KR20180088564A - 디스플레이패널의 열화상 검사장치 - Google Patents

디스플레이패널의 열화상 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 디스플레이패널의 열화상 검사장치는 베이스, 베이스의 상부에 구비되고 검사대상물이 안착되며 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 글래스스테이지유닛, 글래스스테이지유닛의 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임이 구비되는 겐트리유닛 및 크로스프레임을 따라 이동 가능하게 구비되고, 검사대상물의 셀과 접촉하여 전류를 인가하며, 검사대상물의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 감지유닛을 포함한다.

Description

디스플레이패널의 열화상 검사장치{THEMAL TESTING APPARATUS FOR FLATPANEL DISPLAY}
본 발명은 디스플레이패널의 불량픽셀을 검출하기 위한 열화상 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스플레이패널에 전류를 인가하여 계측되는 온도를 통해 불량이 발생한 픽셀을 특정할 수 있도록 한 열화상 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이패널은 영상을 표시하기 위한 장치로서 널리 실시되고 있다.
스마트폰, 태블릿과 같은 휴대장치의 발달로 다양한 형태의 디스플레이패널이 실시되고 있고, 영상을 표시하기 위한 수단으로서만이 아닌 터치 방식의 입력이 가능하도록 구현이 되는 등 기술집약적 산업으로서 그 개발 및 개량이 빠르게 진행되고 있다.
영상을 표시하기 위한 목적이나 정전용량의 변화를 감지하여 전기적 신호로서 변환하여 입력하기 위한 목적의 디스플레이패널은 기본적으로 수많은 픽셀의 조합으로 구현된다.
수많은 픽셀들의 조합으로 인해 특정한 빛을 표시하거나 특정한 전기적 신호를 입력받을 수 있도록 구현되므로, 각각의 픽셀들이 유기적으로 작용 되어야 한다.
하지만, 다양한 공정을 거치며 제작되는 디스플레이패널의 수많은 픽셀 중 일부에 불량이 발생될 수 있어 이를 검수하기 위한 장치나 방법들을 필요로 하여왔다.
종래에는 디스플레이패널의 셀에 전기적 신호를 인가하여, 특정범위 내의 픽셀들에 불량이 발생하였는지를 검수하는 방법이 널리 실시되어 왔다.
하지만, 대형 디스플레이패널의 검수 시 또는 많은 수의 디스플레이패널을 연속적으로 검수하여야 하는 경우, 정확한 불량 픽셀이 발생된 지점을 도출하기 위해 소요되는 시간이 길었고, 이러한 검사시간의 증가는 생산성의 저하로 귀결되었다.
따라서, 생산성 증대를 위해 각각의 디스플레패널을 일정라인 또는 일정 부피의 범위로 나누어 검수를 진행함으로 불량여부만을 판단하기도 하였으나, 불량이 발생된 픽셀의 정확한 위치 정보를 획득할 수 없어 리페어를 진행할 수 없다는 단점 또한 지니고 있었다.
따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 디스플레이패널의 일정영역에 전원을 인가하고 전원이 인가된 영역의 온도를 계측함으로써 불량이 발생된 픽셀의 정확한 위치를 획득할 수 있도록 한 디스플레이패널의 열화상 검사장치를 제공하기 위함이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 디스플레이패널의 열화상 검사장치는 베이스, 베이스의 상부에 구비되고 검사대상물이 안착되며 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 글래스스테이지유닛, 글래스스테이지유닛의 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임이 구비되는 겐트리유닛 및 크로스프레임을 따라 이동 가능하게 구비되고, 검사대상물의 셀과 접촉하여 전류를 인가하며, 검사대상물의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 감지유닛을 포함한다.
또는, 글래스스테이지유닛은 검사대상물이 상면에 안착되는 안착플레이트 및 베이스에 구비되고 안착플레이트를 지지하며 안착플레이트의 전후좌우 이동 및 기울기를 조절하는 정렬구동부를 포함한다.
그리고, 정렬구동부는 안착플레이트가 승강되도록 구비된다.
또는, 안착플레이트는 상면에 돌출형성되고, 다수 개가 구비되어 검사대상물의 측면을 고정하는 가이드부재를 포함한다.
