (zh) 共用式两段fpc假压检测治具
KR20180088564A (ko) 디스플레이패널의 열화상 검사장치
CN212255661U (zh) 焊接金属片测试机构
KR20180125340A (ko) 디스플레이패널 팔레트용 콘택터 클램핑장치
CN215005052U (zh) Pcb线路板多项功能集成一体测试的双工位测试治具
CN214894936U (zh) 印刷电路板的光学检测装置
KR0139952Y1 (ko) 회로기판 검사장치
KR101086373B1 (ko) 전기 검사 장치
KR200169536Y1 (ko) Lcd 모듈 검사용 지그
JP2010211183A (ja) プローブユニット及び検査装置
JP4701657B2 (ja) ディスプレイパネルの点灯検査方法および点灯検査装置
JP2009174926A (ja) セラミック配線基板用テスタ
JP2007140437A (ja) 平板型ディスプレイ検査方法及び平板型ディスプレイ検査用ユニット
JPH1031225A (ja) 液晶パネルの点灯検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140610

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170511

Year of fee payment: 9