그리고, 감지유닛은 검사대상물의 셀과 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀, 검사대상물의 온도를 측정하는 촬상부 및 프로브핀 및 촬상부가 크로스프레임을 따라 이송될 수 있도록 구비되는 가로이송파트를 포함한다.
또는, 가로이송파트는 검사대상물의 셀과 프로브핀의 위치를 감지하는 정렬카메라 및 정렬카메라를 통해 감지된 정보를 통해 가로이송파트의 이송을 제어하는 제어부를 포함한다.
그리고, 감지유닛은 촬상부가 가로이송파트 상에서 미세정렬 되도록 구비되는 정렬파트 및 촬상부가 가로이송파트의 이송방향과 직교하는 방향으로 이동될 수 있도록 구비되는 라인이송파트를 포함한다.
또는, 검사대상물의 전류가 인가된 라인을 감지하는 원점카메라 및 원점카메라를 통해 감지된 정보를 통해 정렬파트 및 라인이송파트의 이송을 제어하는 제어부를 포함한다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 디스플레이패널의 열화상 검사장치는 디스플레이패널의 온도를 감지하여 불량이 발생된 픽셀을 도출하게 되므로, 보다 신속하게 많은 수의 디스플레이패널의 검수를 진행할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 불량이 발생된 픽셀의 위치를 정확하게 획득할 수 있는 장점이 있다.
또한, 특정 픽셀 라인의 검수 시 빠르게 대상 라인으로 이송되고, 미세정렬을 통해 정확한 촬영을 진행할 수 있어 보다 신뢰성을 높이는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치의 정면도이다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치에서 감지유닛의 정렬파트가 이동되는 것을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치에서 감지유닛의 라인이송파트가 이동되는 것을 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치를 통해 검사대상물의 특정된 라인을 검수하여 불량픽셀의 위치를 도출하는 과정을 나타낸 상태도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치를 통해 촬상된 불량픽셀의 이미지이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치를 통해 불량픽셀을 검출해내는 흐름도이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치는 하기 되는 것과 같이 실시될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치의 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치는 베이스(100), 베이스(100)의 상부에 구비되고, 검사대상물(P)이 안착되며, 검사대상물(P)이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 글래스스테이지유닛(200), 글래스스테이지유닛(200)의 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임(320)이 구비되는 겐트리유닛(300) 및 크로스프레임(320)을 따라 이동 가능하게 구비되고 검사대상물(P)의 셀(C)과 접촉하여 전류를 인가하며 검사대상물(P)의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 감지유닛(400)이 포함될 수 있다.
아래에서는 상기된 각각의 구성을 구체적으로 자세하게 설명한다.
베이스(100)는 바닥면과 접하여 넓게 형성되는 판상의 부재로서, 글래스스테이지유닛(200), 겐트리유닛(300)이 결합되어 지지될 수 있도록 구비된다.
베이스(100)는 판상의 부재로 한정되는 것은 아니고, 바닥면에 견고하게 지지될 수 있도록 프레임 형태로 구현될 수 있고 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 형상으로 구현될 수 있다.
베이스(100)의 상면에는 일방향 및 이와 직교하는 방향으로의 레일이 구비될 수 있다.
글래스스테이지유닛(200)은 베이스(100)의 상면에 형성되는 레일을 따라 수평하게 전후좌우 이동이 가능하게 구비되고, 검사대상물(P)인 디스플레이패널이 상면에 안착되는 안착플레이트(210), 베이스(100)의 상부에서 결합되고 안착플레이트(210)를 하부에서 지탱하는 정렬구동부(220)로 구성될 수 있다.
안착플레이트(210)는 상면이 편평하게 형성되어, 적어도 하나 이상의 검사대상물(P)의 저면이 상면에 접하여 안착될 수 있도록 구비된다.
또한, 상면에는 적어도 하나 이상의 가이드부재(212)가 승강가능하게 구비되고, 가이드부재(212)는 안착플레이트(210)의 상면에서 상부로 돌출 형성된다.
검사대상물(P)의 크기 및 개수에 따라 선택적으로 가이드부재(212)는 안착플레이트(210)의 내측으로 삽입될 수 있고, 검사대상물(P)의 측면에 형성되는 홈(g)이 가이드부재(212)에 맞춰져 특정된 위치에 배치될 수 있도록 기능하게 된다.
정렬구동부(220)는 안착플레이트(210)와 베이스(100)를 상호 연결하고, 안착플레이트(210)가 지탱될 수 있도록 구비되며, 안착플레이트(210)가 베이스(100)의 상부에서 수평한 면을 기준으로 전진, 후진 및 좌측과 우측으로의 이동이 가능하도록 형성된다.
또한, 안착플레이트(210)의 일부를 높이거나 낮출 수 있도록 구비되어 안착플레이트(210)가 수평을 유지할 수 있도록 구동될 수 있고, 안착플레이트(210)가 수평을 유지한 상태로 상승 또는 하강되도록 구비될 수 있다.
이러한 정렬구동부(220)의 작동은 다수 개의 모터구동을 통해 구현될 수 있고, 또는 유압을 통한 실린더의 작동을 통해 구현될 수 있으며, 이는 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 구동수단을 통해 구현될 수 있을 것이다.
겐트리유닛(300)은 베이스(100)의 양측에 각각 고정되어 상부로 연장형성되는 지지프레임(310)과 각각의 지지프레임(310) 상단을 연결하는 크로스프레임(320)으로 구성된다.
크로스프레임(320)은 베이스(100)의 상부를 가로지르도록 배치되고, 크로스프레임(320)의 하부로 글래스스테이지유닛(200)이 이동될 수 있도록 글래스스테이지유닛(200)의 안착플레이트(210)보다 높은 위치에 구성된다.
이러한 구성은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같으며, 베이스(100)에 고정되는 지지프레임(310)과 지지프레임(320)의 상단에 결합되어 베이스(100)의 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임(320)이 구비되고, 크로스프레임(320)의 하부로 글래스스테이지유닛(200)이 전후좌우 이동이 가능한 공간이 형성된다.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치에서 감지유닛의 정렬파트가 이동되는 것을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치에서 감지유닛의 라인이송파트가 이동되는 것을 나타낸 사시도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치의 감지유닛(400)은 크로스프레임(320)을 따라서 이송 가능하게 구비되는 가로이송파트(410)가 구비된다.
그리고, 가로이송파트(410)와 결합되고 가로이송파트(410) 상에서 가로이송파트(410)의 이송방향과 동일한 방향으로 좌우 이동이 가능하도록 구비되는 정렬파트(420), 정렬파트(420)에 결합되고 정렬파트(410) 및 가로이송파트(410)의 이송방향과 직교하는 방향으로 이동될 수 있도록 구비되는 라인이송파트(430) 및 라인이송파트(430)에 결합되어 연직하방을 촬영할 수 있도록 구비되는 촬상부(432)가 포함될 수 있다.
가로이송파트(410)는 하부에 프로브핀(412)이 구비되고, 프로브핀(412)은 검사대상물(P)의 셀(C)과 접촉하여 검사대상물(P)의 특정라인 또는 특정범위에 전원이 인가 되도록 구비된다.
프로브핀(412)과 인접한 위치에는 적어도 하나 이상의 정렬카메라(414)가 배치되며, 정렬카메라(414)는 검사대상물(P)의 셀(C)과 프로브핀(412)의 위치를 감지하여 상호간의 위치정보를 제어부(미도시)로 입력하고, 제어부(미도시)는 입력된 검사대상물(P)의 셀(C) 및 프로브핀(412)의 위치정보를 토대로 가로이송파트(410) 및 정렬구동부(220)를 제어하여 검사대상물(P)의 셀(C)과 프로브핀(412)이 서로 정확한 위치에서 접촉될 수 있도록 한다.
정렬파트(420)는 가로이송파트(410)에 결합되되, 가로이송파트(410)의 이송방향 즉, 크로스프레임(320)의 길이방향으로 이동 가능하도록 구비된다.
정렬파트(420)에는 라인이송파트(430)가 결합되고, 라인이송파트(430)에는 촬상부(432) 및 원점카메라(434)가 결합된다.
따라서, 라인이송파트(430)는 정렬파트(420)의 이동에 종속되어 이동하게 되고, 라인이송파트(430)에 결합된 촬상부(432) 및 원점카메라(434) 또한 라인이송파트(430)의 움직임에 종속되어 이동하게 되며, 라인이송파트(430)는 정렬파트(420)를 기준으로 크로스프레임(320)의 길이방향과 직교하는 방향으로 도 4에 도시된 바와 같이 일정한 구간을 왕복하며 이동될 수 있도록 구비된다.
정렬파트(420) 및 라인이송파트(430)의 이동 또한 제어부(미도시)에 의해 제어가 된다.
상세하게는, 프로브핀(412)이 검사대상물(P)의 셀(C)과 접촉하여 검사대상물(P)의 특정라인 또는 특정 범위에 전원이 인가된 상태에서 전원이 인가된 검사대상물(P)의 특정라인 또는 특정 범위의 연직상부에 촬상부(432)가 배치되도록 원점카메라(434)를 통해 수집되는 위치정보가 제어부(미도시)로 입력되고, 제어부(미도시)는 입력된 정보를 통해 정렬파트(420)를 미세정렬하게 된다.
이때, 제어부(미도시)를 통해 촬상부(432)가 검사대상물(P)의 특정라인 또는 특정 범위의 연직상부에 배치되도록 정렬되는 것은 정렬파트(420)만으로 한정되는 것은 아니고, 본 발명이 적용되는 실시예에 따라서 정렬구동부(220)의 구동을 통해 구현될 수도 있다.
상술한 바와 같은 정렬과정을 통해 촬상부(432)가 적합한 위치에 배치되었다면, 제어부(미도시)는 촬상부(432)를 작동시킴과 아울러 라인이송파트(430)를 구동시켜 검사대상물(P)의 전원이 인가된 특정라인 또는 특정범위를 따라 촬상부(432)가 이동되며 검사를 수행할 수 있도록 한다.
촬상부(432)는 촬상물의 온도에 따라 각기 다른 색으로 표현하여 시각적으로 온도를 확인할 수 있도록 한 열화상 카메라나 적외선 영상을 촬영함으로 온도를 계측할 수 있는 적외선 카메라(thmographic devices)와 같은 열감지 카메라로 구현될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치를 통해 검사대상물(P)의 특정된 라인을 검수하여 불량픽셀의 위치를 도출하는 과정을 나타낸 상태도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치를 통해 촬상된 불량픽셀의 이미지이다.
도5에 도시된 바와 같이 검사대상물(P)인 디스플레이패널은 평면상에 가로 및 세로로 구획된 수 많은 픽셀이 존재하고, 각각의 가로 및 세로라인에 전기적 신호를 인가할 수 있는 셀(C)이 가장자리에 형성된다.
또한, 가장자리 측면에는 홈(g)이 형성되어 상술하였던 안착플레이트(210)의 가이드부재(212)에 의해 고정될 수 있다.
라인이송파트(434)를 통해 도 5에 도시된 바와 같이 특정라인을 이동하며 촬상부(432)가 온도를 감지하게 되고, 그래프를 통해 표시된 바와 같은 비정상 온도를 나타내는 지점이 불량이 발생된 지점인 불량픽셀(defective pixel)로 확정될 수 있게 된다.
이러한 불량픽셀의 이미지는 도 6에 도시된 바와 같으며, 불량픽셀의 위치가 정확하게 확정될 수 있으므로, 불량이 발생된 위치의 픽셀을 리페어하는 작업이 보다 신속하고 정확하게 수행될 수 있게 된다.
상기와 같은 구성에 근거하여 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치의 작동을 설명한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치를 통해 불량픽셀을 검출해내는 흐름도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이패널의 열화상 검사장치는 불량이 발생된 정확한 위치를 검출하여 불량픽셀을 리페어하기 용이하도록 한 것으로서, 디스플레이패널의 가로 또는 세로의 특정라인상에 불량픽셀이 존재한다는 정보를 기 획득하였을 때보다 빠르게 불량픽셀의 위치 정보를 획득할 수 있다.
불량라인입력단계(S10)를 통해 다양한 방법을 통해 획득된 불량픽셀을 포함하고 있는 가로 또는 세로방향의 불량라인 정보를 입력한다.
글래스스테이지유닛 이송 및 정렬단계(S20)는 검사대상물(P)이 안착플레이트(210)에 안착된 상태로 겐트리유닛(300)의 크로스프레임(320) 하부에 배치되도록 정렬구동부(220)가 구동되어 이송되고, 수평을 유지할 수 있도록 하는 단계이다.
불량라인 상으로 가로이송파트 이송단계(S30)는 검사대상물(P)의 불량라인에 전원을 인가하기 위하여 불량라인의 셀(C)과 프로브핀(412)이 동일한 위치에 배치되도록 가로이송파트(410) 및 정렬구동부(220)를 구동하여 정렬하는 단계이다.
프로브핀 접촉 및 불량라인 전류인가 단계(S40)는 검사대상물(P)의 셀(C)과 프로브핀(412)을 접촉시켜 불량라인에 전원을 인가하는 단계이고, 정렬파트 정렬단계(S50)는 원점카메라(434)를 통해 감지되는 검사대상물(P)의 불량라인 위치정보를 통해 제어부(미도시)가 정렬파트(420) 또는 정렬구동부(220)를 구동시켜 촬상부(432)가 불량라인의 연직상부에 배치되도록 하는 단계이다.
라인이송파트의 이송에 따른 불량라인 촬영단계(S60)는 불량라인의 연직상부에 배치된 촬상부(432)가 크로스프레임(320)의 길이방향과 직교하는 방향으로 이동하며 불량라인을 따라 온도를 감지하는 단계이다.
불량위치 획득 단계(S70)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 특이 온도를 나타내는 지점을 도출하여 불량픽셀의 위치를 검사대상물(P)의 평면상에 좌표로서 획득하는 단계이다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
P: 검사대상물 C: 셀
g: 홈
100: 베이스
200: 글래스스테이지유닛 210: 안착플레이트
212: 가이드부재 220: 정렬구동부
300: 겐트리유닛 310: 지지프레임
320: 크로스프레임
400: 감지유닛 410: 가로이송파트
412: 프로브핀 414: 정렬카메라
420: 정렬파트 430: 라인이송파트
432: 촬상부 434: 원점카메라

Claims (8)

  1. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 구비되고, 검사대상물이 안착되며, 상기 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 글래스스테이지유닛;
    상기 글래스스테이지유닛의 상부를 가로질러 배치되는 크로스프레임이 구비되는 겐트리유닛; 및
    상기 크로스프레임을 따라 이동 가능하게 구비되고, 상기 검사대상물의 셀과 접촉하여 전류를 인가하며, 상기 검사대상물의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 감지유닛;
    을 포함하는 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 글래스스테이지유닛은,
    상기 검사대상물이 상면에 안착되는 안착플레이트; 및
    상기 베이스에 구비되고 상기 안착플레이트를 지지하며 상기 안착플레이트의 전후좌우 이동 및 기울기를 조절하는 정렬구동부;
    를 포함하는 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 정렬구동부는,
    상기 안착플레이트가 승강되도록 구비되는 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 안착플레이트는,
    상면에 돌출형성되고, 다수 개가 구비되어 상기 검사대상물의 측면을 고정하는 가이드부재;
    를 포함하는 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 감지유닛은,
    상기 검사대상물의 셀과 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀;
    상기 검사대상물의 온도를 측정하는 촬상부; 및
    상기 프로브핀 및 상기 촬상부가 상기 크로스프레임을 따라 이송될 수 있도록 구비되는 가로이송파트;
    를 포함하는 디스플레이패널의 열화상 검사장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 가로이송파트는,
    상기 검사대상물의 셀과 상기 프로브핀의 위치를 감지하는 정렬카메라; 및
    상기 정렬카메라를 통해 감지된 정보를 통해 상기 가로이송파트의 이송을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 디스플레이패널의 열화상 검사장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 감지유닛은,
    상기 촬상부가 상기 가로이송파트 상에서 미세정렬 되도록 구비되는 정렬파트; 및
    상기 촬상부가 상기 가로이송파트의 이송방향과 직교하는 방향으로 이동될 수 있도록 구비되는 라인이송파트;
    를 포함하는 디스플레이패널의 열화상 검사장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 검사대상물의 전류가 인가된 라인을 감지하는 원점카메라; 및
    상기 원점카메라를 통해 감지된 정보를 통해 상기 정렬파트 및 상기 라인이송파트의 이송을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 디스플레이패널의 열화상 검사장치.


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